关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司非经营性资金占用及其他关联资金往来情况的专项报告

信会师报字［2026]第ZI10021号

关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司非经营性资金占用及其他关联资金往来情况的专项报告

信会师报字［2026]第ZI10021号

盛美半导体设备（上海）股份有限公司全体股东:

我们审计了盛美半导体设备（上海)股份有限公司（以下简称“贵公司”）2025年度的财务报表，包括 2025年12月31日的合并及母公司资产负债表、2025年度合并及母公司利润表、合并及母公司现金流量表、合并及母公司所有者权益变动表和相关财务报表附注，并于2026年2月26日出具了报告号为信会师报字[2026]第 ZI10018号的无保留意见审计报告。

贵公司管理层根据中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第8号- 一上市公司资金往来、对外担保的监管要求》（证监会公告（2022）26号）和上海证券交易所《科创板上市公司自律监管指南第7号- -年度报告相关事项》的相关规定编制了后附的2025 年度非经营性资金占用及其他关联资金往来情况汇总表（以下简称“汇总表”)。

编制汇总表并确保其真实、准确、完整是贵公司管理层的责任。我们将汇总表所载信息与我们审计贵公司 2025 年度财务报表时所审核的会计资料及已审计财务报表中披露的相关内容进行了核对，没有发现在重大方面存在不一致的情况。

为了更好地理解贵公司 2025 年度非经营性资金占用及其他关联资金往来情况，汇总表应当与已审计财务报表一并阅读。

本报告仅供贵公司为披露 2025 年年度报告的目的使用，不得用作任何其他目的。

立信会计师事务事务特普通合伙)

中国注册会计师:

中国·上海

2026年2月26日

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