国泰海通证券股份有限公司

关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司

首次公开发行前股票期权行权限售股上市流通的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”或“公司”）向

特定对象发行股票的持续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管

指引第1号——规范运作》等法律法规的相关规定，对盛美上海关于首次公开发

行前股票期权行权限售股上市流通的事项进行了核查，核查情况及核查意见如下:一、本次上市流通的限售股类型2021年8月17日，中国证券监督管理委员会出具《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号），同意公司首次公开发行股票的注册申请。公司首次公开发行人民币普通股

43355753股，并于2021年11月18日在上海证券交易所科创板上市。发行完

成后总股本为433557100股，其中有限售条件流通股400079560股，无限售条件流通股33477540股。

本次上市流通的限售股为公司首次公开发行前制定，并于上市后实施的

2019年股票期权激励计划第一个行权期第一次行权（以下简称“本次期权行权”）限售股，锁定期为自行权日起三年，本次上市流通的限售股数量为2150309股（本次期权行权后公司总股本增至435707409股），涉及股东数量为72名，占截至本核查报告出具日公司总股本的0.45%。现锁定期即将届满，该部分限售股将于2026年9月7日上市流通（2026年9月6日为非交易日，上市流通日期顺延至下一交易日）。

二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况

（一）股票期权激励计划行权1由于公司实施《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2019年股票期权激励计划》（以下简称“2019年股票期权激励计划”），公司股本在本次期权行权后合计新增股份3033344股，具体情况如下：

序号股份变动时间股份变动事项股份变动数量（股）公告索引2019《关于2019年股票年股票期权期权激励计划第一激励计划第一个

12024614446154个行权期第二次行年月日行权期第二次行

权结果暨股份变动权的新增股份完的公告》（公告编号：成登记2024-027）2019《关于2019年股票年股票期权期权激励计划第二激励计划第二个

22024年11月25日行权期第一次行2150269个行权期第一次行

权结果暨股份变动权的新增股份完的公告》（公告编号：成登记2024-077）2019《关于2019年股票年股票期权期权激励计划第二激励计划第二个

32024年12月2日行权期第二次行436921个行权期第二次行

权结果暨股份变动权的新增股份完的公告》（公告编号：成登记2024-078）

合计3033344-

（二）限制性股票激励计划归属由于公司实施《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2023年限制性股票激励计划》（以下简称“2023年限制性股票激励计划”），公司股本因2023年限制性股票激励计划归属合计新增股份5254610股，具体情况如下：

序号股份变动时间股份变动事项股份变动数量（股）公告索引2023《关于2023年限制年限制性股性股票激励计划首票激励计划首次

120253192550435次授予部分第一个年月日授予部分第一个

归属期归属结果暨归属期的新增股股票上市公告》（公份完成登记告编号：2025-019）2023《关于2023年限制年限制性股性股票激励计划预票激励计划预留留授予部分第一个

22025117授予部分第一个年月日272275归属期第一批次归

归属期第一批次属结果暨股票上市的新增股份完成公告》（公告编号：登记2025-080）2《关于2023年限制

2023年限制性股性股票激励计划首

票激励计划首次次授予部分第二个

授予部分第二个归属期、预留授予

32026年4月30日归属期、预留授予2431900部分第一个归属期

部分第一个归属第二批次归属结果

期第二批次的新暨股票上市公告》增股份完成登记（公告编号：2026-

019）

合计5254610-

（三）公司 2024 年度向特定对象发行 A 股股票2025年6月25日，中国证券监督管理委员会出具《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2025]1338号），同意公司向特定对象发行股票的注册申请。公司向特定对象发行股票

38601326股，并于2025年9月26日在中国证券登记结算有限责任公司上海分

公司办理完成登记、托管及限售手续。具体情况详见公司于2025年9月30日在上海证券交易所网站披露的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2024年度向特定对象发行 A 股股票上市公告书》和《关于 2024 年度向特定对象发行 A 股股票发行结果暨股本变动公告》（公告编号：2025-068）。

综上所述，本次上市流通的限售股形成后，公司因上述事项导致总股本由

435707409股变更为482596689股。除上述情况外，公司未发生因利润分配、公积金转增导致股本数量变化的情况。

三、本次上市流通的限售股的有关承诺前述限售股股东因参与本次期权行权而取得的新增股份需遵守《2019年股票期权激励计划》中的相关规定：

1、激励对象在公司上市后因行权所获股票自行权日起3年内不得减持；

2、上述禁售期限届满后，激励对象应比照公司董事、监事及高级管理人员

的相关减持规定执行，并应遵守届时相关法律、法规、规范性文件和公司上市地证券交易所的规则。

除上述承诺外，本次申请上市的限售股股东无其他特别承诺。

3截至本核查意见出具日，本次申请上市流通的限售股股东均严格履行了上述

限售承诺，不存在相关承诺未履行影响本次限售股上市流通的情况。

四、本次解除限售股份的上市流通安排

（一）本次上市流通的限售股总数为2150309股，占截至本公告披露日公

司总股本的0.45%。

（二）本次上市流通日期为2026年9月7日（2026年9月6日为非交易日，上市流通日期顺延至下一交易日）。

（三）限售股上市流通明细清单序持有限售股数持有限售股占公本次上市流通剩余限售股股东名称职务号量（股）司总股本比例数量（股）数量（股）

一、董事、高级管理人员、核心技术人员

HUI

1董事长5384620.11%269231269231

WANG

董事、总经理、

2王坚2984620.06%149231149231

核心技术人员

副总经理、核心

3陈福平2600000.05%130000130000

技术人员

LISA YI

4财务负责人2600000.05%130000130000

LU FENG

5罗明珠董事会秘书2115380.04%105769105769

副总经理、核心

6王俊1038460.02%5192351923

技术人员

副总经理、核心

7李学军1038460.02%5192351923

技术人员

8杨霞云职工代表董事615380.01%3076930769

小计18376920.38%918846918846

二、其他激励对象

9其他激励对象64人24628860.51%12314631231423

合计43005780.89%21503092150269注：1、上述董事、高级管理人员、核心技术人员任职情况较《关于2019年股票期权激励计划第一个行权期第一次行权结果暨股份变动的公告》（公告编号：2023-039）中披露情

况有差异系公司副总经理、核心技术人员SOTHEARA CHEAV因达到法定退休年龄辞去职

务、选举职工代表董事杨霞云、聘任副总经理王俊及聘任副总经理李学军所致，详情见公司已披露的相关公告；

42、持有限售股占公司总股本比例，以四舍五入的方式保留两位小数；合计数与各明细

数相加之和在尾数上如有差异，系四舍五入所致。

（四）限售股上市流通情况表

序号限售股类型本次上市流通数量（股）

2019年股票期权激励计划第一个行权期

12150309

第一次行权限售股合计2150309

五、本次解除限售股份上市流通前后股本变动结构表本次变动前本次变动增减数本次变动后

股份性质量（+，-）数量（股）比例数量（股）比例

（股）有限售条件

51836531.07%-215030930333440.63%

的流通股无限售条件

47741303698.93%+215030947956334599.37%

的流通股

总股本482596689100.00%0482596689100.00%

六、保荐机构的核查意见经核查，保荐机构认为：截至本核查意见出具日，公司本次上市流通的限售股股东均已严格履行了各项承诺；公司本次限售股上市流通数量及上市流通时间

等相关事项符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定的要求；公司关于本次限售股份相关的信息披露真实、准确、完整。

综上，保荐机构对公司本次首次公开发行前股票期权行权限售股上市流通事项无异议。

（以下无正文）5（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行前股票期权行权限售股上市流通的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

张博文李凌国泰海通证券股份有限公司年月日