以ALD 技术为核心，半导体设备量产加速。公司成立于2015 年，专注于微纳薄膜装备研发制造，形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，产品领域不断拓宽。2020-2024 年，公司营业收入持续增长，2025Q1-Q3 营收为17.22 亿元，同比增长11.48%，归母净利润为2.48 亿元，同比增长64.83%，营收增长主要系多款半导体设备量产加速以及新产品推出，半导体新增订单金额创新高。

半导体薄膜沉积设备持续成长，微导纳米实现技术引领。全球半导体薄膜沉积设备持续增长，根据Maximize Market Research 数据统计，预计到2025 年市场规模可达340 亿美元；先进制程产线和存储芯片层数增长拉动下，中国薄膜沉积设备行业保持高成长性。公司作为国内半导体薄膜沉积设备领域的技术引领者，ALD 设备已覆盖行业主流薄膜材料及工艺，在高介电常数材料、金属化合物薄膜等领域实现产业化应用，量产规模稳步扩大；CVD 设备在硬掩膜等关键工艺领域实现产业化突破，成功进入存储芯片等领域先进器件量产生产线，并持续推出满足客户需求的关键工艺设备。

光伏薄膜沉积设备应用场景丰富，微导纳米布局多种技术路线。薄膜沉积设备广泛用于光伏电池生产。公司为客户提供具有竞争力的ALD、PECVD、PEALD、扩散退火等多种定制化产品和TOPCon 整线工艺解决方案，已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一。根据公司2024 年年报，公司TOPCon 整线工艺技术目前已升级至SMART AEP TOPCon3.0 版本，进一步巩固了在TOPCon 技术领域的领先地位；在XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等电池技术领域均已建立了完善的技术储备、能够覆盖电池生产整线的关键工艺设备。

盈利预测与评级：我们预计公司2025-2027 年归母净利润分别为2.13、4.13、6.04亿元，同比增速分别为-6.12%、93.97%、46.41%，当前股价对应的PE 分别为172、88、60 倍。我们选取帝尔激光、北方华创、拓荆科技为可比公司，2025-2027 年平均PE 分别为63、44、34 倍，鉴于公司持续丰富产品矩阵，不断引领原子层沉积技术创新，首次覆盖，给予“增持”评级。

风险提示。研发投入未能有效转化、新产品验证进度及市场发展不及预期、国内市场竞争加剧