拓荆科技:前次募集资金使用情况的专项报告

证券代码：688072证券简称：拓荆科技公告编号：2025-077

拓荆科技股份有限公司

前次募集资金使用情况的专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

根据中国证券监督管理委员会《监管规则适用指引——发行类第7号》的规定，拓荆科技股份有限公司（以下简称“公司”）将公司截至2025年9月30日的前次募集资金使用情况专项报告如下。

一、前次募集资金的募集及存放情况

（一）前次募集资金的数额、资金到账时间根据中国证券监督管理委员会《关于同意拓荆科技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2022〕424号），公司由联席主承销商招商证券股份有限公司和国开证券股份有限公司采用向战略投资者定向配售（以下简称“战略配售”）、网下向符合条件的网下投资者询价配售（以下简称“网下发行”）

与网上向持有上海市场非限售 A股股份和非限售存托凭证市值的社会公众投资

者定价发行（以下简称“网上发行”）相结合的方式发行人民币普通股（A股）股

票31619800股，每股面值1元，发行价为每股人民币71.88元，共计募集资金

227283.12万元，坐扣承销和保荐费用11936.54万元后的募集资金为215346.58万元，已由联席主承销商招商证券股份有限公司于2022年4月14日汇入公司募集资金监管账户。另减除上网发行费、招股说明书印刷费、保荐费用、申报会计师费、律师费等与发行权益性证券直接相关的新增外部费用2586.85万元后，公司本次募集资金净额为212759.73万元。上述募集资金到位情况业经天健会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具《验资报告》（天健验〔2022〕139号）。

（二）前次募集资金在专项账户中的存放情况

截至2025年9月30日，公司前次募集资金在银行账户的存放情况如下：

1金额单位：人民币万元

初始存放金2025年9月开户银行银行账号备注额（注1）30日余额中信银行股份有限公司沈

8112901012700838048215346.5816804.28活期

阳长白岛支行中信银行股份有限公司沈

811290101160096739114046.15活期[注2]

阳南站支行中信银行股份有限公司沈

81129010125009679544408.63活期[注2]

阳南站支行中信银行股份有限公司上

81102010126015332012273.51活期[注3]

海中信泰富广场支行中国建设银行股份有限公

21050139460100001108[注4]

司沈阳浑南产业园支行中国建设银行股份有限公

21050139460100001359[注4]

司沈阳浑南产业园支行中信银行股份有限公司沈

8112901012100914131[注4]

阳南站支行中信银行股份有限公司上

8110201012401451243[注4]

海中信泰富广场支行

合计215346.5837532.57

注1：初始存放金额与前次发行募集资金净额差异为2586.85万元，系另减除上网发行费、招股说明书印刷费、保荐费用、申报会计师费、律师费等与发行权益性证券直接相关的新增外部费用。

注2：本公司及全资子公司拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司（以下简称拓荆创益公司）为募集资金投资项目高端半导体设备产业化基地建设项目的实施主体。为规范公司募集资金管理和使用，保证募集资金投资计划的正常进行，本公司连同保荐机构招商证券股份有限公司于2024年4月17日与中信银行股份有限公司沈阳分行签订了《募集资金三方监管协议》，由本公司在中信银行股份有限公司沈阳南站支行开立账号为8112901012500967954的募集资金专户；连同保荐机构招商证券股份有限公司及拓荆创益公司于2024年4月17日与中信银行股份有限公司沈阳分行签订了《募集资金四方监管协议》，由拓荆创益公司在中信银行股份有限公司沈阳分行的下属支行中信银行股份有限公司沈阳南站支行开立账号为8112901011600967391的募集资金专户。

注3：本公司全资子公司拓荆科技（上海）有限公司（以下简称拓荆上海公司）为募集资金投资项目半导体先进工艺装备研发与产业化项目的实施主体。为规范公司募集资金管理和使用，保证募集资金投资计划的正常进行，本公司连同保荐机构招商证券股份有限公司及2拓荆上海公司于2022年11月9日与中信银行股份有限公司上海分行签订了《募集资金四方监管协议》，由拓荆上海公司在中信银行股份有限公司上海分行的下属支行中信银行股份有限公司上海中信泰富广场支行开立账号为8110201012601533201的募集资金专户。半导体先进工艺装备研发与产业化项目已于2025年6月完成建设并达到可使用状态，但因该项目存在尚未支付工程验收款和工程竣工结算款等款项，将在工程验收完成和竣工结算完成后使用该募集资金专户内的节余募集资金支付，因此该募集资金专户暂未注销。

注4：因高端半导体设备扩产项目已于2023年7月完成建设并达到可使用状态，本公司和拓荆创益公司已于2023年8月23日注销中国建设银行股份有限公司沈阳浑南产业园支行的账号为21050139460100001108和21050139460100001359的募集资金专户；因先进半导

体设备的技术研发与改进项目已于2024年4月完成建设并达到可使用状态，拓荆创益公司已于2024年7月1日注销中信银行股份有限公司沈阳南站支行的账号为

8112901012100914131的募集资金专户；因 ALD 设备研发与产业化项目已于 2024 年 4月完

成建设并达到可使用状态，拓荆上海公司已于2024年7月31日注销中信银行股份有限公司上海中信泰富广场支行的账号为8110201012401451243的募集资金专户。

二、前次募集资金使用情况前次募集资金使用情况详见本报告附件1。

三、前次募集资金变更情况

2024年3月1日，公司召开第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于投资建设“高端半导体设备产业化基地建设项目”并变更部分募集资金用途投入该项目的议案》，同意投资建设“高端半导体设备产业化基地建设项目”，调减首次公开发行募投项目“先进半导体设备的技术研发与改进项目”募集资金承诺投资总额20000.00万元，同时调减超募资金投资项目“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”的募集资金承诺投资总额5000.00万元，并将上述调减的募集资金合计25000.00万元投入“高端半导体设备产业化基地建设项目”。此次变更项目的资金占首次公开发行股票实际募集资金总额的

11.75%。具体内容详见公司于2024年3月2日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于投资建设新项目并变更部分募集资金用途投入新项目的公告》（公告编号：2024-014）。2024年3月18日，公司召开2024年第二

3次临时股东大会审议并通过了上述事项。

2024年8月26日，公司第二届董事会第七次会议及第二届监事会第七次会

议分别审议并通过了《关于公司使用超募资金用于在建项目的议案》，同意公司将首次公开发行股票部分超募资金1826.60万元（含未指定用途的超募资金0.08万元、超募资金指定用途前进行现金管理的理财收入及利息收入1826.52万元）

用于“高端半导体设备产业化基地建设项目”。本次调整后，“高端半导体设备产业化基地建设项目”募集资金承诺投资总额为26826.60万元。2024年8月28日，公司在上海证券交易所网站发布公告《关于使用超募资金用于在建项目的公告》（公告编号：2024-048）。

四、前次募集资金项目的实际投资总额与承诺的差异内容和原因说明

截至2025年9月30日，前次募集资金项目的实际投资总额与承诺的差异内容和原因说明如下：

金额单位：人民币万元变更后募集资实际投入募集资金承项目名称金承诺投资总募集资金差异金额差异原因诺投资总额额总额高端半导体设备扩产项

7986.467986.464591.093395.37（注1）

目先进半导体设备的技术

39948.3419948.3418301.811646.53（注2）

研发与改进项目（注5）

ALD 设备研发与产业化

27094.8527094.8524949.942144.91（注3）

项目半导体先进工艺装备研

93000.0088000.0072230.8415769.16（注4）

发与产业化项目（注5）

补充流动资金25000.0025000.0025000.00高端半导体设备产业化项目尚未

26826.608677.3818149.22

基地建设项目（注5）结项

合计193029.65194856.25153751.0641105.19

注1：“高端半导体设备扩产项目”于2023年7月结项，在该项目实施过程中，公司收到政府补助并用于支付该项目部分支出，减少了部分募集资金的投入；同时，公司在保证项目建设质量的前提下，本着合理、节约、有效的资金使用原则，加强费用的控制、监督和管理，合理地降低了部分资金的支出。

4注2：“先进半导体设备的技术研发与改进项目”于2024年4月结项，在该项目实施过程中，PECVD 设备工艺研发拓展、验证进展顺利，已逐步进入成熟规模量产状态，所需支出大幅降低，致项目所需募集资金投资额降低。

注 3：“ALD设备研发与产业化项目”于 2024 年 4月结项，在该项目实施过程中，房产购置支出较预计投入金额减少，且公司追求合理、节约、有效的资金使用原则，加强项目建设各个环节费用的控制、监督和管理，合理地降低了项目投资成本和费用。

注4：“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”于2025年8月结项，实际投入募集资金总额包含结项后投入2863.73万元，截至2025年9月30日，该项目存在尚未支付工程验收款和工程竣工结算款等款项10426.12万元，将在工程验收完成和竣工结算完成后使用募集资金专户内的节余募集资金支付。该项目产生资金节余，主要由于公司在项目管理过程中，追求节约、有效的资金使用原则，加强项目建设费用的控制，合理地降低了项目投资。

注5：先进半导体设备的技术研发与改进项目、半导体先进工艺装备研发与产业化项目

及高端半导体设备产业化基地建设项目变更情况详见“三、前次募集资金变更情况”之说明。

五、前次募集资金投资项目对外转让或置换情况说明

截至2025年9月30日，公司不存在前次募集资金投资项目对外转让或置换的情况。

六、前次募集资金投资项目实现效益情况说明

（一）前次募集资金投资项目实现效益情况对照表前次募集资金投资项目实现效益情况详见本报告附件2。对照表中实现效益的计算口径、计算方法与承诺效益的计算口径、计算方法一致。

（二）前次募集资金投资项目无法单独核算效益的情况说明

1.高端半导体设备扩产项目

公司募集资金投资项目中“高端半导体设备扩产项目”无法单独核算效益。该项目主要通过在原有的半导体薄膜设备研发和生产基地基础上进行二期洁净厂

房及生产自动化管理系统建设，在产能、装配产线以及测试方面推动公司长远可持续发展。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

52.先进半导体设备的技术研发与改进项目

公司募集资金投资项目中“先进半导体设备的技术研发与改进项目”无法单独核算效益。该项目主要通过在原有产品和技术的基础上，进行技术改进与研发，进一步提升产品技术水平和拓展产品应用领域，推动公司业务规模的持续增长。

因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

3. ALD设备研发与产业化项目

公司募集资金投资项目中“ALD设备研发与产业化项目”无法单独核算效益。

该项目主要通过在拓荆上海实施 ALD产品研发及产业化基地建设，进一步开拓市场，拓展产品应用领域，推动公司业务规模的持续增长。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

4.半导体先进工艺装备研发与产业化项目

公司募集资金投资项目中“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”无法单独核算效益。该项目主要通过建设新的研发及产业化基地，在拓荆上海实施的先进薄膜沉积设备及工艺的研发与产业化，从而提升品牌知名度，提高公司竞争力。

因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

5.补充流动资金项目

公司募集资金投资项目中“补充流动资金”项目无法单独核算效益。本次补充流动资金将为实现公司业务发展目标提供有力的资金保障。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

6.高端半导体设备产业化基地建设项目

公司超募资金投资项目“高端半导体设备产业化基地建设项目”无法单独核算效益。该项目主要通过在沈阳市浑南区购置土地建设新的产业化基地，进一步增加公司薄膜沉积设备产能，从而推动公司业务规模的持续增长，提升公司整体竞争力和盈利能力。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

（三）前次募集资金投资项目累计实现收益低于承诺20%（含20%）以上

6的情况说明

截至2025年9月30日，公司未对募集资金的使用效益做出承诺，不涉及前次募集资金投资项目累计实现收益低于承诺20%（含20%）以上的情况。

七、前次募集资金中用于认购股份的资产运行情况说明

截至2025年9月30日，公司前次募集资金不存在以资产认购股份的情况。

八、闲置募集资金的使用

2022年6月17日，公司第一届董事会第十一次会议及第一届监事会第六次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过160000万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起12个月内有效，在前述额度及使用期限范围内，资金可以循环滚动使用。

2023年7月31日，公司第一届董事会第二十六次会议及第一届监事会第十

五次会议，审议通过了《关于公司使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过100000.00万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进

行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起12个月内有效，在前述额度及使用期限范围内，资金可以循环滚动使用。

2024年7月19日，公司第二届董事会第六次会议及第二届监事会第六次会议，审议通过了《关于公司使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过70000.00万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起12个月之内有效，在上述额度和期限范围内，资金可循环滚动使用。

公司使用闲置募集资金进行现金管理的情况如下：

金额单位：人民币万元年化收期限收益类是否到受托方类型金额起止时间益率（天收益型期（%））

中信银行股份结构性2022.6.29-保本浮

140000.003.30是30379.73

有限公司沈阳存款2022.7.29动收益

7年化收期限

收益类是否到受托方类型金额起止时间益率（天收益型期（%））长白岛支行型中信银行股份保本浮

结构性2022.8.2-

有限公司沈阳140000.00动收益2.88是30331.40

存款2022.9.1长白岛支行型中信银行股份保本浮

结构性2022.9.3-

有限公司沈阳130000.00动收益3.15是37415.11

存款2022.10.10长白岛支行型中信银行股份保本浮

有限公司上海结构性2024.6.22-2

6000.00动收益2.55是2711.32

中信泰富广场存款024.7.19型支行中信银行股份保本浮

结构性2024.8.1-

有限公司沈阳25000.00动收益2.41是2947.87

存款2024.8.30长白岛支行型中信银行股份保本浮

有限公司上海结构性2024.8.1-

13000.00动收益2.45是2824.43

中信泰富广场存款2024.8.29型支行中信银行股份保本浮

结构性2024.8.1-

有限公司沈阳10000.00动收益2.41是2919.15

存款2024.8.30南站支行型中信银行股份保本浮

结构性2024.9.1-

有限公司沈阳25000.00动收益2.40是2947.67

存款2024.9.30长白岛支行型中信银行股份保本浮

结构性2024.9.1-

有限公司沈阳10000.00动收益2.40是2919.07

存款2024.9.30南站支行型中信银行股份保本浮

有限公司上海结构性2024.9.4-

10000.00动收益2.03是2614.46

中信泰富广场存款2024.9.30型支行中信银行股份保本浮

结构性2024.10.1-2

有限公司沈阳20000.00动收益2.40是3039.45

存款024.10.31长白岛支行型中信银行股份保本浮

有限公司上海结构性2024.10.1-2

10000.00动收益2.39是3019.64

中信泰富广场存款024.10.31型支行

中信银行股份结构性2024.10.1-2保本浮

10000.002.40是3019.73

有限公司沈阳存款024.10.31动收益

8年化收期限

收益类是否到受托方类型金额起止时间益率（天收益型期（%））南站支行型中信银行股份

结构性22025.3.15-保本浮

有限公司沈阳14000.001.05是3012.08

存款2025.4.14动收益南站支行中信银行股份

结构性2025.4.12-2保本浮

有限公司沈阳16000.002.20是3028.93

存款025.5.12动收益长白岛支行中信银行股份

结构性2025.4.23-2保本浮

有限公司沈阳14000.001.95是3022.44

存款025.5.23动收益南站支行中信银行股份

结构性2025.5.14-2保本浮

有限公司沈阳16000.001.80是3023.67

存款025.6.13动收益长白岛支行中信银行股份

结构性2025.6.1-20保本浮

有限公司沈阳14000.001.69是2918.80

存款25.6.30动收益南站支行

九、前次募集资金结余及节余募集资金使用情况

截至2025年9月30日，公司前次募集资金结余及节余情况如下：

金额单位：人民币万元项目序号金额

前次募集资金净额 A 212759.73

项目投入 B1 153751.06

利息收入净额 B2 7106.91截至期末累计

发生额完结项目剩余资金永久补充流动资金 B3 8855.72（注 1）

用于股份回购金额 B4 19727.29（注 2）

C=A-B1+B2-B

实际结余募集资金37532.57

3-B4

未使用金额及占前次募集资金净额的比例（%） D=C/A 17.64

注1：2023年7月31日，公司第一届董事会第二十六次会议及第一届监事会第十五次会议分别审议并通过了《关于公司首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意“高端半导体设备扩产项目”结项并将节余募集资金永久补充流动资金用于日常经营活动；2024年4月28日，公司第二届董事会第四次会议及第二届监9事会第四次会议分别审议并通过了《关于公司首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意“先进半导体设备的技术研发与改进项目”及“ALD设备研发与产业化项目”结项并将节余募集资永久补充流动资金用于日常经营活动。2025年

8月25日，本公司第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第十六次会议分别审议并通过了《关于公司超募资金投资项目结项并将节余募集资金和剩余首发超募资金永久补充流动资金的议案》，同意半导体先进工艺装备研发与产业化项目结项并将节余募集资金用于永久补充流动资金，2025年9月29日，本公司召开2025年第三次临时股东大会审议并通过了该事项；截至2025年9月30日，该项目节余募集资金仍存放于原募集资金专户，待项目工程验收款和工程竣工结算款等款项支付完毕后，公司将募集资金专户内的剩余募集资金永久补充流动资金用于公司日常生产经营。

注2：2024年3月1日，公司第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议分别审议并通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》，同意公司使用首次公开发行人民币普通股取得的部分超募资金以集中竞价交易方式回购公司股份，回购资金总额不低于12000.00万元（含），不超过19730.00万元（含）；2024年3月18日，公司召开

2024年第二次临时股东大会审议并通过了上述事项。截至2024年9月30日，上述股份回

购计划已实施完毕，公司合计使用超募资金19727.29万元用于回购股份。

由于公司“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”和“高端半导体设备产业化基地建设项目”尚未结项，本公司尚未使用前次募集资金结余37532.57万元，占前次募集资金净额的

17.64%，尚未使用资金将根据项目的结算进度或实施进度陆续投入。

附件1：前次募集资金使用情况对照表

附件2：前次募集资金投资项目实现效益情况对照表拓荆科技股份有限公司董事会

2025年11月28日

10附件1

前次募集资金使用情况对照表截至2025年9月30日

编制单位：拓荆科技股份有限公司金额单位：人民币万元

募集资金净额：212759.73已累计使用募集资金总额：173478.35

各年度使用募集资金总额：

2022年：49692.38

变更用途的募集资金总额：25000.002023年：42676.38

变更用途的募集资金总额比例：11.75%2024年：67454.29（注1）

2025年1-9月：13655.30

投资项目募集资金投资总额截止日募集资金累计投资额项目达到预实际投资金定可使用状序募集前承诺募集后承诺实际投资金募集前承诺募集后承诺实际投资金额与募集后态日期（或截承诺投资项目实际投资项目号投资金额投资金额额投资金额投资金额额承诺投资金止日项目完额的差额工程度）高端半导体设高端半导体设备

17986.467986.464591.097986.467986.464591.09-3395.372023年7月

备扩产项目扩产项目

11先进半导体设先进半导体设备

2备的技术研发的技术研发与改39948.3419948.3418301.8139948.3419948.3418301.81-1646.532024年4月

与改进项目进项目（注2）

ALD 设备研发 ALD 设备研发与

327094.8527094.8524949.9427094.8527094.8524949.94-2144.912024年4月

与产业化项目产业化项目半导体先进工半导体先进工艺

2025年6月

4艺装备研发与装备研发与产业93000.0088000.0072230.8493000.0088000.0072230.84-15769.16（注3）

产业化项目化项目（注2）

5补充流动资金补充流动资金25000.0025000.0025000.0025000.0025000.0025000.00-不适用

高端半导体设备

6产业化基地建设26826.608677.3826826.608677.38-18149.222028年4月项目（注2）

合计193029.65194856.25153751.06193029.65194856.25153751.06-41105.19

注1：2024年公司使用募集资金总额67454.29万元，其中：47727.00万元用于募集资金投资项目，19727.29万元用于回购公司股份。

注2：“先进半导体设备的技术研发与改进项目”、“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”及“高端半导体设备产业化基地建设项目”变更情况详见“三、前次募集资金变更情况”之说明。

注3：2024年12月30日，公司第二届董事会第十二次会议和第二届监事会第十一次会议分别审议并通过了《关于公司首次公开发行超募资金投资项目延期的议案》，同意公司“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”实施期限由2024年12月延长至2025年6月，该项目实际于2025年8月结项。

12附件2

前次募集资金投资项目实现效益情况对照表截至2025年9月30日

编制单位：拓荆科技股份有限公司金额单位：人民币万元实际投资项目截止日投资项最近三年实际效益截止日是否达到序目累计产能利承诺效益

项目名称2022年2023年2024年2025年1-9月累计实现效益预计效益号用率高端半导体设备扩产

1不适用未做承诺不适用不适用不适用不适用不适用不适用项目（注1）先进半导体设备的技

2术研发与改进项目不适用未做承诺不适用不适用不适用不适用不适用不适用（注2）

ALD设备研发与产业

3不适用未做承诺不适用不适用不适用不适用不适用不适用

化项目（注3）半导体先进工艺装备

4研发与产业化项目不适用未做承诺不适用不适用不适用不适用不适用不适用（注4）

5补充流动资金不适用未做承诺不适用不适用不适用不适用不适用不适用

高端半导体设备产业6化基地建设项目（注不适用未做承诺不适用不适用不适用不适用不适用不适用

5）

13注：本公司未对前次募集资金的使用效益做出承诺，且前次募集资金投资项目无法单独核算效益。

注1：高端半导体设备扩产项目主要通过在原有的半导体薄膜设备研发和生产基地基础上进行二期洁净厂房及生产自动化管理系统建设，报告期各期，相关设备的销售收入分别为156322.62万元、232078.76万元、293342.85万元及335871.29万元。

注2：先进半导体设备的技术研发与改进项目主要通过在原有产品和技术的基础上，进行技术改进与研发，进一步提升产品技术水平和拓展产品应用领域，报告期各期，相关设备的销售收入分别为15113.74万元、28804.31万元、57076.34万元及67009.23万元。

注 3：ALD 设备研发与产业化项目主要通过实施 ALD产品研发及产业化基地建设，进一步开拓市场，拓展产品应用领域，报告期各期，相关设备的销售收入分别为3258.67万元、8688.60万元、10318.31万元及17537.52万元。