证券代码：688361证券简称：中科飞测公告编号：2026-032

深圳中科飞测科技股份有限公司

关于2026年半年度募集资金存放、管理与实际使用

情况的专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或

者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

按照中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、上海证券交易

所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，现将深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称本公司或公司）2026年半年度募集

资金存放、管理与实际使用情况报告如下：

一、募集资金基本情况

1.2023年首次公开发行股票中国证券监督管理委员会于2023年2月21日核发《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2023〕367号），同意公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票。公司于 2023年 5月 19日首次公开发行的股份数量为8000.00万股，发行价格为每股23.60元，募集资金总额为人民币188800.00万元，扣除发行费用人民币18961.34万元后，募集资金净额为人民币169838.66万元。已于2023年5月16日通过国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”）汇入公司银行账户。上述募集资金已经天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具天职业字〔2023〕32719号《验资报告》。

1募集资金基本情况表

单位：万元币种：人民币发行名称2023年首次公开发行股票募集资金到账时间2023年5月16日本次报告期2026年1月1日至2026年6月30日项目金额

一、募集资金总额188800.00

其中：超募资金金额69838.66

减：直接支付发行费用18961.34

二、募集资金净额169838.66

减：

以前年度已使用金额150033.44

本年度使用金额2657.65

暂时补流金额-

现金管理金额16800.00

银行手续费支出及汇兑损益5.08

加：

募集资金利息收入1144.95

募集资金理财收益1929.58

三、报告期期末募集资金余额3417.02

2.2024年度向特定对象发行股票中国证券监督管理委员会于2025年8月4日核发《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕1640号），同意公司 2024年度向特定对象发行 A股股票 28571428股，发行价格 87.50元/股，募集资金总额为人民币250000.00万元，扣除各项发行费用（不含增值税）人民币

1923.26万元后，实际募集资金净额为人民币248076.74万元。上述募集资金到位

情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具容诚验字[2025]518Z0128号《验资报告》。

募集资金基本情况表

单位：万元币种：人民币发行名称2024年度向特定对象发行股票募集资金到账时间2025年10月13日本次报告期2026年1月1日至2026年6月30日

2项目金额

一、募集资金总额250000.00

其中：超募资金金额-

减：直接支付发行费用1923.26

二、募集资金净额248076.74

减：

以前年度已使用金额56953.82

本年度使用金额50851.39

暂时补流金额29999.61

现金管理金额46000.00

银行手续费支出及汇兑损益2.53

加：

募集资金利息收入72.87

募集资金理财收益970.94

三、报告期期末募集资金余额65313.19

二、募集资金管理情况

为了规范公司募集资金的存放、使用和管理，维护投资者的合法权益，确保公司募投项目顺利开展，提高募集资金使用效率，本公司根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等规定，制定了《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》（以下简称“《募集资金管理办法》”）。根据相关规定及《募集资金管理办法》，公司对募集资金实行专户存储和管理，在银行设立募集资金专户。

1.2023年首次公开发行股票

2023年5月及6月，公司、保荐人国泰海通、存放募集资金的中国银行股份有

限公司深圳布吉支行、平安银行股份有限公司深圳分行、中国建设银行股份有限公

司深圳上步支行、兴业银行股份有限公司深圳分行、中信银行股份有限公司深圳分

行、招商银行股份有限公司深圳分行、中国工商银行股份有限公司深圳龙华支行、

上海银行股份有限公司深圳分行、宁波银行股份有限公司深圳分行等签订募集资金

监管协议，对募集资金实施专户存储。

为方便公司资金账户管理，减少管理成本，公司于2024年10月30日召开董事会审议并通过《关于注销部分募集资金专项账户的议案》，同意注销部分募集资

3金专户。

截至2026年6月30日，公司严格按照监管协议的规定存放、使用、管理募集资金，募集资金监管协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。

募集资金存储情况表

单位：万元币种：人民币发行名称2023年首次公开发行股票募集资金到账时间2023年5月16日账户名称开户银行银行账号报告期末余额账户状态广州中科飞中信银行股份

测科技有限有限公司深圳81103010121006843953316.39使用中公司留仙洞支行深圳中科飞中国银行股份

测科技股份有限公司深圳76927707112997.29使用中有限公司大芬支行深圳中科飞中信银行股份

测科技股份有限公司深圳81103010130006826082.69使用中有限公司留仙洞支行深圳中科飞平安银行股份

测科技股份有限公司深圳152014123188330.65使用中有限公司香蜜湖支行深圳中科飞招商银行股份

测科技股份有限公司深圳755942306110108-使用中有限公司红山支行深圳中科飞中国建设银行

测科技股份股份有限公司44250100000800005439-已注销有限公司深圳上步支行深圳中科飞兴业银行股份

测科技股份有限公司深圳337060100100544110-已注销有限公司宝安支行深圳中科飞中国工商银行

测科技股份股份有限公司4000103929100801232-已注销有限公司深圳大浪支行深圳中科飞上海银行深圳

测科技股份03005344408-已注销前海分行有限公司深圳中科飞宁波银行股份

73080122000445229-已注销

测科技股份有限公司深圳

4有限公司龙华支行

上海中科飞中国银行股份

测半导体科有限公司深圳745877261923-已注销技有限公司大芬支行深圳中科飞中国银行股份

测科技股份有限公司深圳754977254881-已注销有限公司大芬支行

合计3417.02-

2.2024年度向特定对象发行股票

2025年11月及12月，公司、保荐人国泰海通、存放募集资金的中国银行股份

有限公司深圳布吉支行、中信银行股份有限公司深圳分行、中国工商银行股份有限

公司深圳龙华支行、招商银行股份有限公司上海分行、浙商银行股份有限公司深圳

分行、招商银行股份有限公司深圳分行、中国光大银行股份有限公司深圳分行、宁

波银行股份有限公司深圳龙华支行、上海银行股份有限公司深圳分行、平安银行股

份有限公司深圳分行、中国建设银行股份有限公司深圳上步支行、交通银行股份有

限公司上海浦东分行等签订募集资金监管协议，对募集资金实施专户存储。2026年

1月，公司、保荐人国泰海通、存放募集资金的中国工商银行股份有限公司深圳龙

华支行签订募集资金监管协议，对募集资金实施专户存储。

截至2026年6月30日，公司严格按照监管协议的规定存放、使用、管理募集资金，募集资金监管协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。

募集资金存储情况表

单位：万元币种：人民币

2024年度向特定对象发行股

发行名称票募集资金到账时间2025年10月13日账户名称开户银行银行账号报告期末余额账户状态深圳中科飞中信银行深圳

测科技股份811030101280082342028448.50使用中分行营业部有限公司深圳中科飞宁波银行深圳

8602111000126218825075.29使用中

测科技股份龙华支行

5有限公司

飞测思凯浦（上海）半中国建设银行

442501000008096883616094.20使用中

导体科技有深圳上步支行限公司飞测思凯浦（上海）半招商银行上海

1219768541100085502.97使用中

导体科技有分行营业部限公司飞测思凯浦（上海）半交通银行上海

31006677101500368166776.11使用中

导体科技有陆家嘴支行限公司深圳中科飞招商银行深圳

测科技股份75594230611000061.05使用中红山支行有限公司深圳中科飞中国光大银行

测科技股份3894018800029655352.42使用中深圳宝安支行有限公司深圳中科飞中国银行深圳

测科技股份7562803807851.98使用中大芬支行有限公司深圳中科飞浙商银行龙华

测科技股份58400003101201001230380.34使用中支行有限公司深圳中科飞平安银行深圳

测科技股份150012318888960.20使用中香蜜湖支行有限公司深圳中科飞中国工商银行

测科技股份40001039291010246160.09使用中深圳大浪支行有限公司深圳中科飞上海银行深圳

测科技股份030064399170.02使用中前海分行有限公司深圳中科飞中国工商银行

测科技股份40001039291010257660.02使用中深圳大浪支行有限公司

合计65313.19-

三、2026年半年度募集资金的实际使用情况

（一）募集资金投资项目的资金使用情况

截至2026年6月30日，公司实际投入相关项目的募集资金具体使用情况详见

6“附表1：2023年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表”“附表2：2024年度向特定对象发行股票募集资金使用情况对照表”。

（二）募投项目先期投入及置换情况

1.2023年首次公开发行股票

报告期内，公司不涉及募投项目先期投入及置换的情况。

2.2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第十六次会议，分别审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金人民币16724.19万元置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金。上述事项符合募集资金到账后6个月内进行置换的规定。上述置换事项及置换金额业经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具了“容诚专字[2025]518Z1012号”《以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用鉴证报告》。具体内容详见公司于2025年12月4日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的公告》（公告编号：2025-066）。公司监事会对本事项发表了意见，保荐人国泰海通出具了核查意见。

报告期内，公司涉及募投项目先期投入及支付发行费用的自筹资金已经置换

1000.00万元。截至2026年6月30日，公司涉及募投项目先期投入及支付发行费

用的自筹资金已经全部置换完成。

（三）使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的情况

1.2023年首次公开发行股票

报告期内，公司不涉及使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的情况。

2.2024年度向特定对象发行股票

7公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，公司监事会对上述事项发表了同意意见，国泰海通对上述事项出具了无异议的核查意见。

报告期内，公司涉及使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的金额为11183.21万元。

（四）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

1.2023年首次公开发行股票

报告期内，公司不存在使用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

2.2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，使用额度不超过人民币30000万元（含本数）的闲置募集资金临时补充流动资金。使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月。上述事项无需提交公司股东大会审议。公司履行的审批程序符合相关法律法规规定，符合监管部门的相关监管要求。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

截至2026年6月30日，公司涉及使用闲置募集资金暂时补充流动资金的金额为29999.61万元。

闲置募集资金临时补充流动资金明细表

单位：万元币种：人民币发行名称2024年度向特定对象发行股票募集资金到账时间2025年10月13日计划补充归还募临时补充流临时补充流动资归还募集流动资金董事会审议通过日期集资金动资金金额金起始日期资金金额时长日期

29999.612025年12月312个月2025年12月3日--

8日

（五）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

1.2023年首次公开发行股票

2025年4月25日，公司分别召开了第二届董事会第十三次会议和第二届监事会第十三次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金（含超募资金）及自有资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币30000万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）和不超过人民币100000万元的自有资金（含本数）进行现金管理，使用期限自上一次授权期限到期日（2025年6月4日）后12个月内有效，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

2026年4月24日，公司召开了第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金（含超募资金）及自有资金进行现金管理的议案》，同意公司拟使用不超过人民币30000万元（含本数）的部分闲置募集资金及超募资金（其中拟使用超募资金及其孳息不超过2000万元）和不超过人民币100000万元

的自有资金（含本数）进行现金管理，使用期限自上一次授权期限到期日（2026年

6月3日）后12个月内有效，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。保荐人

国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

截至2026年6月30日，公司使用部分闲置首次公开发行股票募集资金进行现金管理的余额为16800.00万元。具体情况如下：

募集资金现金管理审核情况表

单位：万元币种：人民币发行名称2023年首次公开发行股票募集资金到账时间2023年5月16日计划进行董事会审议通过现金管理计划进行现金管理的方式计划起始日期计划截止日期日期的金额

购买安全性高、流动性好的

300002025年6月4日2026年6月3日2025年4月25日

投资产品

购买安全性高、满足保本要

300002026年6月3日2027年6月2日2026年4月24日

求、流动性好、期限不超过

912个月的产品

募集资金现金管理明细表

单位：万元币种：人民币金融机构理财类型起息日到期日金额利率中国银行股份有限公司

可转让大额存单2023/7/142026/7/1413000.002.90%深圳大芬支行中国银行股份有限公司

结构性存款2026/6/182026/7/163800.001.08%深圳大芬支行

合计16800.00/

2.2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币200000万元（含本数）的2024年度向特定对象发行 A股股票闲置募集资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

截至2026年6月30日，公司使用部分向特定对象发行A股股票闲置募集资金进行现金管理的余额为46000.00万元。具体情况如下：

募集资金现金管理审核情况表

单位：万元币种：人民币发行名称2024年度向特定对象发行股票募集资金到账时间2025年10月13日计划进行计划进行现金管理董事会审议通过日现金管理计划起始日期计划截止日期的方式期的金额

购买安全性高、满足

保本要求、流动性

2000002025年10月30日2026年10月29日2025年10月30日

好、期限不超过12个月的产品募集资金现金管理明细表

10单位：万元币种：人民币

金融机构理财类型起息日到期日金额利率

光大银行深圳宝安支行结构性存款2026/4/232026/7/2310000.001.65%

中国银行深圳大芬支行结构性存款2026/5/262026/8/2624000.001.13%

中信证券股份有限公司信智安盈2180期2026/5/272026/11/262000.001.05%中国建设银行股份有限公

结构性存款2026/6/82026/8/86000.001.23%司深圳上步支行

招商银行深圳红山支行结构性存款2026/6/262026/8/274000.001.25%

合计46000.00/

（六）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

报告期内，公司不涉及用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。

（七）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况

报告期内，公司不涉及将超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况。

（八）节余募集资金使用情况

截至2026年6月30日，公司不存在将募投项目节余资金用于其他募投项目或非募投项目的情况。

（九）募集资金使用的其他情况

1.2023年首次公开发行股票

2023年6月14日，公司召开第一届董事会第二十四次会议、第一届监事会第二十次会议，审议通过了《关于使用募集资金向子公司实缴注册资本和提供借款以实施募投项目的议案》，同意公司使用募集资金10600万元向全资子公司广州中科飞测科技有限公司（以下简称“广州中科飞测”）实缴注册资本并提供20200万元

借款以实施“高端半导体质量控制设备产业化项目”。根据项目实施需要逐步拨付（借款不计息），借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还。到期后，如双方均无异议，该笔借款可自动续期。公司独立董事、监事会对上述事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的审查意见。

112024年6月4日，公司召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，同意公司根据募投项目的建设安排及实际资金需求情况，在不超过募投项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”拟投入募集资金金额的情况下，公司拟通过提供借款的方式将募集资金划转至该募投项目实施主体所开设的募集资金

专用账户，即公司的全资子公司广州中科飞测的募集资金专用账户，并授权公司管理层负责借款手续办理以及后续的管理工作。公司拟使用募集资金向广州中科飞测提供借款人民币30877.70万元，根据项目实施需要，逐步拨付。前述借款不计利息，借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还；到期后，如双方均无异议借款可自动续期。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

截至2026年6月30日，公司使用募集资金向广州中科飞测提供借款35034.70万元，使用募集资金向广州中科飞测实缴注册资本为10600.00万元。

2026年4月24日，公司召开了第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目延期的议案》，同意将公司本次部分募集资金投资项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”实施期限延至2027年6月。具体内容详见公司 2026年 4月 25日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于部分募集资金投资项目延期的公告》（公告编号：2026-018）。

2.2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，同意公司根据募投项目的建设安排及实际资金需求情况，在不超过募投项目“上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目”拟投入

募集资金金额的情况下，公司拟通过提供不超过人民币116076.74万元借款的方式将募集资金划转至该募投项目实施主体所开设的募集资金专用账户，即公司的全资子公司飞测思凯浦（上海）半导体科技有限公司（以下简称“飞测思凯浦”）的募

集资金专用账户，并授权公司管理层负责借款手续办理以及后续的管理工作。前述借款不计利息，借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前

12偿还；到期后，如双方均无异议借款可自动续期。公司监事会对以上事项发表了明

确同意的意见，保荐人国泰海通对此出具无异议的核查意见。

截至2026年6月30日，公司使用募集资金向飞测思凯浦提供借款44562.00万元。

四、变更募投项目的资金使用情况

1.2023年首次公开发行股票

2024年6月4日，公司召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，具体详见“三、2026年半年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。

截至2026年6月30日止，公司使用募集资金向广州中科飞测提供借款

35034.70万元。

2.2024年度向特定对象发行股票

公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，具体详见“三、2026年半年度募集资金的实际使用情况”

之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。

截至2026年6月30日，公司使用募集资金向飞测思凯浦提供借款44562.00万元。

公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事

会第十六次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金用途的议案》，为提升募集

资金使用效率，保证募集资金使用的规范性，结合公司实际情况，公司拟将原募投项目“补充流动资金”变更为“补充流动资金及偿还银行贷款”，其中原募投项目“补充流动资金”部分募集资金29996.40万元用于偿还银行贷款。公司监事会对以上事项发表了明确同意的意见，保荐人国泰海通对此出具无异议的核查意见。2025年12月19日，公司召开2025年第一次临时股东大会并审议通过了该项议案。

13截至2026年6月30日止，公司“补充流动资金及偿还银行贷款”中偿还银行

贷款金额29996.40万元。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并及时、真实、准确、完整地对募集资金存放及实际使用情况进行了披露，不存在募集资金使用及披露的违规情形。

特此公告。

深圳中科飞测科技股份有限公司董事会

2026年8月26日

14附表1

2023年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表

单位：万元币种：人民币发行名称2023年首次公开发行股票募集资金到账日期2023年5月16日

本年度投入募集资金总额2657.65

已累计投入募集资金总额152691.09

变更用途的募集资金总额30877.70

变更用途的募集资金总额比例（%）18.18项目截至期截至期末累项目达到可行已变更项末投入截至期末承本年度截至期末计投入金额预定可使本年度是否达性是

承诺投资项目和募投项目目，含部募集资金承诺调整后投资进度超募资金投向性质诺投入金额投入金累计投入与承诺投入用状态日实现的到预计否发

分变更投资总额总额（%）(1)额金额(2)金额的差额期（具体效益效益生重（如有）(4)＝

(3)＝(2)-(1)到月份）大变

(2)/(1)化高端半导体质量

控制设备产业化生产建设是30800.0061677.7061677.702657.6542610.91-19066.7969.09不适用不适用不适用否项目研发中心升级建

研发否14200.0014200.0014200.000.0014278.6078.60100.55已完成不适用不适用否设项目

补充流动资金补流还贷否55000.0055000.0055000.000.0055596.93596.93101.09不适用不适用不适用否超额募集资金净

补流还贷是69838.6638960.9638960.960.0040204.651243.69103.19不适用不适用不适用否额

15合计169838.66169838.66169838.662657.65152691.09-17147.5789.90———

未达到计划进度2026年4月24日，公司召开了第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目延期的议案》。结合当前募投项目实际进展情况，原因（分具体募公司决定将“高端半导体质量控制设备产业化项目”实施期限延至2027年6月。具体内容详见公司于2026年4月25日披露的《深圳中科飞测科技股份投项目）有限公司关于部分募集资金投资项目延期的公告》（公告编号：2026-018）。

项目可行性发生重大变化的情况无。

说明募集资金投资项目先期投入及置无。

换情况用闲置募集资金暂时补充流动资无。

金情况对闲置募集资金

进行现金管理，参见前述专项报告“三、2026年半年度募集资金的实际使用情况”之“（五）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”相关内容。

投资相关产品情况用超募资金永久补充流动资金或无。

归还银行贷款情况募集资金结余的无。

金额及形成原因募集资金其他使

参见前述专项报告“三、2026年半年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。

用情况

16附表2

2024年度向特定对象发行股票募集资金使用情况对照表

单位：万元币种：人民币发行名称2024年度向特定对象发行股票募集资金到账日期2025年10月13日

本年度投入募集资金总额50851.39

已累计投入募集资金总额107805.21

变更用途的募集资金总额29996.40

变更用途的募集资金总额比例（%）12.09项目达项目截至期截至期末累到预定可行已变更项末投入截至期末承截至期末累计投入金额可使用本年度是否达性是募投

承诺投资项目和超募目，含部募集资金承调整后投资本年度投入进度项目资金投向诺投入金额计投入金额与承诺投入状态日实现的到预计否发

性质分变更诺投资总额总额金额（%）(1)(2)金额的差额期（具效益效益生重（如有）(4)＝

(3)＝(2)-(1)体到月大变

(2)/(1)

份）化上海高端半导体质量生产

控制设备研发测试及否116076.74116076.74116076.7411262.2626869.16-89207.5823.15不适用不适用不适用否建设产业化项目

其中：上海高端半导生产

体质量控制设备产业否71476.7471476.7471476.747067.4716773.28-54703.4623.47不适用不适用不适用否建设化项目

上海高端半导生产否44600.0044600.0044600.004194.8010095.88-34504.1222.64不适用不适用不适用否

17体质量控制设备研发建设

测试中心项目总部基地及研发中心生产

否62000.0062000.0062000.004257.2410854.47-51145.5317.51不适用不适用不适用否升级建设项目建设补流

补充流动资金是70000.00------不适用不适用不适用否还贷补充流动资金及偿还补流

是-70000.0070000.0035331.8970081.5881.58100.12不适用不适用不适用否银行贷款还贷

合计248076.74248076.74248076.7450851.39107805.21-140271.5343.46———未达到计划进度原因无。

（分具体募投项目）项目可行性发生重大无。

变化的情况说明募集资金投资项目先

参见前述专项报告“三、2026年半年度募集资金的实际使用情况”之“（二）募投项目先期投入及置换情况”相关内容。

期投入及置换情况用闲置募集资金暂时

参见前述专项报告“三、2026年半年度募集资金的实际使用情况”之“（四）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况”相关内容。

补充流动资金情况对闲置募集资金进行

现金管理，投资相关参见前述专项报告“三、2026年半年度募集资金的实际使用情况”之“（五）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”相关内容。

产品情况用超募资金永久补充流动资金或归还银行无。

贷款情况募集资金结余的金额无。

及形成原因募集资金其他使用情

参见前述专项报告“三、2026年半年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。

况

18附表3

变更募集资金投资项目情况表

单位：万元币种：人民币发行名称2024年向特定对象发行股票募集资金到账日期2025年10月13日变更后的对项目达到项目应变更后项截至期末变更募投本年度实实际累计投资进度预定可使本年度是否达可行董事会股东会的实施目拟投入计划累计

后的项目实施主体际投入金投入金额（%）用状态日实现的到预计性是审议通审议通原地点募集资金投资金额项目性质额(2)(3)=(2)/(1)期（具体效益效益否发过时间过时间项总额(1)到年月）生重目大变化补充补流动充资金深圳中科飞测2025年2025年流补流

及偿科技股份有限深圳70000.0070000.0035331.8970081.58100.12不适用不适用不适用否12月312月19动还贷还银公司日日资行贷金款

合计70000.0070000.0035331.8970081.58100.12------

变更原因：在保证募集资金正常进行的前提下，为提高募集资金的使用效率，改善公司资本结构，降低财务成本，根据《上市公司募集资金监管规则》变更原因、决策程《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规以及《公司章程》

序及信息披露情况《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》的有关规定，公司拟将原募投项目“补充流动资金”变更为“补充流动资金及偿还银行说明（分具体募投贷款”。项目）决策程序：本次变更募集资金用途由第二届董事会第十八次会议、第二届监事会第十六次会议和2025年第一次临时股东大会审议通过。

变更信息披露：公司于 2025 年 12 月 4日在上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）披露了《深圳中科飞测科技股份有限公司关于变更部分募

19集资金用途的公告》（公告编号：2025-068）

未达到计划进度的情况和原因（分具无。体募投项目）变更后的项目可行性发生重大变化的无。

情况说明

注：“本年度实现的效益”的计算口径、计算方法与承诺效益的计算口径、计算方法一致。

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