国盛证券研报指出，中科飞测是半导体量检测国产龙头，产品盈利能力优异。2025年公司综合毛利率50%，产品盈利能力优异，后续随着业务规模扩张、研发投入趋稳，盈利有望快速放量。AI扩产与工艺升级共同驱动，量检测设备需求快速放量，国产替代空间广阔。明场突破、暗场放量，高端量检测量产打开成长空间。对标KLA 平台化路径，产品成熟与规模效应有望推动盈利释放。KLA通过持续产品拓展与专业并购，形成检测、量测、软件及服务协同的过程控制平台，2026财年毛利率及归母净利率分别达61%/36%。国产替代与产品矩阵延伸有望共同打开中长期成长空间，首次覆盖给予“买入”评级。