盛美半导体设备（上海）股份有限公司 2026年限制性股票激励计划 （草案） 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 二零二六年四月 1声明 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者 重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 本公司所有激励对象承诺，公司因信息披露文件中有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，导致不符合授予权益或权益归属安排的，激励对象应当自相关信息披露文件被确认存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏后，将由本激励计划所获得的全部利益返还公司。 2特别提示 一、本激励计划系依据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》 《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司股权激励管理办法》《科创板上市公司自律监管指南第4号——股权激励信息披露》等其他有关法律、法规、规范性文件，以及《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》制订。 二、本激励计划采取的激励工具为限制性股票（第二类限制性股票）。股票来源 为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）从二级 市场回购的公司A股普通股股票或/和公司向激励对象定向发行的公司A股普通股股票。 符合本激励计划授予条件的激励对象，在满足相应归属条件后，在归属期内以授予价格分次获得公司A股普通股股票，该等股票将在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司进行登记。激励对象获授的限制性股票在归属前，不享有公司股东权利，并且该限制性股票不得转让、用于担保或偿还债务等。 三、本激励计划拟向激励对象授予208.3720万股限制性股票，约占本激励计划草 案公告时公司股本总额48016.4789万股的0.43%。 截至本激励计划草案公告日，公司全部在有效期内的股权激励计划所涉及的标的股票总数累计未超过公司股本总额的20%。本激励计划中任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的公司股票数量累计未超过公司股本总额的1%。 四、本计划限制性股票的授予价格为81.59元/股。本激励计划草案公告日至激励 对象获授限制性股票归属前，若公司发生资本公积转增股本、派送股票红利、股份拆细、配股、缩股、派息等事项，限制性股票授予价格和授予/归属数量将根据本激励计划相关规定予以调整。 五、本激励计划授予的激励对象总人数为520人，占公司全部职工人数（截至2025年12月31日公司员工总人数为2485人）的20.93%，包括在本公司任职的董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员。 六、本激励计划有效期自限制性股票授予之日起至激励对象获授的限制性股票全 部归属或作废失效之日止，最长不超过60个月。激励对象获授的限制性股票将按约定比例分次归属，每次权益归属以满足相应的归属条件为前提条件。 七、公司不存在《上市公司股权激励管理办法》第七条规定的不得实行股权激励 的下列情形： 3（一）最近一个会计年度财务会计报告被注册会计师出具否定意见或者无法表示 意见的审计报告； （二）最近一个会计年度财务报告内部控制被注册会计师出具否定意见或者无法表示意见的审计报告； （三）上市后最近36个月内出现过未按法律法规、公司章程、公开承诺进行利润分配的情形； （四）法律法规规定不得实行股权激励的； （五）中国证监会认定的其他情形。 八、参与本激励计划的激励对象不包括公司独立董事、单独或合计持有公司5%以上股份的股东、公司实际控制人及其配偶、父母、子女。激励对象符合《上市公司股权激励管理办法》和《上海证券交易所科创板股票上市规则》的规定，不存在不得成为激励对象的下列情形： （一）最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选； （二）最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选； （三）最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采取市场禁入措施； （四）具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的； （五）法律法规规定不得参与上市公司股权激励的； （六）中国证监会认定的其他情形。 九、公司承诺不为激励对象依本激励计划获取有关限制性股票提供贷款以及其他 任何形式的财务资助，包括为其贷款提供担保。 十、本激励计划经公司股东会审议通过后方可实施。 十一、本激励计划的实施不会导致股权分布不符合上市条件的要求。 4目录 声明....................................................2 特别提示..................................................3 目录....................................................5 第一章释义.................................................6 第二章本激励计划的目的与原则.......................................7 第三章本激励计划的管理机构.........................................8 第四章激励对象的确定依据和范围.....................................9 第五章限制性股票的激励方式、来源、数量和分配......................11 第六章本激励计划的有效期、授予日、归属安排和禁售期................13 第七章限制性股票的授予价格及授予价格的确定方法....................15 第八章限制性股票的授予与归属条件..................................16 第九章限制性股票激励计划的实施程序................................21 第十章限制性股票激励计划的调整方法和程序..........................24 第十一章限制性股票的会计处理......................................26 第十二章公司/激励对象各自的权利义务...............................28 第十三章公司/激励对象发生异动的处理...............................30 第十四章附则...............................................33 5第一章释义 以下词语如无特殊说明，在本文中具有如下含义： 盛美上海、本公司、公司、 指盛美半导体设备（上海）股份有限公司上市公司 盛美半导体设备（上海）股份有限公司2026年限 本激励计划、本计划指制性股票激励计划 限制性股票、第二类限制性符合本激励计划授予条件的激励对象，在满足相指股票应归属条件后分次获得并登记的本公司股票 按照本激励计划规定，获得限制性股票的公司董激励对象指事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员授予日指公司向激励对象授予限制性股票的日期授予价格指公司授予激励对象每一股限制性股票的价格自限制性股票授予之日起到激励对象获授的限制有效期指性股票全部归属或作废失效的期间 限制性股票激励对象满足获益条件后，上市公司归属指将股票登记至激励对象账户的行为 限制性股票激励计划所设立，激励对象为获得激归属条件指励股票所需满足的获益条件 限制性股票激励对象满足获益条件后，获授股票归属日指 完成登记的日期，必须为交易日《公司法》指《中华人民共和国公司法》 《证券法》指《中华人民共和国证券法》 《管理办法》指《上市公司股权激励管理办法》 《上市规则》指《上海证券交易所科创板股票上市规则》《科创板上市公司自律监管指南第4号——股权《监管指南》指激励信息披露》 《公司章程》指《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》中国证监会指中国证券监督管理委员会证券交易所指上海证券交易所元指人民币元 注：1．本草案所引用的财务数据和财务指标，如无特殊说明指合并报表口径的财务数据和根据该类财务数据计算的财务指标。 2．本草案中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于四舍五入所造成。 6第二章本激励计划的目的与原则 为了进一步建立、健全公司长效激励机制，吸引和留住优秀人才，充分调动公司员工的积极性，有效地将股东利益、公司利益和员工个人利益结合在一起，使各方共同关注公司的长远发展，在充分保障股东利益的前提下，按照激励与约束对等的原则，根据《公司法》《证券法》《管理办法》《上市规则》《监管指南》等有关法律、法 规和规范性文件以及《公司章程》的规定，制定本激励计划。 截至本激励计划草案公告日，本公司同时在实施2019年股票期权激励计划及2023年限制性股票激励计划，简要情况如下： 公司于2019年11月29日召开2019年第一次临时股东大会，审议通过了《关于公司 2019年股票期权激励计划（草案）的议案》等相关议案。公司以2020年1月1日作为授 予日期向2019年股票期权激励计划激励对象授予5677500份股票期权。截至本激励计划草案公告日，2019年股票期权激励计划激励对象已行权股票数量为5183653股。 公司于2023年6月28日召开2022年年度股东大会，审议通过了《关于公司<2023年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》等相关议案。公司以2023年8月3日作为首次授予日，向激励对象授予限制性股票1064.85万股；以2024年6月25日作为预留授予日，向激励对象授予限制性股票139.10万股。截至本激励计划草案公告日，2023年限制性股票激励计划激励对象已归属股票数量为2822710股。 本激励计划与正在实施的2019年股票期权激励计划及2023年限制性股票激励计划 相互独立，不存在相关联系。 7第三章本激励计划的管理机构 一、股东会作为公司的最高权力机构，负责审议批准本激励计划的实施、变更和终止。股东会可以在其权限范围内将与本激励计划相关的部分事宜授权董事会办理。 二、董事会是本激励计划的执行管理机构，负责本激励计划的实施。董事会下设 薪酬与考核委员会（以下简称“薪酬委员会”），负责拟订和修订本激励计划并报董事会审议，董事会对激励计划审议通过后，报股东会审议。董事会可以在股东会授权范围内办理本激励计划的其他相关事宜。 三、薪酬委员会是本激励计划的监督机构，应当就本激励计划是否有利于公司的 持续发展，是否存在明显损害公司及全体股东利益的情形发表意见。薪酬委员会对本激励计划的实施是否符合相关法律、法规、规范性文件和证券交易所业务规则进行监督，并且负责审核激励对象的名单。 四、公司在股东会审议通过股权激励方案之前对其进行变更的，薪酬委员会应当 就变更后的方案是否有利于公司的持续发展，是否存在明显损害公司及全体股东利益的情形发表明确意见。 公司在向激励对象授出权益前，薪酬委员会应当就股权激励计划设定的激励对象获授权益的条件发表明确意见。若公司向激励对象授出权益与本激励计划安排存在差异，薪酬委员会（当激励对象发生变化时）应当同时发表明确意见。 激励对象获授的限制性股票在归属前，薪酬委员会应当就股权激励计划设定的激励对象归属条件是否成就发表明确意见。 8第四章激励对象的确定依据和范围 一、激励对象的确定依据 （一）激励对象确定的法律依据 本激励计划激励对象根据《公司法》《证券法》《管理办法》《上市规则》《监管指南》等有关法律、法规、规范性文件和《公司章程》的相关规定，结合公司实际情况而确定。 （二）激励对象确定的职务依据 本激励计划的激励对象为公司董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为 需要激励的其他人员，不包括公司独立董事，也不包括单独或合计持有公司5%以上股份的股东、公司实际控制人及其配偶、父母、子女，符合实施股权激励计划的目的。 对符合本激励计划的激励对象范围的人员，由薪酬委员会拟定名单，并核实确定。 二、激励对象的范围本激励计划授予的激励对象共计520人，占公司全部职工人数（截至2025年12月31日公司员工总人数为2485人）的20.93%。包括： 1、公司董事； 2、高级管理人员； 3、核心技术人员； 4、董事会认为需要激励的其他人员。 以上激励对象中，所有激励对象必须在公司授予限制性股票时和本激励计划规定的考核期内与公司或其分、子公司存在聘用或劳动关系。 以上激励对象包含部分外籍员工，公司将其纳入本激励计划的原因在于：外籍激励对象在公司的技术研发、全球业务拓展等方面起到不可忽视的重要作用；股权激励 是境外公司常用的激励手段，通过本激励计划将更加促进公司核心人才队伍的建设和稳定，从而有助于公司的长远发展。 三、不能成为本激励计划激励对象的情形 （一）最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选； （二）最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选； （三）最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或 9者采取市场禁入措施； （四）具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的； （五）法律法规规定不得参与上市公司股权激励的； （六）中国证监会认定的其他情形。 若在本激励计划实施过程中，激励对象出现以上任何情形的，公司将终止其参与本激励计划的权利，该激励对象已获授但尚未归属的限制性股票取消归属，并作废失效。 四、激励对象的核实 （一）本激励计划经董事会审议通过后，公司将在内部公示激励对象的姓名和职务，公示期不少于10天。 （二）薪酬委员会将对激励对象名单进行审核，充分听取公示意见，并在公司股东会审议本激励计划前5日披露薪酬委员会对激励对象名单的审核意见及其公示情况的说明。经公司董事会调整的激励对象名单亦应经薪酬委员会核实。 10第五章限制性股票的激励方式、来源、数量和分配 一、本激励计划的激励方式及股票来源 本激励计划采用的激励工具为第二类限制性股票，涉及的标的股票来源为公司从二级市场回购的公司A股普通股股票或/和公司向激励对象定向发行的公司A股普通股股票。 二、授出限制性股票的数量 本激励计划拟向激励对象授予208.3720万股限制性股票，约占本激励计划草案公告时公司股本总额48016.4789万股的0.43%。 截至本激励计划草案公告日，公司同时在实施2019年股票期权激励计划及2023年限制性股票激励计划，涉及标的股票数量为1617.8888万股，以上三次激励计划合计涉及公司股票数量为1826.2608万股，占本激励计划草案公告时公司股本总额的3.80%。 公司全部在有效期内的股权激励计划所涉及的标的股票总数累计未超过公司股本总额的20%。本激励计划中任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的公司股票数量累计未超过公司股本总额的1%。 本激励计划草案公告日至激励对象获授限制性股票归属前，若公司发生资本公积转增股本、派送股票红利、股份拆细、配股、缩股等事项，限制性股票授予/归属数量将根据本激励计划相关规定予以调整。 三、激励对象获授的限制性股票分配情况 本激励计划授予的限制性股票在各激励对象间的分配情况如下表所示： 获授限制性占本激励计划占授予限制性姓名国籍职务股票数量草案公告日股股票总数比例（万股）本总额比例 一、董事、高级管理人员、核心技术人员（2人） 副总经理、核心技术 王俊中国1.87600.9003%0.0039%人员 杨霞云中国职工代表董事1.25000.5999%0.0026% 二、董事会认为需要激励的其他人员（518人） 核心管理（业务）骨干、中层管理（业务）人员、 205.246098.4998%0.4274% 优秀基层技术（业务）员工 合计208.3720100.0000%0.4340% 11四、相关说明 1、上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的公司股票数 量累计均未超过公司股本总额的1%。公司全部在有效期内的股权激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东会时公司股本总额的20%。 2、本计划激励的激励对象不包括公司独立董事，也不包括单独或合计持有公司5% 以上股份的股东、公司实际控制人及其配偶、父母、子女。 12第六章本激励计划的有效期、授予日、归属安排和禁售期 一、本激励计划的有效期本激励计划有效期自限制性股票授予之日起至激励对象获授的限制性股票全部归 属或作废失效之日止，最长不超过60个月。 二、本激励计划的授予日 本激励计划经公司股东会审议通过后，公司将在60日内按相关规定召开董事会向激励对象授予权益，并完成公告等相关程序。公司未能在60日内完成上述工作的，应当及时披露不能完成的原因，并宣告终止实施本激励计划。根据《管理办法》《监管指南》规定不得授出权益的期间不计算在60日内。 授予日在本激励计划经公司股东会审议通过后由公司董事会确定，授予日必须为交易日，若根据以上原则确定的日期为非交易日，则授予日顺延至其后的第一个交易日为准。 三、本激励计划的归属安排 本激励计划授予的限制性股票自授予之日起12个月后，且在激励对象满足相应归属条件后将按约定比例分次归属，归属日必须为本激励计划有效期内的交易日，但不得在下列期间内归属： （一）公司年度报告、半年度报告公告前十五日内，因特殊原因推迟公告日期的，自原预约公告日前十五日起算，至公告前一日； （二）公司季度报告、业绩预告、业绩快报公告前五日内； （三）自可能对本公司股票及其衍生品种交易价格产生较大影响的重大事件发生 之日或者进入决策程序之日，至依法披露之日； （四）中国证监会及上海证券交易所规定的其他期间。 上述“重大事件”为公司依据《上市规则》的规定应当披露的交易或其他重大事项。 本激励计划授予的限制性股票的归属安排具体如下： 归属权益数量占归属安排归属时间授予权益总量的比例自授予之日起12个月后的首个交易日至授予之日 第一个归属期25%起24个月内的最后一个交易日止 13自授予之日起24个月后的首个交易日至授予之日 第二个归属期25%起36个月内的最后一个交易日止自授予之日起36个月后的首个交易日至授予之日 第三个归属期25%起48个月内的最后一个交易日止自授予之日起48个月后的首个交易日至授予之日 第四个归属期25%起60个月内的最后一个交易日止 激励对象根据本激励计划获授的限制性股票在归属前不得转让、用于担保或偿还债务。激励对象已获授但尚未归属的限制性股票由于资本公积金转增股本、送股等情形增加的股份同时受归属条件约束，且归属之前不得转让、用于担保或偿还债务，若届时限制性股票不得归属的，则因前述原因获得的股份同样不得归属。 在上述约定期间归属条件未成就的限制性股票，不得归属或递延至下期归属，由公司按本激励计划的规定作废失效。 在满足限制性股票归属条件后，公司将统一办理满足归属条件的限制性股票归属事宜。 四、本激励计划禁售期禁售期是指激励对象获授的限制性股票归属后其售出限制的时间段。本次限制性股票激励计划的获授股票归属后不设置禁售期，激励对象为公司董事、高级管理人员的，限售规定按照《公司法》《证券法》《上市公司股东减持股份管理暂行办法》《上市公司董事和高级管理人员所持本公司股份及其变动管理规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第15号——股东及董事、高级管理人员减持股份》《关于短线交易监管的若干规定》等相关法律、法规、规范性文件和《公司章程》的规定执行。 在本激励计划有效期内，如果《公司法》《证券法》《上市公司股东减持股份管理暂行办法》《上市公司董事和高级管理人员所持本公司股份及其变动管理规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第15号——股东及董事、高级管理人员减持股份》《关于短线交易监管的若干规定》等相关法律、法规、规范性文件和《公司章程》中对公司董事和高级管理人员持有股份转让的有关规定发生了变化，则这部分激励对象转让其所持有的公司股票应当在转让时符合修改后的相关规定。 14第七章限制性股票的授予价格及授予价格的确定方法 一、本次授予限制性股票的授予价格 授予限制性股票的授予价格为每股81.59元，即满足授予条件和归属条件后，激励对象可以每股81.59元的价格购买公司从二级市场回购的公司A股普通股股票或/和公司 向激励对象定向发行的公司A股普通股股票。 二、限制性股票授予价格的确定方法 本激励计划限制性股票的授予价格为81.59元/股，不低于股票票面金额，且不低于下列价格较高者： 1、本激励计划草案公告前1个交易日的公司股票交易均价（前1个交易日股票交易总额/前1个交易日股票交易总量）每股163.18元的50%，为81.59元/股； 2、本激励计划草案公告前20个交易日的公司股票交易均价（前20个交易日股票交易总额/前20个交易日股票交易总量）每股153.93元的50%，为76.97元/股。 15第八章限制性股票的授予与归属条件 一、限制性股票的授予条件 同时满足下列授予条件时，公司向激励对象授予限制性股票，反之，若下列任一授予条件未达成的，则不能向激励对象授予限制性股票。 （一）公司未发生如下任一情形： 1、最近一个会计年度财务会计报告被注册会计师出具否定意见或者无法表示意见 的审计报告； 2、最近一个会计年度财务报告内部控制被注册会计师出具否定意见或者无法表示 意见的审计报告； 3、上市后最近36个月内出现过未按法律法规、公司章程、公开承诺进行利润分配 的情形； 4、法律法规规定不得实行股权激励的； 5、中国证监会认定的其他情形。 （二）激励对象未发生如下任一情形： 1、最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选； 2、最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选； 3、最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采 取市场禁入措施； 4、具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的； 5、法律法规规定不得参与上市公司股权激励的； 6、中国证监会认定的其他情形。 二、限制性股票的归属条件 激励对象获授的限制性股票需同时满足以下归属条件方可分批次办理归属事宜： （一）公司未发生如下任一情形： 1、最近一个会计年度财务会计报告被注册会计师出具否定意见或者无法表示意见 的审计报告； 2、最近一个会计年度财务报告内部控制被注册会计师出具否定意见或者无法表示 意见的审计报告； 163、上市后最近36个月内出现过未按法律法规、公司章程、公开承诺进行利润分配 的情形； 4、法律法规规定不得实行股权激励的； 5、中国证监会认定的其他情形。 （二）激励对象未发生如下任一情形： 1、最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选； 2、最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选； 3、最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采 取市场禁入措施； 4、具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的； 5、法律法规规定不得参与上市公司股权激励的； 6、中国证监会认定的其他情形。 公司发生上述第（一）条规定情形之一的，所有激励对象根据本激励计划已获授但尚未归属的限制性股票取消归属，并作废失效；某一激励对象发生上述第（二）条规定的不得归属限制性股票的情形，该激励对象已获授但尚未归属的限制性股票取消归属，并作废失效。 （三）激励对象满足各归属期任职期限要求 激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足12个月以上的任职期限。 （四）满足公司层面业绩考核要求 本激励计划授予的限制性股票考核年度为2026年-2029年四个会计年度，每个会计年度考核一次。根据各考核年度所使用的营业收入增长率累计值（A）、各考核年度的专利申请数（B）进行考核，根据各考核年度业绩指标的完成情况确定公司层面归属比例，各年度业绩考核目标安排如下表所示： 各考核年度所使用的对应考 归属期 营业收入增长率累计 业绩考核目标 归属比例（X）核年度 值（A） A≧对标企业算术平均 X=100%增长率对标企业算术平均增长 第一个归2026年营业收入增长 2026 年 率*0.8≦A<对标企业算 X=80% 属期率术平均增长率 A<对标企业算术平均增 0 长率*0.8 17各考核年度所使用的 对应考 归属期 营业收入增长率累计 业绩考核目标 归属比例（X）核年度 值（A） A≧对标企业算术平均 X=100%增长率 2026年、2027年两对标企业算术平均增长 第二个归 2027 年 年营业收入增长率累 率*0.8≦A<对标企业算 X=80% 属期计值术平均增长率 A<对标企业算术平均增 0 长率*0.8 A≧对标企业算术平均 X=100%增长率 2027年、2028年两对标企业算术平均增长 第三个归 2028 年 年营业收入增长率累 率*0.8≦A<对标企业算 X=80% 属期计值术平均增长率 A<对标企业算术平均增 0 长率*0.8 A≧对标企业算术平均 X=100%增长率 2028年、2029年两对标企业算术平均增长 第四个归 2029 年 年营业收入增长率累 率*0.8≦A<对标企业算 X=80% 属期计值术平均增长率 A<对标企业算术平均增 0 长率*0.8 专利申请数（B）对应考归属期核年度目标值触发值 业绩考核目标 归属比例（Y） （Bm） （Bn）B≧Bm Y=100% 第一个归 2026 年 160 140 Bn≦B

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