业绩回顾

2025 年业绩略低于我们预期，1Q26 业绩符合我们预期公司公布2025 年及1Q26 业绩：2025 年实现收入65.19 亿元，同比增长58.87%，归母净利润9.27 亿元，同比增长34.67%，略低于我们预期，主要原因为收入确认节奏所致；1Q26 公司实现收入 11.12 亿元，同比 +56.97%；归母净利润 5.71 亿元，同比扭亏，扣非归母净利润 1.02 亿元，符合我们预期。

发展趋势

营收规模快速扩张，先进工艺设备放量驱动业绩高增：2025 年公司实现收入65.19 亿元，YoY+58.87%，其中PECVD 设备收入51.42 亿元，YoY+75.27%，ALD 设备收入3.01 亿元，YoY+191.82%，键合设备收入1.36 亿元，YoY+41.92%。公司应用于先进存储、逻辑领域的基于新型设备平台和新型反应腔开发的 PECVD Stack、ACHM 以及 PECVD Bianca 等产品批量通过客户验证，进入规模化量产阶段，并实现收入转化。

盈利能力同比承压，毛利率环比提升：公司4Q25 归母净利润3.7 亿元，净利率为16.1%，环比下滑4.3ppt，毛利率37.5%，环比增长3.7ppt；1Q26 公司毛利率环比继续提升3.5ppt 至41%，归母净利润5.71 亿元，扣非归母净利润为1.02 亿元，同比增长156.65%，主要原因为：公司新产品逐步放量，毛利率逐渐修复，同时对外投资导致公允价值变动损益较大。

新产品逐步放量，客户集中度增加：公司持续拓展应用于三维集成设备，其中晶圆对晶圆混合键合设备获得客户复购订单并实现量产应用、新一代高速高精度晶圆对晶圆混合键合产品已发货至客户端验证，产能、键合精度等关键指标大幅提升；首台晶圆对晶圆熔融键合设备通过客户验证。

盈利预测与估值

我们维持盈利预测不变，并首次引入2027 年盈利预测，预计2026/2027 营业收入达90.9/120.1 亿元，归母净利润达16.7/24.0 亿元。我们采用远期P/E 估值法进行估值，基于2027年50.0x P/E，由于半导体估值中枢上行，上调目标价17.6%至424.5 元，较当前股价仍有2.9%上行空间，维持跑赢行业评级。

风险

下游资本开支不及预期，新产品不及预期，零部件供应风险。