中科微至科技股份有限公司

董事会薪酬与考核委员会

关于公司2026年限制性股票激励计划

首次授予激励对象名单的核查意见（截至授予日）

中科微至科技股份有限公司（以下简称“公司”）董事会薪酬与考核委员会依

据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）

等相关法律、法规、规章和规范性文件以及《中科微至科技股份有限公司章程》的有关规定，对公司《2026年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“本激励计划”）首次授予激励对象名单（截至授予日）进行了核查，发表核查意见如下：

一、鉴于公司本次激励计划拟首次授予的激励对象中，1名激励对象因离职

不再符合激励对象资格，1名激励对象因个人原因自愿放弃本次激励计划拟授予其的全部限制性股票，根据公司2026年第一次临时股东会的授权，董事会对2026年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单及授予数量进行调整。公司首次授予激励对象由120名调整为118名，授予的权益总数由202.70万股调整为200.90万股，首次授予限制性股票数量由162.70万股调整为160.90万股，预留限制性股票数量不变。除上述调整内容外，本次激励计划其他内容与公司2026年第一次临时股东会审议通过的内容一致。根据公司2026年第一次临时股东会的授权，本次调整无需提交公司股东会审议。

以上相关调整事项符合《管理办法》等相关法律法规的要求及公司2026年限制性股票激励计划的相关规定，不存在损害公司及股东利益的情况。

二、公司本次激励计划首次授予激励对象均不存在《管理办法》规定的不得

成为激励对象的下列情形：

（1）最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选；

（2）最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选；

（3）最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；

（4）具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的；

（5）法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；

（6）中国证监会认定的其他情形。

三、本次激励计划首次授予激励对象为公司（含分公司及控股子公司）董事、

高级管理人员、核心技术人员、董事会认为需要激励的核心骨干员工，不包括公司独立董事、单独或合计持有公司5%以上股份的股东或实际控制人及其配偶、父母、子女。本次激励计划首次授予激励对象符合《管理办法》及《上市规则》规定的激励对象条件，符合《激励计划》规定的激励对象范围，其作为公司本次激励计划激励对象的主体资格合法、有效。

四、公司和首次获授限制性股票的激励对象均未发生不得授予限制性股票的情形，本次激励计划的首次授予日符合《管理办法》以及公司《激励计划》有关授予日的相关规定。本次激励计划设定的激励对象获授限制性股票的条件已经成就。

综上，董事会薪酬与考核委员会同意公司本次激励计划的首次授予日为

2026年2月12日，并同意以16.30元/股的授予价格向118名激励对象首次授予

160.90万股限制性股票。

中科微至科技股份有限公司董事会薪酬与考核委员会

2026年2月12日