江苏微导纳米科技股份有限公司

2026年度“提质增效重回报”行动方案

为践行“以投资者为本”的上市公司发展理念，切实维护江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“公司”）全体股东利益，进一步提升公司经营效率、增强市场竞争力、提升公司投资价值，公司于2025年4月26日发布《2025年度“提质增效重回报”行动方案》，并于2025年8月29日披露2025年半年度评估报告，各项举措落地见效取得积极成果。为持续巩固并延续行动方案，公司制定《2026年度“提质增效重回报”行动方案》，该方案已于2026年4月28日经公司第三届董事会第四次会议审议通过。现将2025年度行动方案实施情况和2026年度行动方案主要举措报告如下：

一、聚焦薄膜沉积设备主业，持续增强核心竞争力

2025年，公司坚持以“创新驱动”为核心发展导向，立足半导体与光伏两大领域，积极把握半导体市场机遇，主动应对光伏行业周期性波动挑战，通过持续优化业务结构、强化技术研发、提升运营效能等举措，实现公司整体稳健发展。

报告期内，公司半导体业务实现高速增长，光伏业务在行业承压下彰显较强经营韧性，同时在新兴领域持续布局，为未来发展培育新的增长极。报告期内，公司实现营业收入263330.32万元，同比小幅度下降2.47%；其中，半导体设备收入

88089.26万元，同比增长169.12%，占主营业务收入的比重提升至33.49%；光

伏设备收入159128.88万元，同比下降30.52%。

1、半导体领域：业务高速增长，收入占比由12.14%提升至33.49%

2025年度，全球半导体行业延续高景气增长态势，行业需求持续旺盛，国

内半导体产业链自主可控进程加速推进，高端薄膜沉积设备国产化替代需求进一步释放。报告期内，半导体设备业务方面实现重要突破与快速增长，新签订单规模屡创新高，为公司积累了充足的订单储备。报告期内，公司多款 ALD和 CVD设备获得重点客户验证和量产导入，核心产品 High?k、金属化合物、硬掩膜等先进工艺设备的量产规模持续扩大，新产品与新技术市场渗透率稳步提升。在存储、逻辑芯片、先进封装等各细分类领域，均取得了长足的进步。存储领域：公司作为国内 ALD 与高端 CVD 设备的主要供应商，相关设备已广泛应用于国产存储芯片量产产线，相关工艺技术对推动 DRAM、3D NAND等存储芯片技术的迭代与产业化具有关键支撑作用。未来，伴随 3D 结构层数持续增长以及客户扩产及国产化率的提升，公司有望深度受益。

逻辑芯片领域：公司与国内主流厂商保持着稳定合作关系，多款设备已通过客户严格的技术验证，关键指标达到国际先进水平，能够满足国内客户当前技术的需求以及未来技术更迭的需要，部分产品已成功导入到国产领先厂商先进制程产品产线。随着国内市场对高端国产薄膜沉积设备需求的增长，该领域业务有望保持增长态势。

先进封装领域：公司相关设备已在客户端进行验证，并与多家潜在客户开展技术交流。产品采用独特低温控制技术，在保证薄膜高质量沉积的同时，满足先进封装技术低热预算、高晶圆翘曲度、厚膜沉积等低温高质量薄膜需求，适配HBM、Chiplet、2.5D/3D 封装等先进封装技术对薄膜沉积设备提出的全新技术要求。先进封装技术是提升芯片整体性能的重要路径，市场发展潜力巨大。公司作为国内少数具备该领域设备研发与生产能力的企业之一，相关业务预计将获得良好的发展机遇。

2、光伏领域：保持经营韧性，聚焦前沿技术构筑长期动能

报告期内，光伏行业经历了从全面过剩到结构性修复收缩的调整阶段，但阶段性供需错配矛盾仍未完全化解，产业链盈利压力对设备验收节奏形成一定影响，公司光伏设备业务收入及利润贡献较去年同期有所回落，对当期整体业绩形成阶段性调整压力。

长期来看，在全球能源转型的大背景下，光伏作为清洁能源的重要组成部分，终端需求及新兴应用场景仍稳步拓展，技术迭代升级对高端设备的需求保持刚性。

为满足下游光伏技术迭代及海外市场需求，公司一直持续开展前瞻性技术布局并加速出海步伐。

公司作为率先将 ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业之一，已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一，产品包括 ALD、CVD、PVD和炉管等设备，覆盖了 TOPCon、XBC、HJT、钙钛矿/钙钛矿叠层电池等技术路线。报告期内，公司进一步完善了包括异质结（HJT）、钙钛矿/钙钛矿叠层、XBC等新兴应用电池技术在内技术储备，开发适用于 TOPCon电池的边缘钝化设备等提升组件效率的关键工艺设备。在 HJT电池领域，公司已具备核心工艺设备和整线方案的供应能力，在头部光伏企业产线验证中表现优异。在钙钛矿电池领域，公司是国内少数实现 ALD、磁控溅射、蒸镀等核心真空工艺设备全覆盖的供应商之一。公司自主研发的 ALD设备是制备高性能柔性钙钛矿电池的关键装备，在同类产品中市场占有率领先，已多次助力客户刷新钙钛矿组件效率纪录。

3、新兴应用领域：探索前沿技术应用，创造更多收入增长极

ALD等尖端薄膜沉积技术作为原子级制造的核心关键技术之一，凭借优良的技术特性，具有广泛的普适性，在半导体集成电路、新能源、新材料等领域均有着重要的应用前景。

报告期内，公司在半导体和光伏领域之外，还持续在新兴领域进行前沿化开发，为公司未来发展创造更多收入增长极。目前，公司已在固态电池、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的高端薄膜沉积技术应用领域进行深耕布局。目前新兴领域的订单量较小，但受益于固态电池、柔性电子等市场需求增加和技术迭代升级，新兴领域高端薄膜沉积技术的应用前景十分广阔。

4、强化创新引擎，加速新品推出

报告期内，公司坚持创新驱动，继续加大前沿新技术、新产品的研发投入力度，有序推进新产品的开发与导入。报告期内，公司研发投入37557.12万元，占同期公司营业收入比例为14.26%。在研发体系方面，公司组建专项技术攻关小组解决客户问题，借助 PLM项目推动研发数字化、智能化，有效缩短研发周期并提升设计创新能力。在创新激励机制方面，报告期内公司实施2025年限制性股票激励计划，股权激励授予对象侧重核心技术人员和研发人员，有效实现员工价值与企业价值绑定。

通过上述一系列措施，公司新品开发效率不断提高，产品开发速度显著加快。

2025 年 3 月 SEMICON CHINA 2025 展会上，公司推出 iTomic SPX 系列空间型

原子层沉积系统等四款新品，聚焦半导体集成电路制造的关键需求，覆盖 ALD与 CVD两大技术路线，可为逻辑芯片、存储芯片及先进封装提供定制化解决方案。2025 年 6月 SNEC光伏展会上，公司作为国内新型高效电池整线设备领域的领军企业，亮相了边缘钝化系列新品及 XBC电池整线解决方案、钙钛矿电池整线解决方案等产品，全面展示了公司在下一代光伏电池设备领域的领先优势。

新产品的不断推出，可以为公司带来新的收入和利润增长点，同时能打造公司差异化竞争优势，推动公司业务稳步成长。

5、成功发行可转债募集资金，强化产能与研发核心支撑根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意江苏微导纳米科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券注册的批复》（证监许可〔2025〕1404号），公司于2025年8月6日向不特定对象发行11.7亿元的可转债，期限6年。

本次募集资金投向的“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目”、“研发实验室扩建项目”，将有效扩大公司半导体设备的生产规模，解决现有产能瓶颈，满足日益增长的订单需求，巩固竞争优势。

二、坚定落实股东回报计划，持续分享公司发展红利

公司高度重视股东回报，致力于在稳健与持续业绩增长的前提下，保持股东回报水平的长期、稳定，提升投资者获得感。公司已制定并披露了《江苏微导纳米科技股份有限公司未来三年（2024-2026年）股东分红回报规划》，在有可供分配的利润的前提下，原则上公司至少每年进行一次利润分配。综合考虑未分配利润、当期业绩等因素确定分红频次，并在具备条件的情况下增加分红频次。

1、持续实施稳定的现金分红

2025年度，公司顺利实施2024年度利润分配方案，以实施权益分派股权登

记日登记的总股本扣除公司回购专用证券账户的股份为基数，向全体股东每10股派发现金红利0.44元（含税），共计派发现金红利2012.79万元（含税）。本次分红既兑现了与股东共享成果的承诺，也为公司后续扩产、研发留足充足资金。

2026年度，公司将继续根据所处发展阶段和行业情况，保障业绩增长与股

东回报的动态平衡，为股东提供稳定的现金分红，合理提高分红率和股息率，确保股东获得可靠的长期投资回报，不断增进股东的投资体验。公司2025年度利润分配方案拟以实施权益分派股权登记日的总股本扣除公司回购专用证券账户

的股份为基数，向全体股东每10股派发现金红利1.44元（含税）。截至第三届董事会第四次会议通知日（2026年4月18日），公司总股本461158671股，以扣减回购专用证券账户中股份总数3705500股后的股本457453171股为基数，以此计算合计拟派发现金红利6587.33万元（含税）。该利润分配方案已经董事会审议通过，尚需提交股东会审议。

2、实施股份回购，彰显长期发展信心

基于对公司未来持续稳定发展的信心和对公司长期价值的认可，公司实际控制人、董事长王磊先生于2024年11月提议公司通过集中竞价交易方式进行股份回购，据此公司发布了2024年第二期股份回购方案。公司作为无锡市首批落地股票回购专项贷款业务的上市公司，通过积极运用创新金融工具响应监管政策导向。这一举措既体现了公司对股东利益的高度重视，也彰显了管理层对公司长期投资价值的坚定信心。

2025年度内公司实施2024年第二期股份回购方案合计回购145.22万股，支

付资金总额3663.56万元（不含交易费用）。2025年度，公司现金分红和回购金额合计10250.88万元，占本年度归属于上市公司股东净利润的比例46.73%。

3、建立健全市值管理制度，完善市值管理体系

为进一步规范公司市值管理行为，切实推动公司提升投资价值，增强投资者回报，公司于报告期内制定了《江苏微导纳米科技股份有限公司市值管理制度》。

科学搭建市值管理工作体系，形成“战略决策层-统筹执行层-赋能支持层”的管理架构，积极落实市值管理工作。

4、持续实施长效股权激励计划，深度绑定核心团队与股东利益

报告期内，为进一步绑定核心团队、推动半导体业务发展，公司实施2025年限制性股票激励计划，旨在对符合条件的激励对象实施股权激励，强化管理层及核心骨干与股东的共同利益。公司将按照激励计划和考核管理办法，对激励对象进行严格考核，确保激励对象的目标与公司长期发展和股东利益一致。

2026年度，公司将继续进一步优化管理层的薪酬与绩效挂钩机制，使管理

层薪酬与公司经营业绩相匹配，促进管理层与股东利益的深度融合，推动公司稳健发展。

三、持续完善公司治理，提升规范运作水平

自上市以来，公司严格遵循《公司法》《证券法》《上市公司治理准则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规及《公司章程》的规定，建立了完善的公司治理架构，形成了权力机构、决策机构、监督机构和管理层之间权责明确、运作规范的相互协调和相互制衡机制。

公司董事会下设战略委员会、薪酬与考核委员会、提名委员会、审计委员会

四个专门委员会，为董事会重大决策提供咨询、建议，保证董事会议事、决策的专业化、高效化。公司各治理主体依法规范运作，在重大生产经营决策、关联交易、投资及财务决策等方面均严格履行法定程序，未发生损害中小股东权益及重大违法违规行为。

1、“三会”运作规范高效

2025年度，公司严格按照法律法规及《公司章程》规定，规范召开股东大

会5次、董事会11次、董事会各专门委员会会议23次、独立董事专门会议4次，充分发挥董事会专门委员会与独立董事的履职效能，切实提升公司运营规范性与决策科学性，全面保障全体股东的合法权益。

2、持续加强内部审计和风险控制

2025年度，公司审计部深入业务层面积极拓展专项审计范围，强化对重点

业务领域风险管控。报告期内累计开展13项专项审计，涉及固定资产管理、信息系统、工程项目、研发内控、半导体物料质量、销售绩效等，所有审计发现均与业务部门沟通，并就审计整改达成一致，形成整改督导台账，按期确认整改完成情况。通过持续加强内部审计，不断推进内部控制在各个部门和业务环节的完善与深入，构建相互融合、协同高效、全面覆盖的内控体系。

3、响应监管要求优化治理结构

2025年12月，为贯彻落实《中华人民共和国公司法》《上市公司章程指引》

《关于新<公司法>配套制度规则实施相关过渡期安排》等相关法律法规和规范

性文件规定，进一步完善公司法人治理结构、提升公司规范运作水平，结合公司实际情况，公司对公司治理结构进行调整，取消监事会设置，由董事会审计委员会行使《公司法》规定的监事会职权，有效提升公司可持续健康发展和管理运作水平。

同期，公司顺利完成了董事会换届及新一届高级管理人员的聘任工作，并在董事会中设立职工代表董事，持续优化董事会组成结构，增强董事会决策的科学性与准确性。现有董事会由6名董事组成，其中独立董事2名，职工代表董事1名，其他非独立董事3名。

2026年度，公司将继续完善规章制度，加快新制度的落实，强化内外部监督制约，重点加强董事会审计委员会等专门委员会的监督职能，确保其规范性和有效性，并通过建立健全的内外部监督机制，持续提高公司运营的规范性和透明度，保护股东及其他利益相关者的权益。

四、加强投资者沟通，实现高质量信息披露

公司高度重视信息披露和投资者关系管理工作，并始终将其作为提升公司透明度和树立资本市场良好形象的关键。不仅致力于确保所有相关活动的严格合规与精准高效，更通过积极主动、透明坦诚的沟通，向资本市场清晰传递公司价值与发展战略，旨在赢得投资者的长期信任与价值认同。

1、坚守合规意识，持续提升信息披露质量

2025年度，公司严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》及公司

信息披露管理相关制度的规定，认真履行信息披露义务，实行信息披露清单管理和多层审核，累计披露定期报告、临时公告等文件216份，保持“零差错”，信息披露工作规范。同时，通过图文、视频、主流媒体解读等形式不断强化信息披露的可读性、有效性。公司在2024年年度报告、2025年半年度报告、2025年第三季度报告发布可视化报告，通过官方微信公众号、同花顺平台精准推送，以图文并茂的形式将关键信息浓缩提炼，浅显易懂地向市场传达公司定期报告信息，提高“悦读性”。此外，公司还积极参加上交所“科创3分钟”年报主题短视频制作，采用短视频方式传播年报业绩、特色亮点等，增强资本市场对公司的认同和信任。

2、深化双向沟通，深化投资者关系管理

公司保持业绩说明会常态化召开，将业绩说明会作为定期报告发布后公司与投资者沟通的重要渠道之一。2025年5月9日，通过上交所上证路演中心召开“2024年度暨2025年第一季度业绩说明会”，就2024年度和2025年第一季度相关经营成果与财务指标与投资者进行交流，并在信息披露允许范围内回应了普遍关注的问题。2025年9月10日，参加“2025年半年度科创板半导体设备及材料行业集体业绩说明会”，详细介绍公司2025年半年度的经营与财务状况。2025年11月4日，参与“2025无锡上市公司投资者集体接待日活动暨2025年第三季度业绩说明会”，进一步强化与投资者的互动沟通。同时，公司还积极通过其他多种渠道增进与投资者的交流互动，形成“线上+线下”双轨沟通体系，线下涵盖路演、策略会、机构实地调研、投资者开放日等场景，线上完善价值在线路演平台、上证 e互动、投资者关系专线及电子信箱等多触点响应系统。

报告期内，公司举办多场投资者走进公司的参访活动，带领中小投资者探索了公司领先的技术实力与发展战略，实地观察了公司工艺流程与设备调试环节，参访活动获得了投资者的一致好评。同时，公司会同上交所、中国中金财富证券有限公司策划了“我是股东”走进上市公司投资者教育活动。通过一系列的现场参观与交流，让投资者对公司的责任担当、企业价值和发展前景有更加全面透彻的认识。

在股东大会召开过程中，公司积极为全体股东特别是中小股东参与股东大会提供便利，合理安排会议议程，保障投资者与董事、高级管理人员的充分交流时间，并全面提供网络投票渠道，确保全体股东的表决权、知情权等合法权益得到充分尊重与落实。

2026年度，公司继续严格遵守《公司法》《证券法》《上市公司投资者关系管理工作指引》等法律法规及《公司投资者关系管理制度》等内部规定，在日常运营和重大事项实施过程中，采取有效和便利的措施，加强与股东、投资者的全方位沟通，最大限度满足投资者多元化的信息需求，持续提升投资者沟通质量。

五、其他事项

2026年度，公司将积极执行行动方案中的各项举措，持续评估实施效果并

根据实际情况做出相应的动态调整，并及时履行信息披露义务。公司将继续专注主业，提升公司核心竞争力、盈利能力和风险管理能力，通过良好的业绩表现、规范的公司治理积极回报投资者，切实履行上市公司责任和义务，回报投资者信任，维护公司良好市场形象。

本报告所涉及的公司规划、发展战略等系非既成事实的前瞻性陈述，不构成公司对投资者的实质承诺，敬请投资者注意相关风险。

江苏微导纳米科技股份有限公司董事会

2026年4月28日