国泰海通证券股份有限公司

关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司

使用节余募集资金和剩余超募资金永久补充流动资金的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”或“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市以及2024年度向特定对象发行股票的持续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法

规的相关规定，对盛美上海使用节余募集资金和剩余超募资金永久补充流动资金的事项进行了核查，核查情况及核查意见如下：

一、募集资金基本情况经中国证券监督管理委员会《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号）批准，公司向社会公开发行人民币普通股（A 股）43355753 股，发行价格为 85.00 元/股，募集资金总额为人民币3685239005.00元，扣除发行费用后，募集资金净额为人民币3481258520.34元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2021]第 ZI10561 号《验资报告》。

为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

发行名称2021年首次公开发行股票

募集资金总额368523.90万元

募集资金净额348125.85万元募集资金到账时间2021年11月12日

1二、本次募集资金节余情况及使用安排

截至2026年4月30日，已结项募投项目募集资金的使用及节余情况、使用安排如下：

单位：万元利息及理财调整后拟投募集资金实节余募集资结项时收益扣除手结项名称 入募集资金 际使用金额 金金额（A-间续费净额

金额（A） （B） B+C）

（C）盛美半导体设备研

144500.00137988.271845.008356.73

发与制造中心盛美半导体高端半

2025年45000.0045458.74458.74-

导体设备研发项目

6月

补充流动资金65000.0065000.00--高端半导体设备拓

73087.1574434.751347.60-

展研发项目

节余募集资金合计金额8356.73节余募集资金使用用途及相□补流，8356.73万元应金额

注1：募集资金实际使用金额包含募集资金存放期间产生的银行存款利息扣除银行手续费的净额及购买理财产品收益。

注2：节余募集资金金额主要为已签订合同未支付募集资金，系未达到支付条件的项目建设尾款、设备款及未到期的质保金等款项。

注3：上述表格数据如有尾差，系四舍五入造成。

三、本次超募资金节余情况及使用安排

超募资金金额171141.07万元

前次已使用金额142298.83万元

本次使用用途及金额□补流，28842.24万元公司超募资金总额为171141.07万元，本次拟用于永久补充流动资金的金额为28842.24万元，占超募资金总额的比例为16.85%。公司以往不存在使用超募资金永久补充流动资金的情形，最近12个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过超募资金总额的30%，未违反中国证监会及上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的有关规定。

四、相关说明及承诺事项

2截至本公告披露日，公司前次使用闲置募集资金临时补充流动资金已归还，相关内容详见公司于2026年5月22日披露的《关于归还临时补充流动资金的闲置募集资金的公告》（公告编号：2026-020）。公司本次使用节余募集资金和剩余超募资金永久补充流动资金事项将在经公司股东会审议通过后方可实施。

公司“盛美半导体设备研发与制造中心”项目已结项，但仍存在已签订合同但未达到支付条件的项目建设尾款、设备款及未到期的质保金等款项，鉴于该等尚未支付款项支付周期较长，公司将在本次节余募集资金划转完毕后通过自有资金账户支付。本次使用节余募集资金和剩余超募资金永久补充流动资金后，公司将按照相关要求注销募集资金专户，公司与保荐机构、开户银行签署的募集资金专户监管协议随之终止。

公司本次使用节余募集资金和剩余超募资金永久补充流动资金，将用于与公司主营业务相关的生产经营活动，有助于提高募集资金的使用效率，符合公司长远发展的要求，不会对公司正常生产经营造成重大不利影响，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益尤其是中小股东利益的情形，符合法律、法规、规范性文件的相关规定。

公司承诺：每12个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过

超募资金总额的30%；本次节余募集资金和剩余超募资金永久补充流动资金不会影响募集资金投资项目建设的资金需求；在本次永久性补充流动资金后的12个月内不进行高风险投资以及为控股子公司以外的对象提供财务资助。

五、公司审议程序公司召开了第三届董事会审计委员会2026年第三次会议和第三届董事会第五次会议，审议通过了《关于使用节余募集资金和剩余超募资金永久补充流动资金的议案》，同意公司使用首次公开发行股票节余募集资金8356.73万元，以及首次公开发行股票剩余超募资金28842.24万元（实际金额以资金转出当日专户余额为准）永久补充流动资金，用于日常生产经营活动。本事项尚需提交公司股东会审议。

3六、保荐机构核查意见经核查，保荐机构认为：公司首次公开发行股票超募资金系于《上市公司募集资金监管规则》生效前取得，根据《上市公司募集资金监管规则》及其修订说明，相关超募资金使用仍适用《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》第十条规定。公司本次使用节余募集资金和剩余超募资金永久补充流动资金事项已经公司第三届董事会第五次会议审议通过，尚需提交公司股东会审议，履行了必要的审议程序，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定要求，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益尤其是中小股东利益的情形。保荐机构对公司本次使用节余募集资金和剩余超募资金永久补充流动资金事项无异议。

（以下无正文）4（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司使用节余募集资金和剩余超募资金永久补充流动资金的核查意见》之签章页）

保荐代表人签名：

张博文李凌国泰海通证券股份有限公司年月日

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