国泰海通证券股份有限公司

关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司

向特定对象发行股票限售股上市流通的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”或“公司”）向

特定对象发行股票的持续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管

指引第1号——规范运作》等法律法规的相关规定，对盛美上海向特定对象发行

股票限售股上市流通的事项进行了核查，核查情况及核查意见如下:一、本次上市流通的限售股类型中国证券监督管理委员会于2025年6月25日出具《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2025]1338号），同意公司向特定对象发行股票的注册申请。公司本次向特定对象发行股票

38601326股，并于2025年9月26日在中国证券登记结算有限责任公司上海分

公司已办理完成登记、托管及限售手续。具体情况详见公司于2025年9月30日在上海证券交易所网站披露的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2024年度向特定对象发行 A 股股票上市公告书》。

本次非公开发行各发行对象及配售情况如下：

序锁定期

发行对象名称发行股数（股）认购金额（元）号（月）

1上海浦东新兴产业投资有限公司129187831499999894.136

2财通基金管理有限公司4685212543999965.326

3诺德基金管理有限公司4590474532999936.146

上海浦东海望文化科技产业私募基

42583756299999909.166

金合伙企业（有限合伙）

5华泰资产管理有限公司2342606271999982.666

上海浦东海望集成电路产业私募基

61722504199999939.446

金合伙企业（有限合伙）

17易方达基金管理有限公司1240203143999970.336

8无锡隽烨投资合伙企业（有限合伙）86125299999969.726

9贺伟86125299999969.726

10中汇人寿保险股份有限公司86125299999969.726

11中国人寿资产管理有限公司86125299999969.726

广州工控新兴产业投资基金合伙企

1286125299999969.726业（有限合伙）

13施渊峰86125299999969.726

14尚融（宁波）投资中心（有限合伙）86125299999969.726

尚融宝盈（宁波）投资中心（有限合

1586125299999969.726

伙）

16易米基金管理有限公司86125299999969.726

17兴证全球基金管理有限公司76652089000637.206

合计386013264481999961.86-

二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况

2025年11月7日，公司完成2023年限制性股票激励计划预留授予部分第

一个归属期第一批次的股份登记工作。本次限制性股票归属后，公司总股本由

479892514股变更为480164789股。具体内容详见公司于2025年11月11日在上海证券交易所网站披露的《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分

第一个归属期第一批次归属结果暨股票上市公告》（公告编号：2025-080）。

除上述事项外，公司未发生因利润分配、公积金转增导致股本数量变化的情况。

三、本次上市流通的限售股的有关承诺

本次上市流通的限售股属于向特定对象发行股票，认购对象承诺所认购的股票限售期限为自发行结束之日起6个月。除上述承诺外，本次申请上市的限售股股东无其他特别承诺。

截至本核查意见出具日，本次申请上市流通的限售股股东均严格履行了上述限售承诺，不存在相关承诺未履行影响本次限售股上市流通的情况。

2四、本次解除限售股份的上市流通安排

（一）本次上市流通的限售股总数为38601326股。

（二）本次限售股上市流通日期为2026年3月26日。

（三）本次限售股上市流通明细清单持有限售持有限售股本次上市剩余限售序股东名称股数量占公司总股流通数量股数量号

（股）本比例（股）（股）上海浦东新兴产业投资有限

1129187832.69%129187830

公司

2财通基金管理有限公司46852120.98%46852120

3诺德基金管理有限公司45904740.96%45904740

上海浦东海望文化科技产业4私募基金合伙企业（有限合25837560.54%25837560伙）

5华泰资产管理有限公司23426060.49%23426060

上海浦东海望集成电路产业6私募基金合伙企业（有限合17225040.36%17225040伙）

7易方达基金管理有限公司12402030.26%12402030无锡隽烨投资合伙企业（有限

88612520.18%8612520

合伙）

9贺伟8612520.18%8612520

10中汇人寿保险股份有限公司8612520.18%8612520

11中国人寿资产管理有限公司8612520.18%8612520

广州工控新兴产业投资基金

128612520.18%8612520

合伙企业（有限合伙）

13施渊峰8612520.18%8612520尚融（宁波）投资中心（有限

148612520.18%8612520

合伙）

尚融宝盈（宁波）投资中心（有

158612520.18%8612520限合伙）

16易米基金管理有限公司8612520.18%8612520

17兴证全球基金管理有限公司7665200.16%7665200

合计386013268.04%386013260

注：持有限售股占公司总股本比例，以四舍五入的方式保留两位小数；合计数与各明细数相加之和在尾数上如有差异，系四舍五入所致。

3（四）限售股上市流通情况表

序号限售股类型本次上市流通数量（股）

1向特定对象发行38601326

合计38601326

五、本次解除限售股份上市流通前后股本变动结构表本次变动前本次变动增本次变动后股份性质减数量（+，数量（股）比例数量（股）比例-）（股）有限售条件

437849799.12%-3860132651836531.08%

的流通股无限售条件

43637981090.88%+3860132647498113698.92%

的流通股

总股本480164789100.00%0480164789100.00%

六、保荐机构的核查意见经核查，保荐机构认为：截至本核查意见出具日，公司本次上市流通的限售股股东均已严格履行了其在公司向特定对象发行股票中做出的各项承诺；公司本次限售股上市流通数量及上市流通时间等相关事项符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定的要求；公司关于本次限售

股份相关的信息披露真实、准确、完整。

综上，保荐机构对公司本次向特定对象发行股票限售股上市流通事项无异议。

（以下无正文）4（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票限售股上市流通的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

张博文李凌国泰海通证券股份有限公司年月日