国泰海通证券股份有限公司

关于深圳中科飞测科技股份有限公司

2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查报告

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为正在

履行深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”或“公司”）持续督

导工作的保荐机构，根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对中科飞测2025年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额和资金到账时间

1、首次公开发行股票中国证券监督管理委员会于2023年2月21日核发《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2023〕367号），同意公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票。公司于 2023年 5月 19日首次公开发行的股份数量为8000.00万股，发行价格为每股23.60元，募集资金总额为人民币188800.00万元，扣除发行费用人民币18961.34万元后，募集资金净额为人民币169838.66万元。已于2023年5月16日通过国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”）汇入公司银行账户。上述募集资金已经天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具天职业字〔2023〕32719号《验资报告》。

2、2024年度向特定对象发行股票中国证券监督管理委员会于2025年8月4日核发《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕1640号），同意公司 2024年度向特定对象发行 A股股票 28571428股，发行价格 87.50元/股，

1募集资金总额为人民币250000.00万元，扣除各项发行费用（不含增值税）人民币

1923.26万元后，实际募集资金净额为人民币248076.74万元。上述募集资金到位

情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具容诚验字[2025]518Z0128号《验资报告》。

（二）募集资金使用和结余情况

1、首次公开发行股票

截至2025年12月31日，实际募集资金专户余额（不含期末未到期理财产品）为4837.26万元，具体使用及结余情况如下：

单位：万元项目金额

募集资金净额169838.66

减：投入募集资金项目金额109828.79

减：超募资金永久补充流动资金和偿还银行贷款金额40204.65

加：理财收益1900.99

加：募集资金利息收入扣除手续费净额1131.05

截至2025年12月31日募集资金余额22837.26

其中：期末未到期理财产品18000.00

实际募集资金专户余额4837.26

2、2024年度向特定对象发行股票

截至2025年12月31日，实际募集资金专户余额（不含期末未到期理财产品）为138279.74万元，具体使用及结余情况如下：

单位：万元项目金额

募集资金净额248076.74

减：投入募集资金项目金额56953.82

加：自筹资金预先投入项目未置换金额（注1）1000.00

加：理财收益236.47

加：募集资金利息收入扣除手续费净额58.32

加：尚未支付的发行费用（注2）62.03

截至2025年12月31日募集资金余额192479.74

2项目金额

其中：期末未到期理财产品54200.00

实际募集资金专户余额138279.74

注1：公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第十六次会议，分别审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金16724.19万元置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金。其中以自筹资金预先投入募投项目的金额为15597.68万元，以自筹资金支付发行费用126.51万元，截至2025年12月31日，公司实际已置换预先投入募投项目金额为15597.68万元，已置换发行费用126.51万元，剩余1000.00万元尚在募集资金专户余额中未置换。

注2：截至2025年12月31日，发行相关的印花税62.03万元尚未支付。

二、募集资金管理情况

（一）募集资金管理制度情况

为了规范公司募集资金的存放、使用和管理，维护投资者的合法权益，确保公司募投项目顺利开展，提高募集资金使用效率，本公司根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等规定，制定了《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》（以下简称“《募集资金管理办法》”）。根据相关规定及《募集资金管理办法》，公司对募集资金实行专户存储和管理，在银行设立募集资金专户。

1、首次公开发行股票

2023年5月及6月，公司、保荐人国泰海通、存放募集资金的中国银行股份有

限公司深圳布吉支行、平安银行股份有限公司深圳分行、中国建设银行股份有限公

司深圳上步支行、兴业银行股份有限公司深圳分行、中信银行股份有限公司深圳分

行、招商银行股份有限公司深圳分行、中国工商银行股份有限公司深圳龙华支行、

上海银行股份有限公司深圳分行、宁波银行股份有限公司深圳分行等签订募集资金

监管协议，对募集资金实施专户存储。

为方便公司资金账户管理，减少管理成本，公司于2024年10月30日召开董事会审议并通过《关于注销部分募集资金专项账户的议案》，同意注销部分募集资金专户。募集资金专户注销的具体情况如下：

3开户银行银行账号注销日期

中国建设银行股份有限公司深圳上步支行442501000008000054392024年12月3日兴业银行股份有限公司深圳宝安支行3370601001005441102024年12月24日中国工商银行股份有限公司深圳大浪支行40001039291008012322024年12月17日上海银行深圳前海分行030053444082024年12月12日宁波银行股份有限公司深圳龙华支行730801220004452292024年12月5日中国银行股份有限公司深圳大芬支行7458772619232025年4月1日中国银行股份有限公司深圳大芬支行7549772548812025年4月1日

2、2024年度向特定对象发行股票

2025年11月及12月，公司、保荐人国泰海通、存放募集资金的中国银行股份

有限公司深圳布吉支行、中信银行股份有限公司深圳分行、中国工商银行股份有限

公司深圳龙华支行、招商银行股份有限公司上海分行、浙商银行股份有限公司深圳

分行、招商银行股份有限公司深圳分行、中国光大银行股份有限公司深圳分行、宁

波银行股份有限公司深圳龙华支行、上海银行股份有限公司深圳分行、平安银行股

份有限公司深圳分行、中国建设银行股份有限公司深圳上步支行、交通银行股份有

限公司上海浦东分行等签订募集资金监管协议，对募集资金实施专户存储。

截至2025年12月31日，公司严格按照监管协议的规定存放、使用、管理募集资金，募集资金监管协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。

（二）募集资金专户存储情况

1、首次公开发行股票

截至2025年12月31日，公司首次公开发行股票募集资金专户存储情况如下：

单位：万元存放银行银行账号余额

中国银行股份有限公司深圳大芬支行7692770711293880.18

中信银行股份有限公司深圳留仙洞支行8110301012100684395953.74

中信银行股份有限公司深圳留仙洞支行81103010130006826082.68

平安银行股份有限公司深圳香蜜湖支行152014123188330.65

招商银行股份有限公司深圳红山支行755942306110108—

4存放银行银行账号余额

合计4837.26

2、2024年度向特定对象发行股票

截至2025年12月31日，公司向特定对象发行股票募集资金专户存储情况如下：

单位：万元存放银行银行账号余额

中国银行深圳大芬支行75628038078550197.69

中信银行深圳分行营业部811030101280082342045503.05

招商银行深圳红山支行7559423061100011014.08

中国光大银行深圳宝安支行3894018800029655310011.63

招商银行上海分行营业部1219768541100088454.53

交通银行上海陆家嘴支行3100667710150036816676775.18

宁波银行深圳龙华支行860211100012621886009.56

中国建设银行深圳上步支行44250100000809688361245.56

中国工商银行深圳大浪支行400010392910102461667.38

上海银行深圳前海分行030064399170.41

浙商银行龙华支行58400003101201001230380.34

平安银行深圳香蜜湖支行150012318888960.32

合计138279.74

三、2025年度募集资金的实际使用情况

（一）募集资金投资项目的资金使用情况

截至2025年12月31日，公司实际投入相关项目的募集资金具体使用情况详见“附表1：首次公开发行股票募集资金使用情况对照表”“附表2：2024年度向特定对象发行股票募集资金使用情况对照表”“附表3：深圳中科飞测科技股份有限公司变更募集资金投资项目情况表”。

（二）募投项目先期投入及置换情况

51、首次公开发行股票

报告期内，公司不涉及募投项目先期投入及置换的情况。

2、2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第十六次会议，分别审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金人民币16724.19万元置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金。上述事项符合募集资金到账后6个月内进行置换的规定。上述置换事项及置换金额业经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具了“容诚专字[2025]518Z1012号”《以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用鉴证报告》。具体内容详见公司于2025年12月4日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的公告》（公告编号：2025-066）。公司监事会对本事项发表了意见，保荐人国泰海通出具了核查意见。

报告期内，公司涉及募投项目先期投入及支付发行费用的自筹资金已经置换

15724.19万元。

（三）使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的情况

1、首次公开发行股票

报告期内，公司不涉及使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的情况。

2、2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，公司监事会对上述事项发表了同意意见，国泰海通对上述事项出具了无异议的核查意见。

6报告期内，公司涉及使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并

以募集资金等额置换的金额为7348.51万元。

（四）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

1、首次公开发行股票

报告期内，公司不存在使用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

2、2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，使用额度不超过人民币30000万元（含本数）的闲置募集资金临时补充流动资金。使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月。上述事项无需提交公司股东大会审议。公司履行的审批程序符合相关法律法规规定，符合监管部门的相关监管要求。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

报告期内，公司未实际发生使用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

（五）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

1、首次公开发行股票

2024年6月4日，公司分别召开了第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金（含超募资金）及自有资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币80000.00万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

2025年4月25日，公司分别召开了第二届董事会第十三次会议和第二届监事会第十三次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金（含超募资金）及自有资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币30000万元（含本7数）的闲置募集资金（含超募资金）和不超过人民币100000万元的自有资金（含本数）进行现金管理，使用期限自上一次授权期限到期日（2025年6月4日）后12个月内有效，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

截至2025年12月31日，公司使用部分闲置首次公开发行股票募集资金进行现金管理的余额为18000.00万元。具体情况如下：

单位：万元金融机构理财类型起息日到期日金额利率中国银行股份有限公司

可转让大额存单2023/7/142026/7/1413000.002.90%深圳大芬支行中信银行股份有限公司

结构性存款2025/12/202026/1/195000.001.65%深圳留仙洞支行

合计18000.00/

2、2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币200000万元（含本数）的2024年度向特定对象发行 A股股票闲置募集资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

截至 2025年 12月 31日，公司使用部分向特定对象发行 A股股票闲置募集资金进行现金管理的余额为54200.00万元。具体情况如下：

单位：万元金融机构理财类型起息日到期日金额利率

平安银行深圳香蜜湖支行结构性存款2025/11/282026/1/513000.001.44%

上海银行深圳前海分行结构性存款2025/12/22026/1/1212200.001.46%中国建设银行深圳上步支

可转让大额存单2025/12/52026/3/54000.000.90%行

招商银行上海分行营业部结构性存款2025/12/92026/1/910000.001.55%

8中国建设银行深圳上步支

结构性存款2025/12/102026/1/75000.001.53%行中国工商银行深圳大浪支

结构性存款2025/12/112026/1/1210000.001.33%行

合计54200.00/

（六）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

报告期内，公司不涉及用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。

（七）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况

报告期内，公司不涉及将超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况。

（八）节余募集资金使用情况

截至2025年12月31日，公司不存在将募投项目节余资金用于其他募投项目或非募投项目的情况。

（九）募集资金使用的其他情况

1、首次公开发行股票

2023年6月14日，公司召开第一届董事会第二十四次会议、第一届监事会第二十次会议，审议通过了《关于使用募集资金向子公司实缴注册资本和提供借款以实施募投项目的议案》，同意公司使用募集资金10600万元向全资子公司广州中科飞测科技有限公司（以下简称“广州中科飞测”）实缴注册资本并提供20200万元

借款以实施“高端半导体质量控制设备产业化项目”。根据项目实施需要逐步拨付（借款不计息），借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还。到期后，如双方均无异议，该笔借款可自动续期。公司独立董事、监事会对上述事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的审查意见。

2024年6月4日，公司召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目

9的议案》，同意公司根据募投项目的建设安排及实际资金需求情况，在不超过募投

项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”拟投入募集资金金额的情况下，公司拟通过提供借款的方式将募集资金划转至该募投项目实施主体所开设的募集资金

专用账户，即公司的全资子公司广州中科飞测的募集资金专用账户，并授权公司管理层负责借款手续办理以及后续的管理工作。公司拟使用募集资金向广州中科飞测提供借款人民币30877.70万元，根据项目实施需要，逐步拨付。前述借款不计利息，借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还；到期后，如双方均无异议借款可自动续期。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

截至2025年12月31日，公司使用募集资金向广州中科飞测提供借款35034.70万元，使用募集资金向广州中科飞测实缴注册资本为10600.00万元。

2、2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，同意公司根据募投项目的建设安排及实际资金需求情况，在不超过募投项目“上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目”拟投入

募集资金金额的情况下，公司拟通过提供不超过人民币116076.74万元借款的方式将募集资金划转至该募投项目实施主体所开设的募集资金专用账户，即公司的全资子公司飞测思凯浦（上海）半导体科技有限公司（以下简称“飞测思凯浦”）的募

集资金专用账户，并授权公司管理层负责借款手续办理以及后续的管理工作。前述借款不计利息，借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还；到期后，如双方均无异议借款可自动续期。公司监事会对以上事项发表了明确同意的意见，保荐人国泰海通对此出具无异议的核查意见。

截至2025年12月31日，公司使用募集资金向飞测思凯浦提供借款49200.00万元。

四、变更募投项目的资金使用情况

1.首次公开发行股票

102024年6月4日，公司召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，具体详见“三、2025年年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。

截至2025年12月31日止，公司使用募集资金向广州中科飞测提供借款

35034.70万元。

2.2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》，同意公司根据实际募集资金净额将“上海高端半导体质量控制设备产业化项目”拟使用募集资金投资金额从73400.00万元调整为71476.74万元具体调整情况详见公司于2025年10月31日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》（公告编号：2025-057）。公司监事会对本事项发表了意见，保荐人国泰海通出具了核查意见。

同日，公司审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，具体详见“三、2025年年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。

截至2025年12月31日，公司使用募集资金向飞测思凯浦提供借款49200.00万元。

公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事

会第十六次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金用途的议案》，为提升募集

资金使用效率，保证募集资金使用的规范性，结合公司实际情况，公司拟将原募投项目“补充流动资金”变更为“补充流动资金及偿还银行贷款”，其中原募投项目“补充流动资金”部分募集资金29996.40万元用于偿还银行贷款。公司监事会对以上事项发表了明确同意的意见，保荐人国泰海通对此出具无异议的核查意见。2025年12月19日，公司召开2025年第一次临时股东大会并审议通过了该项议案。

11截至2025年12月31日止，公司“补充流动资金及偿还银行贷款”中偿还银

行贷款金额为10500.00万元。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并及时、真实、准确、完整地对募集资金存放及实际使用情况进行了披露，不存在募集资金使用及披露的违规情形。

六、保荐机构核查工作

保荐代表人通过资料审阅、访谈沟通等多种方式，对公司募集资金的存放和使用及募集资金投资项目实施情况进行了核查，包括但不限于：查阅公司募集资金专户银行对账单、募集资金使用凭证、中介机构相关报告、募集资金使用情况的相关

公告等资料，并与公司相关人员沟通交流等。

七、保荐机构核查意见经核查，保荐人认为：中科飞测2025年度募集资金的存放与使用符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指

引第1号——规范运作》等法律法规、规范性文件及相关规定，对募集资金进行

了专户存储，履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形。

（以下无正文）12（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于深圳中科飞测科技股份有限公司2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查报告》之签字盖章页）

保荐代表人（签字）：

________________________________田方军谢欣灵国泰海通证券股份有限公司年月日

13附件1

深圳中科飞测科技股份有限公司首次公开发行股票募集资金使用情况对照表

截止日期：2025年12月31日

编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司金额单位：人民币万元

募集资金净额169838.66本年度投入募集资金总额23043.11

变更用途的募集资金总额30877.70已累计投入募集资金总额150033.44

变更用途的募集资金总额比例（%）18.18截至期末累截至期末项目达项目可已变更项募集资金截至期末截至期末计投入金额投入进度到预定本年度是否达行性是目，含部调整后投本年度投承诺投资项目承诺投资承诺投入累计投入与承诺投入（%）可使用实现的到预计否发生分变更资总额入金额

总额金额(1)金额(2)金额的差额状态日效益效益重大变（如有）(4)＝(2)/(1)

(3)＝(2)-(1)期化高端半导体质量控

是30800.0061677.7061677.7023043.1139953.26-21724.4464.78不适用不适用不适用否制设备产业化项目研发中心升级建设

否14200.0014200.0014200.00—14278.6078.60100.55已完成不适用不适用否项目

补充流动资金否55000.0055000.0055000.00—55596.93596.93101.09不适用不适用不适用否

超额募集资金净额是69838.6638960.9638960.96—40204.651243.69103.19不适用不适用不适用否

合计—169838.66169838.66169838.6623043.11150033.44-19805.2288.34————未达到计划进度原因（分具体募投无。

项目）项目可行性发生重大变化的情况说无。

明募集资金投资项目先期投入及置换无。

情况用闲置募集资金暂时补充流动资金无。

情况

14对闲置募集资金进行现金管理，投参见前述专项报告“三、2025年年度募集资金的实际使用情况”之“（五）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”相

资相关产品情况关内容。

用超募资金永久补充流动资金或归无。

还银行贷款情况募集资金结余的金额及形成原因无。

募集资金其他使用情况参见前述专项报告“三、2025年年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。

15附件2

深圳中科飞测科技股份有限公司

2024年度向特定对象发行股票募集资金使用情况对照表

截止日期：2025年12月31日

编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司金额单位：人民币万元

募集资金净额248076.74本年度投入募集资金总额56953.82

变更用途的募集资金总额29996.40已累计投入募集资金总额56953.82

变更用途的募集资金总额比例（%）12.09截至期末累截至期末项目达项目可已变更项募集资金截至期末截至期末计投入金额投入进度到预定本年度是否达行性是目含部调整后投本年度投

承诺投资项目承诺投资承诺投入累计投入与承诺投入（%）可使用实现的到预计否发生分变更资总额入金额

总额金额(1)金额(2)金额的差额状态日效益效益重大变（如有）

(3)＝(2)-(1)(4)＝(2)/(1)期化上海高端半导体质

量控制设备研发测注118000.00116076.74116076.7415606.9015606.90-100469.8413.45不适用不适用不适用否试及产业化项目

其中：上海高端半

导体质量控制设备注73400.0071476.7471476.749705.829705.82-61770.9213.58不适用不适用不适用否产业化项目上海高端半

导体质量控制设备否44600.0044600.0044600.005901.085901.08-38698.9213.23不适用不适用不适用否研发测试中心项目总部基地及研发中

否62000.0062000.0062000.006597.236597.23-55402.7710.64不适用不适用不适用否心升级建设项目

补充流动资金是70000.00------不适用不适用不适用否

16补充流动资金及偿

是—70000.0070000.0034749.6934749.69-35250.3149.64不适用不适用不适用否还银行贷款

合计—250000.00248076.74248076.7456953.8256953.82-191122.9222.96————未达到计划进度原因（分具体无。

募投项目）项目可行性发生重大变化的情无。

况说明募集资金投资项目先期投入及

参见前述专项报告“三、2025年年度募集资金的实际使用情况”之“（二）募投项目先期投入及置换情况”相关内容。

置换情况用闲置募集资金暂时补充流动

参见前述专项报告“三、2025年年度募集资金的实际使用情况”之“（四）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况”相关内容。

资金情况

对闲置募集资金进行现金管参见前述专项报告“三、2025年年度募集资金的实际使用情况”之“（五）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”相关理，投资相关产品情况内容。

用超募资金永久补充流动资金无。

或归还银行贷款情况募集资金结余的金额及形成原无。

因

募集资金其他使用情况参见前述专项报告“三、2025年年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。

注：公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》，同意公司根据实际募集资金净额将“上海高端半导体质量控制设备产业化项目”拟使用募集资金投资金额从73400.00万元调整为71476.74万元具体调整情况详见公司于 2025 年 10月 31日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》（公告编号：2025-057）。公司监事会对本事项发表了意见，保荐人国泰海通出具了核查意见。

17附件3

深圳中科飞测科技股份有限公司

2024年度向特定对象发行股票变更募集资金投资项目情况表

截止日期：2025年12月31日

编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司金额单位：人民币万元截至期末计划投资进度项目达到预本年度变更后的项目变更后项目拟投入募本年度实际实际累计是否达到预计

变更后的项目对应的原项目累计投资金额(2)（%）定可使用状实现的可行性是否发集资金总额(1)投入金额投入金额(3)=(2)/(1)效益态日期效益生重大变化补充流动资金及偿还银

补充流动资金70000.0070000.0034749.6934749.6949.64不适用不适用不适用否行贷款

合计—70000.0070000.0034749.6934749.6949.64————

变更原因：在保证募集资金正常进行的前提下，为提高募集资金的使用效率，改善公司资本结构，降低财务成本，根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规以及《公司章程》《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》的有关规定，公司拟将原募投项目“补充流动资金”变更为变更原因、决策程序及信息披露情况说明（分具体募投项目）“补充流动资金及偿还银行贷款”。

决策程序：本次变更募集资金用途由第二届董事会第十八次会议、第二届监事会第十六次会议和2025年

第一次临时股东大会审议通过。

变更信息披露：公司于 2025年 12 月 4日在上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）披露了《深圳中科飞测科技股份有限公司关于变更部分募集资金用途的公告》（公告编号：2025-068）

未达到计划进度的情况和原因（分具体募投项目）无。

变更后的项目可行性发生重大变化的情况说明无。

注：“本年度实现的效益”的计算口径、计算方法与承诺效益的计算口径、计算方法一致

18