结论与建议：

公司发布股权激励计划，将70%的员授予127 万股（占总股本0.45%）股票用于激励，同时行权目标较高，体现公司对于未来发展的信心。

同时，我们预计中国半导体设备产业并购有望在2025 较大规模展开，目前芯源微已经发布停牌公告，而公司作为国内薄膜沉积设备龙头企业，在PECVD 设备领域领先其他竞争对手，极具并购价值。公司目前股价对应2025、26 年PE45 倍和37 倍，考虑到本土半导体设备企业并购浪潮即将来临，给予买进评级。

股权激励行权目标高：公司发布股权激励计划，将向包括董事长、管理层、核心技术人员在内的1072 位核心员工（占全体员工70%）授予127万股（占总股本0.45%）股票用于激励，股票来源为此前回购股份。行权价格为90 元/股，较目前股价折让49%。行权条件为2025 年营收目标49.9 亿元，同比增长21.7%，营收触发值是46 亿元，净利润10.6 亿元，同比增长54%，净利润触发值为9.9 亿元；2026 年营收目标60 亿元较2024 年增长46%，营收触发值是54 亿元触发，净利润12.6 亿元，较2024年增长83%，净利润触发值11.9 亿元触发，整体增速预期较快，体现管理层对于公司快速发展的信心。

4Q24 业绩高速成长，营收创新高：2024 年公司实现营收41 亿元，同比增52%，实现净利润6.9 亿元，同比增4%，扣非后净利润3.6 亿元，同比增14%。相应的，4Q24 实现营收18.3 亿元，同比增82%，环比增81%，创历史新高； 实现净利润4.2 亿元，同比增7%，环比增193%；扣非后净利润2.9 亿元，同比增113%，环比增539%；得益于订单的持续增长，公司2024 年累计出货超过1000 个设备反应腔，创历史新高。

行业有望实现大规模并购，本土设备企业强强联合：得益于国产替代的推进，本土半导体设备企业近年来快速成长，涌现如北方华创这样的平台型企业。预计未来中国半导体设备厂商有望加大并购力度，复刻海外龙头跨域式增长的发展路径。涂胶显影的大厂沈阳芯源微已经公告将停牌筹划股权变更，预计更大范围的强强联合也将不断展开，公司作为国内薄膜沉积设备龙头企业，在PECVD 设备领域领先其他竞争对手，极具并购价值。

盈利预测：预计公司2025、2026 年净利润10.8 亿元和13.3 亿元，同比增长57%和23%，EPS 分别为3.87 元和4.76 元，目前股价对应2025、26 年PE45 倍和37 倍，给予买进评级。

风险提示：中国半导体制造投资需求急速下降。