盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

公司代码：688082公司简称：盛美上海

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

2025年半年度报告

1/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

重要提示

一、本公司董事会及董事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不

存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

二、重大风险提示

公司已在本报告中详细阐述公司在经营过程中可能面临的各种风险及应对措施，敬请查阅本报告“第三节管理层讨论与分析”之“四、风险因素”。

三、公司全体董事出席董事会会议。

四、本半年度报告未经审计。

五、 公司负责人HUI WANG、主管会计工作负责人LISA YI LU FENG及会计机构负责人（会计主管人员）王岚声明：保证半年度报告中财务报告的真实、准确、完整。

六、董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案无

七、是否存在公司治理特殊安排等重要事项

□适用√不适用

八、前瞻性陈述的风险声明

√适用□不适用

本报告所涉及的公司规划、发展战略等非既成事实的前瞻性陈述，不构成公司对投资者的实质承诺，敬请投资者注意相关风险。

九、是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况否

十、是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况否

十一、是否存在半数以上董事无法保证公司所披露半年度报告的真实性、准确性和完整性否

十二、其他

□适用√不适用

2/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

目录

第一节释义.................................................4

第二节公司简介和主要财务指标........................................7

第三节管理层讨论与分析..........................................11

第四节公司治理、环境和社会........................................40

第五节重要事项..............................................42

第六节股份变动及股东情况.........................................62

第七节债券相关情况............................................68

第八节财务报告..............................................69载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人（会计主管人员）签名并盖章的财务报表。

备查文件目录报告期内公开披露过的所有公司文件的正本及公告的原稿。

经现任法定代表人签字和公司盖章的本次半年报全文和摘要。

3/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

第一节释义

在本报告书中，除非文义另有所指，下列词语具有如下含义：

常用词语释义公司，本公司，盛美上海，盛美半导指盛美半导体设备（上海）股份有限公司体

盛美无锡指盛美半导体设备无锡有限公司，盛美上海全资子公司盛帷上海指盛帷半导体设备（上海）有限公司，盛美上海全资子公司CleanChip Technologies Limited，清芯科技有限公司，盛美上海全资子香港清芯指公司

盛美韩国 指 ACM Research Korea CO. LTD.，香港清芯的全资子公司盛美加州 指 ACM RESEARCH (CA) INC.，香港清芯的全资子公司御盛微指御盛微半导体（上海）有限公司，盛美上海全资子公司御盛微友一指御盛微友一微电子（上海）有限公司，盛美上海控股子公司盛美成都指盛美半导体设备（成都）有限公司，盛美上海全资子公司盛宜微指盛宜微半导体（上海）有限公司，盛美上海控股子公司盛奕科技，盛奕半指盛奕半导体科技（无锡）有限公司，盛美上海参股公司导体

合肥石溪产恒集成电路创业投资基金合伙企业（有限合伙），盛美上海合肥石溪指参股企业

美国 ACMR， ACM RESEARCH INC.，美国 NASDAQ股票市场上市公司，盛美上海ACMR 指 控股股东

合晶科技指合晶科技股份有限公司，盛美上海客户NINEBELL 指 NINEBELL CO.LTD.，盛美上海供应商NASDAQ National Association of Securities Dealers Automated Quotations，美国纳指斯达克股票市场

常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，按照制造技术可分为集半导体 指 成电路（IC）、分立器件、光电子和传感器，可广泛应用于下游通信、计算机、消费电子、网络技术、汽车及航空航天等产业

Silicon Wafer，半导体级硅片，用于集成电路、分立器件、传感器等半硅片指导体产品制造

Integrated Circuit，指通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等IC、集成电路 指 有源器件和电阻器、电容器等无源原件按一定的电路互联并集成在半导

体晶片上，封装在一个外壳内，执行特定功能的电路或系统在氧化/扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、清洗与抛光、金属晶圆指化等特定工艺加工过程中的硅片

芯片指集成电路的载体，也是集成电路经过设计、制造、封装、测试后的结果图形晶圆指表面带图案结构的晶圆

晶圆制造、芯片制将通过一系列特定的加工工艺，将半导体硅片加工制造成芯片的过程，指造分为前道晶圆制造和后道封装测试。

NAND闪存 指 快闪记忆体/资料储存型闪存

5G 指 5th-Generation，即第五代移动电话行动通信标准

利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单光刻指

晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术用化学或物理方法有选择地在硅表面去除不需要的材料的过程，是与光刻蚀指

刻相联系的图形化处理的一种主要工艺，是半导体制造工艺的关键步骤涂胶指将光刻胶均匀涂覆到晶圆表面的过程

显影指将曝光完成的晶圆进行成像的过程，通过这个过程，成像在光阻上的图

4/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

形被显现出来

Track 指 涂胶/显影机，又称涂布/显影机、匀胶/显影机CVD 指 Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition（等离子体增强化学气相沉PECVD 指 积），是 CVD 的一种，在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法

LPCVD 指 Low Pressure Chemical Vapor Deposition，低压力化学气相沉积ALD Atomic Layer Deposition，原子层沉积，是一种可以将物质以单原子膜形指式一层一层的镀在基底表面的方法

DRAM 指 Dynamic Random Access Memory，动态随机存取存储器NAND 指 闪存，属于非易失性存储器

3D NAND 一种新兴的闪存类型，通过把存储单元堆叠在一起来解决 2D或者平面指 NAND闪存带来的限制

Stress Free Polish，无应力抛光技术，该技术利用电化学反应原理，在抛SFP 指 除晶圆表面金属膜的过程中，摒弃抛光过程的机械压力，根除机械压力对金属布线的损伤

EBR Edge Bead Removal，指边缘胶去除，是半导体制造工艺中一道重要的工指序，主要用于去除晶圆边缘不需要的键合胶。

CD Critical Dimension 指关键尺寸，是半导体制造工艺中的一个重要参数，指通常指集成电路中线条宽度或间距的最小尺寸。

被测试电路经过全部测试流程后，测试结果为良品的电路数量占据全部良率指被测试电路数量的比例

芯片制造分为前道和后道工艺，前道主要是光刻、刻蚀、清洗、离子注前道、后道 指 入、化学机械平坦等；后道主要有打线、Bonder、FCB、BGA 植球、

检查、测试等

封装技术的定义为，在半导体开发的最后阶段，将一小块材料（如芯片）封装指包裹在支撑外壳中，以防止物理损坏和腐蚀，并允许芯片连接到电路板的工艺技术

处于前沿的封装形式和技术。目前，带有倒装芯片（FC）结构的封装、先进封装 指 圆片级封装（WLP）、系统级封装（SiP）、2.5D封装、3D 封装等均被认为属于先进封装范畴

WLP 晶圆级封装（Wafer level packaging）将封装尺寸减小至集成电路芯片大晶圆级封装（ ） 指小，以及它可以晶圆形式成批加工制作，使封装降低成本UBM是焊盘和焊球之间的金属过渡层，位于圆片钝化层的上部。UBMUBM 与圆片上的金属化层有着非常好的粘附特性，与焊料球之间也有着良好指的润湿特性，在焊球与 IC金属焊盘之间作为焊料的扩散层。UBM作为氧化阻挡层还起着保护芯片的作用

凸点底层金属/薄膜再分布技术，可以在去除阻挡层和种子层的同时尽UBM/RDL 指 量减少底切，控制和精确监测刻蚀步骤完成的时间，从而减少底切并保证临界特征（线或凸点）尺寸

Pillar Bump 指 柱状凸块

FinFET Fin Field-Effect Transistor，鳍式场效应晶体管，是一种新的互补式金氧指半导体晶体管，可以改善电路控制并减少漏电流，缩短晶体管的栅长利用异丙醇（IPA）的低表面张力和易挥发的特性，取代硅片表面的具IPA干燥 指 有较高表面张力的水分，然后用氮气吹干，达到彻底干燥硅片水膜的目的

i-line 一种以紫外光（汞灯）为光源、光波长为 365nm、应用技术节点为指 0.35-0.25μm的光刻工艺

KrF 一种以深紫外（DUV）为光源、光波长为 248nm、应用技术节点为指 0.25-0.13μm的光刻工艺

5/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

ArF 一种以深紫外（DUV）为光源、光波长为 193nm、应用技术节点为 0.13指

μm- 7nm的光刻工艺

TSV Through Silicon Vias，穿过硅片通道，通过硅通孔（TSV）铜互连的立指

体（3D）垂直整合，目前被认为是半导体行业最领先的技术之一

CMP Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光，使晶圆表面保持完全平指坦或进行平坦化处理

基于晶圆重构技术，将芯片重新埋置到晶圆上，然后按照与标准WLPFan-Out 指 工艺类似的步骤进行封装，得到的实际封装面积要大于芯片面积，在面积扩展的同时也可以增加其它有源器件及无源元件形成 SIP

在晶圆清洗时，利用伯努利空气动力学悬浮原理，把晶圆吸在夹盘上的伯努利卡盘指装置

SAPS Space Alternative Phase Shift，空间交替相移技术，利用兆声波的交替相，兆声波清洗指在微观水平上以高度均匀的方式向平板和图案化的晶圆表面提供兆声技术波能量，有效地去除整个晶圆上的随机缺陷，并减少化学药品的使用Timely Energized Bubble Oscillation，时序能激气穴震荡，通过使用一系TEBO兆声波清洗 列快速的压力变化迫使气泡以特定的尺寸和形状振荡，在兆频超声清洗指

技术过程中精确、多参数地控制气泡的空化，避免传统超音速清洗中出现的由瞬时空化引起的图案损坏，对图案化芯片进行无损清洗盛美上海自主研发的清洗技术，在单个湿法清洗设备中集成了槽式模块Tahoe 和单片模块，兼具二者的优点；Tahoe 清洗设备的清洗效果与工艺适用指性可与单片清洗设备相媲美，还可大幅减少硫酸使用量，帮助客户降低生产成本又能更好的符合节能环保的政策

衍生自古代的 Damascus（大马士革）工匠之嵌刻技术，先在介电层上大马士革指刻蚀金属导线用的图膜，然后再填充金属，特点是不需要进行金属层的刻蚀

工艺、节点、制程指即晶体管栅极宽度的尺寸，用来衡量半导体芯片制造的工艺水准ECP Electro Chemical Plating，电化学电镀，利用电解原理在晶圆表面上镀上指一薄层其它金属或合金的过程

mm 指 毫米，10-3米，用于描述半导体晶圆的直径的长度μm 指 微米，10-6米nm 指 纳米，10-9米Gartner IT领域领先的研究与顾问公司，研究范围覆盖从最上游的硬件设计、制指造到最下游终端应用的 IT产业全环节

报告期、本报告期指2025年1月1日至2025年6月30日

6/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

第二节公司简介和主要财务指标

一、公司基本情况

公司的中文名称盛美半导体设备（上海）股份有限公司公司的中文简称盛美上海

公司的外文名称 ACM Research (Shanghai) Inc.公司的外文名称缩写 ACMSH

公司的法定代表人 HUI WANG

公司注册地址中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢公司注册地址的历史变更情况无

公司办公地址中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢公司办公地址的邮政编码201203

公司网址 www.acmrcsh.com.cn

电子信箱 ir@acmrcsh.com

报告期内变更情况查询索引 www.sse.com.cn

二、联系人和联系方式董事会秘书证券事务代表（信息披露境内代表）

姓名罗明珠/中国（上海）自由贸易试验区丹

联系地址/

桂路999弄B2栋

电话021-50276506/

传真021-50808860/

电子信箱 ir@acmrcsh.com /

三、信息披露及备置地点变更情况简介

中国证券报（www.cs.com.cn）、上海证券报（www.cnstoc公司选定的信息披露报纸名称 k.com）、证券时报（www.stcn.com）、证券日报（www.zqrb.cn）

登载半年度报告的网站地址 www.sse.com.cn中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄B2栋公司董公司半年度报告备置地点事会办公室

报告期内变更情况查询索引 www.sse.com.cn

四、公司股票/存托凭证简况

(一)公司股票简况

√适用□不适用公司股票简况股票上市交易所股票种类股票简称股票代码变更前股票简称及板块上海证券交易所

A股 盛美上海 688082 不适用科创板

7/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(二)公司存托凭证简况

□适用√不适用

五、其他有关资料

□适用√不适用

六、公司主要会计数据和财务指标

(一)主要会计数据

单位：元币种：人民币本报告期本报告期比上年

主要会计数据16上年同期（－月）同期增减(%)

营业收入3265291841.842403896730.5035.83

利润总额820349219.58468057022.5675.27

归属于上市公司股东的净利润695772727.73443182595.1856.99

归属于上市公司股东的扣除非经常性674279774.93434539165.1355.17损益的净利润

经营活动产生的现金流量净额-131953945.43446718846.79-129.54本报告期末比上本报告期末上年度末

年度末增减(%)

归属于上市公司股东的净资产8240138955.077665635114.217.49

总资产13288530671.7612128452382.819.56

(二)主要财务指标本报告期本报告期比上年主要财务指标上年同期

（1－6月）同期增减(%)

基本每股收益（元／股）1.581.0254.90

稀释每股收益（元／股）1.571.0057.00

扣除非经常性损益后的基本每股收1.531.0053.00益（元／股）

加权平均净资产收益率（%）8.626.63增加1.99个百分点扣除非经常性损益后的加权平均净

%8.356.51

增加1.84个百分

资产收益率（）点

研发投入占营业收入的比例（%）16.6716.24增加0.43个百分点公司主要会计数据和财务指标的说明

√适用□不适用

2025年1-6月公司营业收入为32.65亿元，同比增长35.83%，主要原因是中国大陆市场需求强劲，公司凭借技术差异化优势，成功把握市场机遇，积累了充足订单储备；本期公司销售交货及调试验收工作高效推进，有效保障了经营业绩的稳步增长；公司深入推进产品平台化，产品技术水平和性能持续提升，产品系列日趋完善，满足了客户的多样化需求，市场认可度不断提高，为收入增长提供了有力支撑。

2025年1-6月利润总额同比增加75.27%，归属于上市公司股东的净利润同比增长56.99%，

归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润同比增长55.17%，主要原因是公司主营业务收入增长以及股份支付费用减少所致。

8/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

2025年1-6月经营活动产生的现金流量净额为-1.32亿元，同比下降129.54%，主要是因业务

规模扩大使得公司支付的职工薪酬增加，利润总额增加使得公司本期支付企业所得税等增加，以及应收账款回款有所放缓所致。

2025年1-6月基本每股收益1.58元，较上年同期增长54.90%；稀释每股收益1.57元，较上

年同期增长57.00%；扣除非经常性损益后的基本每股收益1.53元，较上年同期增长53.00%。主要原因是公司主营业务收入增长以及股份支付费用减少所致。

七、境内外会计准则下会计数据差异

□适用√不适用

八、非经常性损益项目和金额

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

非经常性损益项目金额附注（如适用）

非流动性资产处置损益，包括已计提资产减值-508145.58准备的冲销部分

计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、按照确定9366769.79

的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府补助除外除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外，非金融企业持有金融资产和金融负债产13502878.56生的公允价值变动损益以及处置金融资产和金融负债产生的损益计入当期损益的对非金融企业收取的资金占用费委托他人投资或管理资产的损益对外委托贷款取得的损益

因不可抗力因素，如遭受自然灾害而产生的各项资产损失单独进行减值测试的应收款项减值准备转回

企业取得子公司、联营企业及合营企业的投资成本小于取得投资时应享有被投资单位可辨认净资产公允价值产生的收益同一控制下企业合并产生的子公司期初至合并日的当期净损益非货币性资产交换损益债务重组损益企业因相关经营活动不再持续而发生的一次性费用，如安置职工的支出等因税收、会计等法律、法规的调整对当期损益产生的一次性影响

因取消、修改股权激励计划一次性确认的股份支付费用

对于现金结算的股份支付，在可行权日之后，应付职工薪酬的公允价值变动产生的损益

9/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

采用公允价值模式进行后续计量的投资性房地产公允价值变动产生的损益交易价格显失公允的交易产生的收益与公司正常经营业务无关的或有事项产生的损益受托经营取得的托管费收入

除上述各项之外的其他营业外收入和支出1952003.08

其他符合非经常性损益定义的损益项目1541471.44代扣个人所得税手续费返还

减：所得税影响额4362030.12

少数股东权益影响额（税后）-5.63

合计21492952.80

对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因□适用√不适用

九、存在股权激励、员工持股计划的公司可选择披露扣除股份支付影响后的净利润

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本报告期本期比上年同期主要会计数据上年同期

（1－6月）增减(%)

扣除股份支付影响后的净利润781670366.00614819688.5427.14

十、非企业会计准则业绩指标说明

□适用√不适用

10/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

第三节管理层讨论与分析

一、报告期内公司所属行业及主营业务情况说明

（一）所属行业情况

半导体产业的发展是全球经济重要的组成部分。半导体涉及汽车电子、人工智能、服务器、芯片、专用 IC、材料设备、物联网芯片、汽车MCU、晶圆、封测等多个细分行业，随着生成式人工智能技术的爆发，智能手机、AI PC等消费电子市场的复苏，以及汽车电子、物联网等下游市场需求的持续增长，对芯片产出的需求量与日俱增。目前，半导体产业链中材料、设备、制造等环节头部企业的垄断格局依然存在，但随着各国和地区对半导体产业的重视和投入增加，竞争也愈发激烈。中国集成电路产业抓住新机遇，不断发展壮大。

公司自设立以来，始终致力于为全球集成电路行业提供领先的设备及工艺解决方案，坚持差异化国际竞争和原始创新的发展战略。通过持续的自主研发，公司进一步完善了知识产权体系，凭借丰富的技术和工艺积累，形成了平台化的半导体工艺设备布局，包括清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、前道涂胶显影 Track设备、等离子体增强化学气相沉积 PECVD设备、

无应力抛光设备、面板级先进封装设备、后道先进封装工艺设备以及硅材料衬底制造工艺设备等。

公司凭借深耕集成电路设备产业多年而积累的集成应用经验，掌握了成熟的核心关键工艺技术、生产制造能力与原始创新的研发能力，拥有成熟的供应链管理和制造体系，同时契合集成电路产业链中下游应用市场所需。公司凭借领先的技术和丰富的产品线，已发展成为中国大陆少数具有一定国际竞争力的半导体设备供应商，产品得到众多国内外主流半导体厂商的认可，并取得良好的市场口碑。

报告期内，随着公司技术水平的不断提高、产品成熟度以及市场对公司产品的认可度不断提升，公司业务开拓迅速，营业收入持续增长，报告期内保持持续盈利。

公司具有“高新技术企业”资质，被评为国家级“专精特新”小巨人企业、全国工业和信息化系统先进集体，连续多年被评为“中国半导体设备五强企业”，曾荣获首批“上海市企业重点实验室”，获得“上海市企业技术中心”、“上海市专精特新企业”、“上海市创新型企业总部”“上海市制造业单项冠军企业”和“浦东新区突出贡献企业”等荣誉，“SAPS兆声波清洗技术”荣获2020年度上海市科技进步奖一等奖，同年被评为上海市专利示范企业，2022年获浦东新区大企业开放创新中心（GOI）挂牌。

（二）公司主营业务情况

1.主要业务

公司从事对集成电路制造与先进晶圆级封装制造行业至关重要的单晶圆及槽式湿法清洗设备、

电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备和前道涂胶显影设备和等离子体增强化学气相沉积设

备等的研发、制造和销售，并致力于为半导体制造商提供定制化、高性能、低消耗的工艺解决方案，有效提升客户多个步骤的生产效率、产品良率，并降低生产成本。

11/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

2.主要产品

公司经过多年持续的研发投入和技术积累，先后开发了前道半导体工艺设备，包括清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、涂胶显影 Track设备、等离子体增强化学气相沉积 PECVD

设备、无应力抛光设备、面板级先进封装设备；后道先进封装工艺设备以及硅材料衬底制造工艺设备等。

（1）前道半导体工艺设备

*清洗设备

A.SAPS兆声波单片清洗设备晶圆表面的兆声波能量与晶圆和兆声波发生器之间的距离呈现周期性的变化。在传统的兆声波清洗工艺中，不同工序后应力带来的晶圆翘曲，使得晶圆上不同点到兆声波发生器的距离不同，因此晶圆上不同位置的兆声波能量也不相同，无法实现兆声波能量在晶圆表面的均匀分布。而且由于硬件位置控制的误差，也会造成兆声波能量在晶圆表面分布的不均匀。

公司自主研发的 SAPS兆声波技术采用扇形兆声波发生器，通过精确匹配晶圆旋转速度、液膜厚度、兆声波发生器的位置、交变位移及能量等关键工艺参数，通过在工艺中控制兆声波发生器和晶圆之间的半波长范围的相对运动，使晶圆上每一点在工艺时间内接收到的兆声波能量都相同，从而很好的控制了兆声波能量在晶圆表面的均匀分布。

B.TEBO兆声波单片清洗设备

公司自主研发的 TEBO清洗设备，可适用于 28nm 及以下的图形晶圆清洗，通过一系列快速（频率达到每秒一百万次）的压力变化，使得气泡在受控的温度下保持尺寸和形状振荡，将气泡控制在稳定震荡状态，而不会内爆，从而保持晶圆微结构不被破坏，对晶圆表面图形结构进行无损伤清洗。公司 TEBO 清洗设备，在器件结构从 2D转换为 3D的技术转移中，可应用于更为精细的具有 3D结构的 FinFET、DRAM 和新兴 3D NAND等产品，以及未来新型纳米器件和量子器件等，在提高客户产品良率方面发挥越来越重要的作用。

公司通过自主研发并具有全球知识产权保护的 SAPS 和 TEBO兆声波清洗技术，解决了兆声波技术在集成电路单片清洗设备上应用时，兆声波能量如何在晶圆上均匀分布及如何实现图形结构无损伤的全球性难题。为实现产能最大化，公司单片清洗设备可根据客户需求配置多个工艺腔体，最高可单台配置18腔体，有效提升客户的生产效率。

C.高温单片 SPM设备

随着技术节点推进，工艺温度要求在 150摄氏度以上，甚至超过 200摄氏度的 SPM工艺步骤逐渐增加。高剂量离子注入后的光刻胶去除、无灰化步骤的纯湿法去胶工艺，以及特殊的金属膜层刻蚀或剥离，都对 SPM的温度提出了更高的要求。公司的新型单片高温 SPM设备使用独特的多级梯度加热系统来预热硫酸，然后将硫酸与过氧化氢混合以达到超高温。同时，公司的腔体支持配置其他多种化学品，并配备在线化学品混酸（CIM）系统，可用于动态设置工艺中的化学品配比及温度。该腔体配置还可支持更多的化学品和灵活的辅助清洗方案，比如公司独有的专利技

12/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

术 SAPS和 TEBO 兆声波技术。该设备可支持 300mm 晶圆单片 SPM（硫酸和过氧化氢混合酸）工艺，可广泛应用于逻辑、DRAM和 3D-NAND等集成电路制造中的湿法清洗和刻蚀工艺，尤其适合处理高剂量离子注入后的光刻胶（PR）去除工艺，以及金属刻蚀和剥离工艺。单片中低温 SPM清洗设备在多家客户端实现量产 26nm 颗粒数量少于 10 颗，平均颗粒数量少于 5颗。高温（硫酸温度大于 170 摄氏度）SPM装入盛美的专利申请保护的喷嘴技术，可以有效改善清洗腔的氛围，大幅减少清洗腔的清洗频度，增加运行时间，实现26纳米小颗粒数量少于10颗，平均颗粒数量少于5颗。

D.单片槽式组合清洗设备

公司自主研发的具有全球知识产权保护的 Tahoe 清洗设备在单个湿法清洗设备中集成了两个

模块：槽式模块和单片模块。Tahoe 清洗设备可被应用于光刻胶去除、刻蚀后清洗、离子注入后清洗和机械抛光后清洗等几十道关键清洗工艺中。Tahoe清洗设备的清洗效果与工艺适用性可与单片中低温 SPM清洗设备相媲美。该设备通过减少高达 75%的硫酸消耗量，仅硫酸一项每年就可节省高达数十万美元的成本，帮助客户降低生产成本又能更好符合国家节能减排政策。该设备具备强大的清洗能力，在 26nm 颗粒测试中实现了平均颗粒个位数的标准，可满足高端制造的严格要求。

E.单片背面清洗设备

公司研发的单片背面清洗设备采用伯努利卡盘，应用空气动力学悬浮原理，使用机械手将晶圆送入腔体后，使晶背朝上，晶圆正面朝下，在工艺过程中，精准流量控制的高纯氮气通过晶圆与卡具之间的空隙。同时，该设备还可精准控制晶圆边缘回刻宽度，做到 zero undercut控制。该设备可用于背面金属污染清洗及背面刻蚀等核心工艺。

F.边缘湿法刻蚀设备

该设备支持多种器件和工艺，包括 3D NAND、DRAM和逻辑工艺，使用湿法刻蚀方法去除晶圆边缘的各种电介质、金属和有机材料薄膜，以及颗粒污染物。这种方法最大限度地减少了边缘污染对后续工艺步骤的影响，提高了芯片制造的良率，同时整合背面晶圆清洗的功能，进一步优化了工艺和产品结构。

G.前道刷洗设备

设备采用单片腔体对晶圆正背面依工序清洗，可进行包括晶圆背面刷洗、晶圆边缘刷洗、正背面二流体清洗等清洗工序；设备占地面积小，产能高，稳定性强，多种清洗方式灵活可选。该设备可用于集成电路制造流程中前段至后段各道刷洗工艺。

H.全自动槽式清洗设备

公司开发的全自动槽式清洗设备广泛应用于集成电路领域和先进封装领域的清洗、刻蚀、光

刻胶去除等工艺，采用纯水、碱性药液、酸性药液作为清洗剂，与喷淋、热浸、溢流和鼓泡等清洗方式组合，再配以常压 IPA干燥技术及低压 IPA干燥技术，能够同时清洗 50 片晶圆。该设备

13/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

自动化程度高，设备稳定性好，清洗效率高，金属、材料及颗粒的交叉污染低。该设备主要应用于 40nm及以上技术节点的几乎所有清洗工艺步骤。

*半导体电镀设备

A.前道铜互连电镀铜设备

公司自主开发针对 28nm 及以下技术节点的 IC前道铜互连镀铜技术 Ultra ECP map。公司的多阳极局部电镀技术采用新型的电流控制方法，实现不同阳极之间毫秒级别的快速切换，可在超薄籽晶层上完成无空穴填充，同时通过对不同阳极的电流调整，在无空穴填充后实现更好的片内薄膜沉积均匀性，可满足各种工艺的镀铜需求。

B.三维堆叠电镀设备

应用于填充 3d硅通孔 TSV和 2.5D转接板的三维电镀设备 Ultra ECP 3d。基于盛美半导体电镀设备的平台，该设备可为高深宽比（深宽比大于10:1）铜应用提供高性能、无孔洞的镀铜功能。

该设备为提高产能而设计了堆叠式腔体，能减少消耗品的使用，降低成本，节省设备使用面积。

C.新型化合物半导体电镀设备

Ultra ECP GIII新型化合物半导体电镀设备已实现量产，在深孔镀金工艺中表现优异，台阶覆盖率在同样工艺参数条件下优于竞争对手水平；同时公司开发了去镀金技术并实现模块销售。

*立式炉管系列设备

公司研发的立式炉管设备主要包括低压化学气相沉积炉、氧化退火炉、合金炉和原子层沉积炉，公司炉管产品已经进入多个中国集成电路晶圆制造厂，已通过验证并大量量产。其中等离子体增强原子层沉积炉管已进入中国2家集成电路晶圆制造厂，正在做更新优化和为量产准备。

* 前道涂胶显影 Track设备

公司的前道涂胶显影 Ultra LithTM Track设备是一款应用于 300毫米前道集成电路制造工艺的设备，可提供均匀的下降气流、高速稳定的机械手以及强大的软件系统，从而满足客户的特定需求。该设备功能多样，能够降低产品缺陷率，提高产能，节约总体拥有成本（COO）。涂胶显影Track设备支持主流光刻机接口，支持包括 i-line、KrF和 ArF系统在内的各种光刻工艺，可确保满足工艺要求的同时，让晶圆在光刻设备中曝光前后的涂胶和显影步骤得到优化。

* 等离子体增强化学气相沉积 PECVD 设备

公司的等离子体增强化学气相沉积 Ultra PmaxTM PECVD 设备配置自主知识产权的腔体、气

体分配装置和卡盘设计，能够提供更好的薄膜均匀性、更优化的薄膜应力和更少的颗粒特性。

*无应力铜互连平坦化设备

公司的无应力抛光设备将无应力抛光技术 SFP(Stress-Free-Polish)与低下压力化学机械平坦化

技术 CMP相结合，集成创新了低 k/超低 k介电质铜互连平坦化 Ultra-SFP抛光集成系统，集合二者优点，利用低下压力化学机械抛光先将铜互联结构中铜膜抛至 150nm 厚度，再采用无应力抛光SFP的智能抛光控制技术将抛光进行到阻挡层，最后采用公司自主开发的热气相刻蚀技术，将阻挡层去除。无应力抛光设备应用于铜低 k/超低 k互连结构有诸多优点：其一，依靠抛光自动停止

14/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告原理，平坦化工艺后凹陷更均匀及精确可控；其二，工艺简单，采用环保的可以循环使用的电化学抛光液，没有抛光垫，研磨液等，耗材成本降低50%以上；对互联结构中金属层和介质层无划伤及机械损伤。

*新型化合物半导体刻蚀设备

公司推出了6/8寸化合物半导体湿法工艺产品线，以支持化合物半导体领域的工艺应用，包括碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)和砷化镓(GaAs)等。

（2）后道先进封装工艺设备

*先进封装电镀设备

公司在半导体先进封装领域进行差异化开发，解决了在更大电镀液流量下实现平稳电镀的难题。采用独创的第二阳极电场控制技术更好地控制晶圆平边或缺口区域的膜厚均匀性控制，实现高电流密度条件下的电镀，凸块产品的各项指标均满足客户要求。在针对高密度封装的电镀领域可以实现 2μm超细 RDL线的电镀以及包括铜、镍、锡、银和金在内的各种金属层电镀。自主开发的橡胶环密封专利技术可以实现更好的密封效果。

*涂胶设备

公司的升级版 8/12 寸兼容的涂胶设备，用于晶圆级封装领域的光刻胶和 Polyimide 涂布、软烤及边缘去除。涂胶腔内采用了公司特有的全方位无死角自动清洗技术，可缩短设备维护时间。

涂胶腔内可兼容两种光刻胶类型。这款升级版涂胶设备对盛美原有的涂胶设备性能和外观都进行了优化升级，可实现热板抽屉式抽出，方便维修及更换，并且能精确复位，有效保障工序运行。

*显影设备

公司的 Ultra C dv显影设备可应用于晶圆级封装，是WLP光刻工艺中的步骤。设备可进行曝光后烘烤、显影和坚膜等关键步骤。设备具备灵活的喷嘴扫描系统，精准的药液流量和温度控制系统，更低的成本控制，技术领先，使用便捷。

*湿法刻蚀设备

公司的湿法刻蚀设备使用化学药液进行晶圆球下金属层（UBM）的刻蚀工艺。该设备具备领先的喷嘴扫描系统，可提供行业领先的化学温度控制、刻蚀均匀性。该设备专注安全性，并且拥有药液回收使用功能从而减少成本，刻蚀腔内可兼容至多三种刻蚀药液单独使用及回收，提高使用效率。

*湿法去胶设备

公司的 Ultra C pr湿法去胶设备设计高效、控制精确，提升了安全性，提高了WLP产能。该设备将湿法槽式浸洗与单片晶圆清洗相结合，单片腔可实现高压去胶及常压去胶，也可单独使用。

去胶平台能够在灵活控制清洗的同时，最大限度地提高效率，也可与公司专有的 SAPS兆声波清洗设备一同使用，以清除极厚或者极难去除的光刻胶涂层。

*金属剥离设备

15/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

公司的湿法金属剥离（Metal Lift off）设备基于公司已有的湿法去胶设备平台，将槽式去胶浸泡模块与单片清洗腔体串联起来依序使用，在去胶的同时进行金属剥离。该设备可以在不同单片清洗腔中分别配置去胶功能和清洗功能，并通过优化腔体结构，实现易拆卸、清洗与维护，以解决金属剥离工艺中残留物累积的问题。

*无应力抛光先进封装平坦化设备

公司拓展开发适用于先进封装 3D硅通孔及 2.5D转接板中金属铜层平坦化工艺应用，为了解决工艺成本高和晶圆翘曲大的难点，利用无应力抛光的电化学抛光原理，相对比传统化学机械平坦化 CMP，没有研磨液、抛光头和抛光垫，仅使用可循环使用的电化学抛光液；并且不受铜层是否经过退火的影响，去除率稳定；通过与 CMP工艺整合，先采用无应力抛光将晶圆铜膜减薄至小于 0.5μm - 0.2μm厚度，再退火处理，最后 CMP工艺的解决方案，能够有效解决 CMP工艺存在的技术和成本瓶颈。

*带铁环晶圆的湿法清洗设备

公司已经研发出可以应用于带铁环晶圆（tape-frame wafer）的湿法清洗设备，采用公司自主研发的 chuck设计和腔体结构，可以支持不同尺寸铁环，可以用于清洗解键合工艺后的胶残留，清洗效果完全满足生产需求，提升工艺制程的良率。

*聚合物清洗设备

聚合物清洗设备使用相关有机溶剂清洗干法刻蚀后的聚合物残留，主要应用于 2.5D/3D 等先进封装工艺。聚合物清洗设备腔体可兼容两种有机溶剂，同时配备二流体清洗功能。聚合物清洗工艺过程中药液需要 Dosing功能以保证清洗能力，该设备具有领先的 Dosing功能，可根据工艺时间、药液使用时间和有机溶液浓度控制等灵活进行 Dosing设定，保证清洗能力。

* TSV清洗设备

TSV清洗设备主要应用于 2.5D/3D 等先进封装工艺中，TSV工艺中孔内会有聚合物残留，可选择使用高温硫酸与双氧水混合液进行清洗。TSV清洗设备具有高效的温度控制能力，可控制Wafer表面清洗时温度在 170℃高温。清洗后还可搭配公司专有的 SAPS兆声波清洗设备一同使用，保证 TSV孔内的清洗效果。

*背面清洗/刻蚀设备

背面清洗/刻蚀设备可用于介质层清洗和刻蚀、以及常规硅刻蚀工艺。背洗和背刻设备可通过手臂翻转或者单独的翻转单元进行翻转，腔体使用伯努利原理通过氮气支撑Wafer进行工艺，在完美保护Wafer正面不受影响的情况下进行背面清洗和刻蚀工艺。

*键合胶清洗设备

键合胶清洗设备主要用于 2.5D/3D 工艺中键合胶的去除，涉及到Wafer边缘键合胶去除及正面键合胶去除。设备配备单独的二流体 EBR喷嘴，可用于去除Wafer边缘键合胶；正面只用 3根二流体喷嘴，可搭配组合使用或单独使用，具有高效的去除效率；同时药液可进行回收以减少成本。

16/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

?带框晶圆清洗设备

公司的带框晶圆清洗设备可在同一腔体中同时完成清洗和干燥工艺，实现高效清洗和干燥。

公司自研的处理技术使该设备能够处理厚度小于150微米的薄晶圆。这款设备可在脱粘后的清洗过程中有效清洗半导体晶圆，其创新溶剂回收系统具有显著的环境与成本效益，该功能可实现近

100%的溶剂回收和过滤效果，进而减少生产过程中化学品用量。

（3）硅材料衬底制造工艺设备

* 化学机械研磨后（Post-CMP）清洗设备

公司的 CMP后清洗设备用于高质量硅衬底及碳化硅衬底的制造。这款设备在 CMP步骤之后，使用稀释的化学药液对晶圆正背面及边缘进行刷洗及化学清洗，以控制晶圆的表面颗粒和金属污染，该设备也可以选配公司独有的兆声波清洗技术。并且这款设备有湿进干出（WIDO）和干进

干出（DIDO）两种配置，可以选配 2、4或 6个腔体，以满足不同产能需求。

* Final Clean清洗设备

公司的 Final Clean 清洗设备用于高质量硅衬底及碳化硅衬底制造。这款设备在 Pre Clean步骤之后，使用稀释的化学药液同时结合公司独有的兆声波清洗技术对晶圆正背面进行化学清洗，以控制晶圆表面颗粒和金属污染。该设备适用于6寸、8寸或12寸晶圆清洗，并且可以选配4腔体、

8腔体或12腔体，以满足不同产能需求。

（4）面板级先进封装设备

*面板级先进封装负压清洗设备

面板级先进封装负压清洗设备主要用于更小 pitch以及更小的 SOH芯片的助焊剂清洗，在

2.5D/3D封装应用效果优势明显。专为面板而设计，该面板材料可以是有机材料或者玻璃材料。

该设备可处理 510x515 毫米和 600x600毫米的面板以及高达 10 毫米的面板翘曲。

*面板级先进封装边缘刻蚀设备

该设备专为面板衬底而设计，可与有机面板、玻璃面板和粘合面板兼容。该设备能有效管理面板的正面和背面，适用尺寸由 510mm x 515mm 至 600mm x 600mm不等，厚度在 0.5mm 至 2mm之间。该设备可处理最大 10mm的翘曲，确保最佳工艺条件。该设备专为铜相关工艺中的边缘刻蚀和清洗而设计，能够同时处理面板的正面和背面的边缘刻蚀，显著提升了工艺效率和产品可靠性。

新增重要非主营业务情况

□适用√不适用

二、经营情况的讨论与分析

2025年半导体产业在全球范围内呈现出持续向好发展态势，同时中国半导体市场也展现出积极的发展趋势。随着当前中国半导体企业的大力投资与扩张，半导体产业实现了快速发展，并在全球半导体产业链中占据了越来越重要的地位。

17/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

公司自设立以来，始终坚持差异化国际竞争和原始创新的发展战略，通过自主研发，建立了较为完善的知识产权体系，凭借丰富的技术和工艺积累，形成了具有国际领先的半导体清洗系列设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、前道涂胶显影 Track设备、等离子体增强化学气相

沉积 PECVD 设备、无应力抛光设备、面板级先进封装设备、后道先进封装工艺设备以及硅材料

衬底制造工艺设备等领先技术和产品线，致力于为全球集成电路行业提供领先的设备及工艺解决方案。

公司在集成电路设备领域多年发展，积累了深厚的集成应用经验，掌握了成熟的核心关键工艺技术、生产制造能力及原始创新能力，并建立了完善的供应链管理和制造体系，能够有效契合产业链中下游应用市场需求。凭借领先的技术实力与丰富的产品组合，公司已成长为中国大陆具备一定国际竞争力的半导体设备供应商之一，其产品获得了众多国内外主流半导体厂商的认可。

报告期内，伴随技术水平持续提升、产品成熟度增强及市场认可度提高，公司业务拓展成效显著，营业收入实现持续增长，并保持稳定的盈利能力。

（一）报告期内主要经营情况

报告期内，公司实现营业收入32.65亿元，较上年同期增长35.83%；归属于上市公司股东的净利润为6.96亿元，较上年同期增长56.99%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为6.74亿元，较上年同期增长55.17%。

1、生产研发方面

报告期内，通过与全球一线半导体企业的深度协作，精准把握前沿市场需求，技术与产品竞争力得到全面提升。在巩固现有客户关系的同时，公司积极拓展新客户资源，市场基础愈加稳固。

公司“盛美半导体设备研发与制造中心”于2025年6月达到预定可使用状态，显著提升了公司生产效能与规模，构建了国际一流的研发环境与创新生态，为核心技术攻关提供持久动力，并为支撑业务的快速发展并保障未来订单的及时交付了提供坚实保障。

公司的核心产品线在报告期内市场表现卓越，技术创新成果显著。在半导体清洗设备领域，据 Gartner统计，公司全球市场占有率达 8.0%（位居全球第四）。根据部分中国厂商统计，公司单片清洗设备中国市场占有率超30%，在国内外全部清洗设备供应商中，中国市场占比位列第二；

2025 年 3月，公司自主研发的单晶圆高温 SPM 设备已成功通过关键客户验证，该工艺对下一代半导体器件制造具备重要价值。在半导体电镀设备领域，公司全球市场占有率达8.2%（位列全球第三）。报告期内，公司 ECP 设备第 1500 电镀腔完成交付，实现电镀技术全领域覆盖（前道铜互连/后道晶圆级封装/3D堆叠/化合物半导体）。同期，公司自主研发的面板级水平电镀设备荣获美国 3D InCites协会颁发的“Technology Enablement Award”。

公司通过持续的研发投入和长期的技术、工艺积累，在新产品开发、生产工艺改进等方面形成了一系列科技成果，对公司持续提升产品品质、丰富产品布局起到了关键性的作用。公司取得的科技成果是公司竞争力的重要组成部分，亦是公司产品销售规模得以持续增长的基础。报告期内，公司实现营业收入32.65亿元，呈持续增长态势。公司主要产品在行业主流客户的规模化销

18/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

售与高度认可，是公司科技成果与产业发展趋势深度融合的有力证明，为公司长期、健康发展奠定了坚实基础。

2.供应保障方面

公司持续加强客户沟通，做好标准机型的销售预测及零部件安全库存，优化设备交付周期；

为了应对国际供应链复杂性及多变性，进一步推进零部件多元化及国产化，提升供应链柔性，更好地满足市场及客户需求。

3.运营管理方面

公司在运营管理中涵盖了多个方面，包括计划管理、生产管理、供应链开发及优化管理、质量管理、安全环境管理、信息化管理、人力资源管理、法务管理、IP管理、仓库管理。在生产和物料方面、客户技术支持和设备运行表现方面设定了一系列的关键考核指标，覆盖了质量、效率、成本和安全等众多方面。公司定期跟踪各项指标的执行情况，并根据统计结果和客户反馈进行内部讨论，制定出关键指标的改进要求。报告期内，公司营运效率持续提高，生产制造缺陷率持续下降、设备交付按时率保持在较高水准、物料成本控制等指标达到预期水平。

4.知识产权方面

公司高度重视科技创新和知识产权保护工作，并与员工签订了《保密及知识产权保护协议》。

截至2025年6月30日，公司及控股子公司累计申请专利共计1800项，已获授予的专利权为494项。在已授权的专利中，发明专利占据绝大多数，共计489项。从地区上看，境内授权专利189项，境外授权专利305项，境外与境内授权专利比例高达1.6:1，在同行企业中名列前茅。报告期内，公司新增专利申请230项，其中发明专利申请高达229项，彰显了公司源源不断的强劲创新活力。

5.人才建设方面

公司将持续深化人才发掘机制，保障团队稳定健康发展。中层管理团队主要来源于内部基层体系培养，注重能力素质与职业品格的同步提升，其中包括部分学历背景有限但专业技能精湛、具备工匠精神的特殊人才。针对此类核心人才，公司提供具有市场竞争力的薪酬及股权激励，并委任至关键岗位，从而构建积极进取、良性竞争的组织氛围。

伴随人员规模持续扩张，公司正系统性强化多层级人才培养。模式创新：建立多元化培训机制，形成人才开发与梯队建设的正向循环；机制完善：通过优化培训激励体系与提升管理效能，有效促进员工专业能力提升与学习主动性。

6.内部治理方面

报告期内，为顺应《公司法》的最新修订趋势，进一步提升公司治理效率与决策科学性，公司对治理结构实施了重大改革。核心举措为取消监事会，将其全部法定职权整合至董事会审计委员会（以下简称“审计委员会”），从而构建起权责更为集中的治理架构。与此配套，公司对《公司章程》及附件进行了修订，并梳理更新了涉及董事会运作、内部审计、信息披露等二十余项内

19/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告部治理制度。通过本次系统性制度修订与制定，公司不仅确保了治理实践与最新法规的对齐，更强化了审计委员会在监督体系中的核心作用，有效提升了公司整体运作的规范性和效率。

7.信息披露及防范内幕交易方面

报告期内，公司严格遵守法律法规及监管机构的各项规定，确保信息披露真实、准确、完整、及时、公平，通过公司公告、业绩说明会、投资者交流会、上证 e互动平台、电话会议、电子邮件等多元化渠道，全方位、多角度保持信息披露的透明度，保障投资者和市场参与者全面、及时了解公司经营情况及发展动态。2025年6月，公司在临港成功举办“2025年投资者开放日”活动，全面展示公司生产运营、研发创新及未来发展战略，现场与投资者面对面交流，增进投资者对公司的了解与信任，取得良好反响。

在内幕交易防范方面，公司高度重视并扎实做好内幕信息知情人登记管理工作，严格界定内幕信息范围，完善知情人登记制度，强化内部信息流转管控。定期对董事、监事、高级管理人员及相关员工发送禁止内幕交易的警示，强调保密义务的重要性，督促相关人员严格遵守公司股票买卖管理规定，持续提升内幕交易风险防控水平，切实维护市场公平公正。

非企业会计准则财务指标变动情况分析及展望

□适用√不适用

报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项

□适用√不适用

三、报告期内核心竞争力分析

(一)核心竞争力分析

√适用□不适用

公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，公司兆声波单片清洗设备、单片槽式组合清洗设备、铜互连电镀工艺设备及与中国及国际同行业企业的差别及核心竞争力体现的具体情

况如下：

中国同行项目盛美上海国际巨头业企业兆声波单片清洗设备通过控制兆声波发生器和晶圆之间的半波长相对运动，实现晶圆表面兆声波能量的均匀分布，解决了传统兆声清洗中由于晶圆翘曲引起的兆声波清洗不均一主要采用化学

的难题；通过精确控制兆声波的输出方式，使气泡在主要为二流液体清洗配合技术特点

受控的温度下保持一定尺寸和形状的振荡，将气泡振体清洗技术氮气雾化水物荡控制在稳定空化状态而不会产生内爆或塌陷，解决理清洗了传统兆声波清洗过程中由于气泡爆裂而引起的图形损伤问题。

SAPS技术目前已应用于逻辑28nm技术节点及DRAM 与公司相对 与公司相对技术节点及所

19nm技术节点，并可拓展至逻辑芯片28nm、DRAM 比，其清洗 比，其已销售

覆盖下游行业 18/19nm技术节点、32/64层3D NAND工艺、高深宽比 设备技术节 的清洗设备应

20/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

的功率器件及TSV深孔清洗应用，在DRAM上有70多 点较落后、 用于5nm及以步应用，而在逻辑电路FinFET结构清洗中有近20步应 应用领域较 上生产线、应用；TEBO技术主要针对45nm及以下图形晶圆的无损 窄 用领域更广伤清洗，目前已应用于逻辑芯片28nm技术节点，已进行18-19nm DRAM工艺图形晶圆的清洗工艺评估，并可拓展至28nm逻辑芯片及nm级3D结构、高深宽比

DRAM产品及多层堆叠3D NAND等产品中，在DRAM上有70多步应用，而在逻辑电路FinFET结构清洗中有

10多步应用。

晶圆尺寸12英寸为主，也可用于8英寸功率器件的深沟槽清洗无明显差异无明显差异中国市场较中国市场较

市场占有率中国市场较高，国际市场较低高，国际市场低垄断单片槽式组合清洗设备

相比当前主流单片设备，可大幅减少硫酸使用量；保持湿润及一定水膜厚度传送硅片至单片清洗模块；在

技术特点--

单片清洗模块中进行晶圆最终清洗，清洗能力优于传统槽式清洗设备，可和单片清洗设备相媲美。

应用包括前段干法蚀刻后聚合物及残胶去除，抛光后研磨液残留物去除，离子注入后光刻胶残留物去除，通孔前有机残留物去除等工艺，目前已完成逻辑芯片技术节点及所 40nm及28nm技术节点产线验证，并可拓展至28nm逻 无此产品 无此产品覆盖下游行业

辑芯片、20nm DRAM及以上技术节点及64层及以上

3D NAND，可用于20步及以上的高温硫酸及高温磷酸的清洗步骤。

晶圆尺寸12英寸为主无此产品无此产品市场占有率中国市场较低无此产品无此产品铜互连电镀工艺设备采用虚拟阴极

利用多阳极局部电镀技术，采用精确可控电源分别接电镀技术，克通各个阳极，实现局部电镀，适用于超薄籽晶层覆盖服晶圆边缘效小孔及沟槽结构的无空穴电镀填充；独立电镀液流场应，提高晶圆控制系统，单独控制向各个阳极提供电镀液，精确控内电镀均匀技术特点-

制电镀腔内的流体场；电镀夹具密封技术，通过全封性；配合智能闭式密封圈对接触电极的保护，提高工艺性能和延长入水功能，降接触电极使用寿命，降低工艺耗材成本；工艺腔体模低入水造成的块化设计，提升设备有效运行时间。电镀沉积缺陷。

双大马士革铜互连结构铜电

双大马士革铜互连结构铜电化学沉积工艺：55nm至

技术节点及所 28nm 化学沉积工及以上技术节点；先进封装凸块、再布线、硅通 无此产品

覆盖下游行业 艺：55nm至

孔、扇出工艺的电化学镀铜、镍、锡、银、金等。 28nm及以上技术节点。

晶圆尺寸12英寸为主，也可用于8英寸铜工艺的应用无此产品无明显差异市场占有率中国市场低无此产品市场垄断

21/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

如上表所述，公司通过差异化的创新和竞争，成功研发出全球首创的 SAPS/TEBO 兆声波清洗技术和单片槽式组合清洗技术。目前，公司的半导体清洗设备主要应用于12英寸的晶圆制造领域的清洗工艺，在半导体清洗设备的适用尺寸方面与国际巨头公司的类似产品不存在竞争差距。

我们认为，受益于大陆对集成电路产业的政策支持以及本土需求的提升，未来几年公司的主要客户将保持较高强度的资本开支节奏，进而带动清洗设备在内的半导体制造设备需求保持高景气。

(二)报告期内发生的导致公司核心竞争力受到严重影响的事件、影响分析及应对措施

□适用√不适用

(三)核心技术与研发进展

1、核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况

（1）核心技术情况

公司的主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备，通过多年的技术研发，公司在上述产品领域均掌握了相关核心技术，并在持续提高设备工艺性能、产能，提升客户产品良率和降低客户成本等方面不断进行创新。这些核心技术均在公司销售的产品中得以持续应用并形成公司产品的竞争力。近年来，公司推出了多款拥有自主知识产权的新设备、新工艺。

其中 Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积 PECVD 设备，2024年第三季度向中国的一家集成电路客户交付其首台 PECVD 设备，验证 TEOS 及 SiN工艺。该设备及发布的前道涂胶显影设备Ultra Lith，这两个全新的产品系列将使公司全球可服务市场规模翻倍增加。2024 年炉管设备继续推出新技术产品，包括两款新型 ALD炉管，并开始进入工艺验证阶段，进一步强化公司在炉管设备上的竞争力。

国家集成电路创新中心和上海集成电路研发中心有限公司于2020年6月20日对公司的核心

技术进行了评估，并出具了《关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司核心技术的评估》，盛美上海的核心技术主要应用于半导体清洗设备、无应力抛光设备和电镀铜设备。这些核心技术均为盛美上海自主研发取得，与国内外知名设备厂商相比，部分核心技术已达到国际领先或国际先进的水平，具体如下表所示：

核心技术名称技术先进性

一．SAPS兆声波清洗技术 国际先进

清洗设备 二．TEBO兆声清洗技术 国际领先

三．单晶圆槽式组合Tahoe高温硫酸清洗技术 国际领先

抛光设备四．无应力抛光技术国际领先

电镀铜设备五．多阳极电镀技术国际先进

公司推出的多款拥有自主知识产权的新设备、新工艺，包括立式炉管设备、涂胶显影设备、等离子体增强化学气相沉积 PECVD 设备，核心技术均来源于自主研发，部分核心技术已达到国内领先或国际领先的水平。

（2）公司的技术先进性及具体表征

* SAPS兆声波清洗技术

22/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

针对传统兆声波清洗工艺中兆声波能量无法均匀控制的问题，公司开发了 SAPS 兆声波清洗技术。兆声波的工艺频率范围为 1-3MHz，最大功率可达 3W/cm2。SAPS 兆声波清洗技术通过控制工艺过程中兆声波发生器和晶圆之间的相对运动，使得晶圆上每一点在工艺时间内接收到的兆声波能量都相同，不受晶圆翘曲的影响，并确保晶圆上每点所承受的能量在安全范围内。实验证明，SAPS兆声波清洗技术可控制晶圆表面的能量非均匀度在 2%以内，实现了兆声波能量的安全可控。

* TEBO兆声波清洗技术

随着芯片技术节点进一步缩小，以及深宽比进一步增大，图形晶圆清洗的难度变大。当芯片制造技术进一步延伸至 20nm 以下，以及图形结构向多层 3D发展后，传统兆声波清洗难以控制气泡进行稳态空化效应，造成气泡破裂，从而产生高能微射流对晶圆表面图形结构造成损伤。

公司自主研发的 TEBO清洗设备，可适用于 28nm 及以下工艺图形晶圆的清洗，通过一系列快速（频率达到每秒一百万次）的压力变化，使得气泡在受控的温度下保持尺寸和形状振荡，将气泡控制在稳定震荡状态，而不会内爆，从而保持晶圆微结构不被破坏，对晶圆表面图形结构进行无损伤清洗。公司 TEBO 清洗设备，在器件结构从 2D转换为 3D的技术转移中，可应用于更为精细的具有 3D结构的 FinFET、DRAM 和新兴 3D NAND等产品，以及未来新型纳米器件和量子器件等，在提高客户产品良率方面发挥越来越重要的作用。

* 单片槽式组合 Tahoe高温硫酸清洗技术

公司研发的单片槽式组合 Tahoe高温硫酸清洗设备，此设备集成了单腔体清洗模块和槽式清洗模块，可用于12英寸晶圆生产线的前端和后道工艺，尤其可用于高温硫酸工艺。综合了槽式和单片的优势，取长补短，在同一台设备中分步完成槽式清洗和单片清洗工序，既大量节省了硫酸使用量，也保证的良好的清洗效果，实现了绿色工艺，成本节约，环境友好的技术突破，解决了困扰业界多年的硫酸消耗量大的难题。2024年 Ultra C Tahoe 通过升级取得重要性能突破，升级版Ultra C Tahoe 的新功能和优势如下：

*更强的颗粒去除性能：Tahoe 平台具备更强大的清洗能力，在 26nm 颗粒测试中实现了平均颗粒个位数的标准，满足高端制造的严格要求。该设备未来会增加更精密的微粒过滤系统，能够去除 1x 纳米的微粒，可用于行业领先的逻辑和内存应用。

*更高的产能：升级后的槽式模块和多个单晶圆腔体每小时产能超过200片晶圆，可与12腔体单片 SPM系统媲美。

*无应力抛光技术

公司研发的无应力抛光技术，将阴极设计为惰性金属电极，将具有金属铜膜的晶圆连接到阳极，利用电解反应过程，使晶圆上的铜膜失去电子，形成铜离子进入到电解质溶液（抛光液）中，在阴极处会有氢气生成。随着电解过程的进行，晶圆表面铜膜逐渐溶解在抛光液中，从而达到了对表面铜膜的抛光作用。

*多阳极局部电镀技术

公司研发的多阳极局部电镀技术，可独立控制每个阳极的工作电压以及工作时区，从而控制晶圆表面的电场及电流分布，使电镀电源控制的响应时间精确控制，使在超薄籽晶层上的电镀铜膜均匀度提高，完成纳米级小孔的无孔穴填充电镀。该技术设置独立电镀液流场控制系统，单独控制向各个阳极提供电镀液，精确控制电镀腔内的流体场，独立控制晶圆切入系统，控制晶圆进入电镀液的关键参数，减少电镀时产生的缺陷。该技术配合多阳极智能电源，实现智能入水电流保护，适用于多种金属电镀应用。

公司成功开发了拥有自主知识产权的前道铜互连电镀设备 Ultra ECP map ，Ultra ECP map+，Ultra ECP map++，并已实现量产，确立了公司在本土 12英寸铜互连电镀设备市场的龙头地位。

* ECP先进封装电化学电镀技术

23/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

公司研发的 ECP 电化学电镀技术，主要应用于先进封装 Pillar Bump、RDL、HD Fan-Out 和TSV 中的铜、镍、锡银（或纯锡）、金等电镀工艺。（1）多阳极电镀技术基于多同心环阳极，并且独立控制每个阳极的工作电压以及工作时区，从而控制晶圆表面的电场及电流分布，精确到毫秒级电镀电源控制响应，使电镀铜膜均匀度提高。并且采用独立电镀液流场控制系统，单独控制向各个阳极提供电镀液，精确控制电镀腔内的流体场。第二阳极技术可以针对晶圆的 notch 开口区域进行精确控制；（2）脉冲电镀技术，通过周期性的输出脉冲电流，能够有效克服原有直流电镀，大电流造成添加剂参与电镀反应消耗速度大于添加剂物质传输补充的速度的瓶颈，实现更高的电流密度。针对高电流密度下的宏观脉冲电镀技术可以实现更好的共面性。

依托上述多项核心技术，公司成功开发了先进封装电镀设备、三维 TSV电镀设备和高速电镀设备，填补中国市场空白并形成批量销售。

* Furnace 立式炉管技术

立式炉是集成电路制造过程中的关键工艺设备之一，可批式处理晶圆，按照工艺压力和应用可以分为常压炉和低压炉两类，常压炉主要完成热扩散掺杂、薄膜氧化、高温退火；低压炉主要实现不同类型的薄膜在晶圆表面的沉积工艺，主要是多晶硅、氮化硅、氧化硅等薄膜。

公司研发的立式炉管设备可用于12英寸晶圆生产线，主要实现不同类型的薄膜在晶圆表面的沉积工艺：主要由晶圆传输模块、工艺腔体模块、气体分配模块、温度控制模块、尾气处理模块

以及软件控制模块所构成，针对不同的应用和工艺需求进行设计制造，首先集中在 LPCVD 设备，再向氧化炉和扩散炉发展，最后逐步进入到 ALD 设备应用。

公司开发的常压氧化炉和 LPCVD 炉管已经逐步应用于多个中国集成电路制造工厂，且逐步通过验证并正在向更多订单量发展。能达成精确薄膜控制和高均匀度的多种原子层沉积立式炉管

（ALD）正在加大力度开发和陆续进入客户端验证。

* 涂胶显影 Track技术

公司推出前道涂胶显影 Ultra LithTM Track设备，采用公司具有全球专利申请保护的垂直交叉式架构，应用于300毫米前道集成电路制造工艺，可提供均匀的下降层流、高速稳定的机械手以及强大的软件系统，从而满足客户的高产出及其他特定需求。该设备支持主流光刻机接口。

公司研发的涂胶显影 Track 设备已经进入客户端验证阶段，并且获得了部分工艺结果，涂胶工艺膜厚满足客户要求，显影关键尺寸 CD 接近工艺指标。最新研发的 KrF 工艺 300WPH Track设备整机内部测试完成。

* PECVD 设备工艺技术（等离子体增强化学气相沉积技术）

公司推出的 Ultra PmaxTM PECVD 设备配置了自主知识产权的腔体、气体分配装置和卡盘设计，能够提供更好的薄膜均匀性、更小的薄膜应力和更少的颗粒特性。Ultra PmaxTM PECVD 设备的推出，标志着公司在前道半导体应用中进一步扩展到全新的干法工艺领域。

基于 Ultra PmaxTM PECVD 设备平台基础上进行了改进，更好地兼顾了薄膜沉积的均匀性及设备的多应用兼容性，全新设计大幅缩减设备占地面积，有效节省产线部署空间；在超薄薄膜沉积工艺中表现卓越。

国家科学技术奖项获奖情况

□适用√不适用

国家级专精特新“小巨人”企业、制造业“单项冠军”认定情况

√适用□不适用认定主体认定称号认定年度产品名称

国家级专精特新“小巨人”企盛美上海2023年度不适用业盛美上海上海市制造业单项冠军企业2024年度不适用

24/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

2、报告期内获得的研发成果截至2025年6月30日，公司及控股子公司拥有已获授予专利权的主要专利494项（其中发明专利共计489项），其中境内授权专利189项，境外授权专利305项。该等在中国境内已授权的专利存在2件质押，不存在司法查封等权利受限制的情形。

报告期内获得的知识产权列表本期新增累计数量

申请数（个）获得数（个）申请数（个）获得数（个）发明专利229181793489实用新型专利0033外观设计专利1042软件著作权0000其他0000合计230181800494

注：“累计数量”中的“申请数”、“获得数”包含授权后失效的专利。

3、研发投入情况表

单位：元

本期数上年同期数变化幅度（%）

费用化研发投入416072433.63346224522.3520.17

资本化研发投入128311145.3144099170.25190.96

研发投入合计544383578.94390323692.6039.47研发投入总额占营业收入比

%16.6716.24增加0.43个百分点例（）

研发投入资本化的比重（%）23.5711.30增加12.27个百分点研发投入总额较上年发生重大变化的原因

√适用□不适用

研发投入合计较上年同比上升39.47%，主要是随着现有产品改进、工艺开发以及新产品和新工艺开发，相应研发物料消耗增加，聘用的研发人员人数以及支付研发人员的薪酬增加。

研发投入资本化的比重大幅变动的原因及其合理性说明

√适用□不适用

公司依据《企业会计准则》的规定，在研发项目满足特定条件后将相关研发投入予以资本化。

本期研发投入资本化的比重较上年同期增加12.27个百分点，主要是2025年根据研发项目的进度，将满足资本化条件的研发投入予以资本化处理。

4、在研项目情况

√适用□不适用

单位：亿元项目名预计总投本期投累计投进展或阶序号拟达到目标技术水平具体应用前景称资规模入金额入金额段性成果

28nm及以下工 （1）SAPS 兆声波清洗设备：适用于平

1 前道清 16.86 2.20 15.25 艺量产；3D 达到国际 坦晶圆表面和高深宽比通孔结构内清洗。量产阶段

洗设备 NAND工艺量 先进水平 （2）TEBO 兆声波清洗设备：适用于图产；18/19nm及 形晶圆包括先进 3D图形结构的清洗（。3）

25/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

以下 DRAM工 单片 SPM设备。（4）单片背面清洗设备：

艺。背面金属污染清洗及背面刻蚀等核心工

艺。（5）边缘湿法刻蚀设备：湿法刻蚀

方法来去除晶圆边缘的各种电介质、金属

和有机材料薄膜，以及颗粒污染物。（6）前道刷洗设备：前段至后段各道刷洗工

艺。（7）单片槽式组合清洗设备：用于

12英寸晶圆生产线的前端和后道工艺：

1）降低运营成本：与现阶段的单片高温

硫酸清洗设备相比，可大幅减少高温硫酸使用量；2）减少排放，有益于环保；3）整合槽式和单片清洗工艺，减少工艺步骤，提高工艺性能，缩短产品生产周期。

（8）全自动槽式清洗设备：40nm及以上技术节点的几乎所有清洗工艺。

（1）前道大马士革铜互连电镀：逻辑和

存储产品，3D结构的 FinFET、DRAM和

3D NAND等产品，以及未来新型纳米器

件和量子器件等的金属线互连。（2）三

28nm 维堆 叠电 镀设备 ： 3D TSV 及 2.5D及以下工 Inteposer 工艺中高深宽比深孔铜电镀工

艺量产；3DNAND 艺。（3）后道先进封装电镀设备：先进工艺量半导体 18/19nm 封装 Pillar Bump、RDL、HD Fan-Out和2 电镀设 9.00 1.09 6.04 产； 及 达到国际量产阶段

DRAM TSV 中的铜、镍、锡、银、金等电镀工以下 工 先进水平备艺。（4）新型化合物半导体电镀设备：

艺；先进封装；

GaAs，SiC，GaN化合物半导体（第三代化合物半导半导体）以及其他化合物半导体金属层沉体。

积；电镀金膜，深孔镀金以及 Cu，Ni，SnAg，TGV等金属的电镀工艺。针对深孔镀金工艺进行优化改善，可以解决客户端的金膜应力问题，底部填充台阶覆盖率优于竞争对手的表现。

（1）涂胶（2）显影（3）湿法刻蚀（4）

先进封 3D 湿法去胶（5）金属剥离（6）新型化合物先进 封装，装湿法

完成工艺 Chiplet 半导体系列湿法设备：包括涂胶、显影、等先进

设备及光阻去除、湿法蚀刻和清洗设备，为化合验证并进

32.420.371.78封装；第三代达到国际硅材料物半导体领域的客户提供一站式的服务。

入生产线半导体；硅衬先进水平

衬底制 （7）化学机械研磨后（Post-CMP）清洗量产阶段底及碳化硅衬

造湿法设备：用于高质量硅衬底及碳化硅衬底的底制造

设备 制造，有湿进干出（WIDO）和干进干出

（DIDO）两种配置。

完成设备

平台优化（1）低压化学气相沉积炉管应用于集成

推进成熟电路制造中氮化硅，多晶硅，氧化硅等薄工艺节点膜沉积工艺。（2）常压氧化扩散炉管主炉管验证目标达到要用于集成电路制造氧化、退火、推阱等

4 立式炉 4.50 0.77 2.85 和大量量 28nm及以下工 国际同行 工艺。（3）原子层沉积炉管实现对器件管设备产。多种艺量产业企业同的关键尺寸和图形形貌的精确控制，采用ALD设备 等水平 脉冲式薄膜沉积方式。

进入和部立式炉管三大类工艺产品广泛应用于逻

分完成高辑、存储、功率等集成电路制造中薄膜沉端工艺验积工艺。

证。

Track 进入客户目标达到涂胶显端验证。新

5 影系统 2.00 0.38 1.94 KrF 28nm及以下工 国际同行 采用垂直交叉架构，自主研发核心零部件开发

Track 艺量产 业企业同 和技术。可以匹配国内外光刻机。研制和 设等水平开发备。

首台客户逻辑工艺量产

机台配置向下兼容到（1）配置自主知识产权的腔体、气体分

PECVD 两种工艺， 28nm工艺； 目标达到 配装置和卡盘设计，能够提供更好的薄膜设备和

6 5.50 0.63 2.52 在 2024年 Memory工艺 国际同行 均匀性，更小的薄膜应力和更少的颗粒特

工艺研第三季度突破实现客户业企业同性。（2）新的逻辑工艺开发，随着技术发进入到客端量产；特色等水平的迭代机台需求量持续增大，有非常大的户产线进工艺中的薄膜市场前景。

行验证。沉积需求

26/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

创新技术路线等待验证；2023

SFP 年在客户无 目标达到端验证先

7应力铜0.600.38国际同行（1）前道铜互连平坦化（2）先进封装金进封装高自主研发

抛光技业企业同属层平坦化密度扇出术等水平电镀后去除工艺，小批量试产阶段。

合计/40.885.4430.76////

5、研发人员情况

单位：万元币种：人民币基本情况本期数上年同期数

公司研发人员的数量（人）1080776

研发人员数量占公司总人数的比例（%）48.9646.22

研发人员薪酬合计21674.6216022.18

研发人员平均薪酬21.0220.70教育程度

学历构成数量（人）比例(%)

博士研究生242.22

硕士研究生53749.72

本科43540.28

专科484.44

高中及以下363.33

合计1080100.00年龄结构

年龄区间数量（人）比例(%)

30岁以下（不含30岁）60255.74

30-40岁（含30岁，不含40岁）40737.69

40-50岁（含40岁，不含50岁）575.28

50-60岁（含50岁，不含60岁）141.30

60岁及以上00

合计1080100.00

6、其他说明

□适用√不适用

四、风险因素

√适用□不适用

（一）核心竞争力风险

1.技术更新风险

公司所处的半导体专用设备行业属于技术密集型行业，涉及微电子、电气、机械、材料、化学工程、流体力学、自动化、图像识别、通讯、软件系统等众多学科领域，具有较高的技术研发门槛。随着全球半导体行业的蓬勃发展，半导体行业技术日新月异，清洗设备对晶圆表面污染物

27/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

的控制要求越来越高，以避免杂质影响芯片良率和产品性能。此外，客户对清洗设备清洗表面污染物的种类、清洗效率、腔体数量、适用技术节点等需求也随之不断变化。公司长期坚持差异化竞争和创新的发展战略，若不能继续保持充足的研发投入，亦或芯片工艺节点继续缩小，再或芯片制造新技术的出现，都可能导致公司核心技术及相关产品的领先程度下降，将可能对公司的经营业绩造成不利影响。

2.关键技术人才流失风险

作为技术密集型行业，技术人才是决定半导体专用设备行业竞争力的关键因素。随着中国大陆半导体专用设备行业的持续发展，对技术人才的竞争将不断加剧。如果由于薪酬或其他原因，公司的关键技术人才大量流失，或者公司无法激励现有技术人才，亦或无法吸引优秀技术人才，公司可能发生技术团队配置不足的情形，从而无法继续研发和销售新产品，无法为客户提供优质的服务，公司也可能会面临更高的招聘及培训成本，可能对公司技术研发能力和经营业绩造成不利影响。

3.核心技术泄密风险

公司一向重视对核心技术的保护，但如果因公司或供应商的网络安全系统无法防范未经授权的访问、复杂的网络攻击，或者公司的员工、供应商对敏感数据的不当处理等原因导致公司的知识产权、核心技术泄露，公司可能会受到客户的重大责任索赔，导致公司的声誉和竞争地位受到严重损害，进而对公司的业务发展和经营成果产生不利影响。

4.技术研发风险

公司为保持在技术方面的领先，未来需要持续研发新产品并改进现有产品。任何新技术、新产品的研发都需要较长的时间、大量的资金。如果公司的技术研发方向不能顺应市场需求、技术变化和不断发展的标准，或者公司研发出的新产品不能满足客户对成本、尺寸、验收标准、规格、性能及交货周期的要求，亦或公司研发出的新产品缺乏能够及时供应关键零部件的供应商，公司将面临技术研发投入无法取得预期效果的风险。

此外，公司对设备产品的某些改进可能会导致客户对现有设备产品的需求下降。客户对新产品的等待可能导致客户的购买行为延迟，导致公司现期的订单下降，从而影响公司的经营业绩。

（二）经营风险

1.市场竞争风险

全球半导体专用设备行业市场竞争激烈，市场主要被国际巨头企业所占据，公司产品在其面向的市场均与国际巨头直接竞争。与中国大陆半导体专用设备企业相比，国际巨头企业拥有更强的资金实力、技术储备、销售团队、制造能力、销售渠道和市场知名度，拥有更广泛的客户和合作伙伴关系，也拥有更长的经营历史、更为丰富的产品系列、更为广泛的地域覆盖，能够更好地识别和应对市场和客户需求的变化。部分国际巨头还能为同时购买多种产品的客户提供捆绑折扣。

近年来随着中国半导体终端应用市场的不断增长，中国半导体制造、封测、材料、设备等子行业的发展迅速。中国大陆市场预计将成为全球半导体设备企业竞争的主战场，公司未来将面临

28/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

国际巨头企业和中国新进入者的双重竞争。公司产品与国际巨头相比，在适用技术节点、市场占有率等方面有一定的差距，如果公司无法有效应对与该等竞争对手之间的竞争，公司的业务收入、经营成果和财务状况都将受到不利影响。

2.市场开拓失败风险

公司的市场开拓策略是首先开拓全球半导体龙头企业客户，通过长时间的研发和技术积累，取得其对公司技术和产品的认可，以树立公司的市场声誉。然后凭借在国际行业取得的业绩和声誉，持续开拓中国大陆等半导体行业新兴区域市场。公司通过向客户展示公司设备的差异化、创新性、性能及可靠性，使全球领先的芯片制造企业能够评估和验证公司的技术和产品。在公司的市场开拓过程中，如果这些领先的芯片制造企业不愿接受和验证公司的设备产品；或者即使这些领先的芯片制造企业采用公司的技术和设备，其他芯片制造企业也可能不会接受公司的技术和设备。公司产品的市场开拓存在失败的风险，可能会对公司的业务、经营成果和财务状况产生重大不利影响。

公司产品的销售周期可能非常漫长，并且具有不确定性。从最初与客户接触到执行采购订单，公司的销售周期一般是一年至一年半甚至更长。客户建厂、扩厂计划可能会随终端市场需求下行而放缓，进一步放慢或缩减采购计划，从而影响公司产品的最终销售。另外，客户对国产设备的采购计划，也会受国外主流设备商交货情况影响，机遇与风险并存。在销售周期内，公司在营销活动中将投入大量的时间和资金，尤其是对新产品的推广方面，产品试用的周期较长，会对公司的经营成果及财务状况造成一定不利影响。

3.客户集中度较高的风险

根据行业惯例，公司的销售是以客户的采购订单为基础的。在正式收到采购订单之前，公司不会获得具有约束力的采购承诺。公司的主要客户可能会向公司提供了无约束力的采购预测，但这些预测可以随时更改，无需通知公司。但由于公司产品的交货期可能长达6个月，因此公司可能需要根据非约束性采购预测开始安排原材料、零部件的外购和外协，但不能保证客户会在公司期望的时间下订单。同时，公司客户也可能会下超过预测数量的订单，这可能导致公司无法按时交付产品，从而丧失销售机会。鉴于公司客户集中度较高，如果公司对主要客户的销售预测出现重大偏差，或者主要客户的生产经营发生重大问题或财务状况出现恶化，将会对公司的产品销售和应收账款的及时回收等产生不利影响。

4.产品质量风险

公司所处的半导体专用设备行业是半导体产业链的关键性支撑行业，半导体专用设备的质量、技术指标和运行稳定性对芯片产品的品质尤为重要。公司的半导体专用设备产品具有高度复杂性，在设计和制造过程中可能产生缺陷，也可能无法达到客户的具体规格要求，而公司的检测程序也可能无法发现其中的质量问题，可能导致客户延迟或拒绝接受公司的设备产品，甚至发生退货；

公司还可能遭受到客户的负面评价、负面报道和声誉损害，从而导致现有客户的订单减少，并影响公司对新客户的开拓；公司亦可能因产品质量问题产生额外的保修或服务义务，产生额外的成

29/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告本；还可能因公司产品质量缺陷导致客户产生损失，从而导致客户对公司产品的责任索赔或者诉讼，公司可能需要承担高额的诉讼费用，也可能需要承担重大损害赔偿的责任。若公司产品出现上述质量问题，将可能对公司的经营业绩和市场声誉产生不利影响。

5.市场声誉风险

公司所处的半导体专用设备行业集中度高、竞争激烈。公司需要与少数国际半导体专用设备巨头竞争，而该等竞争对手拥有更长的经营历史、更全的产品系列和更高的市场声誉。在该等竞争格局下，传统营销的价值是有限的，而市场声誉则至关重要。如果因产品质量事故、交货周期延迟、技术落后、服务不及时等原因，导致公司的市场声誉受到损害，将对公司的经营成果和财务状况产生不利影响。

（三）财务风险

1.应收账款回收的风险

报告期末，公司的应收账款账面价值为272855.79万元，占总资产的比例为20.53%。报告期内，公司的应收账款金额较大，对公司造成了一定的营运资金压力。但公司的主要客户均为国内外主流半导体企业，总体信用状况良好。公司已根据谨慎性原则对应收账款计提了坏账准备。

如果未来公司应收账款管理不当或者客户自身发生重大经营困难，可能导致公司应收账款无法及时收回，将对公司的经营业绩造成不利影响。

2.存货跌价风险

公司的半导体专用设备产品进入市场需要经历较长的验证过程，生产阶段需要根据订单提前备货，且交付后需要安装调试后客户才完成验收，因此公司的原材料及发出商品随着业务规模快速扩张、产品种类的增加、在手订单规模的扩大而增加。报告期末，公司的存货账面价值为

439433.31万元，占流动资产的比例为41.55%，库存商品和发出商品账面价值为191909.02万元，占存货账面价值的比例为43.67%，账面价值较高且在报告期内随公司业务发展逐年增加。

公司难以准确预测客户的需求，公司的设备需求预测基于多项假设，包括从客户处得到的非约束性预测，但每一个假设都可能导致公司的预测出现差错，导致原材料及零部件的存货水平超过客户需求。或者由于产品设计方案变更造成零部件或原材料清单变化、客户订单的减少，均可能导致公司的部分零部件和原材料在库存期间过时或过剩，从而导致存货发生跌价风险。

如果未来产品销售价格发生重大不利变化或发出商品在客户端未能验收通过而被退回，可能导致存货可变现净值低于账面净值，而需要计提存货跌价准备，从而影响公司的盈利水平。

3.税收优惠风险

报告期内，公司享受高新技术企业所得税的税收优惠和研发费用加计扣除。如果中国有关税收优惠的法律、法规、政策等发生重大调整，或者由于公司未来不能持续取得中国高新技术企业资格或不满足研发费用加计扣除的条件等，将对公司的经营业绩造成一定影响。

4.汇率波动风险

30/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

报告期内，公司的大多数产品销售以美元计价，部分原材料、零部件采购以美元和韩元计价，而其他原材料、零部件、员工薪酬、其他成本费用以人民币计价，人民币对美元、韩元的汇率将会对公司的经营成果造成影响。报告期内，公司财务费用中汇兑收益为374.66万元。人民币汇率随着国际政治、经济环境的变化而波动，具有一定的不确定性。随着公司业务规模的持续扩大，若未来人民币对美元、韩元的汇率发生剧烈波动，将对公司的业绩带来一定的不确定性，可能导致汇兑损失的产生，从而对公司的经营成果和财务状况造成不利影响。

5.毛利率波动的风险

公司为晶圆制造、先进封装、半导体硅片制造等半导体企业提供半导体专用设备，公司产品呈现显著的定制化特征，不同客户的产品配置、性能要求以及议价能力可能有所不同，对相同客户的首台订单和重复订单价格也可能存在差异，从而导致公司产品毛利率存在一定差异。报告期内，公司主营业务毛利率为49.97%，较为平稳。如果未来公司的经营规模、产品结构、客户资源、成本控制、技术创新优势等方面发生较大变动，或者行业竞争加剧，导致公司产品销售价格下降、成本费用提高或客户的需求发生较大的变化，公司将面临主营业务毛利率出现波动的风险。领先技术产品可提高公司毛利，公司的高端工艺产品的研发速度及市场化进程将会对公司的整体毛利造成影响。

（四）行业风险

公司所处的半导体专用设备行业是半导体产业链的关键性支撑行业，其需求直接受到芯片制造、封测行业及终端应用市场的影响。如果未来宏观经济发生剧烈波动，导致 5G 通信、计算机、消费电子、网络通信、汽车电子、物联网等终端市场需求下降，晶圆制造、封测企业将面临产能过剩的局面，从而导致芯片产品销量和价格的下降，其营业收入、盈利能力也将随之下降。晶圆制造、封测企业通常会在行业低迷期间大幅削减资本性支出，而且资本性支出的下降幅度往往会超过其营业收入的下降幅度，从而削减对半导体专用设备的采购金额，将会对公司的业务发展和经营业绩造成不利影响。

而在半导体行业景气度提升的周期，公司必须提高产量以满足预期的客户需求，这要求公司及供应商增加库存、扩大生产能力。如果公司不能及时应对客户需求的快速增长，或者对需求增长的期间、持续时间或幅度判断错误，一方面公司可能会失去现有客户，另一方面也可能发生与营业收入增长不成比例的成本增加，进而可能会对公司的业务、经营成果、财务状况或现金流量产生重大不利影响。

（五）宏观环境风险近年来，国际政治经济环境变化，国际贸易摩擦不断升级，半导体产业成为受到影响最为明显的领域之一，也对中国相关产业的发展造成了客观不利影响。国际政治环境的不确定性可能会对半导体行业产生负面影响，包括降低晶圆制造、封测企业对半导体专用设备的需求。如果所在国贸易政策、关税、附加税、出口限制或其他贸易壁垒进一步恶化，将可能对公司客户的生产或销售能力造成不利影响，使公司客户的经营状况恶化，导致客户对公司设备产品的需求降低。盛

31/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

美韩国于2025年收到了韩国首尔海关部门关于由盛美韩国生产并运往海外市场的某些产品的问询。盛美韩国已经应韩国首尔海关部门的要求提供了相关信息。该事项目前尚处于初步阶段，韩国相关政府部门尚未出具明确结论。此外，如果中国政府对公司从美国采购的原材料或零部件加征关税，公司的经营成本也将增加，进而会对公司的营业收入、经营成果或财务状况产生不利影响。

（六）其他重大风险

1.公司规模扩张带来的管理和内控风险

报告期期末，公司资产总额为1328853.07万元，报告期内，公司营业收入为326529.18万元。资产规模与营收规模均实现了快速的增长。然而，随着公司资产、业务、机构和人员规模的进一步扩张，公司研发、采购、生产、销售等环节的资源配置和内控管理的复杂度不断上升，对公司的组织架构和经营管理能力提出了更高要求，不排除公司内控体系和管理水平不能适应公司规模快速扩张的可能性，可能导致公司运营效率下滑，使公司的成本费用增长率超过收入增长率，从而损害公司的竞争力。因此，公司存在因规模扩张导致的管理和内部控制风险。

2.知识产权争端风险

公司所处的半导体专用设备行业属于典型的技术密集型行业，具有技术优势的行业领先企业需要通过申请专利的方式对自身核心技术进行保护。公司取得的经营成果在一定程度上依赖于自身知识产权体系，以及公司维持该等知识产权和保护商业秘密的能力，还包括公司在不侵犯他人专利的情况下开展经营的能力。公司高度重视知识产权的保护，帮助技术研发人员形成专利技术成果，同时提高不侵犯他人知识产权的意识。若公司被竞争对手诉诸知识产权争端，或者公司自身的知识产权被竞争对手侵犯，将对公司的生产经营造成不利影响。

3.公司与控股股东 ACMR 分别在科创板和 NASDAQ 股票市场上市的相关风险

公司于 2021 年 11 月 18 日在上海证券交易所科创板上市后，与公司控股股东美国 ACMR 分别在上海证券交易所和美国 NASDAQ 股票市场挂牌上市。公司与美国 ACMR 需要同时遵循两地法律法规和监管部门的上市监管要求，对于需要依法公开披露的信息，应当在两地同步披露。

由于中美两国存在法律法规和监管理念差异，公司和美国 ACMR 因适用不同的会计准则并受不同监管要求，会在具体会计处理及财务信息披露方面存在一定差异。同时，由于证券监管部门对上市公司信息披露要求的差异及语言、文化、表述习惯差异，以及中美两地投资者的构成和投资理念不同、资本市场具体情况不同，公司在科创板上市的股票价格与美国 ACMR 在 NASDAQ 股票市场的股票价格可能存在差异。该差异及美国 ACMR 的股票波动可能对公司在科创板上市股票的价格造成影响。

4.公司及部分子公司被列入“实体清单”的风险

2024 年 12 月 2 日，美国商务部工业与安全局（BIS）发布了针对出口及转移至中国的半导体

新管制措施，涵盖先进集成电路（IC）产品、特定集成电路制造设备与技术，以及与人工智能（AI）和先进计算相关的超级计算机领域。根据新规，公司及部分子公司被列入 BIS 实体清单。

32/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

根据美国《出口管理条例》（Export Administration Regulations，英文简称“EAR”）的规定，被列入“实体清单”的企业采购 EAR 管制物项时，其供应商需要事先向美国商务部申请出口许可证。未来若相关供应商无法获得美国的出口许可，公司及其子公司因被列入 BIS 实体清单可能存在不能采购 EAR 管制物项的风险。

五、报告期内主要经营情况

报告期内，公司实现营业收入32.65亿元，较上年同期增长35.83%；归属于上市公司股东的净利润为6.96亿元，较上年同期增长56.99%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为6.74亿元，较上年同期增长55.17%。

(一)主营业务分析

1、财务报表相关科目变动分析表

单位：元币种：人民币

科目本期数上年同期数变动比例（%）

营业收入3265291841.842403896730.5035.83

营业成本1608858073.341217092685.3432.19

销售费用268031790.95205965790.7030.13

管理费用136759969.05155825271.73-12.24

财务费用-22707701.28-14776752.09不适用

研发费用416072433.63346224522.3520.17

经营活动产生的现金流量净额-131953945.43446718846.79-129.54

投资活动产生的现金流量净额-255108309.85-176872761.71不适用

筹资活动产生的现金流量净额521606074.73364884164.0642.95

营业收入变动原因说明:营业收入较上期同比上升35.83%，主要原因是全球半导体行业持续复苏，尤其是中国大陆市场需求强劲，公司凭借技术差异化优势，成功把握市场机遇，积累了充足订单储备；本期公司销售交货及调试验收工作高效推进，有效保障了经营业绩的稳步增长；公司深入推进产品平台化，产品技术水平和性能持续提升，产品系列日趋完善，满足了客户的多样化需求，市场认可度不断提高，为收入增长提供了有力支撑。

营业成本变动原因说明:营业成本较上期同比上升32.19%，主要是营业成本随营业收入增长而增加所致。

销售费用变动原因说明:销售费用较上期同比上升30.13%，主要是销售和售后服务人员数量增加且因业绩增长工资、奖金有所提高，使得销售和售后服务人员工资薪金增加，以及市场推广费和销售佣金等随营业收入的增长而增加所致。另外因会计政策变更影响，对上表销售费用上年同期数进行了追溯调减。

管理费用变动原因说明:管理费用较上期同比下降12.24%，主要本期授予管理人员限制性股票确认的股份支付费用减少所致。

财务费用变动原因说明:主要是本期利息收入比较上期增加所致。

研发费用变动原因说明:研发费用较上期同比上升20.17%，主要是随着现有产品改进、工艺开发以及新产品和新工艺开发，相应研发物料消耗增加，聘用的研发人员人数以及支付研发人员的薪酬增加所致。

经营活动产生的现金流量净额变动原因说明:经营活动产生的现金流量净额较上期同比下降

129.54%，主要是因业务规模扩大使得公司支付的职工薪酬增加，利润总额增加使得公司本期支付

企业所得税等增加，以及应收账款回款有所放缓所致。

投资活动产生的现金流量净额变动原因说明:投资活动产生的现金流量净额较上期同比下降，主要是因为上期定期存款到期转回至货币资金较高所致。

筹资活动产生的现金流量净额变动原因说明:筹资活动产生的现金流量净额较上期同比上升

42.95%，主要是本期银行借款增加以及股权激励行权收到现金增加所致。

33/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

2、本期公司业务类型、利润构成或利润来源发生重大变动的详细说明

□适用√不适用

(二)非主营业务导致利润重大变化的说明

□适用√不适用

(三)资产、负债情况分析

√适用□不适用

1、资产及负债状况

单位：元本期期末本期期末金上年期末数数占总资额较上年期项目名称本期期末数上年期末数占总资产的情况说明产的比例末变动比例

%比例（%）（）（%）

12316200.630.09主要是随着应收货款回款方式变应收票据

化所致

预付款项106037827.750.8059517523.600.4978.16主要是战略备货增加所致

其他流动资产304347893.182.29195332821.681.6155.81主要本期定期存款以及待抵扣进项税增加所致

长期股权投资203813265.481.5371737500.330.59184.11主要是预付投资款转长期股权投资所致

固定资产1753287456.6013.191167285542.789.6250.20主要是本期临港土建项目竣工转固增加所致

在建工程48040217.700.36592109816.384.88-91.89主要是本期临港土建项目竣工转固减少所致

使用权资产57777402.810.4335137626.520.2964.43主要是租赁期超过一年的租赁确认使用权资产增加所致

无形资产146083593.231.1093181233.300.7756.77主要是本期内部开发支出转无形资产增加所致

250287123.051.88182813971.831.5136.91主要是本期开发支出项目持续投开发支出

入所致主要是本期预付投资款转长期股

其他非流动资26757403.310.20241372909.051.99-88.91权投资，以及定期存款到期转回产所致

短期借款379163250.002.85236043111.111.9560.63主要是本期短期借款增加所致

其他应付款417721975.283.14155040329.001.28169.43主要是本期计提应付股利2.88亿元所致主要是本期一年内到期的长期借

一年内到期的449118124.023.38234657612.471.9391.39款增加以及一年内到期的预计负非流动负债债增加所致

其他流动负债11301227.380.097270565.620.0655.44主要是本期待转销项税额增加所致

租赁负债33728475.580.2521617189.580.1856.03主要是租赁期超过一年的租赁确认租赁负债增加所致

根据2025年4月17日，财政部会计司发布企业会计准则实施间答对于保证类质量保证形成的预

预计负债22597850.360.1787599198.110.72-74.20计负债，将预计在未来一年或一个营业周期以内清偿的保证类质量保证的预计负债金额计入流动负债所致其他说明无。

2、境外资产情况

√适用□不适用

34/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(1).资产规模

其中：境外资产457787.64（单位：万元币种：人民币），占总资产的比例为34.45%。

(2).境外资产占比较高的相关说明

√适用□不适用

单位：万元币种：人民币本报告期本报告期境外资产名称形成原因运营模式营业收入净利润半导体专用设备的销清芯科技有限

全资子公司售，盛美上海出口业223094.98-2332.76公司务销售平台其他说明无。

3、截至报告期末主要资产受限情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额账面价值受限原因

货币资金7865374.167865374.16法定受限

货币资金20000000.0020000000.00银行保证金账户

货币资金49402298.2249402298.22预付款保函保证金

固定资产-临港产业园区先租后249745893.97222724764.00抵押受限售公共租赁住房

合计327013566.35299992436.38

4、其他说明

□适用√不适用

35/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(四)投资状况分析

1、对外股权投资总体分析

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

报告期投资额（元）上年同期投资额（元）变动幅度

132075765.153237435.323979.64%

本报告期末，公司对外股权投资余额为20381.33万元。系公司对联营投资公司股权投资余额。

(1).重大的股权投资

√适用□不适用

单位：元币种：人民币投资方截至报告期末披露日期及索被投资公司名称主要业务投资金额持股比例资金来源本期投资损益

式进展情况引（如有）

合肥石溪产恒集成电路创业投资、咨已完成全部出

创业投资基金合伙企业询及创业管理增资30000000.0010.00自筹资金-40839.92否资（有限合伙）服务半导体专用设

NINEBELL CO.LTD. 备的零件生产 收购 120313688.48 20.00 已完成全部出自筹资金 5166191.64 否资与销售

合计//150313688.48///5125351.72/

(2).重大的非股权投资

□适用√不适用

(3).以公允价值计量的金融资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

本期公允价值计入权益的累本期计提的减本期出售/赎回资产类别期初数本期购买金额其他变动期末数变动损益计公允价值变值金额

36/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

动

股票138136347.3913009738.75151146086.14

其他133324391.64101226.08133425617.72

其中：其他非133324391.64101226.08133425617.72流动金融资产

合计271460739.0313110964.83-----284571703.86证券投资情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币计入权益的累证券品证券代证券简资金来本期公允价本期购本期出处置损会计核算科最初投资成本期初账面价值计公允期末账面价值种码称源值变动损益买金额售金额益目价值变动

境内外688347华虹公99999952.00自筹89365341.7216230761.44105596103.16交易性金融股票司资产

境内外688549中巨芯29999995.90自筹12281622.60-1124373.9011157248.70交易性金融股票资产

境内外688584上海合19999970.91自筹36489383.07-2096648.7934392734.28交易性金融股票晶资产

其他129600000.00自筹133324391.64101226.08133425617.72其他非流动金融资产

合计//279599918.81/271460739.0313110964.83----284571703.86/

注1：其他系以公允价值计量的其他非流动金融资产投资。

衍生品投资情况

□适用√不适用

37/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(4).私募股权投资基金投资情况

□适用√不适用其他说明无

(五)重大资产和股权出售

□适用√不适用

(六)主要控股参股公司分析

√适用□不适用

主要子公司及对公司净利润影响达10%以上的参股公司情况

√适用□不适用

单位：万元币种：人民币公司名称公司类型主要业务注册资本总资产净资产营业收入营业利润净利润半导体专用设备的清芯科技有限公

子公司销售，公司出口业务港币10元529241.083892.71223094.98-2234.26-2332.76司销售平台盛帷半导体设备从事半导体专用设子公司（上海）有限公备的研发、生产和销人民币70000万元334820.6673197.2520635.93-1736.78-4798.56司售报告期内取得和处置子公司的情况

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

38/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(七)公司控制的结构化主体情况

□适用√不适用

六、其他披露事项

□适用√不适用

39/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

第四节公司治理、环境和社会

一、公司董事、高级管理人员和核心技术人员变动情况

√适用□不适用姓名担任的职务变动情形

HUI WANG 因工作职责调整，公司不再认定为董事长、核心技术人员公司核心技术人员，其余职务不变HAIPING DUN 董事 离任

STEPHEN SUN-HAI CHIAO 董事 离任罗千里董事离任

SOTHEARA CHEAV 副总经理、核心技术人员 离任

公司董事、高级管理人员和核心技术人员变动的情况说明

√适用□不适用

1、2025年 3月，因公司董事长 HUI WANG工作职责有所调整，公司不再认定其为公司核心

技术人员；HUI WANG将继续担任公司董事长职务，持续领导公司战略发展，为公司的稳健经营和长远规划提供指导。

2、2025年 3月，HAIPING DUN因个人原因申请辞去公司董事职务、董事会战略委员会及薪

酬与考核委员会委员职务，辞职后 HAIPING DUN将不再担任公司任何职务。

3、2025 年 3月，STEPHEN SUN-HAI CHIAO 因个人原因申请辞去公司董事职务、董事会战

略委员会委员职务，辞职后 STEPHEN SUN-HAI CHIAO 将不再担任公司任何职务。

4、2025年3月，罗千里因个人原因申请辞去公司董事职务、董事会提名委员会委员职务，

辞职后罗千里将不再担任公司任何职务。

5、2025年 3月，公司副总经理 SOTHEARA CHEAV因已过退休年龄，申请辞去公司副总经理职务，辞职后 SOTHEARA CHEAV不再担任公司任何职务，公司不再认定其为公司核心技术人员。

6、公司于2025年6月26日召开第二届董事会第二十一次会议，审议通过了《关于取消监事会、增加董事会人数并修订<公司章程>及其附件的议案》，为进一步完善公司治理，切实保护股东利益，拟对《公司章程》进行修订，拟将董事会人数由6人调整为8人，其中非独立董事人数由3人调整为4人，独立董事人数由3人调整为4人。该事项已经公司于2025年7月15日召开的2025年第三次临时股东大会审议通过。

公司核心技术人员的认定情况说明

□适用√不适用

二、利润分配或资本公积金转增预案

半年度拟定的利润分配预案、公积金转增股本预案是否分配或转增否

每10股送红股数（股）0

每10股派息数(元)（含税）0

40/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

每10股转增数（股）0利润分配或资本公积金转增预案的相关情况说明不适用

三、公司股权激励计划、员工持股计划或其他员工激励措施的情况及其影响

(一)相关股权激励事项已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的

√适用□不适用事项概述查询索引2025年3月21日，公司发布《关于2023年限制性股票激励计划详见公司于上海证券交易所首次授予部分第一个归属期归属结果暨股票上市公告》，公司2023网站披露的《关于2023年限年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期于2025年3月制性股票激励计划首次授予

19日完成股份登记，于2025年3月25日上市流通，由466名股部分第一个归属期归属结果权激励对象认购 2550435股公司向激励对象定向发行的 A股普通 暨股票上市公告》（公告编股股票。公司总股本由438740753股增加至441291188股。号：2025-019）等相关公告。

(二)临时公告未披露或有后续进展的激励情况股权激励情况

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用员工持股计划情况

□适用√不适用其他激励措施

□适用√不适用

四、纳入环境信息依法披露企业名单的上市公司及其主要子公司的环境信息情况

√适用□不适用纳入环境信息依法披露企业名单中的企业数1量（个）序企业名称环境信息依法披露报告的查询索引号

登录《企业环境信息依法披露系统（上海）》网上

1盛美半导体设备（上海）股份有限公平台，搜索企业名称进行查询，平台网址：

司 https://e2.sthj.sh.gov.cn:8081/jsp/view/hjpl/index.jsp其他说明

□适用√不适用

五、巩固拓展脱贫攻坚成果、乡村振兴等工作具体情况

□适用√不适用

41/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

第五节重要事项

一、承诺事项履行情况

(一)公司实际控制人、股东、关联方、收购人以及公司等承诺相关方在报告期内或持续到报告期内的承诺事项

√适用□不适用如未能及时履如未能及承诺承诺是否有履行是否及时严行应说明未完时履行应承诺背景承诺方承诺时间承诺期限类型内容期限格履行成履行的具体说明下一原因步计划

20211118自2021年11月公司董事、监事、高级年月

股份限售备注1是18日起12个月是不适用不适用管理人员日内

1.自2021年11月18日起12个月和本人离职后

22021年11月186个月内；股份限售核心技术人员备注是2.是不适用不适用日所持首发前股

份限售期届满之日起4年内及离职后6个月内

控股股东 ACMR、实际

与首次公开 控制人 HUI WANG 及

发行相关的 其 一 致 行 动 人 JING

CHEN、BRIAN WANG

承诺 自 2021年 11月与SOPHIA WANG及家 3 2021年 11月 18其他 备注 是 18 日起 36 个月 是 不适用 不适用

族 信 托 David Hui 日 内

Wang& Jing Chen

Family Living Trust 及

David Hui Wang& Jing

Chen Irrevocable Trust

公司及公司控股股东、2021年11月18其他备注4否长期有效是不适用不适用实际控制人日

52021年11月18其他公司备注否长期有效是不适用不适用

日

2021年11月18

其他 ACMR 备注 6 否 长期有效 是 不适用 不适用日

其他公司董事、高级管理人备注72021年11月18否长期有效是不适用不适用

42/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

员承诺日

2021年11月18

其他公司备注8否长期有效是不适用不适用日

其他 ACMR 2021年 11月 18备注 9 否 长期有效 是 不适用 不适用日

其他 HUI WANG 备注 10 2021年 11月 18 否 长期有效 是 不适用 不适用日

公司董事、监事、高级112021年11月18其他备注否长期有效是不适用不适用管理人员日

2021年11月18

其他公司备注12否长期有效是不适用不适用日

公司控股股东、实际控制人及其一致行动人

JING CHEN 、 BRIAN

WANG 与 SOPHIA

其他 WANG 及 家 族 信 托 13 2021年 11月 18备注 否 长期有效 是 不适用 不适用

David Hui Wang& Jing 日

Chen Family Living

Trust 及 David Hui

Wang& Jing Chen

Irrevocable Trust

公司董事、监事、高级2021年11月18其他管理人员及核心技术人备注14否长期有效是不适用不适用日员公司实际控制人及其一

致行动人 JING CHEN、

BRIAN WANG 与

SOPHIA WANG及家族

解决同业竞争 信托 David Hui Wang& 2021年 11月 18备注 15 否 长期有效 是 不适用 不适用

Jing Chen Family Living 日

Trust 及 David Hui

Wang& Jing Chen

Irrevocable Trust 和控股股东

2021年11月18

解决关联交易公司备注16否长期有效是不适用不适用日公司实际控制人及其一

致行动人 JING CHEN、

BRIAN WANG 与 2021年 11月 18解决关联交易备注17否长期有效是不适用不适用

SOPHIA WANG及家族 日

信托 David Hui Wang&

Jing Chen Family Living

43/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

Trust 及 David Hui

Wang& Jing Chen

Irrevocable Trust 和控股股东

与再融资相董事、高级管理人员以2024年1月26其他及公司控股股东、实际备注18否长期有效是不适用不适用关的承诺日控制人

2019年股票期权激励计

股份限售备注19行权日是自行权日起三年是不适用不适用划激励对象与股权激励

202023年4月26激励计划实施完其他公司备注否是不适用不适用

相关的承诺日毕

2023年限制性股票激励212023年4月26激励计划实施完其他备注否是不适用不适用

计划激励对象日毕

备注1：公司董事、监事、高级管理人员关于限售安排、自愿锁定股份、延长锁定期限的承诺

1、自发行人股票上市之日起 12 个月内，不转让或者委托他人管理本人于本次发行上市前直接或通过控股股东 ACM RESEARCH INC.间接持有的发

行人股份（如有），也不提议由发行人回购该部分股份。

2、上述股份锁定期届满后，在担任发行人董事、监事、高级管理人员期间，本人每年转让的持有的发行人股份不超过本人所持有发行人股份总数的

25%；如本人出于任何原因离职，则在离职后半年内，不转让本人持有的发行人的股份。本人在任期届满前离职的，应当在本人就任时确定的任期内和

任期届满后6个月内继续遵守前述减持要求。

3、本人将严格遵守法律、行政法规、部门规章、规范性文件关于董事、监事、高级管理人员的持股及股份变动的有关规定，如实并及时向发行人申

报本人持有的发行人的股份及其变动情况；本人不会因职务变更、离职等原因而拒绝履行上述承诺。

4、如本人违反上述承诺减持发行人股份的，则出售该部分发行人股份所取得的实际收益（如有）归发行人所有，由此导致的全部损失及法律后果由本人自行承担。

备注2：公司核心技术人员关于限售安排、自愿锁定股份、延长锁定期限的承诺

1、自发行人股票上市之日起12个月和本人离职后6个月内，不转让或者委托他人管理本人于本次发行上市前直接或通过芯时（上海）管理咨询合

伙企业（有限合伙）间接持有的发行人股份（以下简称“首发前股份”），也不提议由发行人回购该部分股份。若本人在前述锁定期届满前离职的，仍应遵守前述股份锁定承诺。

2、自所持首发前股份限售期届满之日起4年内，每年转让的首发前股份不得超过上市时所持发行人首发前股份总数的25%，减持比例可以累积使用。

3、在作为发行人核心技术人员期间，本人将严格遵守法律、行政法规、部门规章、规范性文件关于核心技术人员的持股及股份变动的有关规定。本

人同意承担并赔偿因违反上述承诺而给发行人及其控制的企业造成的一切损失。

4、在本人持股期间，若股份锁定和减持的法律、行政法规、部门规章、规范性文件及证券监管机构的要求发生变化，则本人愿意自动适用变更后的

法律、法规、部门规章、规范性文件及证券监管机构的要求。

44/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

5、如本人违反上述承诺减持发行人股份的，则出售该部分发行人股份所取得的实际收益（如有）归发行人所有，由此导致的全部损失及法律后果由本人自行承担。

备注 3：控股股东美国 ACMR、实际控制人 HUI WANG 及其一致行动人 JING CHEN、BRIAN WANG 与 SOPHIA WANG及家族信托 David Hui

Wang& Jing Chen Family Living Trust及 David Hui Wang& Jing Chen Irrevocable Trust 关于股东持股及减持意向的承诺

1、在持有公司股份的锁定期届满后，本企业/本人/本信托将根据实际需要和二级市场情况决定是否减持及减持数量。

2、本企业/本人/本信托拟减持公司本次发行上市前已发行的股份（以下简称“首发前股份”）的，将严格遵守中国证券监督管理委员会、上海证券

交易所关于股东减持的相关规定，审慎制定股份减持计划，并将事先明确并披露公司的控制权安排，保证公司持续稳定经营；本企业/本人/本信托在持有公司股份锁定期届满后两年内拟减持公司股份的，减持价格将不低于公司首次公开发行股票的发行价（若公司在本次发行上市后发生派息、送股、资本公积转增股本、增发新股等除权、除息事项的，减持价格按照监管规则的规定作相应调整），并通过公司在减持前三个交易日或相关法律法规规定的期限内予以公告，并在相关信息披露文件中披露减持原因、拟减持数量、未来持股意向、减持行为对公司治理结构、股权结构及持续经营的影响。

3、本企业/本人/本信托在锁定期届满后减持公司首发前股份的，减持方式、程序等将严格遵守《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》

及其他适用的法律、行政法规、部门规章、规范性文件及相关监管规则关于股份减持及信息披露的规定。

备注4：公司及公司控股股东、实际控制人对欺诈发行上市的股份购回承诺

公司及公司控股股东、实际控制人承诺如下：

1、保证公司本次发行上市不存在任何欺诈发行的情形。

2、如公司不符合发行上市条件，以欺骗手段骗取发行注册并已经发行上市的，公司及公司控股股东、实际控制人将在中国证券监督管理委员会等有权部门确认后5个工作日内启动股份回购程序，购回公司本次公开发行的全部新股；若存在老股配售的，实施配售的股东将购回已转让的原限售股份（如有）。

备注5：公司关于填补被摊薄即期回报的措施及承诺

公司承诺将采用多种措施防范即期回报被摊薄的风险，具体如下：

1、迅速提升公司整体实力，扩大公司业务规模

公司本次发行上市后，公司的总资产将得到进一步提升，抗风险能力和综合实力明显增强，市场价值明显提升。公司将借助资本市场和良好的发展机遇，不断拓展主营业务规模，充分发挥公司在半导体专用设备领域的优势，推动公司持续、健康、稳定发展。

2、加强内部管理、降低运营成本

公司将积极推进产品工艺的优化、工艺流程的改进、技术设备的改造升级，加强精细化管理，持续提升生产运营效率，不断降低生产损耗。同时，公司将加强预算管理，控制公司费用率，提升盈利水平。

3、加快募集资金投资项目实施进度，加强募集资金管理

本次募集资金投资项目均围绕公司主营业务展开，有利于提升公司的综合竞争力和盈利能力。本次募集资金到位后，公司将加快推进募集资金投资项目实施进度，尽快实现预期收益。同时，公司将根据《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程（草案）》、《盛美半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理制度》等相关规定的要求，加强募集资金管理，规范使用募集资金，以保证募集资金按照既定用途实现收益。

4、完善利润分配政策，强化投资者回报

45/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

公司已根据中国证券监督管理委员会《关于进一步落实上市公司现金分红有关事项的通知》《上市公司监管指引第3号——上市公司现金分红》等

相关规定的要求，结合公司实际情况，为明确对公司股东权益分红的回报，进一步细化了《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程（草案）》中关于股利分配原则的条款，并制定了《盛美半导体设备（上海）股份有限公司上市后未来三年分红回报规划》。公司将严格执行利润分配政策，在符合分配条件的情况下，积极实施对股东的利润分配，优化投资回报机制。

备注 6：公司控股股东美国 ACMR关于填补被摊薄即期回报的措施及承诺

本企业作为发行人的控股股东，现依据相关法律、法规和中国证券监督管理委员会的有关规定，就填补被摊薄即期回报事项作出如下承诺：

本企业将督促发行人切实履行填补被摊薄即期回报的措施，并承诺：本企业或本企业提名的董事将在权限范围内参与发行人经营管理活动，尽最大努力维护发行人及其股东的合法利益。

备注7：公司董事、高级管理人员关于填补被摊薄即期回报的措施及承诺

本人作为发行人的董事/高级管理人员，现依据相关法律、法规和中国证券监督管理委员会的有关规定，就填补被摊薄即期回报事项作出如下承诺：

1、本人承诺不得无偿或以不公平条件向其他单位或者个人输送利益，也不采用其他方式损害发行人利益。

2、本人承诺对职务消费行为进行约束。

3、本人承诺不动用发行人资产从事与履行职责无关的投资、消费活动。

4、本人承诺在自身职责和权限范围内，全力促使公司董事会或薪酬与考核委员会制定的薪酬制度与公司填补被摊薄即期回报措施的执行情况相挂钩。

5、如发行人拟实施股权激励，本人承诺在自身职责和权限范围内，全力促使发行人拟公布的股权激励的行权条件与发行人填补被摊薄即期回报措施

的执行情况相挂钩。

6、本人承诺将切实履行本人作出的有关填补回报措施的承诺，若本人违反该等承诺并给发行人或者投资者造成损失的，本人愿意依法承担赔偿责任。

备注8：公司关于依法承担赔偿或赔偿责任的承诺

1、本公司本次发行上市的招股说明书及其他信息披露资料不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其真实性、准确性、完整性承担个别和

连带的法律责任。

2、若招股说明书及其他信息披露资料存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，致使投资者在证券发行和交易中遭受损失的，本公司将在中国证券

监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）、上海证券交易所或其他有权部门作出最终认定后，依法赔偿投资者损失。

3、若中国证监会、上海证券交易所或其他有权部门认定招股说明书所载内容存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏之情形，且该等情形对判断本

公司是否符合法律规定的发行条件构成重大、实质影响的，则本公司承诺将按如下方式依法回购本公司首次公开发行的全部新股，具体措施为：

*在法律允许的情形下，若上述情形发生于本公司首次公开发行的新股已完成发行但未上市交易之阶段，自中国证监会、上海证券交易所或其他有权机关认定本公司存在上述情形之日起30个工作日内，本公司将按照发行价并加算银行同期存款利息向网上中签投资者及网下配售投资者回购本公司首次公开发行的全部新股；

*在法律允许的情形下，若上述情形发生于本公司首次公开发行的新股已完成上市交易之后，自中国证监会、上海证券交易所或其他有权机关认定本公司存在上述情形之日起5个工作日内制订股份回购方案并提交董事会、股东大会审议批准，通过上海证券交易所交易系统回购本公司首次公开发行的全部新股，回购价格将以发行价为基础并参考相关市场因素确定。本公司上市后发生派息、送股、资本公积转增股本等除权除息事项的，上述发行价格做相应调整。

46/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

4、若违反本承诺，不及时进行回购或赔偿投资者损失的，本公司将在股东大会及中国证监会指定媒体上公开说明未履行承诺的具体原因；因不履行

承诺造成股东及社会公众投资者损失的，本公司将依法进行赔偿。

备注 9：公司控股股东美国 ACMR关于依法承担赔偿或赔偿责任的承诺

1、发行人本次发行上市的招股说明书及其他信息披露资料不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，本企业对其真实性、准确性、完整性承担个

别和连带的法律责任。

2、若中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）、上海证券交易所或其他有权部门认定招股说明书所载内容存在虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏之情形，且该等情形对判断发行人是否符合法律规定的发行条件构成重大、实质影响的，则本企业承诺将依据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》的规定购回本企业已转让的原限售股份（如有）。

3、如发行人招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，致使投资者在证券发行和交易中遭受损失的，本企业将依法赔偿投资者损失。

备注 10：公司实际控制人 HUI WANG关于依法承担赔偿或赔偿责任的承诺

1、发行人本次发行上市的招股说明书及其他信息披露资料不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，本人对其真实性、准确性、完整性承担个别

和连带的法律责任。

2、若中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）、上海证券交易所或其他有权部门认定招股说明书所载内容存在虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏之情形，且该等情形对判断发行人是否符合法律规定的发行条件构成重大、实质影响的，则本人承诺将依据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》的规定购回本人已转让的原限售股份（如有）。

3、如发行人招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，致使投资者在证券发行和交易中遭受损失的，本人将依法赔偿投资者损失。

备注11：公司董事、监事、高级管理人员关于依法承担赔偿或赔偿责任的承诺

1、发行人本次发行上市的招股说明书及其他信息披露资料不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，本人对其真实性、准确性、完整性承担个别

和连带的法律责任。

2、若因发行人招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，致使投资者在证券发行和交易中遭受损失的，本人将依法赔偿投资者损失。

3、本人愿意承担因违反以上承诺而产生的全部法律责任。以上承诺不因本人职务变动或离职等原因而改变。

备注12：公司关于未能履行承诺约束措施的承诺

1、本公司保证将严格履行在本公司上市招股说明书中所披露的全部公开承诺事项中的各项义务和责任。

2、如本公司非因不可抗力原因导致未能履行公开承诺事项的，需提出新的承诺（相关承诺需按法律法规、本公司章程的规定履行相关审批程序）并

接受如下约束措施，直至新的承诺履行完毕或相应补救措施实施完毕：

*本公司将在股东大会及中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）指定的披露媒体上公开说明未履行承诺的具体原因；

*对该等未履行承诺的行为负有个人责任的董事、监事、高级管理人员、核心技术人员调减或停发薪酬和/或津贴；

*向投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益，并同意将上述补充承诺或替代承诺提交股东大会审议；

47/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

*如违反相关承诺给投资者造成损失的，将依法赔偿投资者的损失。如该等已违反的承诺仍可继续履行，本公司将继续履行该等承诺。

3、如本公司因不可抗力原因导致未能履行公开承诺事项的，需提出新的承诺（相关承诺需按法律法规、本公司章程的规定履行相关审批程序）并接

受如下约束措施，直至新的承诺履行完毕或相应补救措施实施完毕：

*在股东大会及中国证监会指定的披露媒体上公开说明未履行的具体原因；

*尽快研究将投资者利益损失降低到最小的处理方案，尽可能地保护投资者利益。

备注 13：公司控股股东、实际控制人及其一致行动人 JING CHEN、BRIAN WANG 与 SOPHIA WANG 及家族信托 David Hui Wang& Jing Chen

Family Living Trust及 David Hui Wang& Jing Chen Irrevocable Trust关于未能履行承诺约束措施的承诺

1、本企业/本人/本信托保证将严格履行在发行人上市招股说明书中所披露的全部公开承诺事项中的各项义务和责任。

2、如本企业/本人/本信托非因不可抗力原因导致未能完全或有效地履行公开承诺事项的，则本企业/本人/本信托承诺将视具体情况采取以下措施予

以约束：

*本企业/本人/本信托将在股东大会及中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）指定的披露媒体上公开说明未履行承诺的具体原因；

*若因本企业/本人/本信托未能履行公开承诺事项导致投资者在证券交易中遭受损失的，本企业/本人/本信托将依法赔偿投资者由此遭受的损失；

*在本企业/本人/本信托完全消除因本企业/本人/本信托未履行相关承诺事项所导致的所有不利影响之前，本企业/本人/本信托将暂不收取发行人所分配之红利或派发之红股；

*如本企业/本人/本信托因未能履行公开承诺事项而获得经济收益的，该等收益归发行人所有，本企业/本人/本信托应当在获得该等收益之日起五个工作日内将其支付至发行人指定账户。

3、如本企业/本人/本信托因不可抗力原因导致未能履行公开承诺事项的，需提出新的承诺（相关承诺需按法律法规、发行人章程的规定履行相关审批程序）并接受如下约束措施，直至新的承诺履行完毕或相应补救措施实施完毕：

*在股东大会及中国证监会指定的披露媒体上公开说明未履行的具体原因；

*尽快研究将投资者利益损失降低到最小的处理方案，尽可能地保护投资者利益。

备注14：公司董事、监事、高级管理人员及核心技术人员关于未能履行承诺约束措施的承诺

1、本人保证将严格履行在发行人上市招股说明书中所披露的全部公开承诺事项中的各项义务和责任。

2、如本人非因不可抗力原因导致未能完全或有效地履行公开承诺事项的，则本人承诺将视具体情况采取以下措施予以约束：

*本人将在股东大会及中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）指定的披露媒体上公开说明未履行承诺的具体原因；

*若因本人未能履行公开承诺事项导致投资者在证券交易中遭受损失的，本人自愿将本人在发行人上市当年从发行人所领取的全部薪酬和/或津贴（如有）依法对投资者先行进行赔偿，且本人完全消除未履行相关承诺事项所产生的不利影响之前，本人不得以任何方式要求发行人为本人增加薪资或津贴；

*在本人完全消除因本人未履行相关承诺事项所导致的所有不利影响之前，本人将暂不收取发行人所分配之红利或派发之红股（如适用）；

*如本人因未能履行公开承诺事项而获得经济收益的，该等收益归发行人所有，本人应当在获得该等收益之日起五个工作日内将其支付至发行人指定账户。

48/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

3、如本人因不可抗力原因导致未能履行公开承诺事项的，需提出新的承诺（相关承诺需按法律法规、发行人章程的规定履行相关审批程序）并接受

如下约束措施，直至新的承诺履行完毕或相应补救措施实施完毕：

*在股东大会及中国证监会指定的披露媒体上公开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉；

*尽快研究将投资者利益损失降低到最小的处理方案，尽可能地保护投资者利益。

备注 15：公司实际控制人及其一致行动人 JING CHEN、BRIAN WANG与 SOPHIA WANG及家族信托 David Hui Wang& Jing Chen Family Living

Trust及 David Hui Wang& Jing Chen Irrevocable Trust和控股股东关于避免同业竞争的承诺：

1、本人/本企业/本信托（含本人/本企业/本信托控制的其他企业（发行人及其控股企业除外）下同）目前未以任何形式从事与发行人（含发行人直接或间接控制的企业，下同）主营业务构成竞争关系的业务或活动；发行人的资产完整，其资产、业务、人员、财务及机构均独立于本人/本企业/本信托。

2、自本函出具之日起，本人/本企业/本信托不会以任何形式从事与发行人主营业务构成竞争关系的业务或活动，或以任何形式支持除发行人以外的

其他企业从事与发行人主营业务构成竞争关系的业务或活动。

3、自本函出具之日起，如本人/本企业/本信托将来不可避免地从事与发行人构成竞争关系的业务或活动，本人/本企业/本信托将主动或在发行人提

出异议后，及时转让或终止前述业务，发行人对该等业务享有优先受让权。

4、上述承诺在本人/本企业/本信托作为发行人实际控制人/控股股东期间持续有效。

备注16：公司关于规范并减少关联交易的承诺

1、公司将进一步规范和减少与控股股东美国 ACMR之间的业务往来

在原材料采购方面，公司已成立子公司盛美加州替代美国 ACMR，用于在美国代理采购原材料，以彻底解决通过美国 ACMR采购原材料的经常性关联交易问题。

在产品销售方面，公司继续通过香港清芯作为公司产品出口销售平台，减少通过美国 ACMR销售产品的情形。2019 年公司与美国 ACMR之间不存在销售业务往来。

未来公司将不再与美国 ACMR发生代垫费用、出借资金等业务往来。

2、公司将严格按照《关联交易管理办法》规范其他关联交易

考虑到关键零部件的可获得性、技术保密性以及零部件国产化的需要，公司将持续与 NINEBELL和盛奕科技保持业务往来。针对该部分必要的关联交易，公司将严格按照《关联交易管理办法》的要求履行相关审议程序，并保证交易价格的公允性。

针对其他关联交易，公司将尽可能减少与其他关联方的交易往来。对于正常经营范围内或存在其他合理原因确需发生或无法避免的关联交易，公司将严格履行相关审议程序，保证交易价格公允性。

备注 17：公司实际控制人及其一致行动人 JING CHEN、BRIAN WANG与 SOPHIA WANG及家族信托 David Hui Wang& Jing Chen Family Living

Trust及 David Hui Wang& Jing Chen Irrevocable Trust和控股股东关于规范并减少关联交易的承诺

1、在不对发行人及其他股东的利益构成不利影响的前提下，本人/本企业/本信托将采取措施规范并尽量减少与发行人发生关联交易。

2、对于正常经营范围内或存在其他合理原因确需发生或无法避免的关联交易，本人/本企业/本信托及本人/本企业/本信托控制的其他企业将与发行

人依法签订交易协议，并按照有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件和届时有效的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》的规定履行批准程序，并保证该等关联交易均将基于公允定价的原则实施。

49/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

3、本人/本企业/本信托将严格按照相关规定履行必要的关联方回避表决等义务，履行批准关联交易的法定审批程序和信息披露义务。

4、保证不利用关联交易非法转移发行人的资金、利润或从事其他损害发行人及其他股东、债权人利益的行为。

备注18：公司控股股东、实际控制人以及全体董事、高级管理人员对填补回报措施能够切实履行作出了承诺

（一）公司的全体董事、高级管理人员作出承诺如下：

1、本人承诺忠实、勤勉地履行职责，维护上市公司和全体股东的合法权益；

2、本人承诺不无偿或以不公平条件向其他单位或者个人输送利益，也不采用其他方式损害上市公司的利益；

3、本人承诺对本人的职务消费行为进行约束；

4、本人承诺不动用上市公司的资产从事与本人履行职责无关的投资、消费活动；

5、在本人合法权限范围内，促使由董事会或薪酬与考核委员会制定的薪酬制度与上市公司填补回报措施的执行情况相挂钩；

6、未来上市公司如实施股权激励计划，在本人合法权限范围内，促使拟公告的股权激励计划设置的行权条件将与上市公司填补回报措施的执行情况

相挂钩；

7、本人承诺严格履行上述承诺事项，确保上市公司填补回报措施能够得到切实履行。如果本人违反本人所作出的承诺或拒不履行承诺，本人同意中

国证券监督管理委员会、上海证券交易所等证券监管机构按照其制定或发布的有关规定、规则，依法对本人作出相关处罚措施或采取相关监管措施。

（二）公司控股股东、实际控制人作出如下承诺：

1、不越权干预公司经营管理活动，不侵占公司利益；

2、督促上市公司切实履行填补被摊薄即期回报的措施；

3、自本承诺函签署日至公司本次发行实施完毕前，若中国证监会作出关于填补回报及其承诺的其他新的监管规定的，且上述承诺不能满足中国证监

会该等规定时，本企业/本人承诺届时将按照中国证监会的最新规定出具补充承诺；

4、切实履行公司制定的有关填补回报措施以及本企业/本人对此作出的任何有关填补回报措施的承诺，若本企业/本人违反该等承诺并给公司或者投

资者造成损失的，本企业/本人愿意依法承担对公司或者投资者的相应补偿责任。

备注19：2019年股权激励计划激励对象关于行权所获股票减持的承诺

若本计划下的股票期权行权时点在公司上市后，则：

1、激励对象在公司上市后因行权所获股票自行权日起3年内不得减持；

2、上述禁售期限届满后，激励对象应比照公司董事、监事及高级管理人员的相关减持规定执行，并应遵守届时相关法律、法规、规范性文件和公司

上市地证券交易所的规则。

备注20：公司承诺不为激励对象依本激励计划获取有关限制性股票提供贷款以及其他任何形式的财务资助，包括为其贷款提供担保。

备注21：本公司所有激励对象承诺，公司因信息披露文件中有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，导致不符合授予权益或权益归属安排的，激励对象应当自相关信息披露文件被确认存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏后，将由本激励计划所获得的全部利益返还公司。

二、报告期内控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况

□适用√不适用

50/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

三、违规担保情况

□适用√不适用

51/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

四、半年报审计情况

□适用√不适用

五、上年年度报告非标准审计意见涉及事项的变化及处理情况

□适用√不适用

六、破产重整相关事项

□适用√不适用

七、重大诉讼、仲裁事项

□本报告期公司有重大诉讼、仲裁事项√本报告期公司无重大诉讼、仲裁事项

八、上市公司及其董事、高级管理人员、控股股东、实际控制人涉嫌违法违规、受到处罚及整改情况

□适用√不适用

九、报告期内公司及其控股股东、实际控制人诚信状况的说明

□适用√不适用

十、重大关联交易

(一)与日常经营相关的关联交易

1、已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用√不适用

2、已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

√适用□不适用

单位：万元币种：人民币关联交关联占同类交易关联关关联交易关联交易易关联交易方交易关联交易内容关联交易定价原则金额的比例系价格金额

类型(%)结算方式

ACM

RESEARCH 销售 1911.93 0.59 电母公司 销售设备 市场化定价方式 市场价格

INC. 商品 汇

ACM

RESEARCH 销售 电母公司 销售服务及配件 市场化定价方式 市场价格 298.58 0.09

INC. 商品 汇合晶科技股份有其他关销售

销售服务及配件市场化定价方式市场价格3.800.00电限公司联人商品汇上海合晶硅材料其他关销售电

股份有限公司及销售服务及配件市场化定价方式市场价格3.410.00联人商品汇其子公司

ACM

RESEARCH 接受 电母公司 服务费 市场化定价方式 市场价格 1013.49 0.54

INC. 劳务 汇

Ninebell Co. 其他关 购买 电

Ltd. 采购原材料 市场化定价方式 市场价格 19416.53 10.35联人 商品 汇

52/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

盛奕半导体科技其他关购买电（无锡）有限公采购原材料市场化定价方式市场价格4306.732.30联人商品汇司盛奕半导体科技其他关接受（无锡）有限公安装服务费市场化定价方式市场价格1365.830.73电联人劳务汇司

3、临时公告未披露的事项

□适用√不适用

(二)资产收购或股权收购、出售发生的关联交易

1、已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用√不适用

2、已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用√不适用

3、临时公告未披露的事项

□适用√不适用

4、涉及业绩约定的，应当披露报告期内的业绩实现情况

□适用√不适用

(三)共同对外投资的重大关联交易

1、已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用√不适用

2、已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用√不适用

3、临时公告未披露的事项

□适用√不适用

(四)关联债权债务往来

1、已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用√不适用

2、已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用√不适用

3、临时公告未披露的事项

□适用√不适用

(五)公司与存在关联关系的财务公司、公司控股财务公司与关联方之间的金融业务

□适用√不适用

53/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(六)其他重大关联交易

□适用√不适用

(七)其他

□适用√不适用

十一、重大合同及其履行情况

(一)托管、承包、租赁事项

□适用√不适用

54/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(二)报告期内履行的及尚未履行完毕的重大担保情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

公司对外担保情况（不包括对子公司的担保）担保方担保发是否关担保是否与上市被担保担保金生日期担保担保担保类主债务担保物担保是否担保逾期反担保为关联担保方

公司的方额(已经履行协议签起始日到期日型情况（如有）逾期金额情况联方关完毕

关系署日)担保系

报告期内担保发生额合计（不包括对子公司的担保）

报告期末担保余额合计（A）（不包括对子公司的担保）公司及其子公司对子公司的担保情况是否担保发生

担保方与被担保方与(担保是否存日期协担保起始担保是否担保逾期担保方上市公司被担保方上市公司的担保金额担保到期日担保类型已经履行在议签署日逾期金额

的关系关系)完毕反日担保盛美半导体设备

清芯科技10737900.002022-8-202023-8-242026-8-24连带责任（上海）公司本部全资子公司否否0否有限公司担保股份有限公司盛美半导体设备清芯科技连带责任（上海）公司本部全资子公司128854800.002023-2-282024-1-122027-7-12否否0否有限公司担保股份有限公司

报告期内对子公司担保发生额合计139592700.00

报告期末对子公司担保余额合计（B） 139592700.00

55/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

公司担保总额情况（包括对子公司的担保）

担保总额（A+B） 139592700.00

担保总额占公司净资产的比例(%)1.69

其中：

为股东、实际控制人及其关联方提供担保的金额（C）

直接或间接为资产负债率超过70%的被担保对象提供的债务担保金额（D） 139592700.00

担保总额超过净资产50%部分的金额（E）

上述三项担保金额合计（C+D+E） 139592700.00未到期担保可能承担连带清偿责任说明不适用

担保情况说明*公司为清芯科技与客户所签署销售合同下的履约义务提供连带责任担保。保证范围包括：主合同项下本金不超过150万美元（按照2025年6月30日国家外汇管理局公布的人民币汇率中间价计算，约合人民币1073.79万）及利息、违约金、赔偿金和为实现债权而发生的所有合理费用，包括但不限于诉讼费、仲裁费、保全费、执行费、律师费、差旅费等，保证期间为质保期满后一年，自主合同约定的债务人履行期限届满之日起算。详见公司于2022年8月20日披露的《关于为全资子公司提供担保的公告》（公告编号：2022-022）。

*公司为清芯科技与客户所签署销售合同下的履约义务提供连带责任担保，担保金额合计为1800万美元（按照2025年6月30日国家外汇管理局公布的人民币汇率中间价计算，约合人民币12885.48万）。保证范围包括：主合同项下债务人应承担的全部债务本金、利息、违约金、赔偿金和为实现债权而发生的所有

合理费用，包括但不限于诉讼费、仲裁费、保全费、执行费、律师费、差旅费等，保证期间为主合同约定的半导体设备的质保期届满后一年。详见公司于2023年2月25日披露的《关于为全资子公司提供担保的公告》（公告编号：2023-016）。

注：截至2025年6月30日，公司正在履行的重大保证合同包括为子公司盛帷半导体设备（上海）有限公司在招商银行股份有限公司上海自贸试验区临港新片区支行的担保合同。

(三)其他重大合同

□适用√不适用

56/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

十二、募集资金使用进展说明

√适用□不适用

(一)募集资金整体使用情况

√适用□不适用

单位：元截至截至报告报告期末期末本年度募集超募招股书或募集说投入金

募集资截至报告期末累其中：截至报告资金资金募集资金募集资金净额明书中募集资金超募资金总额本年度投入额占比变更用途的募

金到位募集资金总额13=1-2计投入募集资金期末超募资金累累计累计来源（）承诺投资总额（）（）（）45金额（8）（%）集资金总额时间2总额（）计投入总额（）投入投入（）（9）

进度进度=(8)/(1)

（%）（%）

(6)＝(7)＝

(4)/(1)(5)/(3)

2021年

首次公开11月123685239005.003481258520.341800000000.001681258520.343107787817.921303200423.4889.2777.5141319101.591.19245000000.00发行股票日

合计/3685239005.003481258520.341800000000.001681258520.343107787817.921303200423.48//41319101.59/245000000.00其他说明

□适用√不适用

(二)募投项目明细

√适用□不适用

1、募集资金明细使用情况

√适用□不适用

单位：元是否为是否截至报告期项目达投入本年本项目项目可截至报告期末累是否投入进度未募集资项目招股书涉及募集资金计划投本年投入金末累计投入到预定进度实现已实现行性是节余金

项目名称(1)计投入募集资金已结达计划的具金来源性质或者募变更资总额额2进度（%）可使用是否的效的效益否发生额总额（）(3)(2)/(1)项体原因集说明投向＝状态日符合益或者研重大变

57/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

书中的期计划发成果化，如承诺投的进是，请资项目度说明具体情况是，此项目未盛美半导取首次公

体设备研消，1445000000.002025年开发行研发是241319101.591258852969.7187.126月是是/注1注1否发与制造调整（注）股票中心募集资金投资总额盛美半导首次公体高端半

开发行研发是否450000000.00454587394.44101.02不适用是是/不适不适用否0导体设备用股票研发项目首次公补充流动补流

开发行是否650000000.00650000000.00100.00不适用/不适是是不适用否0资金还贷用股票高端半导首次公

体设备拓730871500.00744347453.77101.84不适用/不适开发行研发否否是是不适用否0展研发项用股票目

盛美韩国是，首次公

半导体设此项不适用/不适开发行研发否否否不适用否0备研发与目取用股票制造中心消尚未计划首次公

投入募投205387020.34/不适开发行不适用否否不适用否0项目的募用股票集资金

合计////3481258520.3441319101.593107787817.92///////

注1：盛美半导体设备研发与制造中心于2025年6月结项，尚未实现效益。

注2：为盛美半导体设备研发与制造中心项目变更后的计划投资总额。详见公司于2025年1月11日披露的《关于终止部分募投项目并变更募集资金至其他募投项目的公告》（公告编号：2025-004）。

58/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

2、超募资金明细使用情况

√适用□不适用

单位：元截至报告期末累计投入超募资截至报告期末累计投入进度拟投入超募资金总额

用途性质1金总额（%）备注（）

（2）(3)＝(2)/(1)盛美半导体设备研发

在建项目745000000.00（注）558852969.7175.01与制造中心高端半导体设备拓展

在建项目730871500.00744347453.77101.84研发项目尚未计划投入募投项

尚未使用205387020.34目的募集资金

合计/1681258520.341303200423.48//注：为盛美半导体设备研发与制造中心项目变更后的拟投入超募资金总额。详见公司于2025年1月11日披露的《关于终止部分募投项目并变更募集资金至其他募投项目的公告》（公告编号：2025-004）。

(三)报告期内募投变更或终止情况

√适用□不适用

单位：元

变更/终止变更时间（首次公变更/终止前项目募集变更/终止前项目已投/后用于补流变更前项目名称变更类型变更后项目名称变更终止原因决策程序及信息披露情况说明告披露时间）资金投资总额入募资资金总额的募集资金金额

盛美半导体设备研2025年1月11日调增募集资金投资1200000000.001217533868.12盛美半导体设备研0.00经第二届董事会第十六次会投资总额增加

发与制造中心金额（注）发与制造中心议、第二届监事会第十五次会

议、2025年第一次临时股东大

会审议通过，详见公司于2025盛美韩国半导体设2025年1月11日年1月11日披露的《关于终止取消项目245000000.000.00不适用项目取消0.00备研发与制造中心部分募投项目并变更募集资金至其他募投项目的公告》（公告编号：2025-004）。

注：为盛美半导体设备研发与制造中心项目截至2024年12月31日的累计投入募集资金总额。

59/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(四)报告期内募集资金使用的其他情况

1、募集资金投资项目先期投入及置换情况

□适用√不适用

2、用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

√适用□不适用

公司于2024年6月25日召开第二届董事会第十一次会议和第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币

25000.00万元（含本数）的闲置募集资金进行暂时性补充流动资金，使用期限自公司董事会审议

通过之日起12个月内有效。具体内容详见公司于2024年6月27日在上海证券交易所网站披露的《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的公告》（公告编号：2024-033）。2025年6月

20日，公司已将上述暂时补充流动资金的25000.00万元归还至募集资金专用账户，该笔资金使

用期限未超过12个月。

公司于2025年6月26日召开第二届董事会第二十一次会议和第二届监事会第二十次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币25000.00万元（含本数）的闲置募集资金进行临时性补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起12个月内有效。具体内容详见公司于2025年6月27日在上海证券交易所网站披露的《关于使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的公告》（公告编号：2025-044）。截至2025年6月30日，公司尚未实际使用闲置募集资金临时补充流动资金。

3、对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

√适用□不适用

单位：万元币种：人民币募集资金用于报告期期间最高现金管末现金余额是否董事会审议日期起始日期结束日期理的有管理余超出授权效审议额额度额度

2024年8月6日2亿元2024年8月6日2025年8月6日9000.00否

其他说明

本公司于2024年8月6日召开第二届董事会第十二次会议、第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于继续使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在保证不影响募集资金计划正常进行的前提下，使用最高不超过人民币2亿元的暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品，使用期限自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，公司可以循环滚动使用。具体内容详见公司于2024年8月8日在上海证券交易所网站披露的《关于继续使用闲置募集资金进行现金管理的公告》（公告编号：2024-040）。

4、其他

√适用□不适用公司于2025年6月28日披露了《关于首次公开发行股票募投项目结项的公告》（公告编号：2025-047），首次公开发行股票募集资金投资项目“盛美半导体设备研发与制造中心”、“盛美半导体高端半导体设备研发项目”、“补充流动资金”和“高端半导体设备拓展研发项目”已完

成投入或达到预定可使用状态，公司决定将上述募投项目全部结项。截至2025年6月30日，公司“盛美半导体设备研发与制造中心”项目尚未使用募集资金金额为186147030.29元，为该项目需用于支付已签订合同但未到支付条件的项目建设尾款、设备款及未到期的质保金等款项。

60/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(五)中介机构关于募集资金存储与使用情况的专项核查、鉴证的结论性意见

□适用√不适用核查异常的相关情况说明

□适用√不适用

(六)擅自变更募集资金用途、违规占用募集资金的后续整改情况

□适用√不适用

十三、其他重大事项的说明

□适用√不适用

61/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

第六节股份变动及股东情况

一、股本变动情况

(一)股份变动情况表

1、股份变动情况表

单位：股

本次变动前本次变动增减（+-）本次变动后公积比例送其比例

数量(%)发行新股金小计数量股他(%)转股

一、有限售条件51836531.18-----51836531.17股份

1、国家持股---------

2、国有法人持股---------

3、其他内资持股32421160.74-----32421160.73

其中：境内非国---------有法人持股

境内自然32421160.74-----32421160.73人持股

4、外资持股19415370.44-----19415370.44

其中：境外法人---------持股

境外自然19415370.44-----19415370.44人持股

二、无限售条件43355710098.822550435---255043543610753598.83流通股份

1、人民币普通股43355710098.822550435---255043543610753598.83

2、境内上市的外---------

资股

3、境外上市的外---------

资股

4、其他---------

三、股份总数438740753100.002550435---2550435441291188100.00

2、股份变动情况说明

√适用□不适用

2025年3月，公司完成了2023年限制性股票激励计划的首次授予部分第一个归属期的股份登记工作。本次归属激励对象为466人，认购股票数量2550435股。本次归属新增股份已于2025年3月19日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司完成登记，于2025年3月25日上市流通。公司总股本由438740753股增加至441291188股。详见公司于上海证券交易所网站披露的《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属结果暨股票上市公告》（公告编号：2025-019）。

62/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告3、报告期后到半年报披露日期间发生股份变动对每股收益、每股净资产等财务指标的影响（如有）

□适用√不适用

4、公司认为必要或证券监管机构要求披露的其他内容

□适用√不适用

(二)限售股份变动情况

□适用√不适用

二、股东情况

(一)股东总数:

截至报告期末普通股股东总数(户)11673

截至报告期末表决权恢复的优先股股东总数（户）-

截至报告期末持有特别表决权股份的股东总数（户）-存托凭证持有人数量

□适用√不适用

(二)截至报告期末前十名股东、前十名无限售条件股东持股情况表前十名股东同时通过普通证券账户和证券公司客户信用交易担保证券账户持股的情形

□适用√不适用

单位：股

前十名股东持股情况（不含通过转融通出借股份）

质押、标记或冻包含转结情况持有有融通借股东名称报告期内比例限售条出股份股东期末持股数量（全称）增减(%)件股份的限售性质股份数数量股份数状态量量

ACM RESEARCH INC. 0 357692308 81.06 0 0 - 境外无法人

香港中央结算有限公司231622960362881.3700无-其他

招商银行股份有限公司－

华夏上证科创板50成份交-126383548936591.1100无-其他易型开放式指数证券投资基金

上海浦东新兴产业投资有046153841.0500无-国有限公司法人中国工商银行股份有限公

司－易方达上证科创板50-2004936524370.8300无-其他成份交易型开放式指数证券投资基金

中国工商银行股份有限公-136009132227040.7300无-其他

司－诺安成长混合型证券

63/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

投资基金中国农业银行股份有限公

司－东方人工智能主题混-140748727421930.6200无-其他合型证券投资基金

中信证券股份有限公司－

嘉实上证科创板芯片交易20380020969640.4800无-其他型开放式指数证券投资基金中国建设银行股份有限公

司－南方信息创新混合型未知18643660.4200无-其他证券投资基金中国工商银行股份有限公

司－华泰柏瑞沪深300交易4080915959110.3600无-其他型开放式指数证券投资基金

前十名无限售条件股东持股情况（不含通过转融通出借股份）持有无限售条股份种类及数量股东名称件流通股的数种类数量量

ACM RESEARCH INC. 357692308 人民币普通股 357692308香港中央结算有限公司6036288人民币普通股6036288

招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放4893659人民币普通股4893659式指数证券投资基金上海浦东新兴产业投资有限公司4615384人民币普通股4615384

中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易3652437人民币普通股3652437型开放式指数证券投资基金

中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金3222704人民币普通股3222704

中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券2742193人民币普通股2742193投资基金

中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式2096964人民币普通股2096964指数证券投资基金

中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合型证券投资1864366人民币普通股1864366基金

中国工商银行股份有限公司－华泰柏瑞沪深300交易型开放1595911人民币普通股1595911式指数证券投资基金前十名股东中回购专户情况说明不适用

上述股东委托表决权、受托表决权、放弃表决权的说明不适用上述股东关联关系或一致行动的说明不适用表决权恢复的优先股股东及持股数量的说明不适用

持股5%以上股东、前十名股东及前十名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

□适用√不适用

前十名股东及前十名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用√不适用前十名有限售条件股东持股数量及限售条件

√适用□不适用

单位：股序号有限售条件股东名称持有的有限售有限售条件股份可上市交易情限售条件

64/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

条件股份数量况可上市交易新增可上市交时间易股份数量

12019年股权激励计划7221503092026-9-6-

自行权日起3位激励对象年内不得减持

22019年股权激励计划自行权日起3104461542027-6-14-位境外激励对象年内不得减持

32019年股权激励计划7221502692027-11-25-

自行权日起3位激励对象年内不得减持

42019年股权激励计划104369212027-12-2-

自行权日起3位境外激励对象年内不得减持上述股东关联关系或一致行无动的说明截至报告期末公司前十名境内存托凭证持有人情况表

□适用√不适用

持股5%以上存托凭证持有人、前十名存托凭证持有人及前十名无限售条件存托凭证持有人参与转融通业务出借股份情况

□适用√不适用

前十名存托凭证持有人及前十名无限售条件存托凭证持有人因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用√不适用前十名有限售条件存托凭证持有人持有数量及限售条件

□适用√不适用

(三)截至报告期末表决权数量前十名股东情况表

□适用√不适用

(四)战略投资者或一般法人因配售新股/存托凭证成为前十名股东

□适用√不适用

三、董事、高级管理人员和核心技术人员情况

(一)现任及报告期内离任董事、高级管理人员和核心技术人员持股变动情况

√适用□不适用

单位：股报告期内股增减变动姓名职务期初持股数期末持股数份增减变动原因量

董事长、报告

HUI WANG 期内曾任核心 538462 850962 312500 限制性股票归属技术人员

HAIPING DUN董事69230742305000限制性股（离任）票归属

STEPHEN

SUN-HAI 董事 69230 74230 5000 限制性股

CHIAO 票归属

65/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告（离任）

董事、总经理、限制性股王坚360255592755232500核心技术人员票归属罗千里董事69230742305000限制性股（离任）票归属

副总经理、核陈福平302318482318180000限制性股心技术人员票归属

SOTHEARA

CHEAV 副总经理、核 260000 260000 - -心技术人员（离任）

LISA YI LU 限制性股

FENG 财务负责人 260000 337500 77500 票归属罗明珠董事会秘书24548332298377500限制性股票归属王俊核心技术人员10384614134637500限制性股票归属李学军核心技术人员10384612259618750限制性股票归属

合计-23819003333150951250-其它情况说明

□适用√不适用

(二)董事、高级管理人员和核心技术人员报告期内被授予的股权激励情况

1、股票期权

□适用√不适用

2、第一类限制性股票

□适用√不适用

3、第二类限制性股票

√适用□不适用

单位：股期初已获授予限报告期新授予限可归属已归属期末已获授予限姓名职务制性股票数量制性股票数量数量数量制性股票数量

董事长、报

HUI WANG 告期内曾任 1250000 0 0 312500 1250000核心技术人员

STEPHEN

SUN-HAI

CHIAO 董事 20000 0 0 5000 20000（离任）

HAIPING

DUN 董事 20000 0 0 5000 20000（离任）罗千里董事2000000500020000（离任）

王坚董事、总经93000000232500930000

66/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

理、核心技术人员

LISA YI LU

FENG 财务负责人 310000 0 0 77500 310000

SOTHEARA 副总经理、

CHEAV 核心技术人 40000 0 0 0 40000（离任）员陈福平副总经理72000000180000720000罗明珠董事会秘书3100000077500310000核心技术人王俊1500000037500150000员核心技术人李学军1500000037500150000员

合计/3920000009700003920000

(三)其他说明

□适用√不适用

四、控股股东或实际控制人变更情况

□适用√不适用

五、存托凭证相关安排在报告期的实施和变化情况

□适用√不适用

六、特别表决权股份情况

□适用√不适用

七、优先股相关情况

□适用√不适用

67/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

第七节债券相关情况

一、公司债券（含企业债券）和非金融企业债务融资工具

□适用√不适用

二、可转换公司债券情况

□适用√不适用

68/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

第八节财务报告

一、审计报告

□适用√不适用

二、财务报表合并资产负债表

2025年6月30日

编制单位：盛美半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种：人民币项目附注2025年6月30日2024年12月31日

流动资产：

货币资金七、12761358152.812634590605.40结算备付金拆出资金

交易性金融资产七、2151146086.14138136347.39衍生金融资产

应收票据七、412316200.63

应收账款七、52728557894.612132274574.65应收款项融资

预付款项七、8106037827.7559517523.60应收保费应收分保账款应收分保合同准备金

其他应收款七、932067579.0434267105.67

其中：应收利息2706048.892650827.48应收股利买入返售金融资产

存货七、104394333116.404232200698.68

其中：数据资源

合同资产七、686141885.0569740101.88持有待售资产一年内到期的非流动资产

其他流动资产七、13304347893.18195332821.68

流动资产合计10576306635.619496059778.95

非流动资产：

发放贷款和垫款债权投资其他债权投资长期应收款

长期股权投资七、17203813265.4871737500.33其他权益工具投资

其他非流动金融资产七、19133425617.72133324391.64投资性房地产

固定资产七、211753287456.601167285542.78

在建工程七、2248040217.70592109816.38生产性生物资产

69/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

油气资产

使用权资产七、2557777402.8135137626.52

无形资产七、26146083593.2393181233.30

其中：数据资源

开发支出八、2250287123.05182813971.83

其中：数据资源商誉

长期待摊费用七、287857568.968439562.13

递延所得税资产七、2984894387.29106990049.90

其他非流动资产七、3026757403.31241372909.05

非流动资产合计2712224036.152632392603.86

资产总计13288530671.7612128452382.81

流动负债：

短期借款七、32379163250.00236043111.11向中央银行借款拆入资金交易性金融负债衍生金融负债应付票据

应付账款七、361593559555.951488314287.07预收款项

合同负债七、38861542937.991105954489.56卖出回购金融资产款吸收存款及同业存放代理买卖证券款代理承销证券款

应付职工薪酬七、39138034204.69147756908.81

应交税费七、40112854210.87154514528.26

其他应付款七、41417721975.28155040329.00

其中：应付利息

应付股利288252734.66应付手续费及佣金应付分保账款持有待售负债

一年内到期的非流动负债七、43449118124.02234657612.47

其他流动负债七、4411301227.387270565.62

流动负债合计3963295486.183529551831.90

非流动负债：

保险合同准备金

长期借款七、45966634796.73758194676.18应付债券

其中：优先股永续债

租赁负债七、4733728475.5821617189.58长期应付款

长期应付职工薪酬七、498457386.477951661.76

预计负债七、5022597850.3687599198.11

递延收益七、5151976702.0357902071.82

70/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

递延所得税负债七、29其他非流动负债

非流动负债合计1083395211.17933264797.45

负债合计5046690697.354462816629.35

所有者权益（或股东权益）：

实收资本（或股本）七、53441291188.00438740753.00其他权益工具

其中：优先股永续债

资本公积七、554601441851.354387841264.40

减：库存股七、5650022847.66

其他综合收益七、576099750.725244077.22专项储备

盈余公积七、59219370376.50219370376.50一般风险准备

未分配利润七、603021958636.162614438643.09归属于母公司所有者权益（或股东权8240138955.077665635114.21益）合计

少数股东权益1701019.34639.25

所有者权益（或股东权益）合计8241839974.417665635753.46

负债和所有者权益（或股东权益）13288530671.7612128452382.81总计

公司负责人：HUI WANG 主管会计工作负责人：LISA YI LU FENG 会计机构负责人：王岚母公司资产负债表

2025年6月30日

编制单位：盛美半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元币种：人民币项目附注2025年6月30日2024年12月31日

流动资产：

货币资金707640006.64589347526.82

交易性金融资产151146086.14138136347.39衍生金融资产

应收票据2258157.50

应收账款十九、14615898811.083614751761.54应收款项融资

预付款项160871005.21124785300.49

其他应收款十九、2996433482.26829504131.29

其中：应收利息2706048.892650827.48应收股利

存货3681507219.304021075140.92

其中：数据资源

合同资产86141885.0569740101.88持有待售资产一年内到期的非流动资产

其他流动资产233346700.51141167890.06

流动资产合计10635243353.699528508200.39

71/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

非流动资产：

债权投资其他债权投资

长期应收款254487503.93246060177.89

长期股权投资十九、3987802646.64854287270.80其他权益工具投资

其他非流动金融资产133425617.72133324391.64投资性房地产

固定资产417024686.41406549924.07

在建工程31767250.6130473814.04生产性生物资产油气资产

使用权资产44483616.7819916501.27

无形资产86595662.0032167617.24

其中：数据资源

开发支出209690369.50160533121.76

其中：数据资源商誉

长期待摊费用2796892.772167091.77

递延所得税资产97785316.0584392582.46

其他非流动资产16684164.09230224324.37

非流动资产合计2282543726.502200096817.31

资产总计12917787080.1911728605017.70

流动负债：

短期借款379163250.00226167111.11交易性金融负债衍生金融负债应付票据

应付账款2011154446.302143907744.60预收款项

合同负债548122975.62554263958.83

应付职工薪酬113443783.40119907504.43

应交税费58498787.14101585232.70

其他应付款403873116.55158077462.03

其中：应付利息

应付股利288252734.66持有待售负债

一年内到期的非流动负债416772885.80209807039.28

其他流动负债11301227.387270565.62

流动负债合计3942330472.193520986618.60

非流动负债：

长期借款795076086.38599919000.00应付债券

其中：优先股永续债

租赁负债26315545.2013531464.22长期应付款长期应付职工薪酬

72/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

预计负债20792046.5582889191.76

递延收益4312405.325061539.72

递延所得税负债-其他非流动负债

非流动负债合计846496083.45701401195.70

负债合计4788826555.644222387814.30

所有者权益（或股东权益）：

实收资本（或股本）441291188.00438740753.00其他权益工具

其中：优先股永续债

资本公积4578937200.654366783026.94

减：库存股50022847.66其他综合收益专项储备

盈余公积219370376.50219370376.50

未分配利润2939384607.062481323046.96所有者权益（或股东权8128960524.557506217203.40益）合计负债和所有者权益（或12917787080.1911728605017.70股东权益）总计

公司负责人：HUI WANG 主管会计工作负责人：LISA YI LU FENG 会计机构负责人：王岚合并利润表

2025年1—6月

单位：元币种：人民币项目附注2025年半年度2024年半年度

一、营业总收入3265291841.842403896730.50

其中：营业收入七、613265291841.842403896730.50利息收入已赚保费手续费及佣金收入

二、营业总成本2412884423.551914963648.17

其中：营业成本七、611608858073.341217092685.34利息支出手续费及佣金支出退保金赔付支出净额提取保险责任准备金净额保单红利支出分保费用

税金及附加七、625869857.864632130.14

销售费用七、63268031790.95205965790.70

管理费用七、64136759969.05155825271.73

研发费用七、65416072433.63346224522.35

财务费用七、66-22707701.28-14776752.09

73/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

其中：利息费用19636434.5810838200.41

利息收入38966984.1614304011.38

加：其他收益七、6710908241.2316104070.67

投资收益（损失以“－”号填列）七、6815367921.1313468002.52

其中：对联营企业和合营企业的投11762076.673237435.32资收益以摊余成本计量的金融资产

终止确认收益（损失以“-”号填列）

汇兑收益（损失以“－”号填列）

净敞口套期收益（损失以“-”号填列）公允价值变动收益（损失以“－”七、7013110964.83-7778230.46号填列）

信用减值损失（损失以“-”号填列）七、71-40195546.67-20940667.24

资产减值损失（损失以“-”号填列）七、72-32693636.73-21637263.37资产处置收益（损失以“－”号填七、73-387945.27

列）

三、营业利润（亏损以“－”号填列）818517416.81468148994.45

加：营业外收入七、742196481.91542986.64

减：营业外支出七、75364679.14634958.53

四、利润总额（亏损总额以“－”号填列）820349219.58468057022.56

减：所得税费用七、76124618110.8124874427.38

五、净利润（净亏损以“－”号填列）695731108.77443182595.18

（一）按经营持续性分类1.持续经营净利润（净亏损以“－”号填695731108.77443182595.18列）2.终止经营净利润（净亏损以“－”号填列）

（二）按所有权归属分类1.归属于母公司股东的净利润（净亏损

695772727.73-”443182595.18以“号填列）

2.少数股东损益（净亏损以“-”号填列）-41618.96

六、其他综合收益的税后净额七、57855673.50-551970.90

（一）归属母公司所有者的其他综合收855673.50-551970.90益的税后净额

1.不能重分类进损益的其他综合收益

（1）重新计量设定受益计划变动额

（2）权益法下不能转损益的其他综合收益

（3）其他权益工具投资公允价值变动

（4）企业自身信用风险公允价值变动

2.将重分类进损益的其他综合收益855673.50-551970.90

（1）权益法下可转损益的其他综合收益

（2）其他债权投资公允价值变动

（3）金融资产重分类计入其他综合收益的金额

（4）其他债权投资信用减值准备

（5）现金流量套期储备

（6）外币财务报表折算差额855673.50-551970.90

（7）其他

（二）归属于少数股东的其他综合收益

74/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

的税后净额

七、综合收益总额696586782.27442630624.28

（一）归属于母公司所有者的综合收益696628401.23442630624.28总额

（二）归属于少数股东的综合收益总额-41618.96

八、每股收益：

（一）基本每股收益(元/股)二十、21.581.02

（二）稀释每股收益(元/股)二十、21.571.00

本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元上期被合并方实现的净利润为：0元。

公司负责人：HUI WANG 主管会计工作负责人：LISA YI LU FENG 会计机构负责人：王岚母公司利润表

2025年1—6月

单位：元币种：人民币项目附注2025年半年度2024年半年度

一、营业收入十九、43260243648.092422469211.66

减：营业成本十九、41718019099.671459736244.27

税金及附加2789293.523083987.54

销售费用225281657.29190245879.70

管理费用113307606.91140089965.14

研发费用317905606.09244179414.53

财务费用13379159.54-15185269.63

其中：利息费用16368409.498613527.52

利息收入7832707.265335939.92

加：其他收益5655174.3615970460.48投资收益（损失以“－”号填十九、515367921.1313468002.52

列）

其中：对联营企业和合营企业11762076.673237435.32的投资收益以摊余成本计量的金融资产终止确认收益（损失以“-”号填列）净敞口套期收益（损失以“-”号填列）公允价值变动收益（损失以13110964.83-7778230.46“－”号填列）信用减值损失（损失以“-”号-38667538.98-22260306.32填列）资产减值损失（损失以“-”号-32164454.39-17636734.31填列）资产处置收益（损失以“－”653.38号填列）

二、营业利润（亏损以“－”号填列）832863945.40382082182.02

加：营业外收入913702.09542532.30

减：营业外支出246208.79297116.38三、利润总额（亏损总额以“－”号833531438.70382327597.94

75/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

填列）

减：所得税费用87217143.9428411125.63

四、净利润（净亏损以“－”号填列）746314294.76353916472.31

（一）持续经营净利润（净亏损以“”746314294.76353916472.31－号填列）

（二）终止经营净利润（净亏损以“－”号填列）

五、其他综合收益的税后净额

（一）不能重分类进损益的其他综合收益

1.重新计量设定受益计划变动

额

2.权益法下不能转损益的其他

综合收益

3.其他权益工具投资公允价值

变动

4.企业自身信用风险公允价值

变动

（二）将重分类进损益的其他综合收益

1.权益法下可转损益的其他综

合收益

2.其他债权投资公允价值变动

3.金融资产重分类计入其他综

合收益的金额

4.其他债权投资信用减值准备

5.现金流量套期储备

6.外币财务报表折算差额

7.其他

六、综合收益总额746314294.76353916472.31

七、每股收益：

（一）基本每股收益(元/股)

（二）稀释每股收益(元/股)

公司负责人：HUI WANG 主管会计工作负责人：LISA YI LU FENG 会计机构负责人：王岚合并现金流量表

2025年1—6月

单位：元币种：人民币项目附注2025年半年度2024年半年度

一、经营活动产生的现金流量：

销售商品、提供劳务收到的现金2514699064.762730308259.17客户存款和同业存放款项净增加额向中央银行借款净增加额向其他金融机构拆入资金净增加额收到原保险合同保费取得的现金收到再保业务现金净额保户储金及投资款净增加额

收取利息、手续费及佣金的现金

76/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

拆入资金净增加额回购业务资金净增加额代理买卖证券收到的现金净额

收到的税费返还149937225.62153290120.70

收到其他与经营活动有关的现金七、78（1）52563198.2018623967.03

经营活动现金流入小计2717199488.582902222346.90

购买商品、接受劳务支付的现金1861118243.111815716310.13客户贷款及垫款净增加额存放中央银行和同业款项净增加额支付原保险合同赔付款项的现金拆出资金净增加额

支付利息、手续费及佣金的现金支付保单红利的现金

支付给职工及为职工支付的现金580523307.75346350380.42

支付的各项税费148241783.0341183605.54

支付其他与经营活动有关的现金七、78（1）259270100.12252253204.02

经营活动现金流出小计2849153434.012455503500.11

经营活动产生的现金流量净额七、79-131953945.43446718846.79

二、投资活动产生的现金流量：

收回投资收到的现金50247400.00201326400.00

取得投资收益收到的现金1599144.7139600309.76

处置固定资产、无形资产和其他长期5380.00资产收回的现金净额处置子公司及其他营业单位收到的现金净额收到其他与投资活动有关的现金

投资活动现金流入小计51846544.71240932089.76

购建固定资产、无形资产和其他长期256661254.56284216857.51资产支付的现金

投资支付的现金50293600.00133587993.96质押贷款净增加额取得子公司及其他营业单位支付的现金净额支付其他与投资活动有关的现金

投资活动现金流出小计306954854.56417804851.47

投资活动产生的现金流量净额-255108309.85-176872761.71

三、筹资活动产生的现金流量：

吸收投资收到的现金127095879.305634925.02

其中：子公司吸收少数股东投资收到的现金

取得借款收到的现金761127086.38397059000.00收到其他与筹资活动有关的现金

筹资活动现金流入小计888222965.68402693925.02

偿还债务支付的现金284815593.8916560590.46

分配股利、利润或偿付利息支付的现18583904.9310643553.45金

其中：子公司支付给少数股东的股

利、利润

支付其他与筹资活动有关的现金七、78（3）63217392.1310605617.05

77/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

筹资活动现金流出小计366616890.9537809760.96

筹资活动产生的现金流量净额521606074.73364884164.06

四、汇率变动对现金及现金等价物的影-7776272.042980289.88响

五、现金及现金等价物净增加额126767547.41637710539.02

加：期初现金及现金等价物余额2634590605.401523342073.95

六、期末现金及现金等价物余额七、792761358152.812161052612.97

公司负责人：HUI WANG 主管会计工作负责人：LISA YI LU FENG 会计机构负责人：王岚母公司现金流量表

2025年1—6月

单位：元币种：人民币项目附注2025年半年度2024年半年度

一、经营活动产生的现金流量：

销售商品、提供劳务收到的现金2365615540.131740933119.61

收到的税费返还93526983.82110002847.26

收到其他与经营活动有关的现金10179309.533327012.61

经营活动现金流入小计2469321833.481854262979.48

购买商品、接受劳务支付的现金1656010649.551645820010.65

支付给职工及为职工支付的现金487375956.38273631354.45

支付的各项税费144615541.9039255241.73

支付其他与经营活动有关的现金438951207.58583945595.15

经营活动现金流出小计2726953355.412542652201.98

经营活动产生的现金流量净额-257631521.93-688389222.50

二、投资活动产生的现金流量：

收回投资收到的现金50247400.00201326400.00

取得投资收益收到的现金1599144.7139600309.76

处置固定资产、无形资产和其他长期5380.00资产收回的现金净额处置子公司及其他营业单位收到的现金净额收到其他与投资活动有关的现金

投资活动现金流入小计51846544.71240932089.76

购建固定资产、无形资产和其他长期138911711.8959961336.05资产支付的现金

投资支付的现金50293600.00133587993.96取得子公司及其他营业单位支付的现金净额

支付其他与投资活动有关的现金5172151.68176736.27

投资活动现金流出小计194377463.57193726066.28

投资活动产生的现金流量净额-142530918.8647206023.48

三、筹资活动产生的现金流量：

吸收投资收到的现金125353880.255634925.02

取得借款收到的现金736127086.38397059000.00收到其他与筹资活动有关的现金

筹资活动现金流入小计861480966.63402693925.02

偿还债务支付的现金268660000.009350000.00

分配股利、利润或偿付利息支付的现15542115.377882205.49

78/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

金

支付其他与筹资活动有关的现金58408251.807925339.08

筹资活动现金流出小计342610367.1725157544.57

筹资活动产生的现金流量净额518870599.46377536380.45

四、汇率变动对现金及现金等价物的影-415678.8517516.50响

五、现金及现金等价物净增加额118292479.82-263629302.07

加：期初现金及现金等价物余额589347526.82946666427.10

六、期末现金及现金等价物余额707640006.64683037125.03

公司负责人：HUI WANG 主管会计工作负责人：LISA YI LU FENG 会计机构负责人：王岚

79/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

合并所有者权益变动表

2025年1—6月

单位：元币种：人民币

2025年半年度

归属于母公司所有者权益其他权益工一项目具专般少数股东权所有者权益合计

实收资本(或其他综合收项风其益

优永资本公积减：库存股盈余公积未分配利润小计

股本)其益储险他先续他备准股债备

一、上年期438740753.004387841264.405244077.22219370376.502614438643.097665635114.21639.257665635753.46末余额

加：会计政策变更前期差错更正其他

二、本年期438740753.004387841264.405244077.22219370376.502614438643.097665635114.21639.257665635753.46初余额

三、本期增减变动金

额（减少以2550435.00213600586.9550022847.66855673.50407519993.07574503840.861700380.09576204220.95“－”号填

列）

（一）综合855673.50695772727.73696628401.23-41618.96696586782.27收益总额

（二）所有

者投入和2550435.00213600586.95216151021.951741999.05217893021.00减少资本

1．所有者

投入的普2550435.00122803445.25125353880.251741999.05127095879.30通股

2．其他权

益工具持有者投入资本

80/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

3．股份支

付计入所90797141.7090797141.7090797141.70有者权益的金额

4．其他

（三）利润-288252734.66-288252734.66-288252734.66分配

1．提取盈

余公积

2．提取一

般风险准备

3．对所有

者（或股-288252734.66-288252734.66-288252734.66东）的分配

4．其他

（四）所有

者权益内50022847.66-50022847.66-50022847.66部结转

1．资本公

积转增资

本（或股本）

2．盈余公

积转增资

本（或股本）

3．盈余公

积弥补亏损

4．设定受

益计划变动额结转留存收益

5．其他综

合收益结转留存收益

6．其他50022847.66-50022847.66-50022847.66

（五）专项储备

81/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

1．本期提

取

2．本期使

用

（六）其他

四、本期期441291188.004601441851.3550022847.666099750.72219370376.503021958636.168240138955.071701019.348241839974.41末余额

2024年半年度

归属于母公司所有者权益其他权益工具一少数项目专般

减：股东所有者权益合计

实收资本(或股其他综合收项风其优永其资本公积库存盈余公积未分配利润小计权益

本)先续益储险他他股股债备准备

一、上年期末余额435707409.004063541947.155206271.76212889957.501740920117.816458265703.226458265703.22

加：会计政策变更前期差错更正其他

二、本年期初余额435707409.004063541947.155206271.76212889957.501740920117.816458265703.226458265703.22

三、本期增减变动金额

“”446154.00176825864.38-551970.90169993449.46346713496.94346713496.94（减少以－号填列）

（一）综合收益总额-551970.90443182595.18442630624.28442630624.28

（二）所有者投入和减446154.00176825864.38177272018.38177272018.38少资本

1．所有者投入的普通446154.005773701.826219855.826219855.82

股

2．其他权益工具持有

者投入资本

3．股份支付计入所有171052162.56171052162.56171052162.56

者权益的金额

4．其他

（三）利润分配-273189145.72-273189145.72-273189145.72

1．提取盈余公积

2．提取一般风险准备

3．对所有者（或股东）-273189145.72-273189145.72-273189145.72

的分配

82/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

4．其他

（四）所有者权益内部结转

1．资本公积转增资本（或股本）

2．盈余公积转增资本（或股本）

3．盈余公积弥补亏损

4．设定受益计划变动

额结转留存收益

5．其他综合收益结转

留存收益

6．其他

（五）专项储备

1．本期提取

2．本期使用

（六）其他

四、本期期末余额436153563.004240367811.534654300.86212889957.501910913567.276804979200.166804979200.16

公司负责人：HUI WANG 主管会计工作负责人：LISA YI LU FENG 会计机构负责人：王岚母公司所有者权益变动表

2025年1—6月

单位：元币种：人民币

2025年半年度

其他权益工具其他专

项目实收资本(或股综项

)资本公积减：库存股盈余公积未分配利润所有者权益合计本优先股永续债其他合储收备益

一、上年期末余额438740753.004366783026.94219370376.502481323046.967506217203.40

加：会计政策变更前期差错更正其他

二、本年期初余额438740753.004366783026.94219370376.502481323046.967506217203.40三、本期增减变动金额（减少以“”2550435.00212154173.7150022847.66458061560.10622743321.15－号填列）

83/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

（一）综合收益总额746314294.76746314294.76

（二）所有者投入和减少资本2550435.00212154173.71214704608.71

1．所有者投入的普通股2550435.00122803445.25125353880.25

2．其他权益工具持有者投入资

本

3．股份支付计入所有者权益的89350728.4689350728.46

金额

4．其他

（三）利润分配-288252734.66-288252734.66

1．提取盈余公积

2．对所有者（或股东）的分配-288252734.66-288252734.66

3．其他

（四）所有者权益内部结转50022847.66-50022847.66

1．资本公积转增资本（或股本）

2．盈余公积转增资本（或股本）

3．盈余公积弥补亏损

4．设定受益计划变动额结转留

存收益

5．其他综合收益结转留存收益

6．其他50022847.66-50022847.66

（五）专项储备

1．本期提取

2．本期使用

（六）其他

四、本期期末余额441291188.004578937200.6550022847.66219370376.502939384607.068128960524.55

2024年半年度

项目实收资本(或其他权益工具减：库其他综专项

)资本公积盈余公积未分配利润所有者权益合计股本优先股永续债其他存股合收益储备

一、上年期末余额435707409.004046635275.24212889957.501754726376.166449959017.90

加：会计政策变更前期差错更正其他

二、本年期初余额435707409.004046635275.24212889957.501754726376.166449959017.90三、本期增减变动金额（减少以“”446154.00174950367.2480727326.59256123847.83－号填列）

84/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

（一）综合收益总额353916472.31353916472.31

（二）所有者投入和减少资本446154.00174950367.24175396521.24

1．所有者投入的普通股446154.005773701.826219855.82

2．其他权益工具持有者投入资本

3．股份支付计入所有者权益的金169176665.42169176665.42

额

4．其他

（三）利润分配-273189145.72-273189145.72

1．提取盈余公积

2．对所有者（或股东）的分配-273189145.72-273189145.72

3．其他

（四）所有者权益内部结转

1．资本公积转增资本（或股本）

2．盈余公积转增资本（或股本）

3．盈余公积弥补亏损

4．设定受益计划变动额结转留存

收益

5．其他综合收益结转留存收益

6．其他

（五）专项储备

1．本期提取

2．本期使用

（六）其他

四、本期期末余额436153563.004221585642.48212889957.501835453702.756706082865.73

公司负责人：HUI WANG 主管会计工作负责人：LISA YI LU FENG 会计机构负责人：王岚

85/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

三、公司基本情况

1、公司概况

√适用□不适用

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”或“盛美上海”）

系在盛美半导体设备（上海）有限公司基础上以整体变更方式设立的股份有限公司。

根据公司股东大会决议和修改后章程的规定，并经中国证券监督管理委员会《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号）核准，公司向社会公开发行人民币普通股股票43355753股。公司于2021年11月18日在上海证券交易所挂牌交易，所属行业为专用设备制造业。公司持有上海市市场监督管理局核发的《营业执照》，统一社会信用代码为 91310000774331663A。

截至2025年6月30日，本公司累计发行股本总数441291188股，注册资本为人民币

441291188.00元。注册地：中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。经

营范围：一般项目：半导体器件专用设备制造；电子专用设备制造；机械零件、零部件加工；半

导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；专用设备修理；专业设计服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。本公司的母公司为 ACM RESEARCH INC.（以下简称“美国 ACMR”），本公司的实际控制人为 HUI WANG（王晖）。

本财务报表业经公司董事会于2025年8月5日批准报出。

四、财务报表的编制基础

1、编制基础

本财务报表按照财政部颁布的《企业会计准则——基本准则》和各项具体会计准则、企业会

计准则应用指南、企业会计准则解释及其他相关规定（以下合称“企业会计准则”），以及中国证券监督管理委员会《公开发行证券的公司信息披露编报规则第15号——财务报告的一般规定》的相关规定编制。

2、持续经营

√适用□不适用

本财务报表以持续经营为基础编制。本公司无影响持续经营能力的事项，预计未来12个月内具备持续经营的能力。

五、重要会计政策及会计估计

具体会计政策和会计估计提示：

√适用□不适用以下披露内容已涵盖了本公司根据实际生产经营特点制定的具体会计政策和会计估计。

1、遵循企业会计准则的声明

本财务报表符合财政部颁布的企业会计准则的要求，真实、完整地反映了本公司2025年6月30日的合并及母公司财务状况以及2025年1-6月的合并及母公司经营成果和现金流量。

2、会计期间

本公司会计年度自公历1月1日起至12月31日止。

3、营业周期

√适用□不适用本公司营业周期为12个月。

86/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

4、记账本位币

本公司及合并财务报表范围内的公司采用如下币种为记账本位币：

序号核算主体名称记账本位币

1盛美上海人民币

2盛美半导体设备无锡有限公司（以下简称“盛美无锡”）人民币

3盛帷半导体设备（上海）有限公司（以下简称“盛帷上海”）人民币

4 CLEANCHIP TECHNOLOGIES LIMITED（清芯科技有限公司）（以下简称“香港清芯”） 美元

5 ACM RESEARCH KOREA CO. LTD（以下简称“盛美韩国”） 韩元

6 ACM RESEARCH (CA) INC（以下简称“盛美加州”） 美元

7盛美半导体设备（北京）有限公司（以下简称“盛美北京”）人民币

8御盛微半导体（上海）有限公司（以下简称“御盛微半导体”）人民币

9御盛微友一微电子（上海）有限公司（以下简称“御盛微友一”）人民币

10盛美半导体设备（成都）有限公司（以下简称“盛美成都”）人民币

11盛宜微半导体（上海）有限公司（以下简称“盛宜微”）人民币

5、重要性标准确定方法和选择依据

√适用□不适用项目重要性标准重要的在建工程1000万元

6、同一控制下和非同一控制下企业合并的会计处理方法

√适用□不适用同一控制下企业合并：合并方在企业合并中取得的资产和负债（包括最终控制方收购被合并方而形成的商誉），按照合并日被合并方资产、负债在最终控制方合并财务报表中的账面价值为基础计量。在合并中取得的净资产账面价值与支付的合并对价账面价值（或发行股份面值总额）的差额，调整资本公积中的股本溢价，资本公积中的股本溢价不足冲减的，调整留存收益。

非同一控制下企业合并：合并成本为购买方在购买日为取得被购买方的控制权而付出的资产、发生或承担的负债以及发行的权益性证券的公允价值。合并成本大于合并中取得的被购买方可辨认净资产公允价值份额的差额，确认为商誉；合并成本小于合并中取得的被购买方可辨认净资产公允价值份额的差额，计入当期损益。在合并中取得的被购买方符合确认条件的各项可辨认资产、负债及或有负债在购买日按公允价值计量。

为企业合并发生的直接相关费用于发生时计入当期损益；为企业合并而发行权益性证券或债

务性证券的交易费用，计入权益性证券或债务性证券的初始确认金额。

7、控制的判断标准和合并财务报表的编制方法

√适用□不适用

1、控制的判断标准

合并财务报表的合并范围以控制为基础确定，合并范围包括本公司及全部子公司。控制，是指公司拥有对被投资方的权力，通过参与被投资方的相关活动而享有可变回报，并且有能力运用对被投资方的权力影响其回报金额。

2、合并程序

本公司将整个企业集团视为一个会计主体，按照统一的会计政策编制合并财务报表，反映本企业集团整体财务状况、经营成果和现金流量。本公司与子公司、子公司相互之间发生的内部交易的影响予以抵销。内部交易表明相关资产发生减值损失的，全额确认该部分损失。如子公司采

87/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

用的会计政策、会计期间与本公司不一致的，在编制合并财务报表时，按本公司的会计政策、会计期间进行必要的调整。

子公司所有者权益、当期净损益和当期综合收益中属于少数股东的份额分别在合并资产负债

表中所有者权益项目下、合并利润表中净利润项目下和综合收益总额项目下单独列示。子公司少数股东分担的当期亏损超过了少数股东在该子公司期初所有者权益中所享有份额而形成的余额，冲减少数股东权益。

（1）增加子公司或业务

在报告期内，因同一控制下企业合并增加子公司或业务的，将子公司或业务合并当期期初至报告期末的经营成果和现金流量纳入合并财务报表，同时对合并财务报表的期初数和比较报表的相关项目进行调整，视同合并后的报告主体自最终控制方开始控制时点起一直存在。

因追加投资等原因能够对同一控制下的被投资方实施控制的，在取得被合并方控制权之前持有的股权投资，在取得原股权之日与合并方和被合并方同处于同一控制之日孰晚日起至合并日之间已确认有关损益、其他综合收益以及其他净资产变动，分别冲减比较报表期间的期初留存收益或当期损益。

在报告期内，因非同一控制下企业合并增加子公司或业务的，以购买日确定的各项可辨认资产、负债及或有负债的公允价值为基础自购买日起纳入合并财务报表。

因追加投资等原因能够对非同一控制下的被投资方实施控制的，对于购买日之前持有的被购买方的股权，按照该股权在购买日的公允价值进行重新计量，公允价值与其账面价值的差额计入当期投资收益。购买日之前持有的被购买方的股权涉及的以后可重分类进损益的其他综合收益、权益法核算下的其他所有者权益变动转为购买日所属当期投资收益。

（2）处置子公司

*一般处理方法

因处置部分股权投资或其他原因丧失了对被投资方控制权时，对于处置后的剩余股权投资，按照其在丧失控制权日的公允价值进行重新计量。处置股权取得的对价与剩余股权公允价值之和，减去按原持股比例计算应享有原有子公司自购买日或合并日开始持续计算的净资产的份额与商誉

之和的差额，计入丧失控制权当期的投资收益。与原有子公司股权投资相关的以后可重分类进损益的其他综合收益、权益法核算下的其他所有者权益变动，在丧失控制权时转为当期投资收益。

*分步处置子公司

通过多次交易分步处置对子公司股权投资直至丧失控制权的，处置对子公司股权投资的各项交易的条款、条件以及经济影响符合以下一种或多种情况，通常表明该多次交易事项为一揽子交易：

ⅰ．这些交易是同时或者在考虑了彼此影响的情况下订立的；

ⅱ．这些交易整体才能达成一项完整的商业结果；

ⅲ．一项交易的发生取决于其他至少一项交易的发生；

ⅳ．一项交易单独看是不经济的，但是和其他交易一并考虑时是经济的。

各项交易属于一揽子交易的，将各项交易作为一项处置子公司并丧失控制权的交易进行会计处理；在丧失控制权之前每一次处置价款与处置投资对应的享有该子公司净资产份额的差额，在合并财务报表中确认为其他综合收益，在丧失控制权时一并转入丧失控制权当期的损益。

各项交易不属于一揽子交易的，在丧失控制权之前，按不丧失控制权的情况下部分处置对子公司的股权投资进行会计处理；在丧失控制权时，按处置子公司一般处理方法进行会计处理。

（3）购买子公司少数股权因购买少数股权新取得的长期股权投资与按照新增持股比例计算应享有子公司自购买日或合

并日开始持续计算的净资产份额之间的差额，调整合并资产负债表中的资本公积中的股本溢价，资本公积中的股本溢价不足冲减的，调整留存收益。

（4）不丧失控制权的情况下部分处置对子公司的股权投资处置价款与处置长期股权投资相对应享有子公司自购买日或合并日开始持续计算的净资产份

额之间的差额，调整合并资产负债表中的资本公积中的股本溢价，资本公积中的股本溢价不足冲减的，调整留存收益。

88/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

8、合营安排分类及共同经营会计处理方法

√适用□不适用合营安排分为共同经营和合营企业。

共同经营，是指合营方享有该安排相关资产且承担该安排相关负债的合营安排。

本公司确认与共同经营中利益份额相关的下列项目：

（1）确认本公司单独所持有的资产，以及按本公司份额确认共同持有的资产；

（2）确认本公司单独所承担的负债，以及按本公司份额确认共同承担的负债；

（3）确认出售本公司享有的共同经营产出份额所产生的收入；

（4）按本公司份额确认共同经营因出售产出所产生的收入；

（5）确认单独所发生的费用，以及按本公司份额确认共同经营发生的费用。

本公司对合营企业的投资采用权益法核算，详见第八节财务报告“五、19长期股权投资”。

9、现金及现金等价物的确定标准现金，是指本公司的库存现金以及可以随时用于支付的存款。现金等价物，是指本公司持有的期限短、流动性强、易于转换为已知金额的现金、价值变动风险很小的投资。

10、外币业务和外币报表折算

√适用□不适用

1、外币业务

外币业务采用交易发生日的即期汇率作为折算汇率将外币金额折合成各公司的适用记账本位币记账。

资产负债表日外币货币性项目余额按资产负债表日即期汇率折算，由此产生的汇兑差额，除属于与购建符合资本化条件的资产相关的外币专门借款产生的汇兑差额按照借款费用资本化的原

则处理外，均计入当期损益。

2、外币财务报表的折算资产负债表中的资产和负债项目，采用资产负债表日的即期汇率折算；所有者权益项目除“未分配利润”项目外，其他项目采用发生时的即期汇率折算。利润表中的收入和费用项目，采用交易发生日的即期汇率折算。

处置境外经营时，将与该境外经营相关的外币财务报表折算差额，自所有者权益项目转入处置当期损益。

11、金融工具

√适用□不适用

本公司在成为金融工具合同的一方时，确认一项金融资产、金融负债或权益工具。

1、金融工具的分类

根据本公司管理金融资产的业务模式和金融资产的合同现金流量特征，金融资产于初始确认时分类为：以摊余成本计量的金融资产、以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产和以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产。

本公司将同时符合下列条件且未被指定为以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产，分类为以摊余成本计量的金融资产：

－业务模式是以收取合同现金流量为目标；

－合同现金流量仅为对本金和以未偿付本金金额为基础的利息的支付。

本公司将同时符合下列条件且未被指定为以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产，分类为以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产（债务工具）：

－业务模式既以收取合同现金流量又以出售该金融资产为目标；

－合同现金流量仅为对本金和以未偿付本金金额为基础的利息的支付。

89/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

对于非交易性权益工具投资，本公司可以在初始确认时将其不可撤销地指定为以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产（权益工具）。该指定在单项投资的基础上作出，且相关投资从发行者的角度符合权益工具的定义。

除上述以摊余成本计量和以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产外，本公司将其余所有的金融资产分类为以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产。在初始确认时，如果能够消除或显著减少会计错配，本公司可以将本应分类为以摊余成本计量或以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产不可撤销地指定为以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产。

金融负债于初始确认时分类为：以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债和以摊余成本计量的金融负债。

符合以下条件之一的金融负债可在初始计量时指定为以公允价值计量且其变动计入当期损益

的金融负债：

1）该项指定能够消除或显著减少会计错配。

2）根据正式书面文件载明的企业风险管理或投资策略，以公允价值为基础对金融负债组合或

金融资产和金融负债组合进行管理和业绩评价，并在企业内部以此为基础向关键管理人员报告。

3）该金融负债包含需单独分拆的嵌入衍生工具。

2、金融工具的确认依据和计量方法

（1）以摊余成本计量的金融资产

以摊余成本计量的金融资产包括应收票据、应收账款、其他应收款、长期应收款、债权投资等，按公允价值进行初始计量，相关交易费用计入初始确认金额；不包含重大融资成分的应收账款以及本公司决定不考虑不超过一年的融资成分的应收账款，以合同交易价格进行初始计量。

持有期间采用实际利率法计算的利息计入当期损益。

收回或处置时，将取得的价款与该金融资产账面价值之间的差额计入当期损益。

（2）以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产（债务工具）

以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产（债务工具）包括应收款项融资、其

他债权投资等，按公允价值进行初始计量，相关交易费用计入初始确认金额。该金融资产按公允价值进行后续计量，公允价值变动除采用实际利率法计算的利息、减值损失或利得和汇兑损益之外，均计入其他综合收益。

终止确认时，之前计入其他综合收益的累计利得或损失从其他综合收益中转出，计入当期损益。

（3）以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产（权益工具）

以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产（权益工具）包括其他权益工具投资等，按公允价值进行初始计量，相关交易费用计入初始确认金额。该金融资产按公允价值进行后续计量，公允价值变动计入其他综合收益。取得的股利计入当期损益。

终止确认时，之前计入其他综合收益的累计利得或损失从其他综合收益中转出，计入留存收益。

（4）以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产

以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产包括交易性金融资产、衍生金融资产、其

他非流动金融资产等，按公允价值进行初始计量，相关交易费用计入当期损益。该金融资产按公允价值进行后续计量，公允价值变动计入当期损益。

（5）以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债

90/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债包括交易性金融负债、衍生金融负债等，按公允价值进行初始计量，相关交易费用计入当期损益。该金融负债按公允价值进行后续计量，公允价值变动计入当期损益。

终止确认时，其账面价值与支付的对价之间的差额计入当期损益。

（6）以摊余成本计量的金融负债

以摊余成本计量的金融负债包括短期借款、应付票据、应付账款、其他应付款、长期借款、

应付债券、长期应付款，按公允价值进行初始计量，相关交易费用计入初始确认金额。

持有期间采用实际利率法计算的利息计入当期损益。

终止确认时，将支付的对价与该金融负债账面价值之间的差额计入当期损益。

3、金融资产终止确认和金融资产转移的确认依据和计量方法

满足下列条件之一时，本公司终止确认金融资产：

－收取金融资产现金流量的合同权利终止；

－金融资产已转移，且已将金融资产所有权上几乎所有的风险和报酬转移给转入方；

－金融资产已转移，虽然本公司既没有转移也没有保留金融资产所有权上几乎所有的风险和报酬，但是未保留对金融资产的控制。

本公司与交易对手方修改或者重新议定合同而且构成实质性修改的，则终止确认原金融资产，同时按照修改后的条款确认一项新金融资产。

发生金融资产转移时，如保留了金融资产所有权上几乎所有的风险和报酬的，则不终止确认该金融资产。

在判断金融资产转移是否满足上述金融资产终止确认条件时，采用实质重于形式的原则。

公司将金融资产转移区分为金融资产整体转移和部分转移。金融资产整体转移满足终止确认条件的，将下列两项金额的差额计入当期损益：

（1）所转移金融资产的账面价值；

（2）因转移而收到的对价，与原直接计入所有者权益的公允价值变动累计额（涉及转移的金融资产为以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产（债务工具）的情形）之和。

金融资产部分转移满足终止确认条件的，将所转移金融资产整体的账面价值，在终止确认部分和未终止确认部分之间，按照各自的相对公允价值进行分摊，并将下列两项金额的差额计入当期损益：

（1）终止确认部分的账面价值；

（2）终止确认部分的对价，与原直接计入所有者权益的公允价值变动累计额中对应终止确认部分的金额（涉及转移的金融资产为以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产（债务工具）的情形）之和。

金融资产转移不满足终止确认条件的，继续确认该金融资产，所收到的对价确认为一项金融负债。

4、金融负债终止确认

金融负债的现时义务全部或部分已经解除的，则终止确认该金融负债或其一部分；本公司若与债权人签定协议，以承担新金融负债方式替换现存金融负债，且新金融负债与现存金融负债的合同条款实质上不同的，则终止确认现存金融负债，并同时确认新金融负债。

对现存金融负债全部或部分合同条款作出实质性修改的，则终止确认现存金融负债或其一部分，同时将修改条款后的金融负债确认为一项新金融负债。

金融负债全部或部分终止确认时，终止确认的金融负债账面价值与支付对价（包括转出的非现金资产或承担的新金融负债）之间的差额，计入当期损益。

91/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

本公司若回购部分金融负债的，在回购日按照继续确认部分与终止确认部分的相对公允价值，将该金融负债整体的账面价值进行分配。分配给终止确认部分的账面价值与支付的对价（包括转出的非现金资产或承担的新金融负债）之间的差额，计入当期损益。

5、金融资产和金融负债的公允价值的确定方法

存在活跃市场的金融工具，以活跃市场中的报价确定其公允价值。不存在活跃市场的金融工具，采用估值技术确定其公允价值。在估值时，本公司采用在当前情况下适用并且有足够可利用数据和其他信息支持的估值技术，选择与市场参与者在相关资产或负债的交易中所考虑的资产或负债特征相一致的输入值，并优先使用相关可观察输入值。只有在相关可观察输入值无法取得或取得不切实可行的情况下，才使用不可观察输入值。

6、金融工具减值的测试方法及会计处理方法

本公司对以摊余成本计量的金融资产、以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产（债务工具）和财务担保合同等以预期信用损失为基础进行减值会计处理。

本公司考虑有关过去事项、当前状况以及对未来经济状况的预测等合理且有依据的信息，以发生违约的风险为权重，计算合同应收的现金流量与预期能收到的现金流量之间差额的现值的概率加权金额，确认预期信用损失。

对于由《企业会计准则第14号——收入》规范的交易形成的应收款项和合同资产，无论是否包含重大融资成分，本公司始终按照相当于整个存续期内预期信用损失的金额计量其损失准备。

对于由《企业会计准则第21号——租赁》规范的交易形成的租赁应收款，本公司选择始终按照相当于整个存续期内预期信用损失的金额计量其损失准备。

对于其他金融工具，本公司在每个资产负债表日评估相关金融工具的信用风险自初始确认后的变动情况。

本公司通过比较金融工具在资产负债表日发生违约的风险与在初始确认日发生违约的风险，以确定金融工具预计存续期内发生违约风险的相对变化，以评估金融工具的信用风险自初始确认后是否已显著增加。通常逾期超过30日，本公司即认为该金融工具的信用风险已显著增加，除非有确凿证据证明该金融工具的信用风险自初始确认后并未显著增加。

如果金融工具于资产负债表日的信用风险较低，本公司即认为该金融工具的信用风险自初始确认后并未显著增加。

如果该金融工具的信用风险自初始确认后已显著增加，本公司按照相当于该金融工具整个存续期内预期信用损失的金额计量其损失准备；如果该金融工具的信用风险自初始确认后并未显著增加，本公司按照相当于该金融工具未来12个月内预期信用损失的金额计量其损失准备。由此形成的损失准备的增加或转回金额，作为减值损失或利得计入当期损益。对于以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产（债务工具），在其他综合收益中确认其损失准备，并将减值损失或利得计入当期损益，且不减少该金融资产在资产负债表中列示的账面价值。

如果有客观证据表明某项金融资产已经发生信用减值，则本公司在单项基础上对该金融资产计提减值准备。

本公司将应收款项和合同资产按类似信用风险特征（账龄）进行组合，并基于所有合理且有依据的信息，包括前瞻性信息，对于坏账准备的计提比例进行估计如下：

（1）非合并关联方信用组合

账龄计提比例(%)

1年以内（含1年）1或5

其中：6个月内1

7-12个月5

1－2年（含2年）10

2－3年（含3年）20

92/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

账龄计提比例(%)

3－4年（含4年）25

4－5年（含5年）30

5年以上100

（2）合并关联方信用组合最终客户在期末已支付给关联方且关联方在期后已支付给本公司的应收款项和合同资产不计

提坏账准备；最终客户在期末尚未支付给关联方的应收款项和合同资产，按非合并关联方信用组合计提坏账准备。

本公司不再合理预期金融资产合同现金流量能够全部或部分收回的，直接减记该金融资产的账面余额。

12、应收票据

√适用□不适用按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

按照单项计提坏账准备的单项计提判断标准

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

13、应收账款

√适用□不适用按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

按照单项计提坏账准备的认定单项计提判断标准

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

14、应收款项融资

□适用√不适用

15、其他应收款

√适用□不适用按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

93/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

按照单项计提坏账准备的单项计提判断标准

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

16、存货

√适用□不适用

存货类别、发出计价方法、盘存制度、低值易耗品和包装物的摊销方法

√适用□不适用

1、存货的分类和成本

存货分类为：在途物资、原材料、库存商品、在产品、发出商品、委托加工物资等。

存货按成本进行初始计量，存货成本包括采购成本、加工成本和其他使存货达到目前场所和状态所发生的支出。

2、发出存货的计价方法

存货发出时按加权平均法计价。

3、存货的盘存制度

采用永续盘存制。

4、低值易耗品和包装物的摊销方法

（1）低值易耗品采用一次转销法；

（2）包装物采用一次转销法。

存货跌价准备的确认标准和计提方法

√适用□不适用

资产负债表日，存货应当按照成本与可变现净值孰低计量。当存货成本高于其可变现净值的，应当计提存货跌价准备。可变现净值，是指在日常活动中，存货的估计售价减去至完工时估计将要发生的成本、估计的销售费用以及相关税费后的金额。

产成品、库存商品和用于出售的材料等直接用于出售的商品存货，在正常生产经营过程中，以该存货的估计售价减去估计的销售费用和相关税费后的金额，确定其可变现净值；需要经过加工的材料存货，在正常生产经营过程中，以所生产的产成品的估计售价减去至完工时估计将要发生的成本、估计的销售费用和相关税费后的金额，确定其可变现净值；为执行销售合同或者劳务合同而持有的存货，其可变现净值以合同价格为基础计算，若持有存货的数量多于销售合同订购数量的，超出部分的存货的可变现净值以一般销售价格为基础计算。

计提存货跌价准备后，如果以前减记存货价值的影响因素已经消失，导致存货的可变现净值高于其账面价值的，在原已计提的存货跌价准备金额内予以转回，转回的金额计入当期损益。

按照组合计提存货跌价准备的组合类别及确定依据、不同类别存货可变现净值的确定依据

□适用√不适用基于库龄确认存货可变现净值的各库龄组合可变现净值的计算方法和确定依据

□适用√不适用

17、合同资产

√适用□不适用合同资产的确认方法及标准

94/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

√适用□不适用本公司根据履行履约义务与客户付款之间的关系在资产负债表中列示合同资产或合同负债。

本公司已向客户转让商品或提供服务而有权收取对价的权利（且该权利取决于时间流逝之外的其他因素）列示为合同资产。同一合同下的合同资产和合同负债以净额列示。本公司拥有的、无条件（仅取决于时间流逝）向客户收取对价的权利作为应收款项单独列示。

按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据

√适用□不适用合同资产的预期信用损失的确定方法及会计处理方法详见第八节财务报告“五、11（6）、金融资产减值的测试方法及会计处理方法”。

基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

按照单项计提坏账准备的认定单项计提判断标准

√适用□不适用

详见第八节财务报告五、11。

18、持有待售的非流动资产或处置组

√适用□不适用

主要通过出售（包括具有商业实质的非货币性资产交换）而非持续使用一项非流动资产或处

置组收回其账面价值的，划分为持有待售类别。

划分为持有待售的非流动资产或处置组的确认标准和会计处理方法

√适用□不适用

本公司将同时满足下列条件的非流动资产或处置组划分为持有待售类别：

（1）根据类似交易中出售此类资产或处置组的惯例，在当前状况下即可立即出售；

（2）出售极可能发生，即本公司已经就一项出售计划作出决议且获得确定的购买承诺，预计

出售将在一年内完成。有关规定要求本公司相关权力机构或者监管部门批准后方可出售的，已经获得批准。

划分为持有待售的非流动资产（不包括金融资产、递延所得税资产、职工薪酬形成的资产）

或处置组，其账面价值高于公允价值减去出售费用后的净额的，账面价值减记至公允价值减去出售费用后的净额，减记的金额确认为资产减值损失，计入当期损益，同时计提持有待售资产减值准备。

终止经营的认定标准和列报方法

√适用□不适用

终止经营是满足下列条件之一的、能够单独区分的组成部分，且该组成部分已被本公司处置或被本公司划归为持有待售类别：

（1）该组成部分代表一项独立的主要业务或一个单独的主要经营地区；

（2）该组成部分是拟对一项独立的主要业务或一个单独的主要经营地区进行处置的一项相关联计划的一部分；

（3）该组成部分是专为转售而取得的子公司。

持续经营损益和终止经营损益在利润表中分别列示。终止经营的减值损失和转回金额等经营损益及处置损益作为终止经营损益列报。对于当期列报的终止经营，本公司在当期财务报表中，将原来作为持续经营损益列报的信息重新作为可比会计期间的终止经营损益列报。

95/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

19、长期股权投资

√适用□不适用

1、共同控制、重大影响的判断标准

共同控制，是指按照相关约定对某项安排所共有的控制，并且该安排的相关活动必须经过分享控制权的参与方一致同意后才能决策。本公司与其他合营方一同对被投资单位实施共同控制且对被投资单位净资产享有权利的，被投资单位为本公司的合营企业。

重大影响，是指对被投资单位的财务和经营决策有参与决策的权力，但并不能够控制或者与其他方一起共同控制这些政策的制定。本公司能够对被投资单位施加重大影响的，被投资单位为本公司联营企业。

2、初始投资成本的确定

（1）企业合并形成的长期股权投资

对于同一控制下的企业合并形成的对子公司的长期股权投资，在合并日按照取得被合并方所有者权益在最终控制方合并财务报表中的账面价值的份额作为长期股权投资的初始投资成本。长期股权投资初始投资成本与支付对价账面价值之间的差额，调整资本公积中的股本溢价；资本公积中的股本溢价不足冲减时，调整留存收益。因追加投资等原因能够对同一控制下的被投资单位实施控制的，按上述原则确认的长期股权投资的初始投资成本与达到合并前的长期股权投资账面价值加上合并日进一步取得股份新支付对价的账面价值之和的差额，调整股本溢价，股本溢价不足冲减的，冲减留存收益。

对于非同一控制下的企业合并形成的对子公司的长期股权投资，按照购买日确定的合并成本作为长期股权投资的初始投资成本。因追加投资等原因能够对非同一控制下的被投资单位实施控制的，按照原持有的股权投资账面价值加上新增投资成本之和作为初始投资成本。

（2）通过企业合并以外的其他方式取得的长期股权投资

以支付现金方式取得的长期股权投资，按照实际支付的购买价款作为初始投资成本。

以发行权益性证券取得的长期股权投资，按照发行权益性证券的公允价值作为初始投资成本。

3、后续计量及损益确认方法

（1）成本法核算的长期股权投资

公司对子公司的长期股权投资，采用成本法核算，除非投资符合持有待售的条件。除取得投资时实际支付的价款或对价中包含的已宣告但尚未发放的现金股利或利润外，公司按照享有被投资单位宣告发放的现金股利或利润确认当期投资收益。

（2）权益法核算的长期股权投资

对联营企业和合营企业的长期股权投资，采用权益法核算。初始投资成本大于投资时应享有被投资单位可辨认净资产公允价值份额的差额，不调整长期股权投资的初始投资成本；初始投资成本小于投资时应享有被投资单位可辨认净资产公允价值份额的差额，计入当期损益，同时调整长期股权投资的成本。

公司按照应享有或应分担的被投资单位实现的净损益和其他综合收益的份额，分别确认投资收益和其他综合收益，同时调整长期股权投资的账面价值；按照被投资单位宣告分派的利润或现金股利计算应享有的部分，相应减少长期股权投资的账面价值；对于被投资单位除净损益、其他综合收益和利润分配以外所有者权益的其他变动（简称“其他所有者权益变动”），调整长期股权投资的账面价值并计入所有者权益。

在确认应享有被投资单位净损益、其他综合收益及其他所有者权益变动的份额时，以取得投资时被投资单位可辨认净资产的公允价值为基础，并按照公司的会计政策及会计期间，对被投资单位的净利润和其他综合收益等进行调整后确认。

公司与联营企业、合营企业之间发生的未实现内部交易损益按照应享有的比例计算归属于公

司的部分，予以抵销，在此基础上确认投资收益，但投出或出售的资产构成业务的除外。与被投资单位发生的未实现内部交易损失，属于资产减值损失的，全额确认。

公司对合营企业或联营企业发生的净亏损，除负有承担额外损失义务外，以长期股权投资的账面价值以及其他实质上构成对合营企业或联营企业净投资的长期权益减记至零为限。合营企业

96/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

或联营企业以后实现净利润的，公司在收益分享额弥补未确认的亏损分担额后，恢复确认收益分享额。

（3）长期股权投资的处置

处置长期股权投资，其账面价值与实际取得价款的差额，计入当期损益。

部分处置权益法核算的长期股权投资，剩余股权仍采用权益法核算的，原权益法核算确认的其他综合收益采用与被投资单位直接处置相关资产或负债相同的基础按相应比例结转，其他所有者权益变动按比例结转入当期损益。

因处置股权投资等原因丧失了对被投资单位的共同控制或重大影响的，原股权投资因采用权益法核算而确认的其他综合收益，在终止采用权益法核算时采用与被投资单位直接处置相关资产或负债相同的基础进行会计处理，其他所有者权益变动在终止采用权益法核算时全部转入当期损益。

因处置部分股权投资等原因丧失了对被投资单位控制权的，在编制个别财务报表时，剩余股权能够对被投资单位实施共同控制或重大影响的，改按权益法核算，并对该剩余股权视同自取得时即采用权益法核算进行调整，对于取得被投资单位控制权之前确认的其他综合收益采用与被投资单位直接处置相关资产或负债相同的基础按比例结转，因采用权益法核算确认的其他所有者权益变动按比例结转入当期损益；剩余股权不能对被投资单位实施共同控制或施加重大影响的，确认为金融资产，其在丧失控制之日的公允价值与账面价值间的差额计入当期损益，对于取得被投资单位控制权之前确认的其他综合收益和其他所有者权益变动全部结转。

通过多次交易分步处置对子公司股权投资直至丧失控制权，属于一揽子交易的，各项交易作为一项处置子公司股权投资并丧失控制权的交易进行会计处理；在丧失控制权之前每一次处置价

款与所处置的股权对应得长期股权投资账面价值之间的差额，在个别财务报表中，先确认为其他综合收益，到丧失控制权时再一并转入丧失控制权的当期损益。不属于一揽子交易的，对每一项交易分别进行会计处理。

20、投资性房地产

不适用

21、固定资产

(1).确认条件

√适用□不适用

固定资产指为生产商品、提供劳务、出租或经营管理而持有，并且使用寿命超过一个会计年度的有形资产。固定资产在同时满足下列条件时予以确认：

（1）与该固定资产有关的经济利益很可能流入企业；

（2）该固定资产的成本能够可靠地计量。

固定资产按成本（并考虑预计弃置费用因素的影响）进行初始计量。

与固定资产有关的后续支出，在与其有关的经济利益很可能流入且其成本能够可靠计量时，计入固定资产成本；对于被替换的部分，终止确认其账面价值；所有其他后续支出于发生时计入当期损益。

(2).折旧方法

√适用□不适用

类别折旧方法折旧年限（年）残值率年折旧率

房屋及建筑物年限平均法305%3.17%

机器设备年限平均法5-105%9.50%-19.00%

计算机及电子设备年限平均法3-55%19.00%-31.67%

办公设备年限平均法55%19.00%

运输工具年限平均法4-55%19.00%-23.75%

固定资产装修年限平均法100%10.00%

97/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

固定资产折旧采用年限平均法分类计提，根据固定资产类别、预计使用寿命和预计净残值率确定折旧率。对计提了减值准备的固定资产，则在未来期间按扣除减值准备后的账面价值及依据尚可使用年限确定折旧额。如固定资产各组成部分的使用寿命不同或者以不同方式为企业提供经济利益，则选择不同折旧率或折旧方法，分别计提折旧。

(3).固定资产处置

当固定资产被处置、或者预期通过使用或处置不能产生经济利益时，终止确认该固定资产。

固定资产出售、转让、报废或毁损的处置收入扣除其账面价值和相关税费后的金额计入当期损益。

22、在建工程

√适用□不适用

在建工程按实际发生的成本计量。实际成本包括建筑成本、安装成本、符合资本化条件的借款费用以及其他为使在建工程达到预定可使用状态前所发生的必要支出。在建工程在达到预定可使用状态时，转入固定资产并自次月起开始计提折旧。

23、借款费用

√适用□不适用

1、借款费用资本化的确认原则

公司发生的借款费用，可直接归属于符合资本化条件的资产的购建或者生产的，予以资本化，计入相关资产成本；其他借款费用，在发生时根据其发生额确认为费用，计入当期损益。

符合资本化条件的资产，是指需要经过相当长时间的购建或者生产活动才能达到预定可使用或者可销售状态的固定资产、投资性房地产和存货等资产。

2、借款费用资本化期间

资本化期间，指从借款费用开始资本化时点到停止资本化时点的期间，借款费用暂停资本化的期间不包括在内。

借款费用同时满足下列条件时开始资本化：

（1）资产支出已经发生，资产支出包括为购建或者生产符合资本化条件的资产而以支付现金、转移非现金资产或者承担带息债务形式发生的支出；

（2）借款费用已经发生；

（3）为使资产达到预定可使用或者可销售状态所必要的购建或者生产活动已经开始。

当购建或者生产符合资本化条件的资产达到预定可使用或者可销售状态时，借款费用停止资本化。

3、暂停资本化期间

符合资本化条件的资产在购建或生产过程中发生的非正常中断、且中断时间连续超过3个月的，则借款费用暂停资本化；该项中断如是所购建或生产的符合资本化条件的资产达到预定可使用状态或者可销售状态必要的程序，则借款费用继续资本化。在中断期间发生的借款费用确认为当期损益，直至资产的购建或者生产活动重新开始后借款费用继续资本化。

4、借款费用资本化率、资本化金额的计算方法

对于为购建或者生产符合资本化条件的资产而借入的专门借款，以专门借款当期实际发生的借款费用，减去尚未动用的借款资金存入银行取得的利息收入或进行暂时性投资取得的投资收益后的金额，来确定借款费用的资本化金额。

对于为购建或者生产符合资本化条件的资产而占用的一般借款，根据累计资产支出超过专门借款部分的资产支出加权平均数乘以所占用一般借款的资本化率，计算确定一般借款应予资本化的借款费用金额。资本化率根据一般借款加权平均实际利率计算确定。

在资本化期间内，外币专门借款本金及利息的汇兑差额，予以资本化，计入符合资本化条件的资产的成本。除外币专门借款之外的其他外币借款本金及其利息所产生的汇兑差额计入当期损益。

98/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

24、生物资产

□适用√不适用

25、油气资产

□适用√不适用

26、无形资产

(1).使用寿命及其确定依据、估计情况、摊销方法或复核程序

√适用□不适用

1、无形资产的计价方法

（1）公司取得无形资产时按成本进行初始计量

外购无形资产的成本，包括购买价款、相关税费以及直接归属于使该项资产达到预定用途所发生的其他支出。

（2）后续计量在取得无形资产时分析判断其使用寿命。

对于使用寿命有限的无形资产，在为企业带来经济利益的期限内摊销；无法预见无形资产为企业带来经济利益期限的，视为使用寿命不确定的无形资产，不予摊销。

2、使用寿命有限的无形资产的使用寿命估计情况

项目预计使用寿命摊销方法预计使用寿命的确定依据土地使用权50年年限平均法预计受益年限

软件2-10年年限平均法预计受益年限专利技术10年年限平均法预计受益年限

内部开发技术5-10年年限平均法预计受益年限

3、使用寿命不确定的无形资产的判断依据以及对其使用寿命进行复核的程序

截至资产负债表日，本公司没有使用寿命不确定的无形资产。

(2).研发支出的归集范围及相关会计处理方法

√适用□不适用

1、研发支出的归集范围

公司进行研究与开发过程中发生的支出主要包括从事研发活动的人员的相关职工薪酬、耗用

材料、相关折旧摊销费用等相关支出，公司按照研发项目核算研发费用，归集各项支出。

2、划分研究阶段和开发阶段的具体标准

公司内部研究开发项目的支出分为研究阶段支出和开发阶段支出。

研究阶段：为获取并理解新的科学或技术知识等而进行的独创性的有计划调查、研究活动的阶段。

开发阶段：在进行商业性生产或使用前，将研究成果或其他知识应用于某项计划或设计，以生产出新的或具有实质性改进的材料、装置、产品等活动的阶段。

3、开发阶段支出资本化的具体条件

研究阶段的支出，于发生时计入当期损益。开发阶段的支出同时满足下列条件的，确认为无形资产，不能满足下述条件的开发阶段的支出计入当期损益：

（1）完成该无形资产以使其能够使用或出售在技术上具有可行性；

99/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

（2）具有完成该无形资产并使用或出售的意图；

（3）无形资产产生经济利益的方式，包括能够证明运用该无形资产生产的产品存在市场或无

形资产自身存在市场，无形资产将在内部使用的，能够证明其有用性；

（4）有足够的技术、财务资源和其他资源支持，以完成该无形资产的开发，并有能力使用或出售该无形资产；

（5）归属于该无形资产开发阶段的支出能够可靠地计量。

无法区分研究阶段支出和开发阶段支出的，将发生的研发支出全部计入当期损益。

27、长期资产减值

√适用□不适用

长期股权投资、固定资产、在建工程、使用权资产、使用寿命有限的无形资产等长期资产，于资产负债表日存在减值迹象的，进行减值测试。减值测试结果表明资产的可收回金额低于其账面价值的，按其差额计提减值准备并计入减值损失。可收回金额为资产的公允价值减去处置费用后的净额与资产预计未来现金流量的现值两者之间的较高者。资产减值准备按单项资产为基础计算并确认，如果难以对单项资产的可收回金额进行估计的，以该资产所属的资产组确定资产组的可收回金额。资产组是能够独立产生现金流入的最小资产组合。

对于因企业合并形成的商誉、使用寿命不确定的无形资产、尚未达到可使用状态的无形资产，无论是否存在减值迹象，至少在每年年度终了进行减值测试。

本公司进行商誉减值测试，对于因企业合并形成的商誉的账面价值，自购买日起按照合理的方法分摊至相关的资产组；难以分摊至相关的资产组的，将其分摊至相关的资产组组合。相关的资产组或者资产组组合，是能够从企业合并的协同效应中受益的资产组或者资产组组合。

在对包含商誉的相关资产组或者资产组组合进行减值测试时，如与商誉相关的资产组或者资产组组合存在减值迹象的，先对不包含商誉的资产组或者资产组组合进行减值测试，计算可收回金额，并与相关账面价值相比较，确认相应的减值损失。然后对包含商誉的资产组或者资产组组合进行减值测试，比较其账面价值与可收回金额，如可收回金额低于账面价值的，减值损失金额首先抵减分摊至资产组或者资产组组合中商誉的账面价值，再根据资产组或者资产组组合中除商誉之外的其他各项资产的账面价值所占比重，按比例抵减其他各项资产的账面价值。上述资产减值损失一经确认，在以后会计期间不予转回。

28、长期待摊费用

√适用□不适用长期待摊费用为已经发生但应由本期和以后各期负担的分摊期限在一年以上的各项费用。

（1）摊销方法长期待摊费用按直线法摊销。

（2）摊销年限长期待摊费用按费用项目的受益期限分期摊销。

29、合同负债

√适用□不适用本公司根据履行履约义务与客户付款之间的关系在资产负债表中列示合同资产或合同负债。

本公司已收或应收客户对价而应向客户转让商品或提供服务的义务列示为合同负债。同一合同下的合同资产和合同负债以净额列示。

30、职工薪酬

(1).短期薪酬的会计处理方法

√适用□不适用

100/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

本公司在职工为本公司提供服务的会计期间，将实际发生的短期薪酬确认为负债，并计入当期损益或相关资产成本。

本公司为职工缴纳的社会保险费和住房公积金，以及按规定提取的工会经费和职工教育经费，在职工为本公司提供服务的会计期间，根据规定的计提基础和计提比例计算确定相应的职工薪酬金额。

本公司发生的职工福利费，在实际发生时根据实际发生额计入当期损益或相关资产成本，其中，非货币性福利按照公允价值计量。

(2).离职后福利的会计处理方法

√适用□不适用

（1）设定提存计划

本公司按当地政府的相关规定为职工缴纳基本养老保险和失业保险，在职工为本公司提供服务的会计期间，按以当地规定的缴纳基数和比例计算应缴纳金额，确认为负债，并计入当期损益或相关资产成本。此外，本公司还参与了由国家相关部门批准的企业年金计划/补充养老保险基金。

本公司按职工工资总额的一定比例向年金计划/当地社会保险机构缴费，相应支出计入当期损益或相关资产成本。

（2）设定受益计划本公司根据预期累计福利单位法确定的公式将设定受益计划产生的福利义务归属于职工提供

服务的期间，并计入当期损益或相关资产成本。

设定受益计划义务现值减去设定受益计划资产公允价值所形成的赤字或盈余确认为一项设定

受益计划净负债或净资产。设定受益计划存在盈余的，本公司以设定受益计划的盈余和资产上限两项的孰低者计量设定受益计划净资产。

所有设定受益计划义务，包括预期在职工提供服务的年度报告期间结束后的十二个月内支付的义务，根据资产负债表日与设定受益计划义务期限和币种相匹配的国债或活跃市场上的高质量公司债券的市场收益率予以折现。

设定受益计划产生的服务成本和设定受益计划净负债或净资产的利息净额计入当期损益或相

关资产成本；重新计量设定受益计划净负债或净资产所产生的变动计入其他综合收益，并且在后续会计期间不转回至损益，在原设定受益计划终止时在权益范围内将原计入其他综合收益的部分全部结转至未分配利润。

在设定受益计划结算时，按在结算日确定的设定受益计划义务现值和结算价格两者的差额，确认结算利得或损失。

(3).辞退福利的会计处理方法

√适用□不适用

本公司向职工提供辞退福利的，在下列两者孰早日确认辞退福利产生的职工薪酬负债，并计入当期损益：公司不能单方面撤回因解除劳动关系计划或裁减建议所提供的辞退福利时；公司确认与涉及支付辞退福利的重组相关的成本或费用时。

(4).其他长期职工福利的会计处理方法

□适用√不适用

31、预计负债

√适用□不适用

与或有事项相关的义务同时满足下列条件时，本公司将其确认为预计负债：

（1）该义务是本公司承担的现时义务；

（2）履行该义务很可能导致经济利益流出本公司；

（3）该义务的金额能够可靠地计量。

101/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

预计负债按履行相关现时义务所需的支出的最佳估计数进行初始计量。

在确定最佳估计数时，综合考虑与或有事项有关的风险、不确定性和货币时间价值等因素。

对于货币时间价值影响重大的，通过对相关未来现金流出进行折现后确定最佳估计数。

所需支出存在一个连续范围，且该范围内各种结果发生的可能性相同的，最佳估计数按照该范围内的中间值确定；在其他情况下，最佳估计数分别下列情况处理：

*或有事项涉及单个项目的，按照最可能发生金额确定。

*或有事项涉及多个项目的，按照各种可能结果及相关概率计算确定。

清偿预计负债所需支出全部或部分预期由第三方补偿的，补偿金额在基本确定能够收到时，作为资产单独确认，确认的补偿金额不超过预计负债的账面价值。

本公司在资产负债表日对预计负债的账面价值进行复核，有确凿证据表明该账面价值不能反映当前最佳估计数的，按照当前最佳估计数对该账面价值进行调整。

32、股份支付

√适用□不适用本公司的股份支付是为了获取职工或其他方提供服务而授予权益工具或者承担以权益工具为基础确定的负债的交易。本公司的股份支付分为以权益结算的股份支付和以现金结算的股份支付。

1、以权益结算的股份支付及权益工具

以权益结算的股份支付换取职工提供服务的，以授予职工权益工具的公允价值计量。对于授予后立即可行权的股份支付交易，在授予日按照权益工具的公允价值计入相关成本或费用，相应增加资本公积。对于授予后完成等待期内的服务或达到规定业绩条件才可行权的股份支付交易，在等待期内每个资产负债表日，本公司根据对可行权权益工具数量的最佳估计，按照授予日公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用，相应增加资本公积。

如果修改了以权益结算的股份支付的条款，至少按照未修改条款的情况确认取得的服务。此外，任何增加所授予权益工具公允价值的修改，或在修改日对职工有利的变更，均确认取得服务的增加。

在等待期内，如果取消了授予的权益工具，则本公司对取消所授予的权益性工具作为加速行权处理，将剩余等待期内应确认的金额立即计入当期损益，同时确认资本公积。但是，如果授予新的权益工具，并在新权益工具授予日认定所授予的新权益工具是用于替代被取消的权益工具的，则以与处理原权益工具条款和条件修改相同的方式，对所授予的替代权益工具进行处理。

2、以现金结算的股份支付及权益工具

以现金结算的股份支付，按照本公司承担的以股份或其他权益工具为基础计算确定的负债的公允价值计量。授予后立即可行权的股份支付交易，本公司在授予日按照承担负债的公允价值计入相关成本或费用，相应增加负债。对于授予后完成等待期内的服务或达到规定业绩条件才可行权的股份支付交易，在等待期内的每个资产负债表日，本公司以对可行权情况的最佳估计为基础，按照本公司承担负债的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用，并相应计入负债。在相关负债结算前的每个资产负债表日以及结算日，对负债的公允价值重新计量，其变动计入当期损益。

本公司修改以现金结算的股份支付协议中的条款和条件，使其成为以权益结算的股份支付的，在修改日（无论发生在等待期内还是等待期结束后），本公司按照所授予权益工具当日的公允价值计量以权益结算的股份支付，将已取得的服务计入资本公积，同时终止确认以现金结算的股份支付在修改日已确认的负债，两者之间的差额计入当期损益。如果由于修改延长或缩短了等待期，本公司按照修改后的等待期进行会计处理。

33、优先股、永续债等其他金融工具

√适用□不适用

102/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

本公司根据所发行优先股/永续债的合同条款及其所反映的经济实质而非仅以法律形式，在初始确认时将该金融工具或其组成部分分类为金融资产、金融负债或权益工具。

本公司发行的永续债/优先股等金融工具满足以下条件之一，在初始确认时将该金融工具整体或其组成部分分类为金融负债：

（1）存在本公司不能无条件地避免以交付现金或其他金融资产履行的合同义务；

（2）包含交付可变数量的自身权益工具进行结算的合同义务；

（3）包含以自身权益进行结算的衍生工具（例如转股权等），且该衍生工具不以固定数量的自身权益工具交换固定金额的现金或其他金融资产进行结算；

（4）存在间接地形成合同义务的合同条款；

（5）发行方清算时永续债与发行方发行的普通债券和其他债务处于相同清偿顺序的。

不满足上述任何一项条件的永续债/优先股等金融工具，在初始确认时将该金融工具整体或其组成部分分类为权益工具。

34、收入

(1).按照业务类型披露收入确认和计量所采用的会计政策

√适用□不适用

本公司在履行了合同中的履约义务，即在客户取得相关商品或服务控制权时确认收入。取得相关商品或服务控制权，是指能够主导该商品或服务的使用并从中获得几乎全部的经济利益。

合同中包含两项或多项履约义务的，本公司在合同开始日，按照各单项履约义务所承诺商品或服务的单独售价的相对比例，将交易价格分摊至各单项履约义务。本公司按照分摊至各单项履约义务的交易价格计量收入。

交易价格是指本公司因向客户转让商品或服务而预期有权收取的对价金额，不包括代第三方收取的款项以及预期将退还给客户的款项。本公司根据合同条款，结合其以往的习惯做法确定交易价格，并在确定交易价格时，考虑可变对价、合同中存在的重大融资成分、非现金对价、应付客户对价等因素的影响。本公司以不超过在相关不确定性消除时累计已确认收入极可能不会发生重大转回的金额确定包含可变对价的交易价格。合同中存在重大融资成分的，本公司按照假定客户在取得商品或服务控制权时即以现金支付的应付金额确定交易价格，并在合同期间内采用实际利率法摊销该交易价格与合同对价之间的差额。

满足下列条件之一的，属于在某一时段内履行履约义务，否则，属于在某一时点履行履约义务：

*客户在本公司履约的同时即取得并消耗本公司履约所带来的经济利益。

*客户能够控制本公司履约过程中在建的商品。

*本公司履约过程中所产出的商品具有不可替代用途，且本公司在整个合同期内有权就累计至今已完成的履约部分收取款项。

对于在某一时段内履行的履约义务，本公司在该段时间内按照履约进度确认收入，但是，履约进度不能合理确定的除外。本公司考虑商品或服务的性质，采用产出法或投入法确定履约进度。

当履约进度不能合理确定时，已经发生的成本预计能够得到补偿的，本公司按照已经发生的成本金额确认收入，直到履约进度能够合理确定为止。

对于在某一时点履行的履约义务，本公司在客户取得相关商品或服务控制权时点确认收入。

在判断客户是否已取得商品或服务控制权时，本公司考虑下列迹象：

*本公司就该商品或服务享有现时收款权利，即客户就该商品或服务负有现时付款义务。

*本公司已将该商品的法定所有权转移给客户，即客户已拥有该商品的法定所有权。

*本公司已将该商品实物转移给客户，即客户已实物占有该商品。

*本公司已将该商品所有权上的主要风险和报酬转移给客户，即客户已取得该商品所有权上的主要风险和报酬。

*客户已接受该商品或服务等。

本公司根据在向客户转让商品或服务前是否拥有对该商品或服务的控制权，来判断从事交易时本公司的身份是主要责任人还是代理人。本公司在向客户转让商品或服务前能够控制该商品或

103/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告服务的，本公司为主要责任人，按照已收或应收对价总额确认收入；否则，本公司为代理人，按照预期有权收取的佣金或手续费的金额确认收入。

(2).同类业务采用不同经营模式涉及不同收入确认方式及计量方法

√适用□不适用

公司销售商品收入主要包括半导体专用设备销售收入和设备相关的备品备件销售收入。通常，销售商品的相关合同中仅有交付商品一项履约义务。

（1）专用设备销售收入

对不存在试运行要求的产品，由客户调试确认验收后，客户取得商品控制权，公司确认收入。

对存在试运行要求的产品，本公司将专用设备产品按照协议合同规定运至约定交货地点，在产品安装调试并通过客户验收后，并且产品试运行期满时，客户取得商品控制权，公司确认收入。

（2）备品备件销售收入

本公司备品备件按照协议合同规定运至约定交货地点，客户取得商品控制权，公司确认收入。

35、合同成本

√适用□不适用合同成本包括合同履约成本与合同取得成本。

本公司为履行合同而发生的成本，不属于存货、固定资产或无形资产等相关准则规范范围的，在满足下列条件时作为合同履约成本确认为一项资产：

*该成本与一份当前或预期取得的合同直接相关。

*该成本增加了本公司未来用于履行履约义务的资源。

*该成本预期能够收回。

本公司为取得合同发生的增量成本预期能够收回的，作为合同取得成本确认为一项资产。

与合同成本有关的资产采用与该资产相关的商品或服务收入确认相同的基础进行摊销；但是

对于合同取得成本摊销期限未超过一年的，本公司在发生时将其计入当期损益。

与合同成本有关的资产，其账面价值高于下列两项的差额的，本公司对超出部分计提减值准备，并确认为资产减值损失：

1、因转让与该资产相关的商品或服务预期能够取得的剩余对价；

2、为转让该相关商品或服务估计将要发生的成本。

以前期间减值的因素之后发生变化，使得前述差额高于该资产账面价值的，本公司转回原已计提的减值准备，并计入当期损益，但转回后的资产账面价值不超过假定不计提减值准备情况下该资产在转回日的账面价值。

36、政府补助

√适用□不适用

1、类型

政府补助，是本公司从政府无偿取得的货币性资产或非货币性资产，分为与资产相关的政府补助和与收益相关的政府补助。

与资产相关的政府补助，是指本公司取得的、用于购建或以其他方式形成长期资产的政府补助。与收益相关的政府补助，是指除与资产相关的政府补助之外的政府补助。

本公司将政府补助划分为与资产相关的具体标准为：政府补助批准文件明确指出补助用于购建或以其它方式形成长期资产的。

本公司将政府补助划分为与收益相关的具体标准为：政府补助批准文件明确指出补助用于购建或以其它方式形成长期资产之外的情况。

对于政府文件未明确规定补助对象的，本公司将该政府补助划分为与资产相关或与收益相关的判断依据为：是否用于购建或以其它方式形成长期资产。

2、确认时点

104/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

政府补助在本公司能够满足其所附的条件并且能够收到时，予以确认。

3、会计处理

与资产相关的政府补助，冲减相关资产账面价值或确认为递延收益。确认为递延收益的，在相关资产使用寿命内按照合理、系统的方法分期计入当期损益（与本公司日常活动相关的，计入其他收益；与本公司日常活动无关的，计入营业外收入）；

与收益相关的政府补助，用于补偿本公司以后期间的相关成本费用或损失的，确认为递延收益，并在确认相关成本费用或损失的期间，计入当期损益（与本公司日常活动相关的，计入其他收益；与本公司日常活动无关的，计入营业外收入）或冲减相关成本费用或损失；用于补偿本公司已发生的相关成本费用或损失的，直接计入当期损益（与本公司日常活动相关的，计入其他收益；与本公司日常活动无关的，计入营业外收入）或冲减相关成本费用或损失。

本公司取得的政策性优惠贷款贴息，区分以下两种情况，分别进行会计处理：

（1）财政将贴息资金拨付给贷款银行，由贷款银行以政策性优惠利率向本公司提供贷款的，本公司以实际收到的借款金额作为借款的入账价值，按照借款本金和该政策性优惠利率计算相关借款费用。

（2）财政将贴息资金直接拨付给本公司的，本公司将对应的贴息冲减相关借款费用。

37、递延所得税资产/递延所得税负债

√适用□不适用所得税包括当期所得税和递延所得税。除因企业合并和直接计入所有者权益（包括其他综合收益）的交易或者事项产生的所得税外，本公司将当期所得税和递延所得税计入当期损益。

递延所得税资产和递延所得税负债根据资产和负债的计税基础与其账面价值的差额（暂时性差异）计算确认。

对于可抵扣暂时性差异确认递延所得税资产，以未来期间很可能取得的用来抵扣可抵扣暂时性差异的应纳税所得额为限。对于能够结转以后年度的可抵扣亏损和税款抵减，以很可能获得用来抵扣可抵扣亏损和税款抵减的未来应纳税所得额为限，确认相应的递延所得税资产。

对于应纳税暂时性差异，除特殊情况外，确认递延所得税负债。

不确认递延所得税资产或递延所得税负债的特殊情况包括：

*商誉的初始确认；

*既不是企业合并、发生时也不影响会计利润和应纳税所得额(或可抵扣亏损)，且初始确认的资产和负债未导致产生等额应纳税暂时性差异和可抵扣暂时性差异的交易或事项。

对与子公司、联营企业及合营企业投资相关的应纳税暂时性差异，确认递延所得税负债，除非本公司能够控制该暂时性差异转回的时间且该暂时性差异在可预见的未来很可能不会转回。对与子公司、联营企业及合营企业投资相关的可抵扣暂时性差异，当该暂时性差异在可预见的未来很可能转回且未来很可能获得用来抵扣可抵扣暂时性差异的应纳税所得额时，确认递延所得税资产。

资产负债表日，对于递延所得税资产和递延所得税负债，根据税法规定，按照预期收回相关资产或清偿相关负债期间的适用税率计量。

资产负债表日，本公司对递延所得税资产的账面价值进行复核。如果未来期间很可能无法获得足够的应纳税所得额用以抵扣递延所得税资产的利益，则减记递延所得税资产的账面价值。在很可能获得足够的应纳税所得额时，减记的金额予以转回。

当拥有以净额结算的法定权利，且意图以净额结算或取得资产、清偿负债同时进行时，当期所得税资产及当期所得税负债以抵销后的净额列报。

资产负债表日，递延所得税资产及递延所得税负债在同时满足以下条件时以抵销后的净额列示：

*纳税主体拥有以净额结算当期所得税资产及当期所得税负债的法定权利；

*递延所得税资产及递延所得税负债是与同一税收征管部门对同一纳税主体征收的所得税相

关或者是对不同的纳税主体相关，但在未来每一具有重要性的递延所得税资产及负债转回的期间内，涉及的纳税主体意图以净额结算当期所得税资产和负债或是同时取得资产、清偿负债。

105/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

38、租赁

√适用□不适用作为承租方对短期租赁和低价值资产租赁进行简化处理的判断依据和会计处理方法

√适用□不适用租赁，是指在一定期间内，出租人将资产的使用权让与承租人以获取对价的合同。在合同开始日，本公司评估合同是否为租赁或者包含租赁。如果合同中一方让渡了在一定期间内控制一项或多项已识别资产使用的权利以换取对价，则该合同为租赁或者包含租赁。

合同中同时包含多项单独租赁的，本公司将合同予以分拆，并分别各项单独租赁进行会计处理。合同中同时包含租赁和非租赁部分的，承租人和出租人将租赁和非租赁部分进行分拆。

本公司作为承租人

（1）使用权资产

在租赁期开始日，本公司对除短期租赁和低价值资产租赁以外的租赁确认使用权资产。使用权资产按照成本进行初始计量。该成本包括：

*租赁负债的初始计量金额；

*在租赁期开始日或之前支付的租赁付款额，存在租赁激励的，扣除已享受的租赁激励相关金额；

*本公司发生的初始直接费用；

*本公司为拆卸及移除租赁资产、复原租赁资产所在场地或将租赁资产恢复至租赁条款约定状

态预计将发生的成本，但不包括属于为生产存货而发生的成本。

本公司后续采用直线法对使用权资产计提折旧。对能够合理确定租赁期届满时取得租赁资产所有权的，本公司在租赁资产剩余使用寿命内计提折旧；否则，租赁资产在租赁期与租赁资产剩余使用寿命两者孰短的期间内计提折旧。

本公司按照第八节财务报告“五、27长期资产减值”所述原则来确定使用权资产是否已发生减值，并对已识别的减值损失进行会计处理。

（2）租赁负债

在租赁期开始日，本公司对除短期租赁和低价值资产租赁以外的租赁确认租赁负债。租赁负债按照尚未支付的租赁付款额的现值进行初始计量。租赁付款额包括：

*固定付款额（包括实质固定付款额），存在租赁激励的，扣除租赁激励相关金额；

*取决于指数或比率的可变租赁付款额；

*根据公司提供的担保余值预计应支付的款项；

*购买选择权的行权价格，前提是公司合理确定将行使该选择权；

*行使终止租赁选择权需支付的款项，前提是租赁期反映出公司将行使终止租赁选择权。

本公司采用租赁内含利率作为折现率，但如果无法合理确定租赁内含利率的，则采用本公司的增量借款利率作为折现率。

本公司按照固定的周期性利率计算租赁负债在租赁期内各期间的利息费用，并计入当期损益或相关资产成本。

未纳入租赁负债计量的可变租赁付款额在实际发生时计入当期损益或相关资产成本。

在租赁期开始日后，发生下列情形的，本公司重新计量租赁负债，并调整相应的使用权资产，若使用权资产的账面价值已调减至零，但租赁负债仍需进一步调减的，将差额计入当期损益：

*当购买选择权、续租选择权或终止选择权的评估结果发生变化，或前述选择权的实际行权情况与原评估结果不一致的，本公司按变动后租赁付款额和修订后的折现率计算的现值重新计量租赁负债；

*当实质固定付款额发生变动、担保余值预计的应付金额发生变动或用于确定租赁付款额的指

数或比率发生变动，本公司按照变动后的租赁付款额和原折现率计算的现值重新计量租赁负债。

但是，租赁付款额的变动源自浮动利率变动的，使用修订后的折现率计算现值。

（3）短期租赁和低价值资产租赁

106/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

本公司选择对短期租赁和低价值资产租赁不确认使用权资产和租赁负债的，将相关的租赁付款额在租赁期内各个期间按照直线法计入当期损益或相关资产成本。短期租赁，是指在租赁期开始日，租赁期不超过12个月且不包含购买选择权的租赁。低价值资产租赁，是指单项租赁资产为全新资产时价值较低的租赁。公司转租或预期转租租赁资产的，原租赁不属于低价值资产租赁。

（4）租赁变更

租赁发生变更且同时符合下列条件的，公司将该租赁变更作为一项单独租赁进行会计处理：

*该租赁变更通过增加一项或多项租赁资产的使用权而扩大了租赁范围；

*增加的对价与租赁范围扩大部分的单独价格按该合同情况调整后的金额相当。

租赁变更未作为一项单独租赁进行会计处理的，在租赁变更生效日，公司重新分摊变更后合同的对价，重新确定租赁期，并按照变更后租赁付款额和修订后的折现率计算的现值重新计量租赁负债。

租赁变更导致租赁范围缩小或租赁期缩短的，本公司相应调减使用权资产的账面价值，并将部分终止或完全终止租赁的相关利得或损失计入当期损益。其他租赁变更导致租赁负债重新计量的，本公司相应调整使用权资产的账面价值。

作为出租方的租赁分类标准和会计处理方法

√适用□不适用本公司作为出租人

在租赁开始日，本公司将租赁分为融资租赁和经营租赁。融资租赁，是指无论所有权最终是否转移，但实质上转移了与租赁资产所有权有关的几乎全部风险和报酬的租赁。经营租赁，是指除融资租赁以外的其他租赁。本公司作为转租出租人时，基于原租赁产生的使用权资产对转租赁进行分类。

（1）经营租赁会计处理经营租赁的租赁收款额在租赁期内各个期间按照直线法确认为租金收入。本公司将发生的与经营租赁有关的初始直接费用予以资本化，在租赁期内按照与租金收入确认相同的基础分摊计入当期损益。未计入租赁收款额的可变租赁付款额在实际发生时计入当期损益。经营租赁发生变更的，公司自变更生效日起将其作为一项新租赁进行会计处理，与变更前租赁有关的预收或应收租赁收款额视为新租赁的收款额。

（2）融资租赁会计处理

在租赁开始日，本公司对融资租赁确认应收融资租赁款，并终止确认融资租赁资产。本公司对应收融资租赁款进行初始计量时，将租赁投资净额作为应收融资租赁款的入账价值。租赁投资净额为未担保余值和租赁期开始日尚未收到的租赁收款额按照租赁内含利率折现的现值之和。

本公司按照固定的周期性利率计算并确认租赁期内各个期间的利息收入。应收融资租赁款的终止确认和减值按照第八节财务报告“五、11金融工具”进行会计处理。

未纳入租赁投资净额计量的可变租赁付款额在实际发生时计入当期损益。

融资租赁发生变更且同时符合下列条件的，本公司将该变更作为一项单独租赁进行会计处理：

*该变更通过增加一项或多项租赁资产的使用权而扩大了租赁范围；

*增加的对价与租赁范围扩大部分的单独价格按该合同情况调整后的金额相当。

融资租赁的变更未作为一项单独租赁进行会计处理的，本公司分别下列情形对变更后的租赁进行处理：

*假如变更在租赁开始日生效，该租赁会被分类为经营租赁的，本公司自租赁变更生效日开始将其作为一项新租赁进行会计处理，并以租赁变更生效日前的租赁投资净额作为租赁资产的账面价值；

*假如变更在租赁开始日生效，该租赁会被分类为融资租赁的，本公司按照第八节财务报告“五、11金融工具”关于修改或重新议定合同的政策进行会计处理。

售后租回交易

107/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

公司按照第八节财务报告“五、34收入”所述原则评估确定售后租回交易中的资产转让是否属于销售。

（1）作为承租人

售后租回交易中的资产转让属于销售的，公司作为承租人按原资产账面价值中与租回获得的使用权有关的部分，计量售后租回所形成的使用权资产，并仅就转让至出租人的权利确认相关利得或损失。

在租赁期开始日后，使用权资产和租赁负债的后续计量及租赁变更详见第十节财务报告“五、

37租赁本公司作为承租人”。在对售后租回所形成的租赁负债进行后续计量时，公司确定租赁

付款额或变更后租赁付款额的方式不会导致确认与租回所获得的使用权有关的利得或损失。

售后租回交易中的资产转让不属于销售的，公司作为承租人继续确认被转让资产，同时确认一项与转让收入等额的金融负债。金融负债的会计处理详见第八节财务报告“五、11金融工具”。

（2）作为出租人

售后租回交易中的资产转让属于销售的，公司作为出租人对资产购买进行会计处理，并根据前述“2、本公司作为出租人”的政策对资产出租进行会计处理；售后租回交易中的资产转让不属于销售的，公司作为出租人不确认被转让资产，但确认一项与转让收入等额的金融资产。金融资产的会计处理详见第八节财务报告“五、11金融工具”。

39、其他重要的会计政策和会计估计

□适用√不适用

40、重要会计政策和会计估计的变更

(1).重要会计政策变更

□适用√不适用

(2).重要会计估计变更

□适用√不适用

(3).2025年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

□适用√不适用

41、其他

□适用√不适用

六、税项

1、主要税种及税率

主要税种及税率情况

√适用□不适用税种计税依据税率增值税按税法规定计算的销售货物和应税劳务收入为基础计算销项税额，在扣除当期允许抵扣的进6%，10%，13%项税额后，差额部分为应交增值税

消费税按实际缴纳的增值税计缴5%，7%营业税按实际缴纳的增值税计缴3%

城市维护建设税按实际缴纳的增值税计缴2%

企业所得税按应纳税所得额计缴9.9%，15%，16.5%，21%，20.9%，

108/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

25%

本公司及境内子公司销售货物适用增值税税率为13%，提供劳务适用增值税率为6%。本公司具有进出口经营权，出口产品增值税实行“免、抵、退”的出口退税政策，出口退税率为13%。

本公司境外子公司盛美韩国在韩国境内适用增值税率为10%，香港清芯、盛美加州无需缴纳增值税。

存在不同企业所得税税率纳税主体的，披露情况说明√适用□不适用

纳税主体名称所得税税率（%）盛美上海15盛美无锡25盛帷上海25

香港清芯16.5

盛美韩国2亿韩元以内：9.9；2亿至200亿韩元：20.9盛美加州21盛美北京25御盛微半导体25御盛微友一25盛美成都25盛宜微25

2、税收优惠

√适用□不适用

本公司于 2024 年 12 月取得编号为 GR202431001125 号的《高新技术企业证书》，证书有效期三年。依规定，本公司在2024年至2026年期间享受高新技术企业优惠缴纳企业所得税，税率为

15%。

3、其他

□适用√不适用

七、合并财务报表项目注释

1、货币资金

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

库存现金17378.3311678.33

银行存款2620352476.262542687927.07

其他货币资金140988298.2291891000.00存放财务公司存款

合计2761358152.812634590605.40

其中：存放在境外的款项总额1934298153.041861952820.78

存放在境外且资金汇回受到限制7865374.167891977.42的款项其他说明

货币资金受限情况说明详见第八节财务报告七、31所有权或使用权受到限制的资产。

109/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

2、交易性金融资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额指定理由和依据

以公允价值计量且其变动计151146086.14138136347.39/入当期损益的金融资产

其中：

债务工具投资/

权益工具投资151146086.14138136347.39/衍生金融资产指定以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产

其中：

债务工具投资

合计151146086.14138136347.39/

其他说明：

□适用√不适用

3、衍生金融资产

□适用√不适用

4、应收票据

(1).应收票据分类列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

银行承兑票据12316200.63商业承兑票据

合计12316200.63

(2).期末公司已质押的应收票据

□适用√不适用

(3).期末公司已背书或贴现且在资产负债表日尚未到期的应收票据

□适用√不适用

(4).按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

110/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

□适用√不适用各阶段划分依据和坏账准备计提比例无

对本期发生损失准备变动的应收账款账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

(5).坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(6).本期实际核销的应收票据情况

□适用√不适用

其中重要的应收票据核销情况：

□适用√不适用

应收票据核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

5、应收账款

(1).按账龄披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币账龄期末账面余额期初账面余额

1年以内（含1年）1932270972.261421123511.71

其中：6个月内1186066273.851032302674.68

7-12个月746204698.41388820837.03

1至2年600451001.81537378936.43

2至3年310821520.51274646655.22

3至4年71475213.2034340816.20

4至5年3983274.7016858789.18

5年以上

合计2919001982.482284348708.74

(2).按坏账计提方法分类披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额类别账面余额坏账准备账面账面余额坏账准备账面

111/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

计价值计价值提提比例比例

金额(%)金额比金额(%)金额比例例

(%)(%)按单项计提坏账准备

其中：

按组合计提坏账准

备2919001982.48100.00190444087.876.522728557894.612284348708.74100.00152074134.096.662132274574.65

其中：

非合并关

联方信用2919001982.48100.00190444087.876.522728557894.612284348708.74100.00152074134.096.662132274574.65组合

合计2919001982.48/190444087.87/2728557894.612284348708.74/152074134.09/2132274574.65

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

√适用□不适用

组合计提项目：非合并关联方信用组合

单位：元币种：人民币期末余额名称

账面余额坏账准备计提比例（%）

6个月内1186066273.8511860662.901.00

7-12个月746204698.4137310234.935.00

1至2年（含2年）600451001.8160045100.2210.00

2至3年（含3年）310821520.5162164304.1020.00

3至4年（含4年）71475213.2017868803.3125.00

4至5年（含5年）3983274.701194982.4130.00

合计2919001982.48190444087.87

按组合计提坏账准备的说明：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用各阶段划分依据和坏账准备计提比例无

对本期发生损失准备变动的应收账款账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

(3).坏账准备的情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期变动金额类别期初余额转销期末余额计提收回或转回其他变动或核

112/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

销非合并关

联方信用152074134.0973693062.1634750513.77-572594.61190444087.87组合

合计152074134.0973693062.1634750513.77-572594.61190444087.87

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

(4).本期实际核销的应收账款情况

□适用√不适用其中重要的应收账款核销情况

□适用√不适用

应收账款核销说明：

□适用√不适用

(5).按欠款方归集的期末余额前五名的应收账款和合同资产情况

√适用□不适用

按欠款方归集的期末余额前五名应收账款和合同资产汇总金额为1573165640.88元，占应收账款和合同资产期末余额合计数的比例为52.31%，相应计提的坏账准备期末余额汇总金额为

96064627.89元。

其他说明无。

其他说明：

□适用√不适用

6、合同资产

(1).合同资产情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目账面余额坏账准备账面价值账面余额坏账准备账面价值

销售88459572.232317687.1886141885.0570909706.681169604.8069740101.88合同

合计88459572.232317687.1886141885.0570909706.681169604.8069740101.88

(2).报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因

□适用√不适用

(3).按坏账计提方法分类披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额类别账面余额坏账准备账面余额坏账准备账面账面比例计比例计提

金额(%)金额价值金额金额价值

提(%)比例

113/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

比(%)例

(%)按单项计提坏账准备

其中：

按组合

计提坏88459572.23100.002317687.182.6286141885.0570909706.68100.001169604.801.6569740101.88账准备

其中：

非合并

关联方88459572.23100.002317687.182.6286141885.0570909706.68100.001169604.801.6569740101.88信用组合

合计88459572.23/2317687.18/86141885.0570909706.68/1169604.80/69740101.88

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

√适用□不适用

组合计提项目：非合并关联方信用组合

单位：元币种：人民币期末余额名称

账面余额坏账准备计提比例（%）

6个月内52632285.74526322.861.00

7-12个月35827286.491791364.325.00

合计88459572.232317687.18按组合计提坏账准备的说明

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用各阶段划分依据和坏账准备计提比例无

对本期发生损失准备变动的合同资产账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

(4).本期合同资产计提坏账准备情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期变动金额本期收回本期项目期初余额其他变期末余额原因

本期计提或转回转销/动核销

非合并关1169604.802136595.48988513.102317687.18联方信用

114/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

组合

合计1169604.802136595.48988513.102317687.18/

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(5).本期实际核销的合同资产情况

□适用√不适用其中重要的合同资产核销情况

□适用√不适用

合同资产核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

7、应收款项融资

(1).应收款项融资分类列示

□适用√不适用

(2).期末公司已质押的应收款项融资

□适用√不适用

(3).期末公司已背书或贴现且在资产负债表日尚未到期的应收款项融资

□适用√不适用

(4).按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用各阶段划分依据和坏账准备计提比例无

115/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

对本期发生损失准备变动的应收款项融资账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

(5).坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(6).本期实际核销的应收款项融资情况

□适用√不适用其中重要的应收款项融资核销情况

□适用√不适用

核销说明：

□适用√不适用

(7).应收款项融资本期增减变动及公允价值变动情况：

□适用√不适用

(8).其他说明：

□适用√不适用

8、预付款项

(1).预付款项按账龄列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额账龄

金额比例(%)金额比例(%)

1年以内88743775.4283.7041662552.2770.00

1至2年6006069.845.669137463.3715.35

2至3年7544462.077.117860753.7813.21

3年以上3743520.423.53856754.181.44

合计106037827.75100.0059517523.60100.00

账龄超过1年且金额重要的预付款项未及时结算原因的说明：

无

(2).按预付对象归集的期末余额前五名的预付款情况

√适用□不适用

按预付对象集中度归集的期末余额前五名预付款项汇总金额为60664459.57元，占预付款项期末余额合计数的比例为57.21%。

其他说明：

无

116/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

其他说明

□适用√不适用

9、其他应收款

项目列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

应收利息2706048.892650827.48应收股利

其他应收款29361530.1531616278.19

合计32067579.0434267105.67

其他说明：

□适用√不适用应收利息

(1).应收利息分类

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

应收活期存款利息22367.56870512.39

应收定期存款利息2683681.331780315.09

合计2706048.892650827.48

(2).重要逾期利息

□适用√不适用

(3).按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用

(4).坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

117/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

其他说明：

无

(5).本期实际核销的应收利息情况

□适用√不适用其中重要的应收利息核销情况

□适用√不适用

核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用应收股利

(1).应收股利

□适用√不适用

(2).重要的账龄超过1年的应收股利

□适用√不适用

(3).按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用

(4).坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(5).本期实际核销的应收股利情况

□适用√不适用

118/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

其中重要的应收股利核销情况

□适用√不适用

核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用其他应收款

(1).按账龄披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币账龄期末账面余额期初账面余额

1年以内（含1年）17816817.9523934189.98

其中：1年以内17816817.9523934189.98

1至2年6727948.816384457.37

2至3年3624048.451067017.94

3至4年1067017.94424953.20

4至5年424953.2081773.87

5年以上128660.0546886.18

合计29789446.4031939278.54

(2).按款项性质分类情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币款项性质期末账面余额期初账面余额

应收出口退税款2883833.91

押金及保证金7415731.038197493.67

预付社保公积金及个税12034035.8313285119.63

员工备用金274429.09370378.16

其他10065250.457202453.17

合计29789446.4031939278.54

(3).坏账准备计提情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

第一阶段第二阶段第三阶段整个存续期预整个存续期预坏账准备未来12个月预合计

期信用损失(未期信用损失(已期信用损失

发生信用减值)发生信用减值)

2025年1月1日余额323000.35323000.35

2025年1月1日余额在本

期

--转入第二阶段

--转入第三阶段

--转回第二阶段

119/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

--转回第一阶段

本期计提427916.25427916.25

本期转回323000.35323000.35本期转销本期核销其他变动

2025年6月30日余额427916.25427916.25

各阶段划分依据和坏账准备计提比例无

对本期发生损失准备变动的其他应收款账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

本期坏账准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据：

□适用√不适用

(4).坏账准备的情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期变动金额类别期初余额收回或转转销或核期末余额计提其他变动回销

信用风险组合323000.35427916.25323000.35427916.25

合计323000.35427916.25323000.35427916.25

其中本期坏账准备转回或收回金额重要的：

□适用√不适用其他说明无

(5).本期实际核销的其他应收款情况

□适用√不适用

其中重要的其他应收款核销情况：

□适用√不适用

其他应收款核销说明：

□适用√不适用

(6).按欠款方归集的期末余额前五名的其他应收款情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币占其他应收款款项的性坏账准备单位名称期末余额期末余额合计账龄质期末余额

数的比例(%)

其他应收款112034035.8340.40预付个税1年以内及社保

其他应收款23006504.0810.09其他1年以内83316.05

其他应收款32388994.798.02其他1年以内110385.49

120/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

其他应收款41655408.925.56其他1至2年165540.89

其他应收款51184740.013.98押金及保2至3年证金

合计20269683.6368.05//359242.43

(7).因资金集中管理而列报于其他应收款

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

10、存货

(1).存货分类

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额存货跌价准

/存货跌价准备项目备合同履约

账面余额账面价值账面余额/合同履约成账面价值成本减值准本减值准备备

原材料2105069303.6764240006.362040829297.311638900351.2527360166.861611540184.39

在产品434413618.82434413618.82583396420.482599835.55580796584.93

库存商品354158461.8410411124.46343747337.38248671440.3319168006.19229503434.14

发出商品1575342862.891575342862.891810360495.221810360495.22

合计4468984247.2274651130.824394333116.404281328707.2849128008.604232200698.68

(2).确认为存货的数据资源

□适用√不适用

(3).存货跌价准备及合同履约成本减值准备

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期增加金额本期减少金额项目期初余额期末余额计提其他转回或转销其他

原材料27360166.8640519129.483639289.9864240006.36

在产品2599835.552599835.55

库存商品19168006.194265580.3213022462.0510411124.46

合计49128008.6044784709.8019261587.5874651130.82本期转回或转销存货跌价准备的原因

□适用√不适用按组合计提存货跌价准备

□适用√不适用按组合计提存货跌价准备的计提标准

□适用√不适用

(4).存货期末余额含有的借款费用资本化金额及其计算标准和依据

□适用√不适用

121/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(5).合同履约成本本期摊销金额的说明

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

11、持有待售资产

□适用√不适用

12、一年内到期的非流动资产

□适用√不适用一年内到期的债权投资

□适用√不适用一年内到期的其他债权投资

□适用√不适用一年内到期的非流动资产的其他说明无

13、其他流动资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

定期存款及应收定期存款利息147773562.0350541712.28

待抵扣及待认证进项税151533143.25138217034.15

待摊费用4868499.075659026.59

预缴企业所得税172688.83915048.66

合计304347893.18195332821.68

其他说明：

无

14、债权投资

(1).债权投资情况

□适用√不适用债权投资减值准备本期变动情况

□适用√不适用

(2).期末重要的债权投资

□适用√不适用

(3).减值准备计提情况

□适用√不适用

122/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

各阶段划分依据和减值准备计提比例：

无

对本期发生损失准备变动的债权投资账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

本期减值准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据：

□适用√不适用

(4).本期实际的核销债权投资情况

□适用√不适用其中重要的债权投资情况核销情况

□适用√不适用

债权投资的核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

无

15、其他债权投资

(1).其他债权投资情况

□适用√不适用其他债权投资减值准备本期变动情况

□适用√不适用

(2).期末重要的其他债权投资

□适用√不适用

(3).减值准备计提情况

□适用√不适用

(4).本期实际核销的其他债权投资情况

□适用√不适用其中重要的其他债权投资情况核销情况

□适用√不适用

其他债权投资的核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

16、长期应收款

(1).长期应收款情况

□适用√不适用

123/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(2).按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用

(3).坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(4).本期实际核销的长期应收款情况

□适用√不适用其中重要的长期应收款核销情况

□适用√不适用

长期应收款核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

124/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

17、长期股权投资

(1).长期股权投资情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币减本期增减变动值准期初宣告发期末减值准备权益法下确其他综被投资单位余额（账面价减少投其他权放现金计提减余额（账面价备期末期追加投资认的投资损合收益其他值）资益变动股利或值准备值）余额初益调整利润余额

一、合营企业

二、联营企业

合肥石溪34496286.06-40839.9234455446.14

盛奕半导体27241214.276999431.4434240645.71

苏州芯仪10000000.00-362706.499637293.51

NINEBELL 120313688.48 5166191.64 125479880.12

小计71737500.33120313688.4811762076.67203813265.48

合计71737500.33120313688.4811762076.67203813265.48

(2).长期股权投资的减值测试情况

□适用√不适用其他说明无

18、其他权益工具投资

(1).其他权益工具投资情况

□适用√不适用

125/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(2).本期存在终止确认的情况说明

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

126/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

19、其他非流动金融资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

以公允价值计量且其变动计入当期损133425617.72133324391.64益的金融资产

其中：债务工具投资

权益工具投资133425617.72133324391.64衍生金融资产指定为以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产

其中：债务工具投资

合计133425617.72133324391.64

其他说明：

无

20、投资性房地产

投资性房地产计量模式不适用

21、固定资产

项目列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

固定资产1753287456.601167285542.78固定资产清理

合计1753287456.601167285542.78

其他说明：

无固定资产

(1).固定资产情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币固定资产装计算机及电项目房屋及建筑物机器设备办公设备运输工具合计修子设备

一、账面原值：

1.期初余额960845202.2224539965.85260575059.0623642319.3716955878.792849915.071289408340.36

2.本期增加金额585675647.811985138.9434018853.754894010.122640125.86419905.78629633682.26

（1）购置13335620.264709163.431878728.37407866.3320331378.39

（2）在建工程转585675647.811985138.9416726330.75604387117.50入

（3）汇率影响3956902.74184846.69761397.4912039.454915186.37

3.本期减少金额7416758.41132141.8468318.067617218.31

（1）处置或报废7416758.41132141.8468318.067617218.31

4.期末余额1546520850.0326525104.79287177154.4028404187.6519527686.593269820.851911424804.31

二、累计折旧

1.期初余额44615819.47613499.1657020482.1510703532.697491249.101678215.01122122797.58

127/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

2.本期增加金额15215645.751274147.6317112884.182245979.262129834.68214757.8838193249.38

（1）计提15215645.751274147.6315836326.382124083.431749216.41204753.5036404173.10

（2）汇率影响1276557.80121895.83380618.2710004.381789076.28

3.本期减少金额2043066.63125611.0910021.532178699.25

（1）处置或报废2043066.63125611.0910021.532178699.25

4.期末余额59831465.221887646.7972090299.7012823900.869611062.251892972.89158137347.71

三、减值准备

1.期初余额

2.本期增加金额

（1）计提

3.本期减少金额

（1）处置或报废

4.期末余额

四、账面价值

1.期末账面价值1486689384.8124637458.00215086854.7015580286.799916624.341376847.961753287456.60

2.期初账面价值916229382.7523926466.69203554576.9112938786.689464629.691171700.061167285542.78

(2).暂时闲置的固定资产情况

□适用√不适用

(3).通过经营租赁租出的固定资产

□适用√不适用

(4).未办妥产权证书的固定资产情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目账面价值未办妥产权证书的原因

临港研发与制造中心935377269.81尚未办妥

(5).固定资产的减值测试情况

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用固定资产清理

□适用√不适用

22、在建工程

项目列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

在建工程48040217.70592109816.38工程物资

合计48040217.70592109816.38

其他说明：

无

128/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

在建工程

(1).在建工程情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目账面余额减值准备账面价值账面余额减值准备账面价值临港研发与制造

中心土建装修工551695533.39551695533.39程

待安装设备44369830.4444369830.4438207846.1538207846.15

待安装系统1939196.611939196.611809409.061809409.06

其他装修工程1731190.651731190.65397027.78397027.78

合计48040217.7048040217.70592109816.38592109816.38

(2).重要在建工程项目本期变动情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本其期工程

利息中：本期其期累计资本本期利息期初本期转入固定资他末投入工程资金项目名称预算数本期增加金额化累利息资本余额产金额减余占预进度来源计金资本化率少额算比

金例(%)额化金(%)额额自筹临港研发与制99273资金万元

造中心土建装551695533.3940394245.61592089779.00102.43100.00和募人民币修工程集资金

合计551695533.3940394245.61592089779.00////

(3).本期计提在建工程减值准备情况

□适用√不适用

(4).在建工程的减值测试情况

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用工程物资

□适用√不适用

23、生产性生物资产

(1).采用成本计量模式的生产性生物资产

□适用√不适用

129/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(2).采用成本计量模式的生产性生物资产的减值测试情况

□适用√不适用

(3).采用公允价值计量模式的生产性生物资产

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

24、油气资产

(1).油气资产情况

□适用√不适用

(2).油气资产的减值测试情况

□适用√不适用

其他说明：

无

25、使用权资产

(1).使用权资产情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目房屋及建筑物运输工具合计

一、账面原值

1.期初余额55636252.151305971.3856942223.53

2.本期增加金额36351011.5885953.9736436965.55

(1)新增租赁35985425.8835985425.88

(2)汇率影响365585.7085953.97451539.67

3.本期减少金额2742881.072742881.07

(1)处置2742881.072742881.07

(2)汇率影响

4.期末余额89244382.661391925.3590636308.01

二、累计折旧

1.期初余额21480151.30324445.7121804597.01

2.本期增加金额13685914.6321353.7513707268.38

(1)计提13484096.2413484096.24

(2)汇率影响201818.3921353.75223172.14

3.本期减少金额2652960.192652960.19

(1)处置2652960.192652960.19

(2)汇率影响

4.期末余额32513105.74345799.4632858905.20

三、减值准备

1.期初余额

2.本期增加金额

(1)计提

130/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

3.本期减少金额

(1)处置

4.期末余额

四、账面价值

1.期末账面价值56731276.921046125.8957777402.81

2.期初账面价值34156100.85981525.6735137626.52

(2).使用权资产的减值测试情况

□适用√不适用

其他说明：

无

26、无形资产

(1).无形资产情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币内部开发技项目软件使用权专利权土地使用权合计术

一、账面原值

1.期初余额45823996.8391585667.1363715815.0017630376.05218755855.01

2.本期增加金额3154141.78477668.0760837994.0964469803.94

(1)购置2824302.89477668.073301970.96

(2)内部研发329838.8960837994.0961167832.98

3.本期减少金额

(1)处置

(2)汇率影响

4.期末余额48978138.6192063335.2063715815.0078468370.14283225658.95

二、累计摊销

1.期初余额26360394.5486140890.125727347.007345990.05125574621.71

2.本期增加金额7764290.85388917.07637230.002777006.0911567444.01

（1）计提7557329.74388917.07637230.002777006.0911360482.90

(2)汇率影响206961.11206961.11

3.本期减少金额

(1)处置

(2)汇率影响

4.期末余额34124685.3986529807.196364577.0010122996.14137142065.72

三、减值准备

1.期初余额

2.本期增加金额

（1）计提

3.本期减少金额

(1)处置

4.期末余额

四、账面价值

1.期末账面价值14853453.225533528.0157351238.0068345374.00146083593.23

2.期初账面价值19463602.295444777.0157988468.0010284386.0093181233.30

131/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

本期末通过公司内部研发形成的无形资产占无形资产余额的比例46.79%

(2).确认为无形资产的数据资源

□适用√不适用

(3).未办妥产权证书的土地使用权情况

□适用√不适用

(3).无形资产的减值测试情况

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

27、商誉

(1).商誉账面原值

□适用√不适用

(2).商誉减值准备

□适用√不适用

(3).商誉所在资产组或资产组组合的相关信息

□适用√不适用资产组或资产组组合发生变化

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

(4).可收回金额的具体确定方法可收回金额按公允价值减去处置费用后的净额确定

□适用√不适用可收回金额按预计未来现金流量的现值确定

□适用√不适用前述信息与以前年度减值测试采用的信息或外部信息明显不一致的差异原因

□适用√不适用公司以前年度减值测试采用信息与当年实际情况明显不一致的差异原因

□适用√不适用

(5).业绩承诺及对应商誉减值情况形成商誉时存在业绩承诺且报告期或报告期上一期间处于业绩承诺期内

□适用√不适用其他说明

132/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

□适用√不适用

28、长期待摊费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期增加金本期摊销金项目期初余额其他减少金额期末余额额额

川沙厂房装修及1212763.20380072.11832691.09改造工程

韩国办公室装修5854657.501386324.55-332766.644801099.59改造

其他装修及改造1372141.431473019.80621382.952223778.28工程

合计8439562.131473019.802387779.61-332766.647857568.96

其他说明：

无

29、递延所得税资产/递延所得税负债

(1).未经抵销的递延所得税资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目可抵扣暂时性递延所得税可抵扣暂时性递延所得税差异资产差异资产

资产减值准备124621097.1618507558.5885076267.4112761440.11

可抵扣亏损201600256.8230240038.52

预提费用109063394.9216393588.2697136596.8514604733.00

股份支付346026236.4052030993.03312487049.9747985504.60

内部交易未实现利润31272140.354072298.4039761034.555141121.13

租赁负债48144797.647289319.9523748187.933658686.64

合计659127666.4798293758.22759809393.53114391524.00

(2).未经抵销的递延所得税负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目应纳税暂时递延所得税应纳税暂时性递延所得税性差异负债差异负债

固定资产会计与税法差异763661.20114549.18880389.76132058.46

交易性金融资产公允价值28845358.974272397.8810669428.581600414.29变动税会差异

定期存款/大额存单利息收9534931.331430239.709385289.761407793.46益

使用权资产46483673.146913867.2523224246.913586764.97

其他4455446.14668316.924496286.06674442.92

合计90083070.7813399370.9348655641.077401474.10

133/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(3).以抵销后净额列示的递延所得税资产或负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额递延所得税资抵销后递延所抵销后递延所项目递延所得税资产产和负债互抵得税资产或负得税资产或负和负债互抵金额金额债余额债余额

递延所得税资产13399370.9384894387.297401474.10106990049.90

递延所得税负债13399370.937401474.10

(4).未确认递延所得税资产明细

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额可抵扣暂时性差异

可抵扣亏损23912558.5815313641.35

合计23912558.5815313641.35

(5).未确认递延所得税资产的可抵扣亏损将于以下年度到期

√适用□不适用

单位：元币种：人民币年份期末金额期初金额备注

2027年660109.53

2028年13972477.3814653531.82

2029年9940081.20

合计23912558.5815313641.35/

其他说明：

□适用√不适用

30、其他非流动资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目减值减值账面余额账面价值账面余额账面价值准备准备

定期存款/大额存95433750.0095433750.00单及应收利息

预付股权转让款120313688.48120313688.48

租赁保证金7186632.907186632.907447055.007447055.00

履约保证金4929897.364929897.36

专利申请费12891066.1512891066.1511262018.2111262018.21

预付设备款4837654.264837654.26231200.00231200.00

预付工程款27000.0027000.00

其他1842050.001842050.001728300.001728300.00

合计26757403.3126757403.31241372909.05241372909.05

其他说明：

无

134/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

31、所有权或使用权受限资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末期初项目受限类受限受限账面余额账面价值受限情况账面余额账面价值型类型情况

货币资金7865374.167865374.16其他*17891977.427891977.42其他*1

货币资金20000000.0020000000.00其他20007000.0020007000.00其他

货币资金49402298.2249402298.22其他其他

固定资产249745893.97222724764.00抵押*2249745893.97226679076.00抵押*2

合计327013566.35299992436.38//277644871.39254578053.42//

其他说明：

*1该款项属于存放境外而资金汇回受到限制的款项，系本公司之子公司盛美韩国根据韩国当地规定设立的退休金储备账户资金，仅能在员工离职或退休时用于支付该员工的退休金。

*22020年11月19日，本公司之子公司盛帷上海与招商银行股份有限公司上海自贸试验区临港新片区支行签订《法人购房借款与抵押合同》，借款期限自2020年11月26日至2030年11月25日，以《上海市公共租赁住房整体预售合同》下的公租房作为抵押物。盛美上海为该借款提供保证，签订《不可撤销担保书》。

32、短期借款

(1).短期借款分类

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

信用借款379000000.00226000000.00

保证借款9876000.00

应计利息163250.00167111.11

合计379163250.00236043111.11

短期借款分类的说明：

单位：元币种：人民币项目借款银行短期借款期末余额

信用借款招商银行股份有限公司上海分行339000000.00

信用借款中国银行股份有限公司上海市浦东开发区支行40000000.00

合计379000000.00

(2).已逾期未偿还的短期借款情况

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

33、交易性金融负债

□适用√不适用

其他说明：

135/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

□适用√不适用

34、衍生金融负债

□适用√不适用

35、应付票据

□适用√不适用

36、应付账款

(1).应付账款列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

1年以内（含1年）1461319317.211373230383.03

1-2年（含2年）75897147.8045460343.58

2-3年（含3年）11293126.1233850745.42

3年以上45049964.8235772815.04

合计1593559555.951488314287.07

(2).账龄超过1年或逾期的重要应付账款

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额未偿还或结转的原因

MOTION ELECTRONICS CO. LTD 45269696.56 未结算佣金

LIDA TECHNOLOGY CO. LTD 35165396.52 未结算佣金

合计80435093.08/

其他说明：

□适用√不适用

37、预收款项

(1).预收账款项列示

□适用√不适用

(2).账龄超过1年的重要预收款项

□适用√不适用

(3).报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

38、合同负债

(1).合同负债情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

136/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

项目期末余额期初余额

预收货款791746557.581073085829.77

递延收入69796380.4132868659.79

合计861542937.991105954489.56

(2).账龄超过1年的重要合同负债

□适用√不适用

(3).报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

39、应付职工薪酬

(1).应付职工薪酬列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额

一、短期薪酬141856219.64538216062.59546602880.19133469402.04

二、离职后福利-设定提存5900689.1732584541.0433920427.564564802.65计划

合计147756908.81570800603.63580523307.75138034204.69

(2).短期薪酬列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额

一、工资、奖金、津贴和139252793.23492671059.08501226620.90130697231.41补贴

二、职工福利费11871708.0511871708.05-

三、社会保险费2603426.4119853934.2019685189.982772170.63

其中：医疗保险费2414274.0618024002.0017893276.602544999.46

工伤保险费189152.351733514.011695495.19227171.17

生育保险费96418.1996418.19-

四、住房公积金13819361.2613819361.26-

五、工会经费和职工教育经费

六、短期带薪缺勤

七、短期利润分享计划

合计141856219.64538216062.59546602880.19133469402.04

(3).设定提存计划列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额

1、基本养老保险5698490.4131262319.6632572764.014388046.06

2、失业保险费202198.761322221.381347663.55176756.59

137/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

合计5900689.1732584541.0433920427.564564802.65

其他说明：

□适用√不适用

40、应交税费

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

企业所得税105697626.75145661236.96

印花税976642.96959756.23

个人所得税2750499.454795754.01

应交增值税及附加税1387828.081306237.84

土地使用税23838.7023838.69

房产税2017774.931767704.53

合计112854210.87154514528.26

其他说明：

无

41、其他应付款

(1).项目列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额应付利息

应付股利288252734.66

其他应付款129469240.62155040329.00

合计417721975.28155040329.00

(2).应付利息

□适用√不适用

(3).应付股利

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

普通股股利288252734.66

合计288252734.66

其他说明，包括重要的超过1年未支付的应付股利，应披露未支付原因：

无

(4).其他应付款按款项性质列示其他应付款

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

应付关联方款项802215.493908305.86

138/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

其他预提费用82773522.0288854927.33

应付投资款34000000.0034000000.00

应付员工人才专项奖励1750000.0020108800.00

供应商保证金931980.00931980.00

员工报销及补贴款2384686.972241857.25

其他6826836.144994458.56

合计129469240.62155040329.00账龄超过1年或逾期的重要其他应付款

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

42、持有待售负债

□适用√不适用

43、1年内到期的非流动负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

1年内到期的长期借款344385511.02219638139.08

一年内到期的长期借款的应计利息805692.01708215.21

1年内到期的租赁负债25864714.3814311258.18

1年内到期的预计负债78062206.61

合计449118124.02234657612.47

其他说明：

无

44、其他流动负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

待转销项税额11301227.387270565.62

合计11301227.387270565.62

短期应付债券的增减变动：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

45、长期借款

(1).长期借款分类

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

信用借款903612920.31688455833.93

139/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

抵押+保证借款63021876.4269738842.25

合计966634796.73758194676.18

长期借款分类的说明：

单位：元币种：人民币其中一年内到期的项目借款银行长期借款期末余额借款余额

+招商银行股份有限公司上海自贸试验区抵押保证借款76177387.4413155511.02临港新片区支行

信用借款招商银行股份有限公司上海分行44507086.38中国工商银行股份有限公司上海自贸试

信用借款299500000.001000000.00验区新片区分行中国银行股份有限公司上海自贸试验区

信用借款31620000.00分行

信用借款中国光大银行股份有限公司上海分行398979000.00217530000.00中国银行股份有限公司上海市浦东开发

信用借款242000000.003000000.00区支行

信用借款中信银行股份有限公司上海分行99700000.0099700000.00中国农业银行股份有限公司上海自贸试

信用借款118536833.9310000000.00验区新片区分行

合计1311020307.75344385511.02其他说明

□适用√不适用

46、应付债券

(1).应付债券

□适用√不适用

(2).应付债券的具体情况：（不包括划分为金融负债的优先股、永续债等其他金融工具）

□适用√不适用

(3).可转换公司债券的说明

□适用√不适用转股权会计处理及判断依据

□适用√不适用

(4).划分为金融负债的其他金融工具说明

期末发行在外的优先股、永续债等其他金融工具基本情况

□适用√不适用

期末发行在外的优先股、永续债等金融工具变动情况表

□适用√不适用其他金融工具划分为金融负债的依据说明

140/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

47、租赁负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

租赁付款额61856966.9737719255.34

减：未确认融资费用2263777.011790807.58

减：一年内到期的租赁负债25864714.3814311258.18

合计33728475.5821617189.58

其他说明：

无

48、长期应付款

项目列示

□适用√不适用长期应付款

□适用√不适用专项应付款

□适用√不适用

49、长期应付职工薪酬

√适用□不适用

(1).长期应付职工薪酬表

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

一、离职后福利-设定受益计划净负债

二、辞退福利

三、其他长期福利8457386.477951661.76

合计8457386.477951661.76

(2).设定受益计划变动情况

设定受益计划义务现值：

□适用√不适用

计划资产：

□适用√不适用

设定受益计划净负债（净资产）

141/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

□适用√不适用

设定受益计划的内容及与之相关风险、对公司未来现金流量、时间和不确定性的影响说明：

□适用√不适用设定受益计划重大精算假设及敏感性分析结果说明

□适用√不适用

其他说明：

√适用□不适用

根据韩国《劳动者退休金保障法》规定，当职工在公司工作满一年的情况下，在职工离职或退休时，公司需要根据其在公司的服务年限按每工作一年支付30天平均工资的标准向其支付退休金。其他长期福利的期末余额系本公司之子公司盛美韩国根据该法律规定预提的退职金。

50、预计负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额形成原因

产品质量保证22597850.3687599198.11根据销售协议预提质保期内产品质量保证金

合计22597850.3687599198.11/

其他说明，包括重要预计负债的相关重要假设、估计说明：

无

51、递延收益

递延收益情况

√适用□不适用

单位：元币种人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额形成原因

政府补助57902071.825925369.7951976702.03收到专项政府补助

合计57902071.825925369.7951976702.03/

其他说明：

□适用√不适用

52、其他非流动负债

□适用√不适用

53、股本

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

本次变动增减（+、一）期初余额发行送公积金其期末余额小计新股股转股他

股份总数438740753.002550435.002550435.00441291188.00

142/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

其他说明：

无

54、其他权益工具

(1).期末发行在外的优先股、永续债等其他金融工具基本情况

□适用√不适用

(2).期末发行在外的优先股、永续债等金融工具变动情况表

□适用√不适用

其他权益工具本期增减变动情况、变动原因说明，以及相关会计处理的依据：

□适用√不适用

其他说明:

□适用√不适用

55、资本公积

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额资本溢价（股本溢3851078196.58266217281.304117295477.88价）

其他资本公积536763067.8290797141.70143413836.05484146373.47

合计4387841264.40357014423.00143413836.054601441851.35

其他说明，包括本期增减变动情况、变动原因说明：

无

56、库存股

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额

回购股份50022847.6650022847.66

合计50022847.6650022847.66

其他说明，包括本期增减变动情况、变动原因说明：

无

57、其他综合收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期发生金额

减：减：前前期期计税后计入入其期初本期所得归属期末

项目其他他综减：所得税后归属余额税前发生于少余额综合合收税费用于母公司额数股收益益当东当期期转转入入留

143/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

损益存收益

二、将重分类进损5244077.22855673.50855673.506099750.72益的其他综合收益

外币财务报表折5244077.22855673.50855673.506099750.72算差额

其他综合收益合计5244077.22855673.50855673.506099750.72

其他说明，包括对现金流量套期损益的有效部分转为被套期项目初始确认金额调整：

无

58、专项储备

□适用√不适用

59、盈余公积

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额

法定盈余公积219370376.50219370376.50

合计219370376.50219370376.50

盈余公积说明，包括本期增减变动情况、变动原因说明：

无

60、未分配利润

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期上年度

调整前上期末未分配利润2614438643.091740920117.81调整期初未分配利润合计数（调增+，调减－）

调整后期初未分配利润2614438643.091740920117.81

加：本期归属于母公司所有者的净利1153188090.00695772727.73润

减：提取法定盈余公积6480419.00

应付普通股股利288252734.66273189145.72

期末未分配利润3021958636.162614438643.09

调整期初未分配利润明细：

1、由于《企业会计准则》及其相关新规定进行追溯调整，影响期初未分配利润0元。

2、由于会计政策变更，影响期初未分配利润0元。

3、由于重大会计差错更正，影响期初未分配利润0元。

4、由于同一控制导致的合并范围变更，影响期初未分配利润0元。

5、其他调整合计影响期初未分配利润0元。

61、营业收入和营业成本

(1).营业收入和营业成本情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

144/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

收入成本收入成本

主营业务3125291368.591563705690.922326300334.001191959613.52

其他业务140000473.2545152382.4277596396.5025133071.82

合计3265291841.841608858073.342403896730.501217092685.34

(2).营业收入、营业成本的分解信息

√适用□不适用

单位：元币种：人民币合计合同分类营业收入营业成本商品类型

销售商品3256216528.801607466882.53

提供服务9075313.041391190.81

合计3265291841.841608858073.34按终端客户所在地区分类

中国大陆3232441629.541601437773.38

中国大陆外32850212.307420299.96

合计3265291841.841608858073.34按商品转让的时间分类

在某一时点确认3264090904.341608785490.48

在某一时段内确认1200937.5072582.86

合计3265291841.841608858073.34其他说明

□适用√不适用

(3).履约义务的说明

□适用√不适用

(4).分摊至剩余履约义务的说明

□适用√不适用

(5).重大合同变更或重大交易价格调整

□适用√不适用

其他说明：

无

62、税金及附加

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

印花税1640521.112009091.15

房产税4035549.872472092.92

其他193786.88150946.07

合计5869857.864632130.14

其他说明：

145/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

无

63、销售费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

职工薪酬113035314.2777300603.65

市场推广费36970869.3618602370.40

销售佣金33760735.8515953950.43

服务费用24553023.5821849726.26

交通差旅费23085900.0319071453.46

股份支付21298558.2134616545.48

业务招待费7385723.216621734.75

折旧费4630348.013703343.08

租赁费及物业费1727211.032736144.20

其他1584107.405509918.99

合计268031790.95205965790.70

其他说明：

无

64、管理费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

职工薪酬49355948.3728146050.07

股份支付29936729.7271011605.21

折旧与摊销23537418.6214481912.86

服务费用15917629.6720130531.09

办公费用4542582.023598929.47

交通差旅费3105463.085487629.31

业务招待费2153111.652349912.83

租赁费及物业费1615699.274714610.97

其他6595386.655904089.92

合计136759969.05155825271.73

其他说明：

无

65、研发费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

职工薪酬186612360.27144754440.77

物料消耗133941318.7398999775.55

股份支付28178553.6255775896.23

折旧与摊销25722339.3210963497.20

交通差旅费21460183.8215986949.24

146/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

服务费用9532690.298230118.85

租赁费及物业费1959954.444655181.76

其他费用8665033.146858662.75

合计416072433.63346224522.35

其他说明：

无

66、财务费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

利息费用19636434.5810838200.41

其中：租赁负债利息费用958913.96716582.63

减：利息收入-38966984.16-14304011.38

汇兑损益-3746617.89-12902038.39

银行手续费369466.191591097.27

合计-22707701.28-14776752.09

其他说明：

无

67、其他收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币按性质分类本期发生额上期发生额

政府补助9366769.793680726.10

进项税加计抵减11865521.52

代扣个人所得税手续费返还1541471.44557823.05

合计10908241.2316104070.67

其他说明：

无

68、投资收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

权益法核算的长期股权投资收益11762076.673237435.32

交易性金融资产在持有期间的投资收益391913.73

处置交易性金融资产取得的投资收益1938048.49

定期存款/大额存单利息收益3213930.738292518.71

合计15367921.1313468002.52

其他说明：

无

147/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

69、净敞口套期收益

□适用√不适用

70、公允价值变动收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币产生公允价值变动收益的来源本期发生额上期发生额

交易性金融资产13009738.75-7778230.46

其他非流动金融资产101226.08

合计13110964.83-7778230.46

其他说明：

无

71、资产处置收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

非流动资产处置-387945.27

合计-387945.27

其他说明：

√适用□不适用无

72、信用减值损失

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

应收账款坏账损失-38942548.39-20825998.82

合同资产减值损失-1148082.38106916.56

其他应收款坏账损失-104915.90-221584.98

合计-40195546.67-20940667.24

其他说明：

无

73、资产减值损失

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

二、存货跌价损失及合同履约成本-32693636.73-21637263.37减值损失

合计-32693636.73-21637263.37

其他说明：

无

148/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

74、营业外收入

√适用□不适用

单位：元币种：人民币计入当期非经常性项目本期发生额上期发生额损益的金额

违约金收入276616.4090400.00276616.40

其他1919865.51452586.641919865.51

合计2196481.91542986.642196481.91

其他说明：

√适用□不适用无

75、营业外支出

√适用□不适用

单位：元币种：人民币计入当期非经常性损益项目本期发生额上期发生额的金额

非流动资产处置损失合计120200.312938.45120200.31

其中：固定资产处置损失120200.312938.45120200.31无形资产处置损失

捐赠支出200000.00200000.00

罚款及滞纳金36388.291839.2836388.29

其他8090.54630180.808090.54

合计364679.14634958.53364679.14

其他说明：

无

76、所得税费用

(1).所得税费用表

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

当期所得税费用102522448.2057059949.81

递延所得税费用22095662.61-32185522.43

合计124618110.8124874427.38

(2).会计利润与所得税费用调整过程

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额

利润总额820349219.58

按法定/适用税率计算的所得税费用123052382.95

子公司适用不同税率的影响1368542.91

调整以前期间所得税的影响8541409.85

非应税收入的影响-58787.06

149/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

不可抵扣的成本、费用和损失的影响9581080.00

使用前期未确认递延所得税资产的可抵扣亏损-375703.24的影响

研发费用加计扣除的影响-44479575.86

股权激励行权的影响-4526294.69

税率变动影响31515055.95

所得税费用124618110.81

其他说明：

□适用√不适用

77、其他综合收益

√适用□不适用详见附注

78、现金流量表项目

(1).与经营活动有关的现金收到的其他与经营活动有关的现金

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

收到政府补助4401100.06119051.67

收到押金及保证金6472082.103381913.83

收到利息收入38911762.7513999079.17

其他2778253.291123922.36

合计52563198.2018623967.03

收到的其他与经营活动有关的现金说明：

无支付的其他与经营活动有关的现金

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

付现费用238281590.69235322372.51

支付押金及保证金500000.002843471.55

银行手续费369466.191591097.27

其他20119043.2412496262.69

合计259270100.12252253204.02

支付的其他与经营活动有关的现金说明：

无

(2).与投资活动有关的现金收到的重要的投资活动有关的现金

□适用√不适用

150/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

支付的重要的投资活动有关的现金

□适用√不适用收到的其他与投资活动有关的现金

□适用√不适用支付的其他与投资活动有关的现金

□适用√不适用

(3).与筹资活动有关的现金收到的其他与筹资活动有关的现金

□适用√不适用支付的其他与筹资活动有关的现金

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

股份回购50022847.66

支付租赁负债13194544.4710605617.05

合计63217392.1310605617.05

支付的其他与筹资活动有关的现金说明：

无筹资活动产生的各项负债变动情况

□适用√不适用

(4).以净额列报现金流量的说明

□适用√不适用

(5).不涉及当期现金收支、但影响企业财务状况或在未来可能影响企业现金流量的重大活动及财务影响

□适用√不适用

79、现金流量表补充资料

(1).现金流量表补充资料

√适用□不适用

单位：元币种：人民币补充资料本期金额上期金额

1．将净利润调节为经营活动现金流量：

净利润695731108.77443182595.18

加：资产减值准备32693636.7321637263.37

信用减值损失40195546.6720940667.24

固定资产折旧、油气资产折耗、生产性生物资产36404173.1021156130.60折旧

使用权资产摊销13484096.2412606424.33

无形资产摊销11360482.908645773.84

长期待摊费用摊销2387779.615373821.01

151/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

处置固定资产、无形资产和其他长期资产的损失

“”387945.27（收益以－号填列）

固定资产报废损失（收益以“－”号填列）120200.312102.79

公允价值变动损失（收益以“－”号填列）-13110964.837778230.46

财务费用（收益以“－”号填列）24068332.4312050420.51

投资损失（收益以“－”号填列）-15367921.13-13468002.52

递延所得税资产减少（增加以“－”号填列）22095662.61-32185522.43

递延所得税负债增加（减少以“－”号填列）

存货的减少（增加以“－”号填列）-182720298.75-484760123.76

经营性应收项目的减少（增加以“－”号填列）-722708450.141021334.96

经营性应付项目的增加（减少以“－”号填列）-156905924.74254638363.95

其他79930649.52168099367.26

经营活动产生的现金流量净额-131953945.43446718846.79

2．不涉及现金收支的重大投资和筹资活动：

债务转为资本一年内到期的可转换公司债券融资租入固定资产

3．现金及现金等价物净变动情况：

现金的期末余额2620369854.592161052612.97

减：现金的期初余额2542699605.401523342073.95

加：现金等价物的期末余额140988298.22

减：现金等价物的期初余额91891000.00

现金及现金等价物净增加额126767547.41637710539.02

(2).本期支付的取得子公司的现金净额

□适用√不适用

(3).本期收到的处置子公司的现金净额

□适用√不适用

(4).现金和现金等价物的构成

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

一、现金2620369854.592542699605.40

其中：库存现金17378.3311678.33

可随时用于支付的银行存款2620352476.262542687927.07可随时用于支付的其他货币资金可用于支付的存放中央银行款项存放同业款项拆放同业款项

二、现金等价物140988298.2291891000.00

其中：三个月内到期的定期存款71586000.0071884000.00

三个月内到期的保证金20000000.0020007000.00

预付款保函保证金49402298.22

三、期末现金及现金等价物余额2761358152.812634590605.40

其中：母公司或集团内子公司使用受限77267672.3827898977.42

152/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

制的现金和现金等价物

(5).使用范围受限但仍作为现金和现金等价物列示的情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额理由

存放在境外且资金汇回受到限制的款项7865374.16在境外银行存放的可提取的资金

银行保证金账户20000000.00三个月内到期的保证金

预付款保函保证金49402298.22预付款保函保证金

合计77267672.38/

(6).不属于现金及现金等价物的货币资金

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

80、所有者权益变动表项目注释

说明对上年期末余额进行调整的“其他”项目名称及调整金额等事项：

□适用√不适用

81、外币货币性项目

(1).外币货币性项目

√适用□不适用

单位：元期末折算人民币项目期末外币余额折算汇率余额

货币资金--2132803739.63

其中：美元295724963.777.15862116976725.64

韩元3007222874.000.005315827013.99

应收账款--1823891537.17

其中：美元254618403.407.15861822711302.58

韩元224251299.000.00531180234.59

预付账款--65808575.77

其中：美元5476961.037.158639207373.23

韩元143176175.000.0053753536.21

欧元464599.278.40243903748.91日元442417690.000.049621943917.42

其他应收款--5681045.48

其中：美元617065.917.15864417328.02

韩元240113520.000.00531263717.46

其他流动资产--50110200.00

其中：美元7000000.007.158650110200.00

应付账款--444866260.89

其中：美元52872853.987.1586378495612.49

韩元2877933509.000.005315146564.06

欧元145241.918.40241220380.64

153/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

日元1008139187.500.049650003703.70

合同负债--514277802.76

其中：美元71840555.807.1586514277802.76

应付职工薪酬--9215235.54

其中：美元36873.527.1586263962.78

韩元1700792849.000.00538951272.76

其他应付款--16697871.89

其中：美元185851.657.15861330437.62

韩元2919900108.000.005315367434.27

长期应付职工薪酬--8457386.47

其中：韩元1606951637.000.00538457386.47

其他说明：

无

(2).境外经营实体说明，包括对于重要的境外经营实体，应披露其境外主要经营地、记账本位

币及选择依据，记账本位币发生变化的还应披露原因√适用□不适用名称主要经营地记账本位币记账本位币选择依据香港清芯中国香港美元以公司主要经营活动地域和所受风险影响为依据盛美韩国韩国韩元以公司主要经营活动地域和所受风险影响为依据盛美加州美国美元以公司主要经营活动地域和所受风险影响为依据

82、租赁

(1).作为承租人

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期金额上期金额

租赁负债的利息费用958913.96716582.63

计入相关资产成本或当期损益的简化处理的短期租赁费用7625530.576689801.68计入相关资产成本或当期损益的简化处理的低价值资产租赁费用（低价值资产的短期租赁费用除外）计入相关资产成本或当期损益的未纳入租赁负债计量的可变租赁付款额

其中：售后租回交易产生部分转租使用权资产取得的收入

与租赁相关的总现金流出20820075.0417295418.73售后租回交易产生的相关损益售后租回交易现金流入售后租回交易现金流出未纳入租赁负债计量的可变租赁付款额

□适用√不适用

154/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

简化处理的短期租赁或低价值资产的租赁费用

□适用√不适用售后租回交易及判断依据

□适用√不适用

与租赁相关的现金流出总额20820075.04(单位：元币种：人民币)

(2).作为出租人作为出租人的经营租赁

□适用√不适用作为出租人的融资租赁

□适用√不适用未折现租赁收款额与租赁投资净额的调节表

□适用√不适用未来五年未折现租赁收款额

□适用√不适用

(3).作为生产商或经销商确认融资租赁销售损益

□适用√不适用其他说明无

83、数据资源

□适用√不适用

84、其他

□适用√不适用

八、研发支出

1、按费用性质列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

职工薪酬216746240.55160221817.07

物料消耗225786407.75127631569.50

股份支付33078057.0455775896.23

折旧与摊销25722339.3210963497.20

交通差旅费21460183.8215986949.24

服务费用10862965.528230118.85

租赁费及物业费1959954.444655181.76

其他费用8767430.506858662.75

合计544383578.94390323692.60

其中：费用化研发支出416072433.63346224522.35

资本化研发支出128311145.3144099170.25

155/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

其他说明：

无

2、符合资本化条件的研发项目开发支出

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期增加金额本期减少金额期初期末项目确认为无形转入当期余额内部开发支出余额资产损益

半导体清洗设备77025522.5671759692.2528734401.29120050813.52相关项目

立式炉管设备相20076799.5222800348.7942877148.31关项目

TRACK涂胶显影 32634555.13 2092858.45 32103592.80 2623820.78系统研制和开发

PECVD设备和工 44526019.56 21066385.34 65592404.90艺研发

半导体电镀设备8551075.0610591860.4819142935.54相关项目

合计182813971.83128311145.3160837994.09250287123.05重要的资本化研发项目

□适用√不适用开发支出减值准备

□适用√不适用其他说明无

3、重要的外购在研项目

□适用√不适用

九、合并范围的变更

1、非同一控制下企业合并

□适用√不适用

2、同一控制下企业合并

□适用√不适用

3、反向购买

□适用√不适用

156/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

4、处置子公司

本期是否存在丧失子公司控制权的交易或事项

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用是否存在通过多次交易分步处置对子公司投资且在本期丧失控制权的情形

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

5、其他原因的合并范围变动

说明其他原因导致的合并范围变动（如，新设子公司、清算子公司等）及其相关情况：

□适用√不适用

6、其他

□适用√不适用

十、在其他主体中的权益

1、在子公司中的权益

(1).企业集团的构成

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

持股比例(%)取得子公司名称主要经营地注册资本注册地业务性质直接间接方式

盛美无锡无锡人民币500万元无锡制造业100.00设立

盛帷上海上海人民币7亿元上海制造业100.00设立

157/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

香港清芯中国香港港币10元中国香港商品流通业100.00同一控制下并购

盛美韩国韩国韩元1亿元韩国制造业100.00同一控制下并购

盛美加州美国加州美元200元美国加州商品流通业100.00同一控制下并购

盛美北京北京人民币500万元北京制造业100.00设立

御盛微半导体上海人民币1000万元上海制造业100.00设立

御盛微友一上海美元276.5万元上海制造业65.00设立

盛美成都成都人民币1410万元成都制造业100.00设立

盛宜微上海人民币500万元上海制造业85.00设立

在子公司的持股比例不同于表决权比例的说明：

无

持有半数或以下表决权但仍控制被投资单位、以及持有半数以上表决权但不控制被投资单位的依据：

无

对于纳入合并范围的重要的结构化主体，控制的依据：

无

确定公司是代理人还是委托人的依据：

无

其他说明：

无

(2).重要的非全资子公司

√适用□不适用

单位：元币种：人民币少数股东持股本期向少数股东宣告分派的股

子公司名称%本期归属于少数股东的损益期末少数股东权益余额比例（）利

御盛微友一35%691.58993329.88

盛宜微15%-42310.54707689.46

158/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

子公司少数股东的持股比例不同于表决权比例的说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

(3).重要非全资子公司的主要财务信息

□适用√不适用

159/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(4).使用企业集团资产和清偿企业集团债务的重大限制：

□适用√不适用

(5).向纳入合并财务报表范围的结构化主体提供的财务支持或其他支持：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

2、在子公司的所有者权益份额发生变化且仍控制子公司的交易

□适用√不适用

3、在合营企业或联营企业中的权益

√适用□不适用

(1).重要的合营企业或联营企业

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

持股比例(%)对合营企业或合营企业或联营企业名联营企业投资主要经营地注册地业务性质称直接间接的会计处理方法合肥石溪产恒集成电路

创业投资基金合伙企业合肥合肥对外投资10.00权益法（有限合伙）

盛奕半导体科技（无锡）

无锡无锡制造业15.00权益法有限公司苏州芯仪半导体科技有

苏州苏州制造业16.67权益法限公司

NINEBELL CO.LTD 韩国 韩国 制造业 20.00 权益法

在合营企业或联营企业的持股比例不同于表决权比例的说明：

合肥石溪产恒集成电路创业投资基金合伙企业（有限合伙）（以下简称“合肥石溪”）于2019年9月成立，注册资本为人民币3亿元，本公司对其直接持股比例为10%。合肥石溪投委会7名成员中的1名由本公司任命，因此本公司能够对合肥石溪施加重大影响，故将其作为联营企业核算。

盛奕半导体科技（无锡）有限公司（以下简称“盛奕半导体”）于2018年10月成立，注册资本为人民币548.6554万元，本公司对其直接持股比例为15%。盛奕半导体董事会3名董事中的

1名由本公司任命，因此本公司能对盛奕半导体施加重大影响，故将其作为联营企业核算。

苏州芯仪半导体科技有限公司（以下简称“苏州芯仪”）于2023年2月成立，本公司对其直接持股比例为16.67%。苏州芯仪董事会3名董事中的1名由本公司任命，因此本公司能对苏州芯仪施加重大影响，故将其作为联营企业核算。

NINEBELL CO. LTD.（以下简称“NINEBELL”）于 1997年 10月成立，本公司及控股股东美国 ACMR各直接持有其 20.00%的股份。NINEBELL董事会 5名董事中的 2名由本公司董事担任，因此本公司能对 NINEBELL施加重大影响，故将其作为联营企业核算。

持有20%以下表决权但具有重大影响，或者持有20%或以上表决权但不具有重大影响的依据：

无

160/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(2).重要合营企业的主要财务信息

□适用√不适用

(3).重要联营企业的主要财务信息

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

期末余额/本期发生额期初余额/上期发生额

合肥石溪 盛奕半导体 苏州芯仪 NINEBELL 合肥石溪 盛奕半导体 苏州芯仪

流动资产345891031.27306175352.1216740869.47326322430.88347028308.35226133740.6713077444.67

非流动资产15427045.652513197.91153698069.8114263261.65448276.62

资产合计345891031.27321602397.7719254067.38480020500.69347028308.35240397002.3213525721.29

流动负债1336569.96126077219.1410361443.7098130017.332065447.8692768414.782378505.62

非流动负债511.614303807.3878864.50

负债合计1336569.96126077219.1410361955.31102433824.712065447.8692768414.782457370.12少数股东权益

归属于母公司股344554461.31195525178.638892112.07377586675.98344962860.49147628587.5411068351.17东权益

按持股比例计算34455446.1429328776.791482018.5775517335.2034496286.0622144288.131844725.06的净资产份额

调整事项4911868.928155274.9449962544.925096926.148155274.94

--商誉4185764.038155274.9453121298.384185764.038155274.94

--内部交易未实-572703.89-5551373.84-369702.15现利润

--其他1298808.782392620.381280864.26

对联营企业权益34455446.1434240645.719637293.51125479880.1234496286.0627241214.2710000000.00投资的账面价值存在公开报价的联营企业权益投资的公允价值

营业收入154803038.864545493.94207719030.9899708262.63

净利润-408399.1845376591.09-2176239.1053587827.36-2801263.0124518341.21终止经营的净利润其他综合收益

综合收益总额-408399.1845376591.09-2176239.1053587827.36-2801263.0124518341.21本年度收到的来自联营企业的股利其他说明无

(4).不重要的合营企业和联营企业的汇总财务信息

□适用√不适用

(5).合营企业或联营企业向本公司转移资金的能力存在重大限制的说明

□适用√不适用

(6).合营企业或联营企业发生的超额亏损

□适用√不适用

161/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(7).与合营企业投资相关的未确认承诺

□适用√不适用

(8).与合营企业或联营企业投资相关的或有负债

□适用√不适用

4、重要的共同经营

□适用√不适用

5、在未纳入合并财务报表范围的结构化主体中的权益

未纳入合并财务报表范围的结构化主体的相关说明：

□适用√不适用

6、其他

□适用√不适用

十一、政府补助

1、报告期末按应收金额确认的政府补助

□适用√不适用未能在预计时点收到预计金额的政府补助的原因

□适用√不适用

2、涉及政府补助的负债项目

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期计本期新本期

财务报表入营业本期转入其与资产/收期初余额增补助其他期末余额项目外收入他收益益相关金额变动金额

递延收益57868739.865917055.2351951684.63资产相关

递延收益33331.968314.5625017.40收益相关

合计57902071.825925369.7951976702.03/

3、计入当期损益的政府补助

√适用□不适用

单位：元币种：人民币类型本期发生额上期发生额

与收益相关5168804.29188925.20

与资产相关4197965.503491800.90

合计9366769.793680726.10

其他说明：

无

162/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

十二、与金融工具相关的风险

1、金融工具的风险

√适用□不适用

（一）金融工具产生的各类风险本公司在经营过程中面临各种金融风险：信用风险、流动性风险和市场风险（包括汇率风险、利率风险和其他价格风险）。上述金融风险以及本公司为降低这些风险所采取的风险管理政策如下所述：

公司董事会全面负责风险管理目标和政策的确定，并对风险管理目标和政策承担最终责任，但是董事会已授权本公司管理层设计和实施能确保风险管理目标和政策得以有效执行的程序。董事会通过财务部递交的月度报告来审查已执行程序的有效性以及风险管理目标和政策的合理性。

本公司的内部审计部门也会审计风险管理的政策和程序，并将有关发现汇报给审计委员会。

本公司风险管理的总体目标是在不过度影响公司竞争力和应变力的情况下，制定尽可能降低风险的风险管理政策。

1、信用风险

信用风险是指交易对手未能履行合同义务而导致本公司发生财务损失的风险。本公司主要面临赊销导致的客户信用风险。在签订新合同之前，本公司会对新客户的信用风险进行评估，包括外部信用评级和在某些情况下的银行资信证明（当此信息可获取时）。公司对每一客户均设置了赊销限额，该限额为无需获得额外批准的最大额度。

公司通过对已有客户信用评级的季度监控以及应收账款账龄分析的月度审核来确保公司的整

体信用风险在可控的范围内。在监控客户的信用风险时，按照客户的信用特征对其分组。被评为“高风险”级别的客户会放在受限制客户名单里，并且只有在额外批准的前提下，公司才可在未来期间内对其赊销，否则必须要求其提前支付相应款项。

2、流动性风险

流动性风险是指企业在履行以交付现金或其他金融资产的方式结算的义务时发生资金短缺的风险。

本公司的政策是确保拥有充足的现金以偿还到期债务。流动性风险由本公司的财务部门集中控制。财务部门通过监控现金余额、可随时变现的有价证券以及对未来12个月现金流量的滚动预测，确保公司在所有合理预测的情况下拥有充足的资金偿还债务。

本公司各项金融负债以未折现的合同现金流量按到期日列示如下：

单位：元币种：人民币期末余额

项目即时1年以内1-2年2-55未折现合同金额合年年以上账面价值偿还计

短期借款385403769.44385403769.44379163250.00

应付账款1492882910.30100676645.651593559555.951593559555.95

应付职工薪酬138034204.69138034204.69138034204.69

其他应付款400791974.3816930000.90417721975.28417721975.28

一年内到期的474676976.16474676976.16449118124.02非流动负债

长期借款744037070.03163984524.6190692849.84998714444.48966634796.73

租赁负债22353184.3612039258.4434392442.8033728475.58

长期应付职工8457386.478457386.478457386.47薪酬

合计3635826905.00303944355.52111189494.754050960755.273986417768.72

续：

项目上年年末余额

163/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

即时1未折现合同金额合年以内1-2年2-5年5年以上账面价值偿还计

短期借款238465955.13238465955.13236043111.11

应付账款1410865219.7277449067.351488314287.071488314287.07

应付职工薪酬147756908.81147756908.81147756908.81

其他应付款145808930.089231398.92155040329.00155040329.00

一年内到期的258972266.42258972266.42234657612.47非流动负债

长期借款258529471.85513687867.1214223417.12786440756.09758194676.18

租赁负债9949616.6812527240.0622476856.7421617189.58

长期应付职工7951661.767951661.767951661.76薪酬

合计2201869280.16355159554.80534166768.9414223417.123105419021.023049575775.98

3、市场风险

金融工具的市场风险是指金融工具的公允价值或未来现金流量因市场价格变动而发生波动的风险，包括汇率风险、利率风险和其他价格风险。

（1）利率风险利率风险是指金融工具的公允价值或未来现金流量因市场利率变动而发生波动的风险。本公司面临的利率风险主要来源于银行借款。本公司没有以浮动利率计算的银行借款，故如果以浮动利率计算的借款利率上升或下降，对本公司报告期内的净利润无影响。

（2）汇率风险汇率风险是指金融工具的公允价值或未来现金流量因外汇汇率变动而发生波动的风险。本公司尽可能将外币收入与外币支出相匹配以降低汇率风险。此外，公司还可能签署远期外汇合约或货币互换合约以达到规避汇率风险的目的。

本公司面临的汇率风险主要来源于以外币计价的金融资产和金融负债，外币金融资产和外币金融负债折算成人民币的金额列示如下：

单位：元币种：人民币期末余额项目美元韩元欧元日元合计

货币资金2116976725.6415827013.992132803739.63

应收账款1822711302.581180234.591823891537.17

预付账款39207373.23753536.213903748.9121943917.4265808575.77

其他应收款4417328.021263717.465681045.48

其他流动资产50110200.0050110200.00

应付账款378495612.4915146564.061220380.6450003703.70444866260.89

合同负债514277802.76514277802.76

应付职工薪酬263962.788951272.769215235.54

其他应付款1330437.6215367434.2716697871.89

长期应付职工薪酬8457386.478457386.47

合计4927790745.1266947159.815124129.5571947621.125071809655.60

续：

上年年末余额项目美元韩元欧元日元合计

164/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

上年年末余额项目美元韩元欧元日元合计

货币资金2060349813.3311624020.462071973833.79

应收账款1501765089.19138662.451501903751.64

预付账款38194000.07267807.74169519.934607453.4743238781.21

其他应收款301237.094851985.645153222.73

其他流动资产50318800.0050318800.00

短期借款9876000.009876000.00

应付账款360907333.807010673.6678242.3915763378.32383759628.17

合同负债775444649.08775444649.08

应付职工薪酬261422.5613281289.2913542711.85

其他应付款4117737.211093242.965210980.17

长期应付职工薪酬7951661.767951661.76

合计4791660082.3356095343.96247762.3220370831.794868374020.40

于2025年6月30日，在所有其他变量保持不变的情况下，如果人民币对外币升值或贬值10%，则公司将增加或减少净利润308478054.05元（2024年12月31日：247680275.83元）。

（3）其他价格风险其他价格风险是指金融工具的公允价值或未来现金流量因汇率风险和利率风险以外的市场价

格变动而发生波动的风险。本公司其他价格风险主要产生于各类权益工具投资，存在权益工具价格变动的风险。

于2025年6月30日，在所有其他变量保持不变的情况下，如果权益工具的价值上涨或下跌10%，则本公司将增加或减少净利润28457170.39元、其他综合收益0.00元（2024年12月31日：净利润27146073.90元、其他综合收益0.00元）。

2、套期

(1).公司开展套期业务进行风险管理

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

(2).公司开展符合条件套期业务并应用套期会计

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

(3).公司开展套期业务进行风险管理、预期能实现风险管理目标但未应用套期会计

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

165/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

3、金融资产转移

(1).转移方式分类

□适用√不适用

(2).因转移而终止确认的金融资产

□适用√不适用

(3).继续涉入的转移金融资产

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

十三、公允价值的披露

1、以公允价值计量的资产和负债的期末公允价值

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末公允价值

项目第一层次公允第二层次公允价第三层次公允价合计价值计量值计量值计量

一、持续的公允价值计量

（一）交易性金融资产151146086.14151146086.14

1.以公允价值计量且变动计151146086.14151146086.14

入当期损益的金融资产

（1）债务工具投资

（2）权益工具投资151146086.14151146086.14

（3）衍生金融资产

2.指定以公允价值计量且其

变动计入当期损益的金融资产

（1）债务工具投资

（2）权益工具投资

（二）其他债权投资

（三）其他权益工具投资

（四）投资性房地产

（五）其他非流动金融资产133425617.72133425617.72

1.以公允价值计量且其变动133425617.72133425617.72

计入当期损益的金融资产

（1）债务工具投资

（2）权益工具投资133425617.72133425617.72

（3）衍生金融资产

（4）其他

2.指定为以公允价值计量且

其变动计入当期损益的金融资产

（1）债务工具投资

（2）其他

166/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

持续以公允价值计量的资产151146086.14133425617.72284571703.86总额

（六）交易性金融负债

1.以公允价值计量且变动计

入当期损益的金融负债

其中：发行的交易性债券衍生金融负债其他

2.指定为以公允价值计量且

变动计入当期损益的金融负债持续以公允价值计量的负债总额

二、非持续的公允价值计量

（一）持有待售资产非持续以公允价值计量的资产总额非持续以公允价值计量的负债总额

2、持续和非持续第一层次公允价值计量项目市价的确定依据

√适用□不适用对上市公司股票投资的期末公允价值按资产负债表日公开交易市场的收盘价确定。

3、持续和非持续第二层次公允价值计量项目，采用的估值技术和重要参数的定性及定量信息

□适用√不适用

4、持续和非持续第三层次公允价值计量项目，采用的估值技术和重要参数的定性及定量信息

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末公允价值估值技术输入值

非上市股权投资82500000.00市场法最近融资价格

非上市股权投资8580000.00公允价值评估经评估的公允价值

产业基金42345617.72公允价值评估基金资本账户价值

合计133425617.72

5、持续的第三层次公允价值计量项目，期初与期末账面价值间的调节信息及不可观察参数敏感

性分析

□适用√不适用

6、持续的公允价值计量项目，本期内发生各层级之间转换的，转换的原因及确定转换时点的政

策

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

167/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

第一层次第二层次第三层次项目转入转出转入转出转入转出

上市公司股票34912087.6534912087.65

本期引起上市公司股票由第二层次转入第一层次的原因是：限售期股票解除限售。

7、本期内发生的估值技术变更及变更原因

□适用√不适用

8、不以公允价值计量的金融资产和金融负债的公允价值情况

□适用√不适用

9、其他

□适用√不适用

十四、关联方及关联交易

1、本企业的母公司情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币母公司对本企母公司对本企业母公司名称注册地业务性质注册资本业的持股比例

(%)的表决权比例(%)

美国 ACMR 美国 制造业 15530.78美元 81.06 81.06本企业的母公司情况的说明

ACM RESEARCH INC.系美国纳斯达克上市公司。

本企业最终控制方是HUI WANG（王晖）

其他说明：

无

2、本企业的子公司情况

本企业子公司的情况详见附注

√适用□不适用

本公司子公司的情况详见第八节财务报告“十、在其他主体中的权益”。

3、本企业合营和联营企业情况

本企业重要的合营或联营企业详见附注

√适用□不适用

本公司重要的合营或联营企业详见第八节财务报告“十、在其他主体中的权益”。

本期与本公司发生关联方交易，或前期与本公司发生关联方交易形成余额的其他合营或联营企业情况如下

□适用√不适用

4、其他关联方情况

√适用□不适用

168/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

其他关联方名称其他关联方与本企业关系NINEBELL CO. LTD 本公司董事长 HUI WANG及董事王坚担任该公司董事，（以下简称NINEBELL 本公司直接持有该公司 20%的股份，本公司控股股东美国“ ”） ACMR直接持有该公司 20%的股份合晶科技股份有限公司（以下简称 本公司原董事 STEPHEN SUN-HAI CHIAO 之兄弟焦平海“合晶科技”）担任该公司董事长上海合晶硅材料股份有限公司（以下 本公司原董事 STEPHEN SUN-HAI CHIAO 之兄弟焦平海简称“上海合晶”）担任该公司董事，本公司持有该公司0.29%的股份上海晶盟硅材料有限公司（以下简称 本公司原董事 STEPHEN SUN-HAI CHIAO 之兄弟焦平海“上海晶盟”）担任该公司董事上海积塔半导体有限公司（以下简称本公司原董事李江曾担任该公司董事，从2024年2月3“积塔半导体”）日起不再认定为本公司关联方

HUI WANG 董事长、法人及实际控制人

王坚董事、总经理陈福平副总经理

SOTHEARA CHEAV 原副总经理

LISA YI LU FENG 财务负责人罗明珠董事会秘书其他说明无

5、关联交易情况

(1).购销商品、提供和接受劳务的关联交易

采购商品/接受劳务情况表

√适用□不适用

单位：元币种：人民币获批的交易是否超过交关联交易内关联方本期发生额额度（如适易额度（如适上期发生额容用）用）

美国 ACMR 服务费 10134879.56 2100万元 否 8605427.27

NINEBELL 采购原材料 194165339.29 55000万元 否 198052060.30

盛奕半导体采购原材料43067251.0923752025.80

10000万元否

盛奕半导体服务费13658339.301612293.60

出售商品/提供劳务情况表

√适用□不适用

单位：元币种：人民币关联方关联交易内容本期发生额上期发生额

美国 ACMR 销售设备 19119344.02

美国 ACMR 销售服务及配件 2985802.91

合晶科技销售服务及配件37988.4424869.60

上海合晶销售服务及配件8954.00

上海晶盟销售服务及配件34065.3778665.99

积塔半导体销售服务及配件85213.00

购销商品、提供和接受劳务的关联交易说明

□适用√不适用

169/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(2).关联受托管理/承包及委托管理/出包情况

本公司受托管理/承包情况表：

□适用√不适用

关联托管/承包情况说明

□适用√不适用

本公司委托管理/出包情况表：

□适用√不适用

关联管理/出包情况说明

□适用√不适用

(3).关联租赁情况

本公司作为出租方：

□适用√不适用

本公司作为承租方：

□适用√不适用关联租赁情况说明

□适用√不适用

(4).关联担保情况本公司作为担保方

□适用√不适用本公司作为被担保方

□适用√不适用关联担保情况说明

□适用√不适用

(5).关联方资金拆借

□适用√不适用

(6).关联方资产转让、债务重组情况

□适用√不适用

(7).关键管理人员报酬

√适用□不适用

单位：万元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

关键管理人员报酬1303.841189.25

(8).其他关联交易

√适用□不适用

（1）租赁转租

170/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

2023年 3月 31日，本公司之子公司盛美加州与美国 ACMR签订转租协议，约定美国 ACMR

将其向 D&J Construction.INC.承租的位于 42307 Osgood Road，Room B，Suite I，Fremont，CA94539的办公场所租赁面积的50%转租给盛美加州，转租期限为2023年4月1日至2025年3月31日，月租金为1785.00美元。

2025年 3月 31日，本公司之子公司盛美加州与美国 ACMR签订转租协议，约定美国 ACMR

将其向 D&J Construction.INC.承租的位于 42307 Osgood Road，Room B，Suite I，Fremont，CA94539的办公场所租赁面积的50%转租给盛美加州，转租期限为2025年4月1日至2027年3月31日，月租金为1860.00美元。

（2）对关联方的股权投资

2021年11月，本公司与上海合晶签署《增资扩股协议》，向其投资人民币9999976.95元。

2024年1月，本公司出资人民币9999993.96元参与上海合晶科创板上市战略配售。截至2025年6月30日，本公司持有上海合晶的股份数为1923531股，持股比例为0.29%。

6、应收、应付关联方等未结算项目情况

(1).应收项目

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目名称关联方账面余额坏账准备账面余额坏账准备应收账款

美国ACMR 930011.78 9300.12

NINEBELL 254685.01 25468.50

合晶科技1755782.66343989.991806085.50173330.30

上海晶盟26525.20265.25预付账款

NINEBELL 1748702.81 7363293.77

盛奕科技3130983.87

(2).应付项目

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目名称关联方期末账面余额期初账面余额应付账款

美国ACMR 10121157.98 12851090.85

NINEBELL 97549812.33 77862483.70

盛奕科技51407233.0339299834.81合同负债

美国ACMR 31290640.06 47236303.63

合晶科技5096923.20

上海合晶5096923.20其他应付款

NINEBELL 113315.49 250.00

盛奕科技31300.00

HUI WANG 371400.00 995523.49

王坚286200.00532332.00

陈福平683561.06

SOTHEARA CHEAV 878468.43

LISA YI LU FENG 271339.01

171/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

罗明珠546831.87

(3).其他项目

□适用√不适用

7、关联方承诺

□适用√不适用

8、其他

□适用√不适用

十五、股份支付

1、各项权益工具

(1).明细情况

√适用□不适用

数量单位：股金额单位：元币种：人民币授予对象本期授予本期行权本期解锁本期失效类别数量金额数量金额数量金额数量金额

2023年

限制性股2550435.00143413836.05490625.0026115856.72票激励计划

合计2550435.00143413836.05490625.0026115856.72

(2).期末发行在外的股票期权或其他权益工具

√适用□不适用期末发行在外的股票期权期末发行在外的其他权益工具授予对象类别行权价格的范围合同剩余期限行权价格的范围合同剩余期限

2023年限制性股票49.15元/股1.19年

激励计划其他说明无

2、以权益结算的股份支付情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币以权益结算的股份支付对象2023年限制性股票激励计划

授予日权益工具公允价值的确定方法 Black-Scholes模型授予日权益工具公允价值的重要参数首次授予：1、标的股价：105.27元/股（公司授予日收盘价为2023年8月3日收盘价）；2、

有效期分别为：12个月、24个月、36个月、48个月（第二类限制性股票授予之日至每期归属日的期限）；3、历史波动率：12.96%、14.93%、14.87%、16.25%（采用上证指数——指数代码：000001.SH 最近 12 个月、24 个月、36 个月、

48个月的波动率）；4、无风险利率：1.50%、

172/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告2.10%、2.75%、2.75%（分别采用中国人民银行制定的金融机构1年期、2年期、3年期及以上存款基准利率）；5、股息率：0%。预留授予：1、标的股价：80.20元/股（为公司股票

2024年6月25日收盘价）；2、有效期分别为：

12个月、24个月、36个月、48个月（第二类限制性股票授予之日至每期归属日的期限）；

3、历史波动率：13.23%、13.15%、14.46%、15.26%（采用上证指数——指数代码：000001.SH 最近 12 个月、24 个月、36 个月、

48个月的波动率）；4、无风险利率：1.50%、2.10%、2.75%、2.75%（分别采用中国人民银行制定的金融机构1年期、2年期、3年期及以上存款基准利率）；5、股息率：0%。

可行权权益工具数量的确定依据根据最新的可行权职工人数变动、考核结果等

后续信息作出最佳估计，修正预计可行权的权益工具数量本期估计与上期估计有重大差异的原因无

以权益结算的股份支付计入资本公积的累计金额463185925.20其他说明

2023年限制性股票激励计划：

2023年6月28日，公司召开2022年度股东大会审议通过了《关于公司<2023年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》等相关议案。股东大会批准公司实施本激励计划，授权董事会确定限制性股票授予日，并在激励对象符合条件时向激励对象授予限制性股票并办理授予限制性股票所必需的全部事宜。2023年8月3日，公司召开第二届董事会第五次会议及第二届监事会

第五次会议，审议通过了《关于调整2023年限制性股票激励计划相关事项的议案》、《关于向

2023年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票的议案》等相关议案。同意以2023年8月3日为首次授予日，以49.78元/股的授予价格向508名激励对象授予1064.85万股限制性股票。

本激励计划首次授予的限制性股票的归属安排具体如下：

归属权益数量占授予权归属安排归属期间益总量的比例

第一个归属期自授予之日起12个月后的首个交易日至授予之日起24个月内的最后一个交易日止25%

第二个归属期自授予之日起24个月后的首个交易日至授予之日起36个月内的最后一个交易日止25%

第三个归属期自授予之日起36个月后的首个交易日至授予之日起48个月内的最后一个交易日止25%

第四个归属期自授予之日起48个月后的首个交易日至授予之日起60个月内的最后一个交易日止25%

公司于2024年6月25日召开第二届董事会第十一次会议和第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象授予预留部分限制性股票的议案》，同意以2024年6月25日为预留授予日，以49.78元/股的授予价格向193名激励对象授予139.10万股限制性股票，剩余未授予的限制性股票127.05万股作废失效，未来不再授予。

本激励计划预留授予的限制性股票的归属安排具体如下：

归属权益数量占授予权归属安排归属期间益总量的比例自预留授予部分限制性股票授予之日起12个月后的首个交易日至预留授予部分限

第一个归属期25%制性股票授予之日起24个月内的最后一个交易日止

173/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

归属权益数量占授予权归属安排归属期间益总量的比例自预留授予部分限制性股票授予之日起24个月后的首个交易日至预留授予部分限

第二个归属期3625%制性股票授予之日起个月内的最后一个交易日止自预留授予部分限制性股票授予之日起36个月后的首个交易日至预留授予部分限

第三个归属期

制性股票授予之日起4825%个月内的最后一个交易日止自预留授予部分限制性股票授予之日起48个月后的首个交易日至预留授予部分限

第四个归属期25%制性股票授予之日起60个月内的最后一个交易日止

3、以现金结算的股份支付情况

□适用√不适用

4、本期股份支付费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币授予对象类别以权益结算的股份支付费用以现金结算的股份支付费用

2023年限制性股票激励计划75846718.44

合计75846718.44其他说明无

5、股份支付的修改、终止情况

□适用√不适用

6、其他

√适用□不适用2016年 12月 28日，本公司控股股东美国 ACMR通过了 2016年综合激励计划（以下简称“2016年计划”），其中，在该计划下美国 ACMR向本公司员工授予股票期权，该 2016 年计划将于2026年12月27日终止。本公司在该计划下，2024年度确认股份支付费用折合人民币

35350178.73元，其中，母公司确认金额为人民币31198613.18元，子公司盛美韩国确认金额为

人民币4151565.55元。2025年1至6月确认股份支付费用折合人民币14950423.26元，其中，母公司确认金额为人民币13504010.02元，子公司盛美韩国确认金额为人民币1446413.24元。

十六、承诺及或有事项

1、重要承诺事项

√适用□不适用

资产负债表日存在的对外重要承诺、性质、金额

（1）资本性支出承诺

2019年11月，本公司之子公司盛帷上海与上海临港产业区经济发展有限公司、中国（上海）

自由贸易试验区临港新片区管理委员会签订《项目投资协议》。协议约定，由盛帷上海竞买位于临港产业区的目标地块，土地面积预计为42786平方米，约折合64亩，该土地用于建设经营“盛美半导体设备研发与制造中心”项目（以下简称“项目”）。协议规定，本公司需对项目总投资人民币88245万元，其中固定资产投资总额人民币45000万元，投资强度人民币701万元/亩。

截至2025年6月30日，盛帷上海累计已投入土地使用权金额为人民币63715815.00元，累计已投入在建工程金额为人民币1016882222.23元。

174/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

2、或有事项

(1).资产负债表日存在的重要或有事项

□适用√不适用

(2).公司没有需要披露的重要或有事项，也应予以说明：

□适用√不适用

3、其他

□适用√不适用

十七、资产负债表日后事项

1、重要的非调整事项

□适用√不适用

2、利润分配情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币拟分配的利润或股利

经审议批准宣告发放的利润或股利288252734.66

3、销售退回

□适用√不适用

4、其他资产负债表日后事项说明

□适用√不适用

十八、其他重要事项

1、前期会计差错更正

(1).追溯重述法

□适用√不适用

(2).未来适用法

□适用√不适用

2、重要债务重组

□适用√不适用

3、资产置换

(1).非货币性资产交换

□适用√不适用

(2).其他资产置换

□适用√不适用

175/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

4、年金计划

□适用√不适用

5、终止经营

□适用√不适用

6、分部信息

(1).报告分部的确定依据与会计政策

□适用√不适用

(2).报告分部的财务信息

□适用√不适用

(3).公司无报告分部的，或者不能披露各报告分部的资产总额和负债总额的，应说明原因

□适用√不适用

(4).其他说明

□适用√不适用

7、其他对投资者决策有影响的重要交易和事项

□适用√不适用

8、其他

√适用□不适用

2019年11月，本公司之子公司盛帷上海与上海临港产业区经济发展有限公司、中国（上海）

自由贸易试验区临港新片区管理委员会签订《项目投资协议》。协议约定，由盛帷上海竞买位于临港产业区的目标地块，土地面积预计为42786平方米，约折合64亩，该土地用于建设经营“盛美半导体设备研发与制造中心”项目。盛帷上海已取得上述目标地块的不动产权证书，使用期限为2020年7月9日起至2070年7月8日止，该项目投资建设正常开展。

十九、母公司财务报表主要项目注释

1、应收账款

(1).按账龄披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币账龄期末账面余额期初账面余额

1年以内（含1年）3273172214.252651440896.64其中：6个月内（含6个2441386738.581887220655.36月）

7-12个月（含12个月）831785475.67764220241.28

1至2年1046786890.61778128333.43

2至3年397105829.34275663372.45

3至4年76125650.9540612192.01

4至5年7531792.7216315993.10

5年以上

合计4800722377.873762160787.63

176/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(2).按坏账计提方法分类披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额账面余额坏账准备账面余额坏账准备计计类别提账面提账面比例比例

金额金额比价值金额价值(%)(%)金额比例例

(%)(%)按单项计提坏账准备

其中：

按组合计提4800722377.87100.00184823566.793.854615898811.083762160787.63100.00147409026.093.923614751761.54坏账准备

其中：

非合并关联2761624232.6257.53184823566.796.692576800665.832143943083.4356.99147409026.096.881996534057.34方信用组合

合并关联方2039098145.2542.472039098145.251618217704.2043.011618217704.20信用组合

合计4800722377.87/184823566.79/4615898811.083762160787.63/147409026.09/3614751761.54

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

√适用□不适用

组合计提项目：非合并关联方信用组合

单位：元币种：人民币期末余额名称

账面余额坏账准备计提比例（%）

6个月内（含6个月）1117518752.5811175187.661.00

7-12个月（含12个月）679203767.9433960188.415.00

1至2年（含2年）570056104.4957005610.5010.00

2至3年（含3年）324503872.2364900774.4520.00

3至4年（含4年）66414297.7616603574.4825.00

4至5年（含5年）3927437.621178231.2930.00

5年以上

合计2761624232.62184823566.79

按组合计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

组合计提项目：合并关联方信用组合

单位：元币种：人民币期末余额名称

账面余额坏账准备计提比例（%）

合并关联方信用组2039098145.25合

合计2039098145.25

按组合计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

177/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用各阶段划分依据和坏账准备计提比例无

对本期发生损失准备变动的应收账款账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

(3).坏账准备的情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期变动金额其转销类别期初余额他期末余额计提收回或转回或核变销动

非合并关联147409026.0968486830.8831072290.18184823566.79方信用组合合并关联方信用组合

合计147409026.0968486830.8831072290.18184823566.79

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用其他说明无

(4).本期实际核销的应收账款情况

□适用√不适用其中重要的应收账款核销情况

□适用√不适用

应收账款核销说明：

□适用√不适用

(5).按欠款方归集的期末余额前五名的应收账款和合同资产情况

√适用□不适用

按欠款方归集的期末余额前五名应收账款和合同资产汇总金额为4406130557.12元，占应收账款和合同资产期末余额合计数的比例为90.12%，相应计提的坏账准备期末余额汇总金额为

153262436.24元。

其他说明无

其他说明：

□适用√不适用

178/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

2、其他应收款

项目列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

应收利息2706048.892650827.48应收股利

其他应收款993727433.37826853303.81

合计996433482.26829504131.29

其他说明：

□适用√不适用应收利息

(1).应收利息分类

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

应收活期存款利息22367.56870512.39

应收定期存款利息2683681.331780315.09

合计2706048.892650827.48

(2).重要逾期利息

□适用√不适用

(3).按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用

(4).坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

179/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

(5).本期实际核销的应收利息情况

□适用√不适用其中重要的应收利息核销情况

□适用√不适用

核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用应收股利

(1).应收股利

□适用√不适用

(2).重要的账龄超过1年的应收股利

□适用√不适用

(3).按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用

(4).坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(5).本期实际核销的应收股利情况

□适用√不适用其中重要的应收股利核销情况

□适用√不适用

180/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用其他应收款

(1).按账龄披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币账龄期末账面余额期初账面余额

1年以内（含1年）194829169.48742674814.21

其中：1年以内194829169.48742674814.21

1至2年715382212.3183671856.85

2至3年83114334.73662513.00

3至4年662513.0053166.50

4至5年53166.5073100.00

5年以上113953.6040853.60

合计994155349.62827176304.16

(2).按款项性质分类情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币款项性质期末账面余额期初账面余额

关联方款项970362231.83804633536.83

押金及保证金2373327.334082972.91

预付社保公积金及个税11127135.5712554265.64

员工备用金238429.09195807.84

其他10054225.805709720.94

合计994155349.62827176304.16

(3).坏账准备计提情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

第一阶段第二阶段第三阶段整个存续期预期信整个存续期预期信坏账准备未来12个月预合计

用损失(未发生信用损失(已发生信期信用损失

用减值)用减值)

2025年1月1日余323000.35323000.35

额

2025年1月1日余

额在本期

--转入第二阶段

--转入第三阶段

--转回第二阶段

--转回第一阶段

本期计提427916.25427916.25

181/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

本期转回323000.35323000.35本期转销本期核销其他变动

2025年6月30日余427916.25427916.25

额各阶段划分依据和坏账准备计提比例无

对本期发生损失准备变动的其他应收款账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

本期坏账准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据：

□适用√不适用

(4).坏账准备的情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期变动金额类别期初余额收回或转期末余额计提转销或核销其他变动回

信用风险组323000.35427916.25323000.35427916.25合

合计323000.35427916.25323000.35427916.25

其中本期坏账准备转回或收回金额重要的：

□适用√不适用其他说明无

(5).本期实际核销的其他应收款情况

□适用√不适用

其中重要的其他应收款核销情况：

□适用√不适用

其他应收款核销说明：

□适用√不适用

(6).按欠款方归集的期末余额前五名的其他应收款情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币占其他应收款款项的性坏账准备单位名称期末余额期末余额合计账龄

(%)质期末余额数的比例

1年以内：

盛帷上海939821943.6894.53关联方款159556790.25

项1至2年：

182/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

709430724.81

2至3年：

70834428.62

1至2年：

盛美韩国12570315.481.26关联方款3221370.002

项至3年：

9348945.48

预付社保其他应收款

110136718.431.02公积金1年以内

及个税

盛美北京7320309.200.74关联方款1年以内项

1年以内：

御盛微半导7016707.500.71关联方款4300000.001

体项至2年：

2716707.50

合计976865994.2998.26//

(7).因资金集中管理而列报于其他应收款

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

183/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

3、长期股权投资

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目账面余额减值准备账面价值账面余额减值准备账面价值

对子公司投资783989381.16783989381.16782549770.47782549770.47

对联营、合营企业投资203813265.48203813265.4871737500.3371737500.33

合计987802646.64987802646.64854287270.80854287270.80

(1).对子公司投资

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期初余额（账减值准备期初本期增减变动期末余额（账减值准备期末被投资单位面价值）余额追加投资减少投资计提减值准备其他面价值）余额

盛美无锡14437044.602427565.1316864609.73

盛帷上海709231758.411954854.67711186613.08

香港清芯（*1）34872257.94-3674468.2631197789.68

盛美北京7008709.52731659.157740368.67

御盛微半导体10000000.0010000000.00

盛美成都7000000.007000000.00

合计782549770.471439610.69783989381.16

*1 根据《企业会计准则第 2号——长期股权投资》的规定，本公司以合并日按照所取得的香港清芯在美国 ACMR合并报表中的净资产的账面价值的份额作为长期股权投资的初始投资成本，由于香港清芯在合并日净资产账面价值为负数，本公司对香港清芯的初始投资成本按零确定，同时冲减资本公积人民币24541650.00元。

*2其他为向子公司员工授予股权激励的股份支付费用。

(2).对联营、合营企业投资

√适用□不适用

184/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

单位：元币种：人民币本期增减变动减值期初其他宣告发减值准投资准备权益法下确其他期末余额（账余额（账面价减少综合放现金计提减备期末单位期初追加投资认的投资损权益其他面价值）

值）投资收益股利或值准备余额余额益变动调整利润

一、合营企业

二、联营企业

合肥石溪34496286.06-40839.9234455446.14

盛奕半导27241214.276999431.4434240645.71体

苏州芯仪10000000.00-362706.499637293.51

NINEBELL 120313688.48 5166191.64 125479880.12

小计71737500.33120313688.4811762076.67203813265.48

合计71737500.33120313688.4811762076.67203813265.48

(3).长期股权投资的减值测试情况

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

185/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

4、营业收入和营业成本

(1).营业收入和营业成本情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期发生额上期发生额项目收入成本收入成本

主营业务2921954912.121502812604.162139719739.611241647106.24

其他业务338288735.97215206495.51282749472.05218089138.03

合计3260243648.091718019099.672422469211.661459736244.27

(2).营业收入、营业成本的分解信息

√适用□不适用

单位：元币种：人民币合计合同分类营业收入营业成本商品类型

销售商品3251168335.051716627908.86

提供服务9075313.041391190.81

合计3260243648.091718019099.67按终端客户所在地区分类

中国大陆3238286577.381710598799.71

中国大陆外21957070.717420299.96

合计3260243648.091718019099.67按商品转让的时间分类

在某一时点确认3259042710.591717946516.81

在某一时段内确认1200937.5072582.86

合计3260243648.091718019099.67其他说明

□适用√不适用

(3).履约义务的说明

□适用√不适用

(4).分摊至剩余履约义务的说明

□适用√不适用

(5).重大合同变更或重大交易价格调整

□适用√不适用

其他说明：

无

5、投资收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

186/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

权益法核算的长期股权投资收益11762076.673237435.32

交易性金融资产在持有期间的投资收益391913.73

处置交易性金融资产取得的投资收益1938048.49

定期存款/大额存单利息收益3213930.738292518.71

合计15367921.1313468002.52

其他说明：

无

6、其他

□适用√不适用

二十、补充资料

1、当期非经常性损益明细表

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目金额说明

非流动性资产处置损益，包括已计提资产减值准-508145.58备的冲销部分

计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、按照确定的标9366769.79

准享有、对公司损益产生持续影响的政府补助除外除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外，非金融企业持有金融资产和金融负债产生13502878.56的公允价值变动损益以及处置金融资产和金融负债产生的损益计入当期损益的对非金融企业收取的资金占用费委托他人投资或管理资产的损益对外委托贷款取得的损益

因不可抗力因素，如遭受自然灾害而产生的各项资产损失单独进行减值测试的应收款项减值准备转回

企业取得子公司、联营企业及合营企业的投资成本小于取得投资时应享有被投资单位可辨认净资产公允价值产生的收益同一控制下企业合并产生的子公司期初至合并日的当期净损益非货币性资产交换损益债务重组损益企业因相关经营活动不再持续而发生的一次性费用，如安置职工的支出等因税收、会计等法律、法规的调整对当期损益产生的一次性影响

因取消、修改股权激励计划一次性确认的股份支付费用

对于现金结算的股份支付，在可行权日之后，应

187/188盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度报告

付职工薪酬的公允价值变动产生的损益采用公允价值模式进行后续计量的投资性房地产公允价值变动产生的损益交易价格显失公允的交易产生的收益与公司正常经营业务无关的或有事项产生的损益受托经营取得的托管费收入

除上述各项之外的其他营业外收入和支出1952003.08

其他符合非经常性损益定义的损益项目1541471.44代扣个人所得税手续费返还

减：所得税影响额4362030.12

少数股东权益影响额（税后）-5.63

合计21492952.80

对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

2、净资产收益率及每股收益

√适用□不适用加权平均净资产每股收益报告期利润

收益率（%）基本每股收益稀释每股收益

归属于公司普通股股东的净8.621.581.57利润

扣除非经常性损益后归属于8.351.531.52公司普通股股东的净利润

3、境内外会计准则下会计数据差异

□适用√不适用

4、其他

□适用√不适用

董事长：HUI WANG

董事会批准报送日期：2025年8月5日修订信息

□适用√不适用