国泰海通证券股份有限公司关于

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

2025年度日常关联交易执行情况及

2026年度日常关联交易预计的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”、“公司”或“发行人”）首次公开发行股票并在科创板上市以及2024年度向特定对象发行股票的

持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对公司2025年度日常关联交易执行情况及2026年度日常关联交易预计的事项进行了核查，具体情况如下：

一、日常关联交易基本情况

（一）日常关联交易履行的审议程序

1、董事会审议情况和关联董事回避情况

公司于2025年12月11日召开第三届董事会第二次会议，以5票同意、0票反对、0票弃权的表决结果通过了《关于2025年度日常关联交易执行情况及2026年度日常关联交易预计的议案》。董事会上，关联董事HUI WANG、王坚对该议案回避表决，其余非关联董事对该议案一致同意。

2、独立董事专门会议的审查意见

公司于2025年12月11日召开第三届董事会独立董事专门会议第一次会议，审议通过了上述议案，并形成以下意见：公司2025年已发生的日常关联交易事项公平、合理，遵循了平等、自愿、等价、有偿的原则，不存在损害公司和其他非关联方股东利益的情形。公司2026年度预计发生的日常关联交易事项为公司开展正常经营管理所需，是基于公司业务发展及生产经营的需要，具有合理性与必要性。

关联交易事项符合公司发展需要，不会对公司的独立性造成影响，公司亦不会因1此对关联方形成依赖，符合中国证监会、上海证券交易所和公司《关联交易管理办法》的规定，不存在损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情形。我们一致同意该议案并同意将其提交董事会审议关联董事应在审议上述议案时回避表决。

3、本议案尚需提交股东会审议，关联股东在股东会上对本议案需回避表决。

（二）公司2025年度日常关联交易的预计和执行情况

单位：万元截至2025年10

2025年度预调整后预计金额与

关联交月31日实际发关联人计发生金额实际发生金额差异易类别生金额（调整后）较大的原因（未经审计）

合晶科技股份有限公司1400.003.80主要由于第四季度

上海合晶硅材料股份有交易仍在进行中，向关联2600.0024.28限公司及其子公司且预计金额是基于人销售可能发生的交易上

产品、

限所作估算，实际商品和 ACM RESEARCH INC. 12000.00 3225.36发生额将根据经营服务进展按需确定

小计16000.003253.44-

Ninebell Co. Ltd. 55000.00 35234.31 主要由于第四季度

交易仍在进行中，接受关且预计金额是基于

联人提盛奕半导体科技（无锡）可能发生的交易上15000.0010603.39

供的产有限公司限所作估算，实际品和服发生额将根据经营务进展按需确定

ACM RESEARCH INC. 2600.00 1535.18 -

小计72600.0047372.88-

注：1、以上为不含税金额，表格中部分合计数与各明细数相加之和在尾数上如有差异，系四舍五入所致；

2、公司将于2025年年度报告中同步披露公司2025年度全年日常关联交易执行情况。

（三）公司2026年度日常关联交易的预计金额和类别

单位：万元本次预计占同类截至2025占同类本次预计关联交关联人2026年度业务比年10月业务比2026年度易类别金额例31日实际例金额与上

2发生金额年实际发

（未经审生金额差计）异较大的原因受客户机合晶科技股份有限

2876.000.33%3.800.00%台采购计

公司向关联划影响人销售上海合晶硅材料股

产品、份有限公司及其子50.000.01%24.280.00%-商品和公司

服务 ACM RESEARCH 13200.00 1.49% 3225.36 0.62% 业务增长

INC.小计16126.001.82%3253.440.62%-

Ninebell Co. Ltd. 77000.00 14.22% 35234.31 9.90%盛奕半导体科技业务增长

接受关20000.003.69%10603.393.00%（无锡）有限公司联人提

ACM RESEARCH

供的产2600.000.48%1535.180.40%-

INC.品和服苏州芯仪半导体科

务500.000.09%0.000.00%-技有限公司

小计100100.0018.49%47372.8813.30%-

注：1、以上为不含税金额，表格中部分合计数与各明细数相加之和在尾数上如有差异，系四舍五入所致；

2、2026年度占同类业务比例计算基数为2026年度同类业务预计发生额，截至2025年10月31日占同类业务比例计算基数为截至2025年10月31日同类业务的实际发生额。

3、公司原董事STEPHEN SUN-HAI CHIAO于2025年3月11日离任，故2026年3月11日起

合晶科技股份有限公司、上海合晶硅材料股份有限公司及其子公司将不再被认定为公司的关联人，表格中本次预计2026年度金额为预计截至2026年3月11日发生的日常关联交易金额。

二、关联人基本情况和关联关系

（一）合晶科技股份有限公司企业名称合晶科技股份有限公司企业类型上市公司成立时间1997年7月负责人焦平海

资本额新台币5737967300元（最后更新日期2025年7月1日）住所及主要办中国台湾桃园市龙潭科学园区龙园一路100号公地点

3主要产品半导体级抛光硅晶圆、半导体级磊晶圆

2024年度主要总资产净资产营业收入净利润

财务数据

（单位：新台34504925256931818721123293845币千元）

公司原董事 STEPHEN SUN-HAI CHIAO（2025 年 3 月离任）之兄弟焦

关联关系平海担任合晶科技股份有限公司董事长，公司将合晶科技股份有限公司认定为公司关联方。

合晶科技股份有限公司依法存续且经营正常，财务状况较好，为专业的半导体硅材料研发设计制造加工公司，具备良好履约能力和支付能力，履约能力前次同类关联交易执行情况良好。公司将就上述交易与相关方签署相关合同或订单并严格按照约定执行，双方履约具有法律保障。

（二）上海合晶硅材料股份有限公司企业名称上海合晶硅材料股份有限公司

企业类型股份有限公司（外商投资、上市）法定代表人毛瑞源

注册资本66545.8353万（元人民币）成立日期1994年12月1日住所及主要办上海市松江区石湖荡镇长塔路558号公地点

生产电子材料，销售自产产品，以及上述同类产品批发、进出口贸易主营业务（拍卖除外、涉及许可经营的凭许可证经营），道路普通货物运输。

【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】截至 2025 年 9 月 30 日，Silicon Technology Investment (Cayman) Corp.主要股东或实持股48.03%，河南京港股权投资基金管理有限公司－河南兴港融创创际控制人业投资发展基金（有限合伙）持股29.86%，中电中金（厦门）智能产业股权投资基金合伙企业（有限合伙）持股1.22%。

2024年度主要总资产净资产营业收入净利润财务数据（单位：人民币万457129.54414111.57110873.6312078.34

元）

公司原董事 STEPHEN SUN-HAI CHIAO（2025 年 3 月离任）之兄弟焦

平海担任上海合晶硅材料股份有限公司董事，公司将上海合晶硅材料股份有限公司认定为公司关联方。

关联关系上海晶盟硅材料有限公司为上海合晶硅材料股份有限公司全资子公司，公司原董事 STEPHEN SUN-HAI CHIAO（2025 年 3 月离任）之兄弟焦平海在过去12个月内曾担任上海晶盟硅材料有限公司董事，公司将上海晶盟硅材料有限公司认定为公司关联方。

4上海合晶硅材料股份有限公司依法存续且经营正常，财务状况较好，为

专业的半导体硅材料研发设计制造加工公司，具备良好履约能力和支履约能力付能力。公司将就上述交易与相关方签署相关合同或订单并严格按照约定执行，双方履约具有法律保障。

（三）ACM RESEARCH INC.

企业名称 ACM RESEARCH INC.企业类型上市公司

董事长 HUI WANG成立日期1998年1月18日

办公地址 42307 Osgood Road Suite #I ROOM A Fremont CA 94539

c/o Corporation Service Company 251 Little Falls Drive County of New注册地址

Castle Wilmington Delaware 19808

2024年度主要总资产净资产营业收入净利润

财务数据

（单位：千美18557211095906782118103627元）

ACM RESEARCH INC.为公司控股股东，截至 2025 年 9 月 30 日持股关联关系

比例 74.54%，公司将 ACM RESEARCH INC.认定为公司关联方。

ACM RESEARCH INC.为公司的控股股东，依法存续且经营正常，财务状况较好，具备良好履约能力，前次同类关联交易执行情况良好。公履约能力

司将就上述交易与相关方签署相关合同或订单并严格按照约定执行，双方履约具有法律保障。

（四）Ninebell Co. Ltd.

企业名称 Ninebell Co. Ltd.注册资本5亿韩元成立日期1997年10月15日

住所及主要办公 韩国京畿道城南市中院区城南中心商务大厦 2 号楼 B-101、122～

地点132、614～616

设计和制造半导体/工业机器人，半导体设备前端模块，深度学习主干主营业务网络；半导体，太阳能和生物行业的自动化和设备。

主要股东或实际 Choi Moon-soo 持有 40%，ACM RESEARCH INC.持有 20%，Choi Dong-控制人 Won 持有 20%，公司持有 20%。

2024年度主要

基于 Ninebell Co. Ltd.为非上市公司，财务数据保密，故不予披露。

财务数据

5公司持有 Ninebell Co. Ltd.20%的股权，同时公司董事长 HUI WANG

关联关系 和公司董事、总经理王坚担任 Ninebell Co. Ltd.董事，公司将 NinebellCo. Ltd.认定为公司关联方。

Ninebell Co. Ltd.依法存续且经营正常，财务状况较好，主要从事半导体专用设备的零部件生产与销售，具备良好履约能力，前次同类关联交履约能力易执行情况良好。公司将就上述交易与相关方签署相关合同或订单并严格按照约定执行，双方履约具有法律保障。

（五）盛奕半导体科技（无锡）有限公司

企业名称盛奕半导体科技（无锡）有限公司企业类型有限责任公司法定代表人王贝易

注册资本548.6554万元人民币成立日期2018年10月29日住所及主要办公

无锡市新吴区菱湖大道 200 号中国物联网国际创新园 F7 号地点

半导体技术开发、技术服务、技术咨询、技术转让；半导体设备的生

产、销售、安装、维修、检测；电子产品、机电设备、机械设备及配

件、仪器仪表、化工原料及产品（危险化学品经营凭许可证）、金属

材料、环保设备、金属制品、橡塑制品、机电设备、五金交电、建筑

建材、化工原料（除危险品）、消防器材、包装材料、家具用品、办

公用品、日用百货、清洁用品的销售；自营和代理各类商品和技术的主营业务

进出口（国家限定公司经营或禁止进出口的商品和技术除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）许可项目：各类工程建设活动（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）一般项目：工程管理服务（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

王贝易持股77.46%，公司持股15.00%，无锡众合奕明咨询管理合伙主要股东或实际企业（有限合伙）持股5.47%，无锡新创星辰一期投资基金（有限合控制人伙）持股1.97%，无锡点石共赢咨询服务合伙企业（有限合伙）持股

0.10%。

2024年度主要基于盛奕半导体科技（无锡）有限公司为非上市公司，财务数据保

财务数据密，故不予披露。

公司持有盛奕半导体科技（无锡）有限公司15.00%的股份，同时公司关联关系高管罗明珠担任其董事，公司将盛奕半导体科技（无锡）有限公司认定为公司关联方。

盛奕半导体科技（无锡）有限公司依法存续且经营正常，财务状况较履约能力好，主要从事半导体专用设备的零部件生产与销售，具备良好履约能

6力，前次同类关联交易执行情况良好。公司将就上述交易与相关方签署

相关合同或订单并严格按照约定执行，双方履约具有法律保障。

（六）苏州芯仪半导体科技有限公司企业名称苏州芯仪半导体科技有限公司

企业类型有限责任公司（自然人投资或控股）法定代表人常延武

注册资本1363.6363万元人民币成立日期2023年2月22日

住所及主要办公中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区金鸡湖大道99号苏州纳米城地点西北区3幢313室

一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子专用设备制造；电子专用设备销售；智能仪器仪表制造；智能仪器仪表销售；智能车载设备制造；智能车载设备销售；智能机器人销售；智能机器人的研发；人工智能应用软件开发；人工智主营业务能基础软件开发；软件销售；软件开发；半导体器件专用设备制造；

实验分析仪器制造；实验分析仪器销售；电子测量仪器制造；光学仪器制造；光学仪器销售；泵及真空设备销售；国内贸易代理；技术推广服务；教学专用仪器销售；技术进出口；货物进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）常延武持股52.80%，公司持股16.67%，苏州红砚半导体科技有限公司持股7.33%，苏州芯仪元盛企业管理咨询合伙企业（有限合伙）持股主要股东或实际

7.33%，嘉兴鑫鸣创业投资合伙企业（有限合伙）持股6.33%，苏州摩

控制人

尔元盛企业管理咨询合伙企业（有限合伙）持股5.87%，李俊强持股

2%，嘉兴鑫先创业投资合伙企业（有限合伙）持股1.67%。

2024年度主要基于苏州芯仪半导体科技有限公司为非上市公司，财务数据保密，故

财务数据不予披露。

公司持有苏州芯仪半导体科技有限公司16.67%的股份，苏州芯仪半导体科技有限公司董事会3名董事中的1名由公司任命，因此公司能对关联关系

其施加重大影响。根据实质重于形式的原则，公司将苏州芯仪半导体科技有限公司认定为公司关联方。

苏州芯仪半导体科技有限公司依法存续且经营正常，财务状况较好，主要从事半导体专用设备的零部件生产与销售，具备良好履约能力。公司履约能力

将就上述交易与相关方签署相关合同或订单并严格按照约定执行，双方履约具有法律保障。

三、日常关联交易主要内容

（一）关联交易主要内容

公司基于业务发展的需要向关联人销售产品、商品和服务，接受关联人提供

7的产品和服务，关联交易的定价遵循平等、自愿、等价、有偿的原则，有关协议

或合同所确定的条款是公允的、合理的，关联交易的价格依据市场定价原则确定。

（二）关联交易协议签署情况

上述关联交易系公司日常经营业务，经公司董事会和股东会审议通过后，公司将与关联方就交易的具体内容，根据业务的开展情况，签署具体的日常关联交易合同或订单。

四、日常关联交易目的和对公司的影响

公司与上述关联方的日常交易属于正常的业务往来活动，在一定程度上支持了公司的生产经营和持续发展，有利于公司正常经营的稳定。公司上述日常关联交易遵循公开、公平、公正的原则，参照市场价格协商定价，不会损害公司和全部股东特别是中小股东的利益，公司与上述关联人之间保持独立，上述关联交易不会对公司的独立性构成影响，公司的主要业务不会因此类交易而对关联方产生依赖。

五、保荐机构核查意见经核查，保荐机构认为，公司2025年度日常关联交易执行情况及2026年度日常关联交易预计的事项已经独立董事专门会议、董事会审议通过，关联董事回避了表决，并将提交股东会审议，决策程序符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《公司章程》及公司关联交易管理制度等相关规定；公司上述日常关联交易遵循公开、

公平、公正的原则，参照市场价格协商定价，不会损害公司和全部股东特别是中小股东的利益。综上，保荐机构对公司2025年度日常关联交易执行情况及2026年度日常关联交易预计的事项无异议，本事项尚需公司股东会审议通过后方可实施。

（以下无正文）8（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年度日常关联交易执行情况及2026年度日常关联交易预计的核查意见》之签字盖章页）

保荐代表人签名：

张博文李凌国泰海通证券股份有限公司年月日

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