以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用鉴证报告

容诚专字[2025]518Z1012号

容诚会计师事务所 (特殊普通合伙)中国-北京

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以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发1 1-3行费用的鉴证报告

以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发2 1-3行费用的专项说明

容诚会计师事务所 (特殊普通合伙)总所：北京市西城区阜成门外大街22号1幢10层1001-1至1001-26 (100037)TEL:010-6600 1391FAX:010-66001392E-mail:bj@rsmchina.com.cnhttps://www.rsm.global/china/

关于深圳中科飞测科技股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的鉴证报告

容诚专字[2025]518Z1012号

深圳中科飞测科技股份有限公司全体股东:

我们审核了后附的深圳中科飞测科技股份有限公司(以下简称中科飞测)管理层编制的《关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的专项说明》。

一、对报告使用者和使用目的的限定

本鉴证报告仅供中科飞测为用募集资金置换预先已投入募集资金投资项目及支付发行费用的自筹资金之目的使用，不得用作任何其他目的。我们同意将本鉴证报告作为中科飞测用募集资金置换预先已投入募集资金投资项目及支付发行费用的自筹资金必备的文件，随其他文件一起报送并对外披露。

二、管理层的责任

按照中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》及上海证券交易所发布的《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号- 规范运作》的规定编制《关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的专项说明》是中科飞测管理层的责任，这种责任包括保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记录、误导性陈述或重大遗漏。

三、注册会计师的责任

我们的责任是对中科飞测管理层编制的上述专项说明独立地提出鉴证结论。

四、工作概述

我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第3101号一历史财务信息审计或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证业务。该准则要求我们计划和实施鉴证工作，以对鉴证对象信息是否不存在重大错报获取合理保证。在鉴证过程中，我们实施了包括检查会计记录等我们认为必要的程序。我们相信，我们的鉴证工作为发表意见提供了合理的基础。

五、鉴证结论

我们认为，后附的中科飞测《关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的专项说明》在所有重大方面按照上述《上市公司募集资金监管规则》及交易所的相关规定编制，公允反映了中科飞测以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的情况。

(以下无正文)

（此页无正文,为深圳中科飞测科技股份有限公司容诚专字[2025]518Z1012号报告之签字盖章页。)

睿诚会计师事务司

特殊普通合伙

中国·北京

中国注册会计师:

王艳

中国注册会计师:

李贤君

中国注册会计师:

胡霞

2025年12月1日

深圳中科飞测科技股份有限公司关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的专项说明

根据中国证券监督管理委员会发布的《上市公司募集资金监管规则》及上海证券交易所发布的《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号- 规范运作》的规定，将深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称本公司）以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的具体情况说明如下:

一、募集资金基本情况

经中国证券监督管理委员会《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2025]1640号）的核准，本公司向特定对象发行人民币普通股（A股）股票 28,571,428股，每股发行价格为人民币87.50元。截至2025年10月13日止，本公司已向特定对象发行人民币普通股（A 股）28,571,428股，募集资金总额为人民币 2,499,99,950.00元，扣除各项发行费用合计人民币19,232,575.55元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币2,480,767,374.45元。上述资金到位情况业经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具容诚验字[2025]518Z0128号《验资报告》。

为规范本公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，本公司设立了募集资金专项账户，并与保荐人、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经本公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

二、募集资金投资项目情况

根据2024年第二届董事会第八次会议、2025年第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十五次会议审议，本公司募集资金使用计划如下:

金额单位：人民币万元

序号 募集资金投资项目 项目投资总额 拟投入募集资金

1 上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目 上海高端半导体质量控制设备产业化项目 84,572.98 71,476.74

2 上海高端半导体质量控制设备研发测试中心项目 63,516.33 44,600.00

3 总部基地及研发中心升级建设项目 67,097.43 62,000.00

4 补充流动资金 70,000.00 70,000.00

合计 285,186.74 248,076.74

上述项目的投资总额为285,186.74万元，本次募集资金将全部用于上述项目。

三、自筹资金预先投入募集资金投资项目情况

募集资金投资项目在募集资金实际到位之前已由本公司以自筹资金先行投入，截至2025年10月18日止，本公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资金额为16,597.69万元，具体情况如下:

金额单位：人民币万元

序号 募集资金投资项目 承诺募集资金投资金额 自筹资金预先投入金额 本次置换的募集资金金额

1 上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目 上海高端半导体质量控制设备产业化项目 71,476.74 7,786.93 7,786.93

2 上海高端半导体质量控制设备研发测试中心项目 44,600.00 4,517.51 4,517.51

3 总部基地及研发中心升级建设项目 62,000.00 4,293.24 4,293.24

合计 178,076.74 16,597.69 16,597.69

四、自筹资金预先支付发行费用情况

本次募集资金各项发行费用合计人民币19,232,575.55元（不含增值税），截至2025年10月18日止,本公司已用自筹资金支付发行费用的金额为1,265,059.11元(不含增值税),本次拟用募集资金置换已支付发行费用的金额为人民币1,265,059.11元（不含增值税），具体情况如下:

序号 项目名称 自筹资金预先投入金额 本次置换的募集资金金额

1 审计及验资费 200,000.00 200,000.00

2 律师费 778,670.97 778,670.97

3 与本次发行相关的手续费及其他 286,388.14 286,388.14

合计 1,265,059.11 1,265,059.11

日期：2025年12月1日

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1985-11-05

窖诚金计师事务所(特殊管通合伙)上海分所342225198511054946 201 09

年度检验登记AntualRcnewal Registration

本证书经检险合格，继续有效一年。This ccrtificate is valid for anothcr ycar.afterthis reocwal.

本证书经检验合格、继续有效一年This certificatc is valid for another year aftcrthis renewal.

年 月M ℃

1 1M℃℃

d 名 三

M 05cx 3

出生日期Date ofbirth 472℃

工作单位Workingunil -成金日所事务员 1月5

身份证号码Idcntity card No 111

5

1 2- 122℃

H 名Fullname 月2

性 别Sex

Workingunit 公1计09月

身份证号码Idenlity card No. 36050212920272602