盛美上海预计2026 年营收中值85.00 亿元，YoY+25%，保持较快增长。公司清洗设备市场影响力持续扩大，其他半导体设备营收亦有望保持快速增长。维持增持评级。

支撑评级的要点

2026 年营收预计将维持较快增长。盛美上海2025 年营收67.86 亿元，YoY+21%；毛利率48.3%，YoY-0.5pct；归母净利润13.96 亿元，YoY+21%。盛美上海2025Q4营收16.40 亿元，QoQ-13%，同比持平；毛利率44.5%，QoQ-3.0pcts，YoY-5.3pcts；归母净利润1.30 亿元，QoQ-77%，YoY-67%。公司根据业务发展趋势和订单等多方面情况，预计2026 年营收82.00~88.00 亿元，中值85.00 亿元，YoY+25%。

清洗设备市场影响力持续扩大。根据Gartner 数据，2025 年盛美上海清洗设备国际市占率约8.0%，位列全球第四。公司兆声波单片清洗设备在国内市占率较高，单片槽式组合清洗设备国内市场install base 达到13 台。公司高温SPM 设备可以实现15nm 颗粒数量小于20 颗，Tahoe 设备可以减少高达75%的硫酸消耗量，且在26nm 颗粒测试中实现平均颗粒数个位数的标准。我们预计高温SPM 设备和Tahoe 设备将成为盛美上海清洗设备业务的重要增长点。

其他半导体设备营收有望保持快速增长。2025 年公司其他半导体设备（电镀、立式炉管、无应力抛铜等设备）业务营收16.61 亿元，YoY+46%。公司炉管产品已经进入多个中国集成电路晶圆厂，通过验证并大量量产，其中等离子体增强原子层沉积炉管也通过初步验证，为后续奠定基础。公司首台高产能KrF 工艺前道涂胶显影设备已于2025 年9 月顺利交付中国头部逻辑晶圆厂。随着相关设备的验证和交付节奏的推进，我们预计公司的电镀设备、立式炉管设备、涂胶显影设备、先进封装设备等有望迎来快速增长。根据Gartner 数据，2025 年盛美上海电镀设备国际市占率约8.2%，位列全球第三。

估值

考虑到盛美上海2025 年研发费用支出较高，我们小幅上调对公司2026 年研发费用的预估，并预计该部分研发费用在未来会转化为新产品贡献新的营收增长动力。同步地，我们将公司2026/2027 年EPS 预估小幅调整至3.62/4.44 元，并预计2028 年EPS 为5.32 元。截至2026 年2 月27 日收盘，盛美上海总市值约827 亿元，对应2026/2027/2028 年PE 分别为47.6/38.8/32.4 倍。维持增持评级。

评级面临的主要风险

下游需求不及预期。市场竞争格局恶化。技术研发和验证进度不及预期。