盛美上海:盛美半导体设备（上海）股份有限公司募集资金置换专项鉴证报告

盛美半导体设备（上海）股份有限公司募集资金置换专项鉴证报告信会师报字［2025]第ZI10819号

募集资金置换专项鉴证报告

信会师报字［2025]第ZI10819号

盛美半导体设备（上海）股份有限公司全体股东:

我们接受委托，对后附的盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“贵公司”）编制的截至2025年9月26日止《关于以募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的专项说明》（以下简称“专项说明”）进行了合理保证的专项鉴证。

一、管理层的责任

贵公司管理层的责任是按照中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号- -规范运作》的相关规定编制专项说明,这种责任包括设计、执行和维护与专项说明编制相关的内部控制，提供真实、合法、完整的鉴证资料，确保专项说明内容真实、准确和完整,不存在虚假记录、误导性陈述或重大遗漏。

二、注册会计师的责任

我们的责任是在实施鉴证工作的基础上对贵公司管理层编制的上述专项说明发表鉴证结论。我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第3101号-历史财务信息审计或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证工作。该准则要求我们遵守职业道德规范，计划和实施鉴证工作，以对上述专项说明是否不存在重大错报获取合理保证。在执行鉴证工作过程中，我们实施了包括询问、核查有关资料与文件、核查会计记录等我们认为必要的程序。我们相信，我们的鉴证工作为发表鉴证结论提供了合理的基础。

三、鉴证结论

我们认为，贵公司管理层编制的《关于以募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的专项说明》符合《上市公司募集资金监管规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，在所有重大方面如实反映了贵公司截至2025年9月26日止以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的实际情况。

四、报告使用范围

本鉴证报告仅供贵公司以募集资金置换已预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的自筹资金之目的使用,不得用于任何其他目的。因使用不当造成的后果，与执行本鉴证业务的注册会计师及本会计师事务所无关。

立信会计师事务所务特殊普通合伙)

中国注册会计师:

中国·上海

2025年10月21日

盛美半导体设备（上海）股份有限公司关于以募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的专项说明（截至2025年9月26日止）

根据中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号- -规范运作》的相关规定，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“盛美上海”）以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的具体情况专项说明如下：

募集资金到位情况

根据公司第二届董事会第八次会议、2024年第一次临时股东大会、第二届董事会第十四次会议、第二届董事会第十六次会议、2025年第一次临时股东大会、第二届董事会第二十次会议审议通过，并经中国证券监督管理委员会证监许可[2025]1338号《关于同意盛美半导体设备(上海)股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》核准，公司向特定对象发行人民币普通股38,601,326股，每股面值1.00元，发行价格为116.11元/股，募集资金总额为人民币4,481,99,961.86元，扣除各项发行费用人民币46,984,264.81元（不含增值税），募集资金净额为人民币4,435,015,697.05元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2025]第ZI10808号《验资报告》。

为规范公司募集资金管理和使用，保护投资者权益，公司设立了相关募集资金专项账户。募集资金到账后，已全部存放于募集资金专项账户内，公司及全资子公司盛帕半导体设备（上海）有限公司分别与国泰海通证券股份有限公司及存放募集资金的银行签署了募集资金三方监管协议和募集资金四方监管协议。

二、募集资金投资项目情况

根据公司第二届董事会第八次会议、2024年第一次临时股东大会、第二届董事会第十四次会议、第二届董事会第十六次会议、2025年第一次临时股东大会、第二届董事会第二十次会议审议，公司拟将本次发行所募集资金扣除发行费用后，投资于以下项目:

序号项目名称调整前投资金额（万元）调整后投资金额(万元) 调整前募集资金拟投入金额（万元）调整后募集资金拟投入金额（万元）

1 研发和工艺测试平台建设项目 94,034.85 94,034.85 92,234.85 92,234.85

2 高端半导体设备选代研发项目 225,547.08 225,547.08 225,547.08 220,848.65

3 补充流动资金 130,418.07 130,418.07 130,418.07 130,418.07

合计 450,000.00 450,000.00 448,200.00 443,501.57

三、自筹资金预先投入募集资金投资项目

截至2025年9月26日止，公司募集资金投资项目自筹资金实际已投入的具体情况如下:

序号项目名称调整后募集资金拟投入金额自筹资金预先投入金额本次置换的募集资金金额

1 研发和工艺测试平台建设项目 922,348,496.29 62,778,199.27 62,778,199.27

2 高端半导体设备选代研发项目 2,255,470,824.90 56,740,904.45 56,740,904.45

合计 3,177,819,321.19 119,519,103.72 119,519,103.72

四、已支付发行费用的情况

本次募集资金各项发行费用合计金额为46,984,264.81元（不含增值税），其中保荐承销费42,283,018.51元（不含增值税）已从募集资金中扣除，其他发行费用4,701,246.30元（不含增值税）。截至2025年9月26日止，公司已用自筹资金支付的发行费用金额为3,941,246.30元（不含增值税），具体情况如下：

序号项目自筹资金预先投入金额本次置换的募集资金金额

- 审计及验资费 640,000.00 640,000.00

2 律师费 2,572,001.01 2,572,001.01

3 与本次发行相关的信息披露费 636,792.45 636,792.45

4 与本次发行相关的手续费及其他 92,452.84 92,452.84

合计 3,941,246.30 3,941,246.30

五、置换募投资金的实施

根据《上市公司募集资金监管规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关文件的规定，公司以募集资金置换预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的自筹资金，尚须经公司董事会审议通过，会计师事务所出具鉴证报告，独立董事、保荐机构发表明确同意意见并履行信息披露义务后方可实施。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

2025年10月21日

会计师事务所

(特殊普通合伙)