拓荆科技:前次募集资金使用情况鉴证报告

一、前次募集资金使用情况鉴证报告………………………………第1—2页

二、前次募集资金使用情况的专项报告…………………………第3—15页

三、附件…………………………………………………………第16—20页

（一）本所营业执照复印件………………………………………第16页

（二）本所执业证书复印件………………………………………第17页

（三）本所从事证券服务业务备案完备证明材料………………第18页

（四）注册会计师执业资格证书复印件……………………第19—20页前次募集资金使用情况鉴证报告

天健审〔2025〕16907号

拓荆科技股份有限公司全体股东：

我们鉴证了后附的拓荆科技股份有限公司（以下简称拓荆科技公司）董事会

编制的截至2025年9月30日的《前次募集资金使用情况的专项报告》。

一、对报告使用者和使用目的的限定

本鉴证报告仅供拓荆科技公司向特定对象发行股票时使用，不得用作任何其他目的。我们同意本鉴证报告作为拓荆科技公司向特定对象发行股票的必备文件，随同其他申报材料一起上报。

二、董事会的责任

拓荆科技公司董事会的责任是提供真实、合法、完整的相关资料，按照中国证券监督管理委员会《监管规则适用指引——发行类第7号》的规定编制《前次募集资金使用情况的专项报告》，并保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

三、注册会计师的责任我们的责任是在实施鉴证工作的基础上对拓荆科技公司董事会编制的上述报告独立地提出鉴证结论。

四、工作概述我们按照中国注册会计师执业准则的规定执行了鉴证业务。中国注册会计师执业准则要求我们计划和实施鉴证工作，以对鉴证对象信息是否不存在重大错报

第1页共20页获取合理保证。在鉴证过程中，我们实施了包括核查会计记录等我们认为必要的程序。我们相信，我们的鉴证工作为发表意见提供了合理的基础。

五、鉴证结论

我们认为，拓荆科技公司董事会编制的《前次募集资金使用情况的专项报告》符合中国证券监督管理委员会《监管规则适用指引——发行类第7号》的规定，如实反映了拓荆科技公司截至2025年9月30日的前次募集资金使用情况。

天健会计师事务所（特殊普通合伙）中国注册会计师：

中国·杭州中国注册会计师：

二〇二五年十一月二十七日

第2页共20页拓荆科技股份有限公司前次募集资金使用情况的专项报告

根据中国证券监督管理委员会《监管规则适用指引——发行类第7号》的规定，将本公司截至2025年9月30日的前次募集资金使用情况报告如下。

一、前次募集资金的募集及存放情况

(一)前次募集资金的数额、资金到账时间根据中国证券监督管理委员会《关于同意拓荆科技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2022〕424号），本公司由联席主承销商招商证券股份有限公司和国开证券股份有限公司采用向战略投资者定向配售（以下简称战略配售）、网下向符合条件的

网下投资者询价配售（以下简称网下发行）与网上向持有上海市场非限售 A 股股份和非限售

存托凭证市值的社会公众投资者定价发行（以下简称网上发行）相结合的方式发行人民币普

通股（A 股）股票 31619800 股，每股面值 1 元，发行价为每股人民币 71.88 元，共计募

集资金227283.12万元，坐扣承销和保荐费用11936.54万元后的募集资金为215346.58万元，已由联席主承销商招商证券股份有限公司于2022年4月14日汇入本公司募集资金监管账户。另减除上网发行费、招股说明书印刷费、保荐费用、申报会计师费、律师费等与发行权益性证券直接相关的新增外部费用2586.85万元后，公司本次募集资金净额为212759.73万元。上述募集资金到位情况业经天健会计师事务所（特殊普通合伙）验证，

并由其出具《验资报告》（天健验〔2022〕139号）。

(二)前次募集资金在专项账户中的存放情况

截至2025年9月30日，本公司前次募集资金在银行账户的存放情况如下：

金额单位：人民币万元初始存放金2025年9月开户银行银行账号备注

额[注1]30日余额中信银行股份有限公司沈

8112901012700838048215346.5816804.28活期

阳长白岛支行中信银行股份有限公司沈

811290101160096739114046.15活期[注2]

阳南站支行

第3页共20页初始存放金2025年9月开户银行银行账号备注

额[注1]30日余额中信银行股份有限公司沈

81129010125009679544408.63活期[注2]

阳南站支行中信银行股份有限公司上

81102010126015332012273.51活期[注3]

海中信泰富广场支行中国建设银行股份有限公

21050139460100001108[注4]

司沈阳浑南产业园支行中国建设银行股份有限公

21050139460100001359[注4]

司沈阳浑南产业园支行中信银行股份有限公司沈

8112901012100914131[注4]

阳南站支行中信银行股份有限公司上

8110201012401451243[注4]

海中信泰富广场支行

合计215346.5837532.57

[注1]初始存放金额与前次发行募集资金净额差异为2586.85万元，系上网发行费、招股说明书印刷费、保荐费用、申报会计师费、律师费等与发行权益性证券直接相关的新增

外部费用，减除后，公司前次募集资金净额为212759.73万元[注2]本公司及全资子公司拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司（以下简称拓荆创益公司）为募集资金投资项目高端半导体设备产业化基地建设项目的实施主体。为规范公司募集资金管理和使用，保证募集资金投资计划的正常进行，本公司连同保荐机构招商证券股份有限公司于2024年4月17日与中信银行股份有限公司沈阳分行签订了《募集资金三方监管协议》，由本公司在中信银行股份有限公司沈阳南站支行开立账号为

8112901012500967954的募集资金专户；连同保荐机构招商证券股份有限公司及拓荆创益公

司于2024年4月17日与中信银行股份有限公司沈阳分行签订了《募集资金四方监管协议》，由拓荆创益公司在中信银行股份有限公司沈阳分行的下属支行中信银行股份有限公司沈阳南站支行开立账号为8112901011600967391的募集资金专户

[注3]本公司全资子公司拓荆科技（上海）有限公司（以下简称拓荆上海公司）为募集资金投资项目半导体先进工艺装备研发与产业化项目的实施主体。为规范公司募集资金管理和使用，保证募集资金投资计划的正常进行，本公司连同保荐机构招商证券股份有限公司及拓荆上海公司于2022年11月9日与中信银行股份有限公司上海分行签订了《募集资金四方监管协议》，由拓荆上海公司在中信银行股份有限公司上海分行的下属支行中信银行股份有限公司上海中信泰富广场支行开立账号为8110201012601533201的募集资金专户。半导体先进工艺装备研发与产业化项目已于2025年8月结项，因该项目存在尚未支付的工程验收

第4页共20页款和工程竣工结算款等款项，因此该募集资金专户暂未注销

[注4]因高端半导体设备扩产项目已于2023年7月完成建设并达到可使用状态，本公司和拓荆创益公司已于2023年8月23日注销中国建设银行股份有限公司沈阳浑南产业园支行的账号为21050139460100001108和21050139460100001359的募集资金专户；因先进半导

体设备的技术研发与改进项目已于2024年4月完成建设并达到可使用状态，拓荆创益公司已于2024年7月1日注销中信银行股份有限公司沈阳南站支行的账号为

8112901012100914131 的募集资金专户；因 ALD 设备研发与产业化项目已于 2024 年 4 月完

成建设并达到可使用状态，拓荆上海公司已于2024年7月31日注销中信银行股份有限公司上海中信泰富广场支行的账号为8110201012401451243的募集资金专户

二、前次募集资金使用情况前次募集资金使用情况详见本报告附件1。

三、前次募集资金变更情况

本公司基于整体战略布局及经营发展的需要，为加快产能规划及产业布局，拟投资建设高端半导体设备产业化基地建设项目，该项目由公司及拓荆创益公司共同实施。原项目先进半导体设备的技术研发与改进项目因 PECVD 设备工艺研发拓展、验证进展顺利，已逐步进入成熟规模量产状态，所需支出大幅降低，导致项目所需募集资金投资额降低，因此公司拟将其募集资金承诺投资总额由39948.34万元调整为19948.34万元；原项目半导体先进工艺

装备研发与产业化项目因 ALD 设备研发、验证进展顺利，所需支出有所降低，公司拟将其投资总额由93000.00万元调整为88000.00万元。2024年3月1日，本公司第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议分别审议并通过了《关于投资建设“高端半导体设备产业化基地建设项目”并变更部分募集资金用途投入该项目的议案》，同意投资建设高端半导体设备产业化基地建设项目，调减先进半导体设备的技术研发与改进项目募集资金承诺投资总额20000.00万元，同时调减半导体先进工艺装备研发与产业化项目的募集资金承诺投资总额5000.00万元，并将上述调减的募集资金合计25000.00万元投入高端半导体设备产业化基地建设项目；2024年3月2日，公司在上海证券交易所网站发布公告《关于投资建设新项目并变更部分募集资金用途投入新项目的公告》（公告编号：2024-014）。2024年3月18日，本公司召开2024年第二次临时股东大会审议并通过了上述事项。此次变更项目的资金占首次公开发行股票实际募集资金净额的11.75%。

第5页共20页2024年8月26日，本公司第二届董事会第七次会议及第二届监事会第七次会议分别审

议并通过了《关于公司使用超募资金用于在建项目的议案》，同意公司将首次公开发行股票部分超募资金1826.60万元（含未指定用途的超募资金0.08万元、超募资金指定用途前进行现金管理的理财收入及利息收入1826.52万元）用于高端半导体设备产业化基地建设项目。本次调整后，高端半导体设备产业化基地建设项目募集资金承诺投资总额为26826.60万元。2024年8月28日，公司在上海证券交易所网站发布公告《关于使用超募资金用于在建项目的公告》（公告编号：2024-048）。

四、前次募集资金项目的实际投资总额与承诺的差异内容和原因说明

截至2025年9月30日，前次募集资金项目的实际投资总额与承诺的差异内容和原因说明如下：

金额单位：人民币万元募集资金承诺变更后募集资金实际投入募项目名称差异金额差异原因投资总额承诺投资总额集资金总额

高端半导体设备扩产项目7986.467986.464591.093395.37[注1]先进半导体设备的技术研

39948.3419948.3418301.811646.53[注2]

发与改进项目[注5]

ALD 设备研发与产业化项目 27094.85 27094.85 24949.94 2144.91 [注 3]半导体先进工艺装备研发

93000.0088000.0072230.8415769.16[注4]

与产业化项目[注5]

补充流动资金25000.0025000.0025000.00高端半导体设备产业化基

26826.608677.3818149.22项目尚未结项

地建设项目[注5]

合计193029.65194856.25153751.0641105.19

[注1]高端半导体设备扩产项目于2023年7月结项，在该项目实施过程中，公司收到政府补助并用于支付该项目支出，减少了部分募集资金的投入；截至结项时，该项目存在尚待支付尾款、质保金等款项，相关应付尾款及其它后续支出将使用公司或拓荆创益公司的自有资金支付；同时，公司在保证项目建设质量的前提下，本着合理、节约、有效的资金使用原则，加强费用的控制、监督和管理，合理地降低了部分资金的支出[注2]先进半导体设备的技术研发与改进项目于2024年4月结项，在该项目实施过程中，PECVD 设备工艺研发拓展、验证进展顺利，已逐步进入成熟规模量产状态，所需支出大幅降低，致项目所需募集资金投资额降低第 6 页共 20 页[注 3] ALD 设备研发与产业化项目于 2024 年 4 月结项，在该项目实施过程中，房产购置支出较预计投入金额减少，且公司追求合理、节约、有效的资金使用原则，加强项目建设各个环节费用的控制、监督和管理，合理地降低了项目投资成本和费用[注4]半导体先进工艺装备研发与产业化项目于2025年8月结项，实际投入募集资金总额包含结项后投入2863.73万元。截至2025年9月30日，该项目尚未支付工程验收款和工程竣工结算款等款项共计10426.12万元，上述款项将于工程验收完成和竣工结算完成后使用募集资金专户内的节余募集资金支付。该项目产生资金节余，主要由于公司在项目管理过程中，追求节约、有效的资金使用原则，加强项目建设费用的控制，合理地降低了项目投资

[注5]先进半导体设备的技术研发与改进项目、半导体先进工艺装备研发与产业化项

目及高端半导体设备产业化基地建设项目变更情况详见“三、前次募集资金变更情况”之说明

五、前次募集资金投资项目对外转让或置换情况说明

截至2025年9月30日，本公司不存在前次募集资金投资项目对外转让或置换的情况。

六、前次募集资金投资项目实现效益情况说明

(一)前次募集资金投资项目实现效益情况对照表

前次募集资金投资项目实现效益情况详见本报告附件2。对照表中实现效益的计算口径、计算方法与承诺效益的计算口径、计算方法一致。

(二)前次募集资金投资项目无法单独核算效益的情况说明

1.高端半导体设备扩产项目

公司募集资金项目中高端半导体设备扩产项目无法单独核算效益。该项目主要通过在原有的半导体薄膜设备研发和生产基地基础上进行二期洁净厂房及生产自动化管理系统建设，在产能、装配产线以及测试方面推动公司长远可持续发展。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

2.先进半导体设备的技术研发与改进项目

公司募集资金项目中先进半导体设备的技术研发与改进项目无法单独核算效益。该项目主要通过在原有产品和技术的基础上，进行技术改进与研发，进一步提升产品技术水平和拓展产品应用领域，推动公司业务规模的持续增长。因此该项目的效益反映在公司的整体经济

第7页共20页效益中，无法单独核算。

3. ALD 设备研发与产业化项目

公司募集资金项目中 ALD 设备研发与产业化项目无法单独核算效益。该项目主要通过在拓荆上海公司实施 ALD 产品研发及产业化基地建设，进一步开拓市场，拓展产品应用领域，推动公司业务规模的持续增长。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

4.半导体先进工艺装备研发与产业化项目

公司募集资金项目中半导体先进工艺装备研发与产业化项目无法单独核算效益。该项目主要通过建设新的研发及产业化基地，在拓荆上海公司实施的先进薄膜沉积设备及工艺的研发与产业化，从而提升品牌知名度，提高公司竞争力。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

5.补充流动资金项目

公司募集资金项目中补充流动资金项目无法单独核算效益。本次补充流动资金将为实现公司业务发展目标提供有力的资金保障。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

6.高端半导体设备产业化基地建设项目

公司募集资金项目中高端半导体设备产业化基地建设项目无法单独核算效益。该项目主要通过在沈阳市浑南区购置土地建设新的产业化基地，进一步增加公司薄膜沉积设备产能，从而推动公司业务规模的持续增长，提升公司整体竞争力和盈利能力。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

(三)前次募集资金投资项目累计实现收益低于承诺20%（含20%）以上的情况说明

截至2025年9月30日，本公司未对募集资金的使用效益做出承诺，不涉及前次募集资金投资项目累计实现收益低于承诺20%（含20%）以上的情况。

七、前次募集资金中用于认购股份的资产运行情况说明

截至2025年9月30日，本公司前次募集资金不存在以资产认购股份的情况。

八、闲置募集资金的使用

2022年6月17日，本公司第一届董事会第十一次会议及第一届监事会第六次会议分别

审议并通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过160000

第8页共20页万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进行现金管理，使用期限自董事会审议通过

之日起12个月内有效，在前述额度及使用期限范围内，资金可以循环滚动使用。

2023年7月31日，本公司第一届董事会第二十六次会议及第一届监事会第十五次会议

分别审议并通过了《关于公司使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过100000.00万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起12个月内有效，在前述额度及使用期限范围内，资金可以循环滚动使用。

2024年7月19日，本公司第二届董事会第六次会议及第二届监事会第六次会议分别审

议并通过了《关于公司使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过

70000.00万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进行现金管理，使用期限自董事

会审议通过之日起12个月之内有效，在上述额度和期限范围内，资金可循环滚动使用。

本公司使用闲置募集资金进行现金管理的情况如下：

金额单位：人民币万元年化收益是否到期限受托方类型金额起止时间收益类型收益率（%）期（天）

中信银行股份有限公司结构性2022.6.29-保本浮动收

140000.003.30是30379.73

沈阳长白岛支行存款2022.7.29益型

中信银行股份有限公司结构性2022.8.2-保本浮动收

140000.002.88是30331.40

沈阳长白岛支行存款2022.9.1益型

中信银行股份有限公司结构性2022.9.3-保本浮动收

130000.003.15是37415.11

沈阳长白岛支行存款2022.10.10益型

中信银行股份有限公司结构性2024.6.22-保本浮动收

6000.002.55是2711.32

上海中信泰富广场支行存款2024.7.19益型

中信银行股份有限公司结构性2024.8.1-保本浮动收

25000.002.41是2947.87

沈阳长白岛支行存款2024.8.30益型

中信银行股份有限公司结构性2024.8.1-保本浮动收

13000.002.45是2824.43

上海中信泰富广场支行存款2024.8.29益型

中信银行股份有限公司结构性2024.8.1-保本浮动收

10000.002.41是2919.15

沈阳南站支行存款2024.8.30益型

中信银行股份有限公司结构性2024.9.1-保本浮动收

25000.002.40是2947.67

沈阳长白岛支行存款2024.9.30益型

中信银行股份有限公司结构性2024.9.1-保本浮动收

10000.002.40是2919.07

沈阳南站支行存款2024.9.30益型

中信银行股份有限公司结构性2024.9.4-保本浮动收

10000.002.03是2614.46

上海中信泰富广场支行存款2024.9.30益型

中信银行股份有限公司结构性2024.10.1-保本浮动收

20000.002.40是3039.45

沈阳长白岛支行存款2024.10.31益型

第9页共20页年化收益是否到期限受托方类型金额起止时间收益类型收益率（%）期（天）

中信银行股份有限公司结构性2024.10.1-保本浮动收

10000.002.39是3019.64

上海中信泰富广场支行存款2024.10.31益型

中信银行股份有限公司结构性2024.10.1-保本浮动收

10000.002.40是3019.73

沈阳南站支行存款2024.10.31益型

中信银行股份有限公司结构性2025.3.15-保本浮动收

14000.001.05是3012.08

沈阳南站支行存款2025.4.14益

中信银行股份有限公司结构性2025.4.12-保本浮动收

16000.002.20是3028.93

沈阳长白岛支行存款2025.5.12益

中信银行股份有限公司结构性2025.4.23-保本浮动收

14000.001.95是3022.44

沈阳南站支行存款2025.5.23益

中信银行股份有限公司结构性2025.5.14-保本浮动收

16000.001.80是3023.67

沈阳长白岛支行存款2025.6.13益

中信银行股份有限公司结构性2025.6.1-2保本浮动收

14000.001.69是2918.80

沈阳南站支行存款025.6.30益

九、前次募集资金结余及节余募集资金使用情况

截至2025年9月30日，本公司前次募集资金结余及节余情况如下：

金额单位：人民币万元项目序号金额

前次募集资金净额 A 212759.73

项目投入 B1 153751.06

截至期末累计利息收入净额 B2 7106.91

发生额完结项目剩余资金永久补充流动资金 B3 8855.72[注 1]

用于股份回购金额 B4 19727.29[注2]

实际结余募集资金 C=A-B1+B2-B3-B4 37532.57

未使用金额及占前次募集资金净额的比例（%） D=C/A 17.64

[注1]2023年7月31日，本公司第一届董事会第二十六次会议及第一届监事会第十五次会议分别审议并通过了《关于公司首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意高端半导体设备扩产项目结项并将节余募集资金3470.02万元永久补充流动资金用于日常经营活动；2024年4月28日，本公司第二届董事会第四次会议及第二届监事会第四次会议分别审议并通过了《关于公司首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意先进半导体设备的技术研发与改进项目及ALD设备研发与产业化项目结项并将节余募集资金2843.71万元及2541.99万元

第10页共20页5补充流动资金补充流动资金25000.0025000.0025000.0025000.0025000.0025000.00不适用高端半导体设备产

6业化基地建设项目26826.608677.3826826.608677.38-18149.222028年4月

[注2]

合计193029.65194856.25153751.06193029.65194856.25153751.06-41105.19

[注1]2024年公司使用募集资金总额67454.29万元，其中：47727.00万元用于募集资金投资项目，19727.29万元用于回购公司股份[注2]先进半导体设备的技术研发与改进项目、半导体先进工艺装备研发与产业化项目及高端半导体设备产业化基地建设项目变更情况详见

“三、前次募集资金变更情况”之说明，上述项目变更前后承诺投资金额的差额1826.60万元，系公司将首次公开发行股票部分超募资金用于高端半导体设备产业化基地建设项目[注3]2024年12月30日，本公司第二届董事会第十二次会议和第二届监事会第十一次会议分别审议并通过了《关于公司首次公开发行超募资金投资项目延期的议案》，同意公司半导体先进工艺装备研发与产业化项目实施期限由2024年12月延长至2025年6月，该项目实际于2025年

8月结项，截至本报告出具日，该项目存在尚未支付的工程验收款和工程竣工结算款等款项，待工程验收完成和竣工结算完成后支付

第 13 页共 20 页[注 3] ALD 设备研发与产业化项目主要通过实施 ALD 产品研发及产业化基地建设，进一步开拓市场，拓展产品应用领域，报告期各期，相关设备的销售收入分别为3258.67万元、8688.60万元、10318.31万元及17537.52万元

[注4]半导体先进工艺装备研发与产业化项目于2025年8月结项，其生产的相关设备尚未销售[注5]高端半导体设备产业化基地建设项目于2024年3月开始建设，尚处于建设期

第15页共20页本复印件仅供拓荆科技股份有限公司天健审〔2025〕16907号后附件之用，证明天健会计

师事务所（特殊普通合伙）合法经营，他用无效且不得擅自外传。

第16页共20页本复印件仅供拓荆科技股份有限公司天健审〔2025〕16907号后附件之用，证明天健会计师

事务所（特殊普通合伙）具有合法执业资质，他用无效且不得擅自外传。

第17页共20页从事证券服务业务会计师事务所备案名录（截至2025年10月21日）序号会计师事务所名称统一社会信用代码会计师事务所执业证书编号

1 安礼华粤（广东）会计师事务所（特殊普通合伙） 91440115MAC1EHGG5X 44010008

2 安永华明会计师事务所（特殊普通合伙） 91110000051421390A 11000243

3 北京澄宇会计师事务所（特殊普通合伙） 91110304MA020EEQ99 11000169

4 北京大地泰华会计师事务所（特殊普通合伙） 91510104MA6CX58B36 11010343