据上交所网站消息，上海证券交易所上市审核委员会定于2025年11月14日召开2025年第54次上市审核委员会审议会议。届时将审议深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(以下简称“恒运昌”)的首发事项。恒运昌成为2025年第二批被抽中现场检查企业中的首家上会企业。

成功打破海外巨头国内垄断格局

招股书显示，恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的“精确复制”要求极高，因而国产化率极低。根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，属于被“卡脖子”最严重的环节之一。

恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。

过去三年，公司研发投入持续高增长，2022年至2024年研发投入分别达到2154.21万元、3696.37万元和5528万元，占营收比例均超10%。2025年上半年公司研发费用达4330.84万元，较上年同期增长72.63%。

成功交付一批国内头部半导体设备商

等离子体射频电源系统的自主可控对我国半导体产业供应链安全具有重要意义。公司承担了国家半导体产业的基础再造和重大技术装备攻关任务，先后承接3项国家级重大专项课题，包括国家科技重大专项A课题、国家科技重大专项B课题、国家科技重大专项C课题，助力提高我国半导体产业的供应链韧性和安全水平。截至报告期末，公司拥有已授权发明专利104项，在申请发明专利138项。公司是国家高新技术企业、中国集成电路零部件创新联盟理事单位、国家专精特新重点“小巨人”、国家专精特新“小巨人”、“科创中国”射频开关电源创新基地、广东省2024年制造业单项冠军、广东省射频开关电源工程技术研究中心，并获得第六届中国集成电路创新联盟“IC创新奖”、广东省真空科技进步一等奖、2024年“湾芯奖”之“核心零部件创新奖”、中芯国际“零部件模组战略供应商”、拓荆科技“超卓伙伴奖”和“最佳交付奖”、微导纳米“最佳合作奖”等荣誉。

半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，以保障晶圆厂在产能快速扩张下的芯片品质，因此等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，并且需经过精密的校准和严格的测试流程，以保证性能的一致性和长期稳定性。在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能力，公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。截至2025年6月30日，公司与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38款，实现千万级收入的自研产品共24款。

近三年业绩高速增长

公司在国内晶圆厂的生产可持续性、扩产可持续性以及供应链自主可控三方面积极为我国半导体产业自主可控贡献力量，对推动我国半导体产业关键零部件的国产化和自主化发挥重要作用，有力地提升了半导体产业链供应链韧性和安全水平。

公司凭借多年的技术积累和持续的产品迭代，实现了等离子体射频电源系统的国产替代，并取得了营业收入和净利润的快速增长。

招股书显示，2022年—2024年公司营业收入分别为15815.80万元、32526.85万元、54079.03万元，复合增长率为84.91%;归属于母公司股东的净利润分别为2618.79万元、7982.73万元、14154.02万元，复合增长率为131.87%。

展望未来，公司将抓住半导体产业链国产化的机遇，在国家政策的大力支持下，持续致力于先进制程半导体设备核心零部件的研发生产，并通过自主创新丰富产品种类、提高技术先进性水平，助力国内半导体设备关键零部件的全面自主可控。此外，公司将加速国际化进程、参与整合全球优质企业和资源，成为半导体“卡脖子”解决方案的领军企业，力争在未来十年成为国际优秀的围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。