5月7日有投资者向微导纳米(688147)提问：目前3d结构先进存储芯片与固态电池是否更加需要臭氧源ald设备？
5月8日公司回答表示：尊敬的投资者，您好！在ALD设备中，水蒸气与臭氧均可作为氧源。公司出厂的设备能够为客户提供多种配置选择，实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。感谢您的关注！
微导纳米：ALD设备可选臭氧或水蒸气作为氧源
九方智讯 05-08 16:01
微导纳米 --%
5月7日有投资者向微导纳米(688147)提问：目前3d结构先进存储芯片与固态电池是否更加需要臭氧源ald设备？
5月8日公司回答表示：尊敬的投资者，您好！在ALD设备中，水蒸气与臭氧均可作为氧源。公司出厂的设备能够为客户提供多种配置选择，实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。感谢您的关注！
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