盛美半导体设备（上海）股份有限公司

2026年限制性股票激励计划激励对象名单

（截至授予日）

一、限制性股票激励计划分配情况表

本激励计划授予的限制性股票在各激励对象间的分配情况如下表所示：

获授限制性占本次授予限占本次授予时姓名国籍职务股票数量制性股票总数股本总额比例（万股）比例

一、董事、高级管理人员、核心技术人员（2人）

副总经理、核心技

王俊中国1.87600.9238%0.0039%术人员

杨霞云中国职工代表董事1.25000.6155%0.0026%

二、董事会认为需要激励的其他人员（506人）

核心管理（业务）骨干、中层管理（业务）人员、

199.956098.4607%0.4143%

优秀基层技术（业务）员工

合计203.0820100.0000%0.4208%

二、相关说明

1、上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的公司

股票数量累计均未超过公司股本总额的1%。公司全部在有效期内的股权激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东会时公司股本总额的

20%。

2、本激励计划的激励对象不包括公司独立董事，也不包括单独或合计持有

公司5%以上股份的股东、公司实际控制人及其配偶、父母、子女。

3、上表中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于

四舍五入所造成。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年8月6日