事件：公司公告收到政府补助，并发布2025 年半年报，上半年公司收入7.02亿元，同比增长51.39%；归母净利润-0.18 亿元，大幅度减亏；新获政府补助金额为125.40 万元。

主力无图形晶圆缺陷检测设备持续放量：公司无图形晶圆缺陷检测设备技术性能优异，目前累计生产交付数量超过 300 台，覆盖超过 100 家客户，市占率不断提升。公司第三代无图形晶圆缺陷检测设备已通过多家国内客户验证，第四代产品已出货至国内头部客户产线验证，进一步巩固领先优势。

纳米图形晶圆缺陷检测设备研发稳步推进：公司已完成明场和暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备的样机研发，已小批量出货至头部客户产线，用于工艺开发与应用验证。明场设备研发难度高、单台价值大，验证周期较长，目前均按计划推进。暗场设备进展顺利，获得客户积极反馈，推动了订单规模的持续增长。

加速推广分析、分类系统产品，打造配套软件产业链：公司自主研发的缺陷自动分类系统，助力客户提升良率管控能力；还开发了光刻套刻分析反馈系统，能够整合多品牌光刻与量测设备数据，显著提升套刻精度与工艺良率，上述系统均已在国内多家芯片制造商的研发与量产环节实现应用。

投资建议：我们预计公司2025 至2027 年实现营业收入19.16/26.80/ 34.44亿元，归母净利润2.19/3.91/5.94 亿元，对应PE 分别为146.4/81.9/53.9倍，维持“增持”评级。

风险提示：半导体市场景气度下行；海外供应链风险；国内半导体设备需求放缓；高端设备研发进度不及预期；行业竞争加剧。