证券代码：688120证券简称：华海清科公告编号：2026-029

华海清科股份有限公司

前次募集资金使用情况的专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

根据中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关规定，华海清科股份有限公司（以下简称“公司”）编制的前次募集资金使用情况的专项报告如下：

一、前次募集资金基本情况

（一）前次募集资金金额、资金到位情况经中国证券监督管理委员会《关于同意华海清科股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》(证监许可[2022]890号)核准，公司向社会公开发行人民币普通

股（A股）26666700股，每股面值为人民币 1元，每股发行价为人民币 136.66元，应募集资金总额为3644271222.00元，根据有关规定扣除发行费用

154365956.02元后，实际募集资金净额为3489905265.98元。以上募集资金已

于2022年6月1日到位，募集资金到位情况已经立信会计师事务所(特殊普通合伙)审验并出具信会师报字[2022]第 ZB11228号《验资报告》。

（二）前次募集资金的存放情况为了加强募集资金行为的管理，规范募集资金的使用，公司根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司监管指引第2号--上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有

关法律法规及公司章程的规定，制定了《募集资金管理制度》，对募集资金存储、使用、变更、决策、监督和责任追究等内容进行明确规定。

根据该制度，本公司对募集资金实行专户存储。2022年6月1日，公司分别与中国银行股份有限公司天津津南支行、国家开发银行天津市分行、天津银行股份有限公司长康支行、中国建设银行股份有限公司天津市分行和保荐机构签署

《募集资金专户存储三方监管协议》；2023年2月，公司、华海清科(北京)科技有限公司(以下简称“华海清科北京”)分别与保荐机构及广发银行股份有限公司北

京西三环支行、中国民生银行股份有限公司北京什刹海支行、招商银行股份有限公司北京自贸试验区高端产业片区支行签署了《募集资金专户存储四方监管协议》。

以上监管协议与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议(范本)》

不存在重大差异。截至2026年3月31日，公司均严格按照该《三方监管协议》的规定，存放和使用募集资金。

截至2026年3月31日，募集资金余额情况如下:开户银行名称银行账号账户状态存款方式余额（万元）中国银行股份有限公司天津津南支行271394878784销户活期存款

中国建设银行股份有限公司天津津南支行12050180080009688120存续活期存款470.38国家开发银行天津市分行12000100000000000003销户活期存款天津银行股份有限公司长康支行305001201090076644销户活期存款

广发银行股份有限公司北京西三环支行9550880238812800142存续活期存款7790.80

中国民生银行股份有限公司北京什刹海支行638220957存续活期存款5277.87招商银行股份有限公司北京自贸试验区高端产

122912514410802销户活期存款

业片区支行

小计13539.06

存放于股票回购证券账户资金余额20672989存续——2477.84

闲置募集资金进行现金管理、投资

合计——————16016.90

注：1、鉴于公司募投项目“高端半导体装备（化学机械抛光机）产业化项目”已结项，同时用于补充流动资金的募集资金已使用完毕，公司在国家开发银行天津市分行（账号：12000100000000000003）、天津银行股份有限公司长康支行（账号：305001201090076644）、

中国银行股份有限公司天津津南支行（账号：271394878784）的募集资金专户已完成注销手续，注销时间分别为2023年04月06日、2023年04月12日、2025年7月10日。

2、鉴于华海清科北京于招商银行股份有限公司北京自贸试验区高端产业片区支行存放

的募集资金已使用完毕，华海清科（北京）在招商银行股份有限公司北京自贸试验区高端产业片区支行（账号：122912514410802）的募集资金专户已完成注销手续，注销时间为2023年12月28日。

3、暂时闲置的募集资金用于现金管理的具体情况详见本报告二、(四)对闲置募集资金进

行现金管理，投资相关产品情况。

4、上述数据如存在尾差差异，系四舍五入所致。

二、前次募集资金的实际使用情况

（一）前次募集资金使用情况对照表截至2026年3月31日，公司前次募集资金实际使用情况如下

项目金额（万元）

募集资金总额364427.12

减：发行费用（不含增值税）15436.60

募集资金净额348990.53

减：募投项目资金使用金额116235.43

其中：2022年募投项目资金使用金额55962.17

2023年募投项目资金使用金额30966.55

2024年募投项目资金使用金额17256.70

2025年募投项目资金使用金额10379.48

2026年1-3月募投项目资金使用金额1670.53

加：募集资金利息收入扣除手续费净额2984.19

其中：2022年募集资金利息收入扣除手续费净额1015.72

2023年募集资金利息收入扣除手续费净额1295.43

2024年募集资金利息收入扣除手续费净额518.96

2025年募集资金利息收入扣除手续费净额145.41

2026年1-3月募集资金利息收入扣除手续费净额8.67

加：募集资金理财收益9279.59

其中：2022年募集资金理财收益2025.33

2023年募集资金理财收益5276.64

2024年募集资金理财收益1169.43

2025年募集资金理财收益808.20

2026年1-3月募集资金理财收益

减：募集资金永久补充流动资金金额222979.51

其中：2022年募集资金永久补充流动资金金额

2023年募集资金永久补充流动资金金额74979.51

2024年募集资金永久补充流动资金金额74000.00

2025年募集资金永久补充流动资金金额74000.00

2026年1-3月募集资金永久补充流动资金金额

减：募集资金回购股份金额6022.45

其中：2025年募集资金回购股份金额6022.45

2026年1-3月募集资金回购股份金额

募集资金节余金额16016.90其中，募集资金专户余额13539.06存放于股票回购证券账户资金余额2477.84

闲置募集资金进行现金管理、投资余额

注：上述数据如存在尾差差异，系四舍五入所致。

前次募集资金投资项目各项目的具体投入详见本报告附件1（二）前次募集资金实际投资项目变更情况

公司于2023年1月5日召开了第一届董事会第三十三次会议、第一届监事

会第二十六次会议和于2023年1月31日召开2023年第一次临时股东大会，审议通过了《关于使用部分募集资金投资项目节余资金、部分超募资金和自有资金实施新建项目的议案》，同意公司使用节余募集资金21300.44万元、超募资金

28699.56万元和自有资金31754.30万元向全资子公司华海清科北京增资及向其

提供借款用于实施“华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目”，其中向华海清科北京增资14500万元，剩余部分通过向其提供借款方式投入；

公司于2023年1月5日召开第一届董事会三十三次会议、第一届监事会第

二十六次会议和于2023年1月31日召开2023年第一次临时股东大会，审议通过了《关于使用部分超募资金永久补充流动资金的议案》，同意公司使用超募资金74000万元永久补充流动资金，占超募总额的比例为29.72%。公司最近十二个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过超募资金总额的30%，未违反中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的有关规定；

公司于2023年7月31日召开了总经理办公会议，审议后认为募投项目“晶圆再生项目”已建设完毕并达到预定可使用状态，同意公司晶圆再生项目结项，并将节余募集资金979.51万元永久补充流动资金，用于公司日常生产经营活动。

公司于2024年1月18日召开第一届董事会四十二次议、第一届监事会第三

十三次会议和于2024年2月5日召开2024年第一次临时股东大会，审议通过了《关于使用部分超募资金永久补充流动资金的议案》，同意公司使用超募资金

74000万元永久补充流动资金，占超募资金总额的比例为29.72%。公司最近十

二个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过超募资金总额的

30%，未违反中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的有关规定。

公司于2025年6月19日召开第二届董事会十五次会议、第二届监事会第八次会议和于2025年7月8日召开2025年第二次临时股东大会，审议通过了《关于使用部分超募资金永久补充流动资金的议案》，同意公司使用超募资金74000万元（含部分利息收入）永久补充流动资金，占超募资金总额的比例为29.72%。

公司最近十二个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过超募资

金总额的30%，未违反中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的有关规定。

公司于2026年2月13日召开第二届董事会第二十二次会议，审议通过了《关于部分募投项目延期的议案》，经审慎分析，同意将“集成电路高端装备研发及产业化项目”达到预定可使用状态的日期延长至2026年12月。本事项无需提交公司股东会审议。

(三)前次募集资金投资项目对外转让或置换情况

1、前次募集资金投资项目对外转让情况

公司不存在前次募集资金投资项目对外转让的情况。

2、前次募集资金投资项目置换情况

公司于2022年7月8日召开第一届董事会第三十次会议、第一届监事会第二十三次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目的自筹资金19506.14万元，及已支付发行费用的自筹资金481.72万元。2022年7月20日，公司已使用存放于募集资金专户的19987.86万置换公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用金额。

立信会计师事务所（特殊普通合伙）对公司使用募集资金置换预先投入募投

项目及已支付发行费用的自筹资金事项进行了专项审核，并出具了信会师报字[2022]第 ZB11329号《关于华海清科股份有限公司募集资金置换专项鉴证报告》。

(四)暂时闲置募集资金使用情况

1、用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

本公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

2、对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

公司于2022年6月27日召开第一届董事会第二十九次会议、第一届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于使用超募资金及部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在保证不影响公司募集资金投资计划正常进行的前提下，使用最高不超过人民币28亿元（含）的超募资金及部分闲置募集资金进行现金管理，使用期限自公司第一届董事会第二十九次会议审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，资金可以循环滚动使用；

公司于2023年4月24日召开第一届董事会第三十六次会议、第一届监事会

第二十八次会议，审议通过了《关于使用超募资金及部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司及全资子公司在保证不影响募集资金投资项目实施及确

保募集资金安全的前提下，使用最高不超过人民币21亿元的超募资金及部分闲置募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、满足保本要求的投资产品或中国证监会认可的其他投资产品，使用期限自公司第一届董事会第三十六次会议审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，资金可以循环滚动使用；

公司于2024年4月26日召开第二届董事会第三次会议、第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于使用超募资金及部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司及全资子公司在保证不影响募集资金投资项目实施及确保募集资金安全的前提下，使用最高不超过人民币13亿元的超募资金及部分闲置募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、满足保本要求的投资产品或中国证监会认可的其他投资产品，使用期限自公司第二届董事会第三次会议审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，资金可以循环滚动使用；

公司于2025年4月28日召开公司第二届董事会第十三次会议、第二届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用超募资金及部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司及全资子公司在保证不影响募集资金投资项目实施及确保募集资金安全的前提下，使用最高不超过人民币10亿元的超募资金及部分闲置募集资金进行现金管理，适时投资于风险低、流动性强、配置方便、利率较灵活的大额存款、结构性存款等保本理财产品或中国证监会认可的其他投资产品，使用期限自公司第二届董事会第十三次会议审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，资金可以循环滚动使用。

截至2026年3月31日，公司累计使用753000.00万元暂时闲置募集资金购买理财产品，累计赎回金额753000.00万元，取得投资收益9279.59万元，未赎回理财产品余额为0.00万元。

3、募集资金使用的其他情况

2025年6月17日，公司董事长、总经理王同庆先生提议使用公司首次公开

发行人民币普通股（A股）取得的超募资金、自有资金通过集中竞价交易方式回

购公司已发行的部分人民币普通股（A股）股票，并在未来适宜时机将回购股份用于员工持股计划、股权激励或注销并减少公司注册资本。

公司分别于2025年8月28日和2025年9月16日召开了第二届董事会第十七次会议和2025年第三次临时股东大会，审议通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》，拟使用首次公开发行人民币普通股（A 股）取得的超募资金、自有资金通过集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普

通股（A 股）股票，并在未来适宜时机将回购股份用于员工持股计划、股权激励

或注销并减少公司注册资本，回购资金总额不低于人民币5000万元（含），不超过人民币10000万元（含）。截至2026年3月31日，本次回购已使用募集资金

6022.45万元。

三、前次募集资金投资项目产生的经济效益情况

(一)前次募集资金投资项目实现效益情况对照表前次募集资金投资项目实现效益情况对照表请详见附表2。

(二)前次募集资金投资项目无法单独核算效益的原因及其情况

1、高端半导体装备（化学机械抛光机）产业化项目

公司募集资金项目中“高端半导体装备（化学机械抛光机）产业化项目”的

建设内容即本公司“天津生产基地（一期）”，主要用于现有 CMP装备等产品的研发、生产，贡献了公司报告期内装备产品的主要收入。该项目已于2022年结项，报告期内 2023年、2024年该项目贡献的CMP装备销售收入分别为 215404.05万元、272432.10万元，已达到预期产量目标。此后，因公司以自有资金投入对天津生产基地进行了扩建及升级改造，并于2025年中投入使用，导致该项目2025年度及后续收益完成情况无法单独核算。因公司 CMP装备产品采用柔性生产模式，在场地及人员充足的情况下，可根据实际订单数量灵活调整工位布局及工作时长，因此无法核算产能利用率指标。

2、高端半导体装备研发项目

公司募集资金项目中高端半导体装备研发项目无法单独核算效益。该项目通过开展系列技术研发课题，创新研发面向 14nm及以下制程先进半导体制造 CMP、减薄多项关键技术及系统，并研发相应的成套先进工艺，进一步提升产品技术水平和拓展产品应用领域，推动公司业务规模的持续增长。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

3、晶圆再生项目

公司募集资金项目中“晶圆再生项目”设计建成后具备月加工10万片12英

寸再生晶圆的生产能力，该项目已于2023年结项，报告期内2023年、2024年该项目贡献的晶圆再生收入分别为4191.91万元、10548.87万元，已达到预期产能目标。此后，因此类业务市场需求及订单量持续快速增长，原设计产能已无法满足客户需求，公司自2024年起持续以自有资金投入进行产线扩张，并于2025年中已达到月加工20万片12英寸再生晶圆的生产能力，且基本满产，导致该项目2025年度及后续产能利用率、收益完成情况无法单独核算。

4、集成电路高端装备研发及产业化项目

公司募集资金项目中集成电路高端装备研发及产业化项目无法单独核算效益，且公司未披露该项目产能或预期效益情况。该项目主要通过建设新的研发及产业化基地，在华海清科北京子公司研发并生产湿法设备、减薄设备，从而提升品牌知名度，提高公司竞争力。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算。

5、补充流动资金

公司募集资金项目中补充流动资金项目无法单独核算效益。本次补充流动资金将为实现公司业务发展目标提供有力的资金保障。因此该项目的效益反映在公司的整体经济效益中，无法单独核算.

(三)前次募集资金投资项目的累计实现收益与承诺累计收益的差异情况

截至2026年3月31日，本公司未对募集资金的使用效益做出承诺，不涉及前次募集资金投资项目累计实现收益低于承诺20%（含20%）以上的情况。

四、前次募集资金中用于认购股份的资产运行情况

截至2026年3月31日，公司前次募集资金中不存在以资产认购股份的情况。

五、报告的批准报出本报告于2026年4月22日经董事会批准报出。

附表：1、前次募集资金使用情况对照表

2、前次募集资金投资项目实现效益情况对照表

特此公告华海清科股份有限公司董事会

2026年4月23日附表1

前次募集资金使用情况对照表

单位：万元已累计使用募集资金总

募集资金总额（注1）：348990.53116235.43

额：

各年度使用募集资金总额：

2022年：55962.17

变更用途的募集资金总额：：0.002023年：30966.55

变更用途的募集资金总额比例：0.002024年：17256.70

2025年：10379.48

2026年1-3月：1670.53

投资项目募集资金投资总额截止日募集资金累计投资额项目达到预定可使用状募集后承募集后承实际投资金额与募募集前承诺实际投资募集前承诺实际投资态日期（或截止日项目序号承诺投资项目实际投资项目诺投资金诺投资金集后承诺投资金额投资金额金额投资金额金额完工程度）额额的差额高端半导体装备（化学机械高端半导体装备（化学机械

135000.0035000.0013937.4235000.0035000.0013937.42-21062.58（注2）2022年抛光机）产业化项目抛光机）产业化项目

2高端半导体装备研发项目高端半导体装备研发项目20000.0020000.0020000.0020000.0020000.0020000.00-2024年2月

3晶圆再生项目晶圆再生项目15000.0015000.0014020.4915000.0015000.0014020.49-979.51（注3）2023年7月

集成电路高端装备研发及集成电路高端装备研发及产

450000.0038128.9350000.0038128.93-11871.072026年12月

产业化项目（注4）业化项目

5补充流动资金补充流动资金30000.0030000.0030148.5930000.0030000.0030148.59148.59（注5）不适用

合计100000.00150000.00116235.43100000.00150000.00116235.43-33764.57

注1：“募集资金总额”是指扣除保荐承销费及其他发行费用后的金额人民币348990.53万元；注2：“高端半导体装备（化学机械抛光机）产业化项目”已结项，该募投项目结项后节余募集资金为21300.44万元，已投入全资子公司华海清科北京用于实施“华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目”；

注3：“晶圆再生项目”已结项，该募投项目结项后节余资金979.51万元，已用于永久补充流动资金；

注4：公司于2023年1月5日召开了公司第一届董事会第三十三次会议、第一届监事会第二十六次会议和于2023年1月31日召开2023年第一次临时股东大会，审议通过了《关于使用部分募集资金投资项目节余资金、部分超募资金和自有资金实施新建项目的议案》，同意公司使用节余募集资金21300.44万元、超募资金28699.56万元和自有资金31754.30万元向全资子公司华海清科北京增资及向其提供借款用于实施“华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目”，其中向华海清科北京增资14500万元，剩余部分通过向其提供借款方式投入；2026年2月13日，公司召开第二届董事会第二十二次会议，审议通过了《关于部分募投项目延期的议案》，经审慎分析，同意将“集成电路高端装备研发及产业化项目”达到预定可使用状态的日期延长至2026年12月。

注5：“补充流动资金项目”截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额为募投资金产生的利息。附表2前次募集资金投资项目实现效益情况对照表

单位：万元截止日投资截止日累计是否达到实际投资项目承诺效益最近三年一期实际效益项目累计产实现效益预计效益（注1）能利用率

序号项目名称2023年2024年2025年2026年1-3月不适用不适用

1高端半导体装备（化学机械抛光机）产业化项目不适用未做承诺215404.05272432.10不适用不适用不适用不适用

2高端半导体装备研发项目不适用未做承诺不适用不适用不适用不适用不适用不适用

3晶圆再生项目不适用未做承诺4191.9110548.87不适用不适用不适用不适用

4集成电路高端装备研发及产业化项目不适用未做承诺不适用不适用不适用不适用不适用不适用

5补充流动资金不适用未做承诺不适用不适用不适用不适用不适用不适用

注1：本公司未对前次募集资金的使用效益做出承诺