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八亿时空:KrF光刻胶树脂已量产,不涉及EUV

九方智讯 09-08 17:39

9月1日有投资者向八亿时空(688181)提问:公司的半导体光刻胶树脂是否可以用于EUV光刻?

9月8日公司回答表示:尊敬的投资者,您好!公司光刻胶树脂业务重点聚焦KrF光刻胶关键原料PHS树脂及其衍生物的研发和量产,已具备KrF光刻胶用树脂全系列的研发生产能力,并与多家头部光刻胶厂家合作,开发多款高性能树脂。暂不涉及EUV光刻相关应用。感谢关注!

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