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华海清科(688120):Q3业绩同环比双增 平台化新品加速落地

方正证券股份有限公司 11-01 00:00

事件:公司发布2026 年三季报。26Q3 营收15.39 亿元,同比增长23.71%,环比增长6.75%,主要系CMP 设备市占率及销售规模稳步提升,同时减薄、离子注入等新品研发迭代与市场拓展稳步推进,产业化落地成效显现;归母净利润4.39 亿元,同比增长53.46%,环比增长38.93%;扣非归母净利润3.69 亿元,同比增长40.53%,环比增长26.79%;毛利率40.65%,同比基本持平,环比下降2.91 个百分点。

“装备+服务”平台化格局成型,3D IC 全流程解决方案精准卡位前沿需求。华海清科成功构建“装备+服务”的平台化发展格局,产品覆盖CMP装备、减薄/划切等磨划装备、离子注入装备与湿法装备,并延伸至晶圆再生、关键耗材及维保服务。依托全系列核心装备布局优势,公司可提供3D IC 全流程一体化解决方案,精准匹配AI 芯片、HBM、Chiplet 等前沿技术领域的量产刚需,深度贴合下游高端半导体产业的迭代发展趋势。

CMP 国产份额领先,新品布局加速落地。核心产品CMP 设备在国内部分头部集成电路制造企业采购量中占比最高超90%,在国产CMP 设备出货总量中占比超90%。同时,公司持续加码离子注入、磨划、湿法、量测等新品类装备的技术攻关与产业化落地,平台化产品矩阵进一步完善。

中束流离子注入机发布,关键性能优于海外竞品。2026 年10 月,公司发布中束流离子注入机iHQ-900E,其剂量均匀性、角度、Dose Rate、BeamCurrent 及WPH 等关键指标优于国外竞品。该机型具备高精度离子束角度与束形控制能力,可保障晶圆注入剂量精准稳定;整机采用先进三磁铁架构,有效去除金属、颗粒等污染物;产出效率高,与进口POR 设备置换比达1:1。应用端,iHQ-900E 适配多类高端芯片制造场景:面向FinFET 逻辑器件可实现更精准的角度控制;适配DRAM、3D NAND 等存储芯片量产制程,降低单片制造成本;凭借优异的金属污染控制能力满足CIS 严苛制造要求;搭载高温注入工艺模块,覆盖SiC 功率器件掺杂需求。

板级CMP 装备量产应用落地,率先卡位板级先进封装。2026 年9 月,公司自主研发的全自动板级CMP 装备Master-P510APEX 发往先进封装产线投入量产应用,系国内首台进入量产线的全自动板级CMP 装备,主要面向先进封装、玻璃基板等领域需求。Master-P510APEX 采用双抛光头+双研磨盘配置,集成在线清洗模块与全自动上下料系统,配置翻转模块,可实现双面抛光需求,具备优异的全板面均匀性与平坦化控制能力,可满足低缺陷抛光要求,并通过智能终点检测与自动化控制实现多种工艺模式的灵活切换,为先进封装产线提供高一致性、高良率的规模化量产支持。

投资建议:华海清科深化“装备+服务”平台化战略,显著受益3D IC 趋势,深度绑定头部客户,核心产品产业化顺利,在手订单饱满。预计2026-2028 年营收分别为60.15/82.40/108.09 亿元,归母净利润分别为14.41/20.27/27.05 亿元。维持“强烈推荐”评级。

风险提示:下游终端市场需求不及预期风险,新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险,市场竞争加剧风险,系统性风险等。

免责声明:以上内容仅供您参考和学习使用,任何投资建议均不作为您的投资依据;您需自主做出决策,自行承担风险和损失。九方智投提醒您,市场有风险,投资需谨慎。

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