新品放量驱动收入增长，Q3 环比扭亏为盈。2026Q1-3 公司实现营业总收入16.14 亿元，同增34%；归母净利润亏损1 亿元。分季度看：Q1/Q2/Q3分别实现营收4.0/5.4/6.7 亿元，同增35%/34%/35%；实现归母净利润-0.7/-0.6/0.3 亿元，Q1、Q2 同比亏损扩大，Q3 环比扭亏为盈、同比高增784%。Q3 收入保持较高同比增速，业绩环比明显改善，主要因：1）暗场、高深宽比刻蚀结构量测设备新产品取得积极进展；2）产品结构优化，先进制程收入贡献提升，带动毛利率同环比改善；3）结合9 月末在手订单与规模以及明场等新产品在客户端的验证进展，全年收入有望保持过去几年高增水平，且明年增长有望进一步提速，同时随着更高毛利率的高端设备以及软件服务收入贡献持续提升，利润水平有望延续改善趋势。

产品结构优化带动Q3 毛利率提升，经营现金流有所改善。2026Q1-3 公司综合毛利率48.35%，同降3.6pct（Q3 单季同增2.8pct 至51.5%，主要系高毛利率先进制程收入占比提升至80%以上）。Q1-3 期间费用率61.30%，同比提升3.6pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别同比变动+1.6/-0.3/+2.7/-0.4pct。Q3 单季期间费用率同比提升9.13pct 至57.68%，主要因研发费用率同比提升6.71pct。Q1-3 公司归母净利率为-5.9%，同比下降4.67pct，主要系公司持续加大研发与市场投入。Q1-3经营现金流净流出3.5 亿元，同比收窄3.3 亿元，现金流有所改善。

在手订单显著增长，新品验证与放量持续推进。截至26Q3 末，公司合同负债14.3 亿元，同比增长152%，显示签单景气较优。产品端，1）暗场设备方面，公司是国内唯一能够实现面向最先进制程的暗场检测设备量产交付的企业，预计将出货头部客户开展产线验证；2）明场设备方面，公司已在多家先进逻辑、存储客户产线验证较长时间，随着国内头部客户扩产，明场设备收入有望进一步受益于国产替代趋势；3）新产品方面，基于X 光的高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充孔隙量测设备，目前均已完成头部客户产线验证；电子束关键尺寸量测设备三季度已出货到头部存储客户产线验证，同时正在进行多家头部逻辑、存储客户晶圆样片测试，数据积极。产能端，公司现有广州及深圳工厂年产能约1000 台，上海张江基地投产后预计新增约1000 台产能，未来2-3 年产能场地充足，且产能可根据不同设备种类灵活调配，以支撑更高端设备研发及生产需求。

投资建议：公司高端系列产品持续放量，驱动盈利能力改善，我们预计公司2026-2028 年归母净利润分别为1.41/6.21/9.93 亿元， 同增140%/342%/60%，对应EPS 分别为0.40/1.76/2.82 元/股，对应PE 分别为534/121/76 倍，维持“买入”评级。

风险提示：半导体资本开支不及预期、新产品验证及产业化不及预期、盈利改善不及预期、行业竞争加剧风险。