中科飞测发布一季报，2025 年Q1 实现营收2.94 亿元（yoy+24.89%、qoq-48.21%），归母净利-1496 万元（yoy-143.69%、qoq-137.07%）。1Q25毛利率58.1%，同环比分别提升3.74/7.46pct，主要受益于前道设备收入占比提升拉动。公司套刻精度量测设备起量迅速，光学关键尺寸量测设备实现对国内主流客户销售，明暗场纳米图形晶圆检测设备已完成样机研发，客户验证进展顺利。据VLSI 数据，2023 年全球半导体检测和量测设备市场规模达到 128.3 亿美元，对应中国大陆市场规模43.6 亿美元，国产替代空间广阔，看好公司持续成长性，维持“买入”评级。

1Q25：收入稳健增长，前道设备收入占比提升拉动公司毛利率1Q25 公司实现营收2.9 亿元，同比增长 24.89%，归母净利润-0.15 亿元，小幅亏损。1Q25 毛利率58.1%，同环比分别提升3.74/7.46pct，主要因为产品组合变化，前道设备占比提升且前道设备中先进制程占比提升。公司收入规模呈现一定的季节性波动，一季度收入占比相对较低，但各季度费用相对均匀发生。1Q 研发费用同比大幅增长，利润承压。公司始终专注于高端半导体质量控制领域，坚持 9 大系列设备及3 大系列软件的产品布局，订单规模持续增长，新产品验证进展顺利。随着新产品及现有产品升级迭代产品逐步验证通过，收入贡献不断增长，未来经营规模及盈利能力持续向好。。

2025 展望：明暗场、光学关键尺寸设备进展顺利，软硬件能力突出公司当前已批量出货的设备国内市场空间占比达38.7%，此外明、暗场纳米图形晶圆检测设备（市场空间占比27.9%）已完成样机研发，客户验证进展顺利。套刻精度量测设备已实现批量销售，得到国内各类客户的广泛认可，客户订单量快速增长，市占率稳步提升。公司光学关键尺寸量测设备已完成在客户产线上工艺开发与应用验证工作，实现对国内主流客户销售。公司拥有良率管理、缺陷自动分类、光刻套刻分析三大软件产品，软硬件结合增强客户黏性。公司客户覆盖逻辑、存储、功率半导体、MEMS 等前道厂商，三代半，先进封装，大硅片等半导体材料企业以及刻蚀设备、薄膜沉积设备、CMP 设备等各类制程设备企业，看好公司持续成长性。

目标价100.3 元，维持“买入”评级

我们维持2025/26/27 年营业收入预测20.7/32.0/46.7 亿元，对应归母净利润2.1/5.1/7.9 亿元。可比公司2025 年Wind 一致预期PS 均值为8.4 倍，半导体设备自主可控有望加快，考虑公司所处赛道国产化率低，成长性高，给予公司2025 年15.5 倍PS，维持目标价100.3 元，维持“买入。

风险提示：全球半导体下行周期，半导体设备需求不及预期，行业竞争加剧。