盛美半导体设备（上海）股份有限公司 2026年限制性股票激励计划实施考核管理办法 盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）为了进一步建 立、健全公司长效激励机制，吸引和留住优秀人才，充分调动公司员工的积极性，有效地将股东利益、公司利益和员工个人利益结合在一起，使各方共同关注公司的长远发展，在充分保障股东利益的前提下，按照激励与约束对等的原则，公司制定了《2026年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要，拟实施公司 2026年限制性股票激励计划（以下简称“本激励计划”、“激励计划”）。 为保证本激励计划的顺利实施，确保对激励对象的限制性股票授予与生效切合公司的实际管理需要，形成良好均衡的价值分配体系，同时保障限制性股票激励计划的公平性、有效性，现根据《上市公司股权激励管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《科创板上市公司自律监管指南第4号——股权激励信息披露》等相关法律、法规和规范性文件、以及《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2026年限制性股票激励计划（草案）》的规定和公司实际情况，特制定《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2026年限制性股票激励计划实施考核管理办法》（以下简称“本办法”）。 一、考核目的 进一步完善公司激励约束机制，保证公司激励计划的顺利实施，并在最大程度上发挥激励计划的作用。 二、考核原则 考核评价必须坚持公正、公开、公平的原则，严格按照本办法和考核对象的业绩进行评价，以实现激励计划与激励对象工作业绩、贡献紧密结合，从而提高公司整体业绩，实现公司与全体股东利益最大化。 三、考核范围 本办法适用于公司本激励计划所确定的所有激励对象，即董事会薪酬与考核委员会确定并经董事会审议通过的所有激励对象，包括公司董事、高级管理人员、核心技术人员以及董事会认为需要激励的其他人员，不包括公司独立董事，也不包括单独或合计持有公司5%以上股份的股东、公司实际控制人及其配偶、父母、子女。 四、考核机构 （一）董事会薪酬与考核委员会负责领导、组织激励对象的考核工作。 （二）公司人力资源部负责具体实施考核工作。人力资源部对董事会薪酬与考核委员会负责及报告工作。 （三）公司人力资源部、财务部等相关部门负责相关考核数据的收集和提供，并对数据的真实性和可靠性负责。 （四）公司董事会负责本办法的审批及考核结果的审核。 五、考核指标及标准 （一）公司层面业绩考核要求 本激励计划授予的限制性股票考核年度为2026年-2029年四个会计年度，每个会计年度考核一次。根据各考核年度所使用的营业收入增长率累计值（A）、各考核年度的专利申请数（B）进行考核，根据各考核年度业绩指标的完成情况确定公司层面归属比例，各年度业绩考核目标安排如下表所示： 各考核年度所使用的营对应考 归属期 业收入增长 业绩考核目标 归属比例（X）核年度率累计值 （A） A≧对标企业算术平均增长率 X=100% 第一个归 2026 年营业 对标企业算术平均增长率*0.8≦A< 2026 年 X=80% 属期收入增长率对标企业算术平均增长率 A<对标企业算术平均增长率*0.8 0 2026 年、 A≧对标企业算术平均增长率 X=100% 第二个归 2027 年两年 对标企业算术平均增长率*0.8≦A< 2027 年 X=80% 属期营业收入增对标企业算术平均增长率 长率累计值 A<对标企业算术平均增长率*0.8 0 2027 年、 A≧对标企业算术平均增长率 X=100% 第三个归 2028 年两年 对标企业算术平均增长率*0.8≦A< 2028 年 X=80% 属期营业收入增对标企业算术平均增长率 长率累计值 A<对标企业算术平均增长率*0.8 0 2028 年、 A≧对标企业算术平均增长率 X=100% 第四个归 2029 年两年 对标企业算术平均增长率*0.8≦A< 2029 年 X=80% 属期营业收入增对标企业算术平均增长率 长率累计值 A<对标企业算术平均增长率*0.8 0专利申请数（B）对应考 归属期 目标值 触发值 业绩考核目标 归属比例（Y）核年度 （Bm） （Bn）B≧Bm Y=100% 第一个归 2026 年 160 140 Bn≦B

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