国泰海通证券股份有限公司

关于深圳中科飞测科技股份有限公司使用部分闲置募集资

金临时补充流动资金的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为深

圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”或“公司”）2024年度向

特定对象发行 A股股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对中科飞测使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的事项进行了审慎核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况根据中国证券监督管理委员会于2025年8月4日出具的《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕

1640号），公司 2024年度向特定对象发行A股股票 28571428股，发行价格 87.50元/股，募集资金总额为人民币250000.00万元，扣除各项发行费用（不含增值税）人民币1923.26万元后，实际募集资金净额为人民币248076.74万元。上述募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具容诚验字[2025]518Z0128号《验资报告》。

为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

二、募集资金投资项目情况

截至2025年10月31日，公司2024年度向特定对象发行股票的募集资金投资项目基本情况如下：

发行名称2024年向特定对象发行股票

募集资金账户余额（万元）46282.38募集资金投资金已使用募集资金募投项目名称项目进度额（万元）金额（万元）上海高端半导体

上海高端半导体质量控制设备产71476.74-实施中质量控制设备研业化项目发测试及产业化上海高端半导体

项目质量控制设备研44600.00-实施中发测试中心项目

总部基地及研发中心升级建设项目62000.00766.23实施中

补充流动资金70000.001216.64实施中

合计248076.741982.88-

注1：“募集资金账户余额”是指截至2025年10月31日的募集资金银行账户余额，不包含公司进行现金管理的闲置募集资金余额；

注2：已使用募集资金金额不包含预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金

由于募集资金投资项目建设需要一定周期，根据募集资金投资项目建设进度，公司部分募集资金存在暂时闲置的情形。

三、本次借用部分闲置募集资金临时补充流动资金的计划

根据公司募集资金投资项目的建设进度，公司在确保不影响募集资金投资项目建设进度，为了提高募集资金使用效率，公司拟使用不超过人民币30000万元（含本数）闲置募集资金临时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起12个月，并且公司将根据募投项目的进展及需求情况将上述募集资金在使用期限到期前及时归还至募集资金专用账户。

本次使用部分闲置募集资金临时补充流动资金通过募集资金专用账户实施，仅限于与主营业务相关的生产经营活动，不会直接或者间接将募集资金用于新股配售、申购，或者用于股票及其衍生品种、可转换公司债券等的交易，不会变相改变募集资金用途，亦不会影响募集资金投资计划的正常进行。

四、本次以部分闲置募集资金临时补充流动资金计划的董事会审议程序公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，使用额度不超过人民币30000万元（含本数）的闲置募集资金临时补充流动资金。使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月。上述事项无需提交公司股东大会审议。

公司履行的审批程序符合相关法律法规规定，符合监管部门的相关监管要求。

五、保荐人核查意见经核查，保荐人认为：

公司使用部分闲置募集资金临时补充流动资金，已经公司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序，有利于提高募集资金的使用效率，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律、法规规定，不会影响公司募集资金投资项目的正常实施，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形。

保荐人对公司使用部分闲置募集资金临时补充流动资金事项无异议。

（以下无正文）（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于深圳中科飞测科技股份有限公司使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

田方军谢欣灵国泰海通证券股份有限公司年月日