报告要点：

公司25 年营收65.19 亿元（YoY+58.87%），归母净利9.27 亿元（YoY+34.67%），毛利率和净利率分别为34.95%和14.03%。26Q1，公司营收11.12 亿元（YoY+56.97%，QoQ-51.61%），归母净利5.71 亿元（YoY+488.29%，QoQ+54.13%），毛利率和扣非净利率分别为41.69%和9.18%。25Q4 到26Q1，公司毛利率呈现逐步改善趋势。

公司PECVD 设备销售保持快速增长态势。2025 年PECVD 设备实现营收51.42 亿元，同比增加75.27%，公司应用于先进存储、先进逻辑领域的新设备平台批量通过客户验证，进入规模化量产并实现收入转化。

展望2026 年，随着国内存储和逻辑晶圆厂扩产、先进制程推进和国产替代仍将支撑PECVD 设备需求，我们预计2026 年PECVD 仍将是公司收入增长的主要驱动力，收入有望接近67 亿元，同比增加约30%。

ALD 有望成为公司2026 年增速弹性较高的方向。公司2025 年ALD设备收入约3.01 亿元，同比增加191.82%，PE-ALD SiO/SiN/SiCO 等产品量产规模提升，Thermal-ALD TiN 通过客户验证。我们预计随着先进存储、先进逻辑对高深宽比结构、精确膜厚控制需求提升，公司在客户导入验证范围持续扩大及先进工艺导入进一步推进，2026 年公司ALD 设备收入有望超过6 亿元，实现翻倍增长，ALD 收入比重有望持续提升。

订单方面，公司后续收入具备较强可见度。截至2025 年末，公司合同负债达48.52 亿元，较2024 年末增长62.66%；在手订单金额约110亿元，为后续收入增长奠定基础。总体来看，公司2026 年成长主线仍在于PECVD 稳健放量、ALD 加速导入及订单持续转化。

我们预测公司26-27 年营收86.39/111.56 亿元,归属母公司净利润为16.88/22.72 亿元，对应PE 分别为71/53 倍，维持“买入”评级。

风险提示

上行风险：下游晶圆厂扩产超预期；国产替代进程加速；产品加速导入客户下行风险：下游扩产节奏不及预期；客户验收不及预期；其他系统性风险