证券代码：688147证券简称：微导纳米公告编号：2026-022

转债代码：118058转债简称：微导转债

江苏微导纳米科技股份有限公司

关于2025年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到位时间

1、2022年首次公开发行股票募集资金根据中国证券监督管理委员会于2022年11月7日出具的《关于同意江苏微导纳米科技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2022〕2750号），江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“公司”）首次公开发行人民币普通股（A股）4544.5536万股，发行价格为每股人民币24.21元，募集资金总额为1100236426.56元，扣除发行费用（不含增值税）人民币76765068.38元，实际募集资金净额为人民币1023471358.18元，上述资金于2022年12月20日到位，已经天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并于2022年12月20日出具天职业字[2022]46404号验资报告。

2、2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意江苏微导纳米科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券注册的批复》（证监许可〔2025〕1404号），公司向不特定对象发行1170000000.00元的可转换公司债券，期限6年，每张面值人民币100元，发行数量11700000张（1170000手）。本次发行的募集资金总额为人民币1170000000.00元，扣除发行费用（不含增值税）人民币11078396.22元，实际募集资金净额为人民币1158921603.78元，上述资金于2025年8月12日到位，已经中兴华会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并于2025年8月13日出具中兴华验字[2025]430011号验资报告。

（二）募集资金本年度使用金额及年末余额1、2022年首次公开发行股票募集资金

截至2025年12月31日，公司募集资金余额为人民币4985.13万元，具体情况如下：

单位：万元币种：人民币发行名称2022年首次公开发行股份募集资金到账时间2022年12月20日本次报告期2025年1月1日至2025年12月31日项目金额

一、募集资金总额110023.64

其中：超募资金金额2347.14

减：直接支付发行费用7676.51

二、募集资金净额102347.14

减：

以前年度已使用金额90034.27

本年度使用金额6631.33

暂时补流金额-

现金管理金额-

银行手续费支出及汇兑损益0.99

超募资金用于股份回购2347.14

加：

募集资金利息收入1651.72

三、报告期期末募集资金余额4985.13

注：鉴于部分募集资金专户资金已使用完毕，为方便账户管理，公司于2025年12月注销了募集资金存放专项账户中国光大银行股份有限公司无锡分行（账号：39920180809906660）、中信银行无锡滨湖支行（账号：8110501013102106165），签署的《募集资金专户存储三方监管协议》随之终止。2、2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金截至2025年12月31日，公司募集资金余额为47306.58万元，具体情况如下：

单位：万元币种：人民币发行名称2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金到账时间2025年8月12日本次报告期2025年1月1日至2025年12月31日项目金额

一、募集资金总额117000.00

其中：超募资金金额-

减：直接支付发行费用1107.84

二、募集资金净额115892.16

减：

以前年度已使用金额-

本年度使用金额36982.91

暂时补流金额-

现金管理金额32000.00

银行手续费支出及汇兑损益0.28

加：

募集资金利息收入397.61

三、报告期期末募集资金余额47306.58

二、募集资金管理情况

（一）募集资金管理制度情况

公司已按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定的要求制定了《江苏微导纳米科技股份有限公司募集资金管理制度》，对募集资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、项目实施管理、投资项目的变更及使用情况的监督等进行了规定。

（二）募集资金三方监管协议情况

1、2022年首次公开发行股票募集资金根据上海证券交易所及有关规定的要求，公司及浙商证券股份有限公司已于

2022年12月20日与上述银行签订了《募集资金三方监管协议》。因聘请中信证券

担任公司向不特定对象发行可转换公司债券的保荐人，公司与原保荐人浙商证券股份有限公司以及存放募集资金的商业银行签订的《募集资金三方监管协议》相应终止。2024年11月1日，公司及保荐人中信证券分别与中信银行股份有限公司无锡分行、中国光大银行股份有限公司无锡分行和上海浦东发展银行股份有限公

司无锡分行签订了《募集资金专户存储三方监管协议》，明确了各方的职责、权利和义务。上述协议与上海证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异。截至

2025年12月31日，公司《募集资金专户存储三方监管协议》得到了切实履行。

2、2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金

2025年8月14日，公司及保荐人中信证券分别与中信银行股份有限公司无锡

分行、中国光大银行股份有限公司无锡分行和上海浦东发展银行股份有限公司无

锡分行签订了《募集资金专户存储三方监管协议》，明确了各方的职责、权利和义务。上述协议与上海证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异。截至2025年12月31日，公司《募集资金专户存储三方监管协议》得到了切实履行。

（三）募集资金专户存储情况

1、2022年首次公开发行股票募集资金

截至2025年12月31日，公司有3个募集资金专户，募集资金存放专项账户的存款余额如下：

单位：元币种：人民币发行名称2022年首次公开发行股票募集资金到账时间2022年12月20日账户名账户状开户银行银行账号报告期末余额称态上海浦东发展银行股份江苏微

有限公司无锡分行新区8405007880120000072349851296.40使用中导纳米支行科技股中国光大银行股份有限

份有限39920180809906660-已注销公司无锡分行公司

中信银行无锡滨湖支行8110501013102106165-已注销

2、2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金

截至2025年12月31日，公司有3个募集资金专户和14个理财产品专用结算账户，募集资金存放专项账户的存款余额如下：单位：元币种：人民币

2025年向不特定对象发行

发行名称可转换公司债券募集资金到账时间2025年8月12日账户名账户状开户银行银行账号报告期末余额称态上海浦东发展银行股份

有限公司无锡分行新区84050078801900000923202115916.97使用中支行中国光大银行股份有限

39920180806011220123008306.37使用中

公司无锡分行中信银行股份有限公司

8110501012702765860147936895.64使用中

无锡分行南京银行股份有限公司

04122300000023081111.11使用中

无锡城南支行

民生证券股份有限公司91220000550.00使用中中国工商银行股份有限

1103020819201402975664.44使用中

公司无锡新吴支行中国银行股份有限公司

无锡高新技术产业开发5014827951200.00使用中区支行营业部江苏微中国建设银行股份有限

导纳米公司无锡高新技术产业320501615436000047600.00使用中科技股开发区支行份有限中国建设银行股份有限

公司公司无锡高新技术产业320502615436000001140.00使用中开发区支行

宁波银行无锡城东支行86021110001194480277.78使用中广发银行股份有限公司

95508802398053004830.00使用中

无锡分行营业部华夏银行股份有限公司

125640000002320741250.06使用中

无锡梅村支行

交通银行无锡新区支行3220006400150031116070.00使用中招商银行无锡分行新区

5109040740100080.00使用中

支行兴业银行股份有限公司

4084301001002548740.00使用中

无锡滨湖支行中国民生银行股份有限

6542820820.00使用中

公司无锡梅村支行中国民生银行股份有限

6543097251382.28使用中

公司无锡梅村支行

三、本年度募集资金的实际使用情况（一）募集资金投资项目的资金使用情况截至2025年12月31日，公司募集资金实际使用情况详见“附件1：募集资金使用情况对照表”。

（二）募集资金投资项目先期投入及置换情况

1、2022年首次公开发行股票募集资金

为保障募投项目的顺利推进，公司在募集资金到账之前已使用自筹资金预先投入部分募投项目。公司于2023年1月18日召开第二届董事会第二次会议和第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金合计人民币2436.75万元。其中，自筹资金预先投入募投项目的金额为2178.24万元，自筹资金预先支付发行费用的金额为

258.51万元。公司独立董事、监事会发表了明确同意意见，天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）对上述事项出具了专项鉴证报告，浙商证券股份有限公司对上述事项出具了明确同意的核查意见，具体置换情况如下：

单位：万元币种：人民币发行名称2022年首次公开发行股票募集资金到账时间2022年12月20日自筹资金预置换完成董事会审议募集资金投资项目总投资额置换金额先投入金额日期通过日期基于原子层沉积技术

2023年2月2023年1月

的光伏及柔性电子设26421.0256.1056.10

6日18日

备扩产升级项目基于原子层沉积技术

2023年2月2023年1月

的半导体配套设备扩63310.801827.951827.95

6日18日

产升级项目集成电路高端装备产2023年2月2023年1月

11811.74294.19294.19

业化应用中心项目6日18日

2、2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金

为保障募投项目的顺利推进，公司在本次发行募集资金到位之前，根据募投项目的实际进展情况使用自筹资金进行了预先投入。公司于2025年10月29日召开第二届董事会第二十八次会议和第二届监事会第二十六次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金合计人民币17524.01万元。其中，自筹资金预先投入募投项目的金额为17260.56万元，自筹资金预先支付发行费用的金额为263.45万元。该事项已经董事会审计委员会事前审议通过。天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）对上述事项出具了专项鉴证报告，中信证券对上述事项出具了明确同意的核查意见，具体置换情况如下：

单位：万元币种：人民币发行名称2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金到账时间2025年8月12日自筹资金预置换完成日董事会审议募集资金投资项目总投资额置换金额先投入金额期通过日期半导体薄膜沉积设备2025年112025年10

67000.0016783.3716783.37

智能化工厂建设项目月12日月29日

2025年112025年10

研发实验室扩建项目43000.00477.19477.19月12日月29日

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

2025年度，公司不存在使用闲置募集资金暂时补充流动资金情况。

（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

1、2022年首次公开发行股票募集资金

公司于2024年12月18日召开第二届董事会第二十次会议和第二届监事会第

十八次会议，审议通过了《关于使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排的前提下，使用不超过人民币1亿元（含本数）的暂时闲置募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、满足保本要求的投资产品（包括但不限于结构性存款、大额存单等），且投资品种不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。

在上述额度范围内，资金可以循环滚动使用，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月。董事会授权公司管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务部负责组织实施。公司审计委员会、监事会、保荐人中信证券对上述事项发表了明确的同意意见，具体情况如下：单位：万元币种：人民币发行名称2022年首次公开发行股票募集资金到账时间2022年12月20日计划进行计划起始日计划截止日董事会审议现金管理计划进行现金管理的方式期期通过日期的金额

安全性高、流动性好、满足保本要求的投资产品（包括但2024年12月2025年12月2024年12月

10000.00

不限于结构性存款、大额存18日17日18日

单等）

2、2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金

公司于2025年8月28日召开第二届董事会第二十五次会议、第二届监事会第二十三次会议，审议通过了《关于使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在不影响募集资金投资计划正常进行以及确保募集资金安全的前提下，使用不超过人民币8亿元（含本数）的部分暂时闲置可转债募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、满足保本要求的投资产品（包括但不限于结构性存款、大额存单等），且投资品种不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。在上述额度范围内，资金可以循环滚动使用，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月。董事会授权公司管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务部负责组织实施。公司审计委员会、监事会、保荐人中信证券对上述事项发表了明确的同意意见，具体情况如下：

单位：万元币种：人民币发行名称2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金到账时间2025年8月12日计划进行计划起始日计划截止日董事会审议现金管理计划进行现金管理的方式期期通过日期的金额

安全性高、流动性好、满足保本要求的投资产品（包括但2025年8月2026年8月2025年8月

80000.00

不限于结构性存款、大额存28日27日28日

单等）

2025年度，公司使用募集资金进行现金管理的情况如下：

1、2022年首次公开发行股票募集资金截至2025年12月31日，公司使用闲置募集资金现金管理余额为0元。

2、2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金

截至2025年12月31日，公司使用闲置募集资金现金管理余额为32000.00万元，具体情况如下：

单位：万元币种：人民币发行名称2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金到账时间2025年8月12日尚未预计年委托受托产品产品购买起始截止归还利息归还化收益方银行名称类型金额日期日期日期金额金额率江苏国联微导民生民生纳米证券盛鑫

浮动1000.2025-2026-2026-1.5%-

科技股份1242-3.82

收益0011-252-262-265.3%股份有限号浮有限公司动收公司益型江苏国联微导民生民生纳米证券盛鑫

浮动1000.2025-2026-2026-1%-

科技股份1243-2.55

收益0011-252-262-2611%股份有限号浮有限公司动收公司益型南京江苏银行微导

股份1%或纳米结构结构

有限20002025-2026-2026-2.10%112.科技性存性存-

公司0.0012-053-113-11或00股份款款

无锡2.20%有限城南公司支行中国江苏工商微导银行尚未纳米股份结构结构

10002025-2026-2026-1000到期

科技有限性存性存2.20%

0.0012-106-126-120.00故不

股份公司款款适用有限无锡公司新吴

支行（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

2025年度，公司不存在使用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。

（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况或回购本公司股份并注销的情况2025年度，公司不存在使用超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况。

（七）募集资金投资项目的实施地点、实施方式变更情况

根据公司整体规划和实际经营发展需要，公司拟扩大办公场地并新租赁办公地点，为便于募投项目实施和统一管理，本次募投项目实施地点拟同步进行变更。

公司于2023年1月18日召开第二届董事会第二次会议和第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于变更募集资金投资项目实施地点的议案》，根据公司整体规划和实际经营发展需要，公司拟将首次公开发行股票募集资金投资项目实施地点进行变更。具体内容详见公司于2023年1月19日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于变更募集资金投资项目实施地点的公告》（公告编号：2023-009）。公司独立董事、监事会发表了明确的同意意见，浙商证券股份有限公司对上述事项出具了明确同意的核查意见。

（八）节余募集资金使用情况

公司在募投项目的实施过程中，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目顺利实施的前提下，从项目资金使用的实际情况出发，审慎地使用募集资金，加强各个环节费用的控制、监督和管理，对各项资源进行合理调度和优化，合理降低项目相关成本和费用。同时，为提高募集资金的使用效率，在确保不影响募投项目使用的前提下，公司使用部分闲置募集资金进行现金管理获得了一定的理财收益，同时募集资金存放期间也产生了一定的存款利息收入。上述因素叠加使得首次公开发行股票“基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目”

在达到预定建设目标的同时，仍有部分节余募集资金。公司于2025年12月27日召

开第三届董事会审计委员会第二次会议和第三届董事会战略委员会第二次会议、于2025年12月29日召开第三届董事会第二次会议分别审议通过了《关于部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意公司对募投项目“基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目”予以结项，并将节余募集资金2267.01万元永久补充流动资金，用于公司日常经营活动。该金额为预计金额，未包含尚未到期的存款利息收入。由于已签订合同但尚未支付的合同尾款及质保金等可能因最终结算金额变化而有所调整，最终转入公司自有资金账户的金额以资金转出当日专户余额为准。公司董事会、董事会审计委员会和董事会战略委员会发表了明确的同意意见，中信证券公司对上述事项出具了明确同意的核查意见，具体情况如下：

单位：万元币种：人民币发行名称2022年首次公开发行股票募集资金到账日期2022年12月20日

节余募集资金合计金额2267.01新项目计新项目董事会股东会审节余募投节余资节余资金新项目划投入募计划投审议通议通过日项目名称金金额用途名称集资金总资总额过日期期额基于原子本事项属层沉积技于公司董术的光伏2025年事会决策

及柔性电2267.01用于补流---12月权限范围

子设备扩29日内，无需提产升级项交公司股目东会审议

（九）募集资金使用的其他情况2024年2月27日，公司召开第二届董事会第十次会议，审议通过了《关于以集中竞价方式回购公司股份方案的议案》，同意公司使用首次公开发行人民币普通股取得的超募资金、公司自有资金或自筹资金通过集中竞价交易方式回购公司

发行的人民币普通股（A股），回购资金总额不低于人民币3000.00万元（含）、不超过人民币6000.00万元（含），回购股份的价格不超过51.00元/股（含）。其中，超募资金为2347.14万元，超过超募资金部分的回购将使用公司自有资金或自筹资金，不含超募资金以外的IPO募集资金。截至2025年12月31日，超募资金已全部使用完毕。

2024年12月18日，公司召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十

八次会议，审议通过了《关于部分募投项目结项及部分募投项目延期的议案》，同意公司对募投项目“基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目”予以结项，同意将募投项目“基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目”达到预定可使用状态时间延期至2025年12月。本次调整未改变募投项目的投资方向、实施主体和实施方式，不会对募投项目的实施造成实质性影响。上述已经公司董事会、监事会审议通过，已履行了必要的审批程序，保荐人中信证券对公司部分募投项目结项及部分募投项目延期事项无异议。

2025年10月29日，公司召开第二届董事会第二十八次会议和第二届监事会第二十六次会议，审议通过了《关于使用银行承兑汇票、自有资金等方式支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》，同意公司在募投项目实施期间根据实际情况使用银行承兑汇票、信用证、外汇、自有资金等方式支付募投项目所需资金，并以募集资金等额置换。上述事项已经公司董事会、监事会审议通过，已履行了必要的审批程序，保荐人中信证券对公司本次在募投项目实施期间根据实际情况使用银行承兑汇票、信用证、外汇、自有资金等方式支付募投项目所需资金，并以募集资金等额置换的事项无异议。

由于公司2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金的净额低于公

司《向不特定对象发行可转换公司债券募集说明书》中披露的拟投入募集资金金额，为保障募投项目的顺利实施，提高募集资金的使用效率，结合公司实际情况，公司对募投项目拟投入募集资金金额进行了调整。公司于2025年8月28日召开第二届董事会第二十五次会议、第二届监事会第二十三次会议，审议通过了《关于调整可转换公司债券募投项目拟投入募集资金金额的议案》，同意公司根据实际情况对募投项目拟投入募集资金金额进行调整，具体如下：

单位：万元币种：人民币序项目名称调整前拟使用募调整后拟使用募号集资金投资额集资金投资额

1半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目64280.0064280.00

2研发实验室扩建项目22720.0022720.00

3补充流动资金30000.0028892.16

合计117000.00115892.16

上述已经公司董事会、监事会审议通过，已履行了必要的审批程序，保荐人中信证券对公司调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的事项无异议。

四、变更募投项目的资金使用情况

2025年度，公司不存在变更募集资金投资项目的情况，也无对外转让或置换的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题无。

六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见

会计师认为：公司《2025年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》按

照中国证监会《上市公司募集资金监管规则》、上海证券交易所颁布的《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》及相关格式指引规定编制，在所有重大方面公允反映了公司2025年度募集资金的存放与实际使用情况。

七、保荐人对公司年度募集资金存放与实际使用情况所出具专项核查报告的结论性意见保荐人审阅了公司2025年募集资金存放与实际使用情况的专项报告以及天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）出具的《募集资金存放与实际使用情况鉴证报告》，并通过获取2025年募集资金专户银行对账单、检查募集资金使用的凭证等资料，对公司2025年度募集资金使用与存放情况进行了核查。

保荐人认为，公司有效执行了《募集资金专户存储三方监管协议》《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律法规和规范性文件的规定，保荐人按照上述法律法规及规范性文件的要求，本年度督促公司对募集资金的使用予以规范，后续也将持续督促发行人提高对募集资金使用的规范性。

特此公告。

附件1：募集资金使用情况对照表江苏微导纳米科技股份有限公司董事会

2026年4月29日附表1：

江苏微导纳米科技股份有限公司募集资金使用情况对照表

截止日期：2025年12月31日

编制单位：江苏微导纳米科技股份有限公司单位：万元币种：人民币发行名称2022年首次公开发行股票募集资金到账日期2022年12月20日

本年度投入募集资金总额6631.33

已累计投入募集资金总额99012.74

变更用途的募集资金总额0.00

变更用途的募集资金总额比例0.00已变更截至期末累截至期末项目可项目达到项目含截至期末累计投入金额投入进度本年度行性是承诺投资项目和超募资金投募投项目募集资金承诺调整后投资总截至期末承诺本年度投入预定可使是否达到

部分变计投入金额与承诺投入（%）实现的否发生

向性质投资总额额投入金额(1)金额用状态日预计效益

更（如(2)金额的差额(4)＝效益重大变期

有）(3)＝(2)-(1)(2)/(1)化基于原子层沉积技术的光生产建2025年不适不适

伏及柔性电子设备扩产升否25000.0025000.0025000.002766.6521770.80-3229.2087.08否设12月用用级项目基于原子层沉积技术的半生产建2024年不适不适

导体配套设备扩产升级项否50000.0050000.0050000.001664.9550708.52708.52101.42否设12月用用目

集成电路高端装备产业化研发项否10000.0010000.0010000.002199.709049.14-950.8690.49不适用不适不适否应用中心项目目用用不适不适不适

补充流动资金补流否15000.0015000.0015000.000.0315137.14137.14100.91不适用用用用回购公不适不适不适

超募资金用于股份回购否0.002347.142347.14-2347.14-100.00不适用司股份用用用

合计100000.00102347.14102347.146631.3399012.74-3334.4096.74————未达到计划进度原因（分不适用具体募投项目）项目可行性发生重大变化不适用的情况说明募集资金投资项目先期投

详见本报告“三、本年度募集资金的实际使用情况”之“（二）募集资金投资项目先期投入及置换情况”入及置换情况用闲置募集资金暂时补充不适用流动资金情况对闲置募集资金进行现金

详见本报告“三、本年度募集资金的实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”管理，投资相关产品情况用超募资金永久补充流动不适用资金或归还银行贷款情况募集资金结余的金额及形

详见本报告“三、本年度募集资金的实际使用情况”之“（八）节余募集资金使用情况”成原因

详见本报告“三、本年度募集资金的实际使用情况”之“（七）募集资金投资项目的实施地点、实施方式变更情况”、“（九）募集资金使用的其他情募集资金其他使用情况况”

注1：“基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目”已于2024年12月结项，本年存在投入金额系公司按照相关合同约定在满足付款条件时，通过募集资金专用账户支付项目尾款等款项。首发募集资金投资项目“基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目”无法单独核算效益，其效益反映在公司整体效益中。截至期末投入进度101.42%，超过100.00%的原因，系募集资金账户产生的利息收入一并用于募投项目。

注2：“补充流动资金”截至期末投入进度为100.91%，超过100.00%的原因，系募集资金账户产生的利息收入一并用于补充流动资金。

注3：“基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目”于2025年12月结项，达到预定可使用状态较短，故2025年度不适用效益测算。

注4：本对照表数据若出现合计数值与各分项数值之和尾数不符的情况，均为四舍五入原因造成。截止日期：2025年12月31日编制单位：江苏微导纳米科技股份有限公司单位：万元币种：人民币发行名称2025年向不特定对象发行可转换公司债券募集资金到账日期2025年8月12日

本年度投入募集资金总额36982.91

已累计投入募集资金总额36982.91

变更用途的募集资金总额0.00

变更用途的募集资金总额比例0.00截至期末累计项目可已变更项截至期末投项目达到截至期末累投入金额与承本年度是否达行性是承诺投资项目和超募资募投项目含部募集资金承诺调整后投资总截至期末承诺本年度投入入进度预定可使计投入金额诺投入金额的实现的到预计否发生

金投向目性质分变更投资总额额[注2]投入金额(1)金额（%）用状态日

(2)差额(3)＝(2)-效益效益重大变（如有）(4)＝(2)/(1)期

(1)化半导体薄膜沉积设备生产2028年不适不适

否64280.0064280.0064280.0022318.1822318.18-41961.8234.72否智能化工厂建设项目建设8月用用研发不适不适

研发实验室扩建项目否22720.0022720.0022720.00486.97486.97-22233.032.14不适用否项目用用不适不适不适

补充流动资金补流否30000.0028892.1628892.1614177.7614177.76-14714.4049.07不适用用用用

合计117000.00115892.16115892.1636982.9136982.91-78909.2531.91————未达到计划进度原因不适用（分具体募投项目）项目可行性发生重大不适用变化的情况说明募集资金投资项目先

详见本报告“三、本年度募集资金的实际使用情况”之“（二）募集资金投资项目先期投入及置换情况”期投入及置换情况用闲置募集资金暂时不适用补充流动资金情况对闲置募集资金进行

现金管理，投资相关产详见本报告“三、本年度募集资金的实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”品情况用超募资金永久补充流动资金或归还银行不适用贷款情况募集资金结余的金额不适用及形成原因募集资金其他使用情不适用况

注1：“调整后投资总额”是鉴于本次发行实际募集资金净额低于《向不特定对象发行可转换公司债券募集说明书》中披露的拟投入募集资金金额，在不改变募投项目实施主体及用途的前提下，公司结合项目实际情况对各募投项目拟投入募集资金金额进行相应调整后的金额。

注2：本对照表数据若出现合计数值与各分项数值之和尾数不符的情况，均为四舍五入原因造成。