证券代码：688361 证券简称：中科飞测

深圳中科飞测科技股份有限公司投资者关系活动记录表

编号：2026-002

投资者关系活动类别 ?特定对象调研 □分析师会议 □媒体采访 □业绩说明会 □新闻发布会 □路演活动 □现场参观 ?其他 （电话会议）

参与单位名称 详见附件 1《与会单位名单》

时间 2026年4月28日 20：00

地点 中科飞测办公室

上市公司接待人员姓名 陈 鲁 董事长、总经理 古凯男 董事会秘书 周凡女 财务总监

投资者关系活动主要内容介绍 主要内容介绍 公司就中科飞测2025年度及2026年一季度经营情况进行了介绍。 互动问答 关于2025年及2026年一季度收入和订单构成情况。 答： 2025年及2026年一季度，公司收入及订单结构整体正在发生积极变化： 产品结构方面，暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备持续通过多家国内头部逻辑、存储客户验证并实现销售，成为2025年以及2026年一季度收入的重要增长引擎，并且在2026年一季度的新增订单中占比快速提升，其他系列产品订单占比有不同程度稀释。 客户类型方面，2025年公司收入及订单构成与往年基本一致，以前道制程客户为主，其中存储客户的订单占比稳步提升，先进封装业务以HBM、2.5D/3D封装为主。2026年一季度，受2025年HBM、 2.5D/3D封装订单拉动，先进封装收入占比阶段性超过30%，结合在手订单结构，后续客户构成将回归正常，前道制程的收入占比逐步回升。 工艺节点方面，2025年先进制程收入占比超过60%，在订单结构中先进制程占比超过了70%，未来先进制程的收入和订单贡献有望进一步增长。 关于明暗场设备验证以及新产品研发进展。 答： 公司明暗场设备及电子束、X 光等新产品研发均取得积极的阶段性成果，具体来看： （1）暗场设备已在多家国内头部逻辑、存储客户产线完成验证并实现批量销售。基于该系列设备在国内绝对领先优势，以及国内头部客户对国产量检测设备的迫切需求，预计今年暗场设备将有更积极的订单和收入贡献。 （2）明场设备已在多家国内头部逻辑、存储客户产线验证较长时间，从客户端反馈的测试数据来看，设备性能与稳定性都有明显提升，公司对明场设备的验证进展和未来发展非常有信心，预计今年将看到更多的成果。 （3）新产品研发方面，公司推出了晶圆平整度量测设备、电子束关键尺寸量测设备，以及基于 X光技术的高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设备等4 款新产品。其中高深宽比刻蚀结构量测设备目前已经成功应用于国内先进存储客户产线；晶圆平整度量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设备也已经出货到国内头部客户开展产线验证；电子束关键尺寸量测设备正在国内多家头部客户进行晶圆样片测试，预计很快会出货到头部客户产线验证。 关于各系列产品产业化进展。 答： 公司能够为半导体行业客户提供涵盖三大核心技术路线的十三大系列设备产品、三大系列智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案，能够帮助客户显著提升采购效率和售后服务响应，降低对接和管理成本，有效提升产线整体良率与运营效率。公司2025年全年出货超过了400台，客户覆盖国内逻辑、存储、特色工艺、硅片及制程设备等不同类型，以及从成熟到先进制程的不同工艺节点，并在先进制程、HBM、2.5D/3D封装领域保持国内显著领先： （1）在先进制程领域，目前九大系列量产设备全面覆盖国内最先进工艺产线的扩产需求。其中公司在暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、无图形晶圆缺陷检测设备、套刻精度量测设备、金属膜厚量测设备等多款设备是目前在国内先进制程领域唯一具备量产交付能力的国产供应商；面向国内更先进工艺节点，无图形晶圆缺陷检测设备已经通过国内头部客户验证并实现销售，预计今年会有包括暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、套刻精度量测设备、膜厚量测设备等多款设备出货到客户端验证。 （2）在HBM、2.5D/3D封装领域，公司的量产设备已经覆盖了国内头部客户对于量检测的全部需求，包括暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、套刻精度量测设备、介质膜厚量测设备等，这些设备在先进封装收入中占有很高比例。 关于公司研发投入情况以及未来展望。 答：公司重点研发方向始终重点围绕两方面：一是持续拓展设备品类，二是推动现有产品向更先进制程升级迭代。 （1）新产品研发方面，为了尽快完成新产品研发与验证，响应国内最先进制程客户扩产对于更全面覆盖的产品组合的需求，2025年公司密集推出了多款光学、电子束、X光设备。目前，公司已经全面覆盖国内先进制程客户扩产所需的全部光学类量检测设备，同时覆盖了电子束和X光的部分核心设备。 （2）各系列产品升级迭代方面，公司十三大系列设备已全面覆盖国内当下先进制程客户的扩产需求，同时还在持续推进各系列设备面向更先进工艺的迭代升级，这在硬件、软件上都需要持续的研发投入。 基于上述布局，2026年一季度公司持续加大新产品及现有产品向更前沿工艺的迭代升级，在研项目数量以及研发人员规模较去年同期均有较大增长，带动职工薪酬、研发用材料费及资产折旧摊销等研发投入同比大幅增加。 展望未来，随着新产品及现有产品升级迭代产品逐步验证通过，收入贡献不断增长，规模效应逐步显现，公司研发投入增速预计低于收入增速，研发占收入的比例会呈现整体稳步下降的趋势。 关于一季度毛利率波动的原因及未来展望。 答：2026 年一季度毛利率相比往年有小幅波动，主要是当期毛利率相对较低的先进封装以及成熟制程型号占比相对较高。 结合公司目前在手订单结构，未来先进封装以及成熟制程产品占比将逐步回归正常区间，叠加新产品在多家客户产线上陆续完成验证、进入稳定量产交付阶段，全年毛利率有望保持在过去几年平均水平。 关于当前国内竞争形势及演变趋势、公司的竞争优势以及应对策略。 答： 整体来看，国内量检测设备国产化率仍然很低，尤其是在先进制程应用领域，未来几年国内设备企业整体上还处在抢占国外企业市场份额的过程中。 半导体量检测设备行业产品种类多，技术壁垒高，设备从研发到稳定量产至少需要几年的时间，而且出于验证资源投入、产线管理成本以及缺陷数据积累等方面考虑，尤其在先进制程领域，客户通常不会在同一条产线上选择太多供应商。因此，参照国际竞争格局，率先进入头部客户产线并形成深度绑定，同时具备全品类产品布局和持续迭代能力的企业，将持续保持显著的竞争优势。 经过10 余年的持续研发和产品迭代，公司目前在产品覆盖的广度和深度、客户资源、供应链体系等方面已经在国内显著领先，技术迭代能力已经充分得到市场验证。公司对未来在新设备推出、现有设备的迭代升级以及产业化推进等方面继续保持领先地位充满信心。 公司的目标始终锚定更广阔、更前沿的检测与量测市场。一方面，持续推进新产品和各系列量产产品向更先进制程的研发，通过产品线的全面覆盖以及制程能力与国内头部客户需求保持同步，持续巩固国内领先优势；另一方面，在巩固国内市场的同时积极拓展海外市场。目前公司在先进封装领域已经取得了多个东南亚客户的订单，2025年实现超过5000万的境外收入，未来还有很大增长空间。凭借性价比以及定制化服务等优势，公司对未来海外收入的持续增长充满信心。 关于全年收入、利润及订单的展望 答： 综合目前的经营情况、产品进展以及市场环境，公司对2026年经营情况充满信心： （1）收入层面：结合公司现阶段在手订单、新产品验证情况、以及出货设备在客户端的验收工作进展，今年有望保持较高的收入增长水平； （2）利润层面：2026年一季度亏损，主要是为加快打破国外企业在国内市场的垄断局面，公司进一步加大新产品及现有产品向更前沿工艺的研发和产业化，研发、销售以及客户相关服务人员规模同步提升，带动职工薪酬、研发用材料费、市场推广费等研发、销售相关费用同比有较大幅度增长。同时，毛利率受产品结构影响同比有小幅波动。展望全年，随着新产品及现有产品升级迭代产品逐步验证通过，收入贡献不断增长，规模效应逐步显现，研发及销售等各项费用占收入的比例整体呈现下降趋势，全年盈利水平有望进一步改善。 （3）订单层面：在AI算力、数据中心建设等相关强劲需求带动下，公司对于未来国内先进制程及HBM、2.5D/3D先进封装等前沿领域客户的扩产需求乐观。基于和头部客户长期深度的合作基础、全面覆盖的产品组合以及成熟的技术实力，公司有信心在相关客户未来扩产对国产量检测设备的需求中占据较大的竞争优势。由于客户下单节奏存在一定波动，具体增幅还需后续进一步明确，但趋势和方向非常确定。 关于核心零部件供应稳定性。 答： 长期以来，公司在设备整机的研发和产业化进程中，同时会进行大量的投入与国产零部件供应商开展技术合作，以满足公司设备的要求。目前，公司在上游零部件国产化方面成效显著，而且对于核心的关键零部件均配置多家备选供应商，能够确保供应链能够在设备完成研发后顺利转入大规模量产，为客户持续稳定供货。 关于市值管理执行情况及规划安排 答： 公司高度重视市值管理工作，制定了《市值管理制度》，确保公司市值管理活动的合规性、科学性、有效性，实现公司价值和股东利益的最大化。公司将坚持长期、稳定、可持续的发展，专注主业，稳步推进各系列产品的产业化，做好内外部经营管理，以优良的业绩回报投资者，努力为股东创造长期可持续的价值，推动公司股价与长期发展价值相匹配。 除以上问题外，其余交流内容已在之前发布的投资者关系活动记录表或定期报告等公告中披露，本次不再重复披露。

附件 1《与会单位名单》

机构名称（排名不分先后）

IDG资本管理(香港)有限公司

IGWT Investment 投资公司

埃普斯国际(香港)有限公司

爱建证券有限责任公司

百年保险资产管理有限责任公司

宝盈基金管理有限公司

鲍尔赛嘉(上海)投资管理有限公司

北京富纳投资有限公司

北京弘峰投资管理有限公司

北京弘君私募基金管理有限公司

北京盛运德诚投资管理有限责任公司

北京泽铭投资有限公司

北京中军投资管理有限公司

碧云资本管理有限公司

财通基金管理有限公司

财通证券股份有限公司

创金合信基金管理有限公司

大和日华(上海)企业咨询有限公司

淡水泉(北京)投资管理有限公司

东北证券股份有限公司

东方阿尔法基金管理有限公司

东方财富证券股份有限公司

东方证券股份有限公司

方正证券股份有限公司

丰海资产管理

冯源(宁波)私募基金管理有限公司

富国基金管理有限公司

高维私募基金管理(上海)有限公司

工银瑞信基金管理有限公司

光大证券股份有限公司

广东钜洲投资有限责任公司

广东粤财基金管理有限公司

广东正圆私募基金管理有限公司

广发证券股份有限公司

广开控股

广州卡迪莲

广州市慧创蚨祥私募基金管理有限公司

国富联合(青岛)私募基金管理有限公司

国海证券股份有限公司

国金证券股份有限公司

国联民生证券股份有限公司

国泰海通证券股份有限公司

国泰海通资管

国投创业投资管理有限公司

国投瑞银基金管理有限公司

国投证券股份有限公司

国信证券股份有限公司

国元证券股份有限公司

海南果实私募基金管理有限公司

海南鸿盛私募基金管理有限公司

海南星火私募基金管理有限公司

瀚亚投资管理(上海)有限公司

杭州遂玖私募基金管理有限公司

杭州正鑫私募基金管理有限公司

和谐健康保险股份有限公司

泓德基金管理有限公司

鸿运私募基金管理(海南)有限公司

湖南长心私募基金管理有限公司

华安证券股份有限公司

华方私募基金管理(上海)有限公司

华福证券股份有限公司

华杉瑞联基金管理有限公司

华泰证券股份有限公司

华泰资产管理有限公司

华西证券股份有限公司

华夏基金管理有限公司

华夏久盈资产管理有限责任公司

汇丰晋信基金管理有限公司

嘉实基金管理有限公司

江海证券资产管理

江苏瑞华投资控股集团有限公司

江西彼得明奇私募基金管理有限公司

交银施罗德基金管理有限公司

金鹰基金管理有限公司

景泰利丰资产管理有限公司

开源证券股份有限公司

凯基证券亚洲有限公司

立格资本投资有限公司

麦苗资本

民生加银基金管理有限公司

民生证券股份有限公司

摩根大通证券(中国)有限公司

摩根士丹利基金管理(中国)有限公司

摩根士丹利银行亚洲有限公司

南方基金管理股份有限公司

青岛城投城金控股集团有限公司

青岛国信创新股权投资管理有限公司

清池资本(香港)有限公司

泉果基金管理有限公司

群益证券投资信托股份有限公司

融通基金管理有限公司

瑞银证券有限责任公司

瑞银资产管理瑞士股份公司

三井住友德思资产管理(香港)有限公司

厦门坤易投资管理有限公司

山东嘉信私募基金管理有限公司

上海保银私募基金管理有限公司

上海博笃投资管理有限公司

上海禅龙资产管理有限公司

上海东方证券资产管理有限公司

上海高毅资产管理合伙企业(有限合伙)

上海固信投资控股有限公司

上海瀚伦私募基金管理有限公司

上海汇正研究所

上海开思私募基金管理有限公司

上海名世私募基金管理有限公司

上海浦东科创集团有限公司

上海钦沐资产管理合伙企业(有限合伙)

上海秋阳予梁投资管理有限公司

上海尚颀投资管理合伙企业(有限合伙)

上海申九资产管理有限公司

上海申银万国证券研究所有限公司

上海禧弘私募基金管理有限公司

上海益昶资产管理有限公司

上海证券有限责任公司

上海中域资产管理中心(有限合伙)

申万菱信基金管理有限公司

深圳丞毅投资有限公司

深圳海盾赢华基金管理有限公司

深圳进门财经科技股份有限公司

深圳宽源私募证券基金管理有限公司

深圳前海辰星私募证券投资基金管理合伙企业(有限合伙)

深圳前海华杉投资管理有限公司

深圳市恒泽私募证券基金管理有限公司

深圳市凯玄投资有限公司

深圳市尚诚资产管理有限责任公司

深圳市泰聚私募

深圳市裕晋投资有限公司

深圳市远致瑞信股权投资管理有限公司

深圳中科飞测科技股份有限公司

太平养老保险股份有限公司

太平资产管理有限公司

泰康资产管理有限责任公司

天风证券股份有限公司

天治基金管理有限公司

西安江岳私募基金管理有限公司

西部证券股份有限公司

新华资产管理股份有限公司

信达证券股份有限公司

兴业证券股份有限公司

兴证全球基金管理有限公司

玄卜投资(上海)有限公司

耀松投资

野村东方国际证券有限公司

伊诺尔集团有限公司

易知(北京)投资有限责任公司

银华基金管理股份有限公司

永赢基金管理有限公司

涌德瑞烜(上海)私募基金管理有限公司

誉辉资本管理(北京)有限责任公司

圆信永丰基金管理有限公司

云南约牛软件科技有限公司

长安基金管理有限公司

长城财富保险资产管理股份有限公司

长城基金管理有限公司

长江养老保险股份有限公司

长盛基金管理有限公司

招商证券股份有限公司

浙江墨钜资产管理有限公司

浙江盈阳资产管理股份有限公司

浙江浙商证券资产管理有限公司

浙商证券股份有限公司

中国国际金融股份有限公司

中国太平保险控股有限公司

中国银河证券股份有限公司

中国邮政储蓄银行股份有限公司

中略研究

中欧瑞博(香港)资产管理有限公司

中泰证券股份有限公司

中天国富证券有限公司

中投国际(香港)有限公司

中信保诚基金管理有限公司

中信期货有限公司

中银基金管理有限公司

中邮证券有限责任公司