深圳中科飞测科技股份有限公司2026年第一季度报告

证券代码：688361证券简称：中科飞测

深圳中科飞测科技股份有限公司

2026年第一季度报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示

公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息

的真实、准确、完整。

第一季度财务报表是否经审计

□是√否

一、主要财务数据

(一)主要会计数据和财务指标

单位：元币种：人民币本报告期比上项目本报告期上年同期年同期增减变

动幅度(%)

营业收入396023624.52294158044.6934.63

利润总额-76082961.73-15149916.08不适用

归属于上市公司股东的净利润-67962003.76-14960459.19不适用归属于上市公司股东的扣除非经常

-116157963.65-43254324.25不适用性损益的净利润

经营活动产生的现金流量净额-20237418.15-48745457.34不适用

基本每股收益（元/股）-0.21-0.05不适用

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稀释每股收益（元/股）-0.21-0.05不适用

加权平均净资产收益率（%）-1.33-0.61不适用

研发投入合计183189585.13120354159.8252.21

增加5.35个

研发投入占营业收入的比例（%）46.2640.91百分点本报告期末比本报告期末上年度末上年度末增减

变动幅度(%)

总资产8029638647.047936810055.611.17

归属于上市公司股东的所有者权益5072455445.215119703222.63-0.92

本报告期，公司实现营业收入39602.36万元，同比增长34.63%，主要得益于公司在突破核心技术、持续推进产业化和迭代升级各系列产品的过程中取得重要成果，在核心技术、客户资源、产品覆盖广度及深度等方面的全面竞争优势增强，各系列新产品及现有产品升级迭代取得一系列积极进展，收入贡献不断增长，市场竞争力不断增强，推动公司经营规模持续增长。

本报告期，公司利润水平同比有所下降，主要是随着业务规模持续扩张，公司的人员数量相应扩充，经营投入同步增加，各项期间费用同比有所上升，但营收增长相对滞后体现，其中：（1）为加快打破国外企业在国内市场的垄断局面，公司进一步加大新产品及现有产品向更前沿工艺的迭代升级，研发团队稳步扩充，研发人员规模同比增长，带动职工薪酬、研发用材料费及资产折旧摊销等研发投入同比大幅增加；（2）随着公司业务持续上升，公司销售和客户相关服务人员同比有所增长，为进一步发掘客户需求，促进公司持续发展，职工薪酬及市场推广费用均有所增加。

此外，公司季度产品销售结构存在一定波动，一季度营收规模较小的情况下，不同盈利水平产品占比发生变化，导致本报告期综合毛利率同比存在一定波动；环比上年第四季度毛利率基本保持稳定，公司整体盈利水平总体平稳。

公司始终专注于高端半导体质量控制领域，报告期继续坚持十三大系列设备及三大系列软件的产品布局，订单规模持续增长，新设备验证进展顺利。随着新产品及现有产品升级迭代产品逐步验证通过，收入贡献不断增长，公司未来经营规模及盈利能力持续向好。

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(二)非经常性损益项目和金额

√适用□不适用

单位:元币种:人民币非经常性损益项目本期金额说明

计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、按照

40359628.98

确定的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府补助除外除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外，非金融企业持有金融资产和金融负

6840042.15

债产生的公允价值变动损益以及处置金融资产和金融负债产生的损益

除上述各项之外的其他营业外收入和支出996288.76其他符合非经常性损益定义的损益项目

减：所得税影响额

少数股东权益影响额（税后）

合计48195959.89

对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用√不适用

(三)主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因

√适用□不适用

项目名称变动比例（%）主要原因

主要得益于公司在突破核心技术、持续推进产业化和迭代升级各系列产品的过程中取得重要成果，在核心技术、客户资源、产品覆盖广营业收入34.63度及深度等方面的全面竞争优势增强，各系列新产品及现有产品升级迭代取得一系列积极进展，收入贡献不断增长，市场竞争力不断增强，推动公司经营规模持续增长。

利润总额不适用本报告期，公司利润水平同比有所下降，主要归属于上市公司股东的是随着业务规模持续扩张，公司的人员数量相不适用

净利润应扩充，经营投入同步增加，各项期间费用同归属于上市公司股东的比有所上升，但营收增长相对滞后体现，其中：

扣除非经常性损益的净不适用（1）为加快打破国外企业在国内市场的垄断

利润局面，公司进一步加大新产品及现有产品向更基本每股收益不适用前沿工艺的迭代升级，研发团队稳步扩充，研稀释每股收益不适用发人员规模同比增长，带动职工薪酬、研发用

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材料费及资产折旧摊销等研发投入同比大幅增加；（2）随着公司业务持续上升，公司销售和客户相关服务人员同比有所增长，为进一步发掘客户需求，促进公司持续发展，职工薪酬及市场推广费用均有所增加。此外，公司季度加权平均净资产收益率不适用

产品销售结构存在一定波动，一季度营收规模较小的情况下，不同盈利水平产品占比发生变化，导致本报告期综合毛利率同比存在一定波动；环比上年第四季度毛利率基本保持稳定，公司整体盈利水平总体平稳。

报告期内公司加大合同收款力度，经营性现金经营活动产生的现金流

不适用流入同比增幅高于现金流出增幅，经营活动现量净额

金净流出同比收窄，财务稳健性进一步增强。

研发投入52.21本报告期，研发投入18318.96万元，同比增加52.21%，研发投入占营业收入的比例为

46.26%，同比增加5.35个百分点，主要系为加

快打破国外企业在国内市场的垄断局面，公司研发投入占营业收入的

增加5.35个百分点进一步加大新产品及现有产品向更前沿工艺比例（%）

的迭代升级，研发团队稳步扩充，研发人员规模同比增长，带动职工薪酬、研发用材料费及资产折旧摊销等研发投入同比大幅增加。

二、股东信息

(一)普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表

单位：股报告期末表决权恢复的优先股股东总报告期末普通股股东总数14367不适用数（如有）

前10名股东持股情况（不含通过转融通出借股份）

质押、标记包含转融或冻结情况持有有限售股东性持股比例通借出股股东名称持股数量条件股份数股

质(%)份的限售量份股份数量数量状态境内非苏州翌流明光电

国有法3780096310.803780096337800963无0科技有限公司人

4/14深圳中科飞测科技股份有限公司2026年第一季度报告国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上其他272671937.7900无0

海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）深圳小纳光实验室投资企业（有其他188559375.381885593718855937无0限合伙）境外自

哈承姝166438534.751664385316643853无0然人中国科学院微电国有法

96041062.7400无0

子研究所人招商银行股份有

限公司－华夏上证科创板50成

其他72648982.0700无0份交易型开放式指数证券投资基金深圳市创新投资国有法

66027841.8900无0

集团有限公司人中国农业银行股

份有限公司－东

方人工智能主题其他63168301.8000无0混合型证券投资基金广东红土创业投资管理有限公司

－深圳市人才创

其他62334661.7800无0新创业一号股权投资基金（有限合伙）境内非海南岭南晟业创

国有法57140001.6300无0业投资有限公司人

前10名无限售条件股东持股情况（不含通过转融通出借股份）股份种类及数量股东名称持有无限售条件流通股的数量股份种类数量国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上人民币普

2726719327267193

海）科技成果转化创业投通股

资基金企业（有限合伙）

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人民币普中国科学院微电子研究所96041069604106通股

招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份人民币普

72648987264898

交易型开放式指数证券投通股资基金深圳市创新投资集团有限人民币普

66027846602784

公司通股中国农业银行股份有限公人民币普

司－东方人工智能主题混63168306316830通股合型证券投资基金广东红土创业投资管理有

限公司－深圳市人才创新人民币普

62334666233466

创业一号股权投资基金通股（有限合伙）海南岭南晟业创业投资有人民币普

57140005714000

限公司通股中国工商银行股份有限公人民币普

司－诺安成长混合型证券53413015341301通股投资基金

广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备人民币普

47889754788975

主题交易型开放式指数证通股券投资基金中国人寿保险股份有限公人民币普

司－传统－普通保险产品46701084670108通股

－005L－CT001沪

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哈承姝持有深圳小纳光实验室投资企业（有限合伙）1.71%的出资

额和苏州翌流明光电科技有限公司31.00%的股份，其中，苏州翌流明光电科技有限公司担任深圳小纳光实验室投资企业（有限合伙）

的执行事务合伙人，并持有深圳小纳光实验室投资企业（有限合伙）

1.47%的出资额；哈承姝和苏州翌流明光电科技有限公司分别持有

珠海横琴承心创业投资合伙企业（有限合伙）99.00%和1%的出资额，珠海横琴承心创业投资合伙企业（有限合伙）持有深圳小纳光实验室投资企业（有限合伙）51.50%的出资额；苏州翌流明光电科

技有限公司、深圳小纳光实验室投资企业（有限合伙）和哈承姝之上述股东关联关系或一致间构成一致行动关系；

行动的说明深圳市红土人才投资基金管理有限公司为广东红土创业投资管理

有限公司－深圳市人才创新创业一号股权投资基金（有限合伙）的

执行事务合伙人，深圳市红土人才投资基金管理有限公司为深创投红土私募股权投资基金管理（深圳）有限公司的全资子公司，深创投红土私募股权投资基金管理（深圳）有限公司为深圳市创新投资集团有限公司的全资子公司；深圳市创新投资集团有限公司和广东

红土创业投资管理有限公司－深圳市人才创新创业一号股权投资基金（有限合伙）关于公司构成一致行动关系。

除此之外，公司未知上述股东是否存在关联关系或一致行动关系。

前10名股东及前10名无限售股东参与融资融券及不适用转融通业务情况说明（如有）

持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

□适用√不适用

前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用√不适用

三、其他提醒事项需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息

□适用√不适用

四、季度财务报表

(一)审计意见类型

□适用√不适用

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(二)财务报表合并资产负债表

2026年3月31日

编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司

单位：元币种:人民币审计类型：未经审计项目2026年3月31日2025年12月31日

流动资产：

货币资金843421855.041822843626.81结算备付金拆出资金

交易性金融资产1163648189.04552482213.71衍生金融资产

应收票据-2021043.87

应收账款770705131.22722607217.45

应收款项融资55331587.8421621979.84

预付款项117896863.2578154928.89应收保费应收分保账款应收分保合同准备金

其他应收款16403410.5517474098.83

其中：应收利息应收股利买入返售金融资产

存货3001682225.632698756600.21

其中：数据资源

合同资产30194272.4429279593.22持有待售资产

一年内到期的非流动资产359699641.93412419504.94

其他流动资产181754754.23155208645.86

流动资产合计6540737931.176512869453.63

非流动资产：

发放贷款和垫款债权投资其他债权投资长期应收款长期股权投资

其他权益工具投资59995303.5059995303.50其他非流动金融资产投资性房地产

固定资产730234298.07733418763.74

在建工程314839808.33267688760.58

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项目2026年3月31日2025年12月31日生产性生物资产油气资产

使用权资产90895116.77100132207.86

无形资产156320874.16151303872.69

其中：数据资源开发支出

其中：数据资源商誉

长期待摊费用43151866.1535294255.61

递延所得税资产41246521.8734665161.05

其他非流动资产52216927.0241442276.95

非流动资产合计1488900715.871423940601.98

资产总计8029638647.047936810055.61

流动负债：

短期借款222118143.96313392730.06向中央银行借款拆入资金交易性金融负债衍生金融负债

应付票据327623960.53292234637.25

应付账款378282605.17400338599.28预收款项

合同负债880845898.96565393625.41卖出回购金融资产款吸收存款及同业存放代理买卖证券款代理承销证券款

应付职工薪酬136239949.48116088231.89

应交税费12254227.2413452407.68

其他应付款178599452.84231286884.58

其中：应付利息应付股利应付手续费及佣金应付分保账款持有待售负债

一年内到期的非流动负债226385359.31177129658.68

其他流动负债42482586.9918212281.25

流动负债合计2404832184.482127529056.08

非流动负债：

保险合同准备金

长期借款246416024.10428286024.10

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项目2026年3月31日2025年12月31日应付债券

其中：优先股永续债

租赁负债62515731.9371405227.55长期应付款长期应付职工薪酬

预计负债25260927.7730429440.59

递延收益199129225.12138888318.20

递延所得税负债19029108.4320568766.46其他非流动负债

非流动负债合计552351017.35689577776.90

负债合计2957183201.832817106832.98

所有者权益（或股东权益）：

实收资本（或股本）350163237.00350163237.00其他权益工具

其中：优先股永续债

资本公积4532763364.324512110753.22

减：库存股

其他综合收益7452112.637390497.39专项储备

盈余公积35796030.1835796030.18一般风险准备

未分配利润146280701.08214242704.84

归属于母公司所有者权益（或股东权益）合计5072455445.215119703222.63少数股东权益

所有者权益（或股东权益）合计5072455445.215119703222.63

负债和所有者权益（或股东权益）总计8029638647.047936810055.61

公司负责人：陈鲁主管会计工作负责人：周凡女会计机构负责人：周凡女合并利润表

2026年1—3月

编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司

单位：元币种:人民币审计类型：未经审计项目2026年第一季度2025年第一季度

一、营业总收入396023624.52294158044.69

其中：营业收入396023624.52294158044.69利息收入已赚保费手续费及佣金收入

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项目2026年第一季度2025年第一季度

二、营业总成本501745192.31322679711.04

其中：营业成本206835967.18123322249.57利息支出手续费及佣金支出退保金赔付支出净额提取保险责任准备金净额保单红利支出分保费用

税金及附加1743242.53757880.52

销售费用47509927.1228984728.57

管理费用60957972.1744443199.73

研发费用183189585.13120354159.82

财务费用1508498.184817492.83

其中：利息费用4458258.311954230.59

利息收入397742.99695699.18

加：其他收益43933384.0725300555.59

投资收益（损失以“-”号填列）6205636.672901157.14

其中：对联营企业和合营企业的投资收益以摊余成本计量的金融资产终止确认收益

汇兑收益（损失以“-”号填列）

净敞口套期收益（损失以“-”号填列）

公允价值变动收益（损失以“-”号填列）634405.4875917.81

信用减值损失（损失以“-”号填列）-1504555.99963058.55

资产减值损失（损失以“-”号填列）-19662529.13-15904263.82

资产处置收益（损失以“-”号填列）-

三、营业利润（亏损以“-”号填列）-76115226.69-15185241.08

加：营业外收入51606.2538706.25

减：营业外支出19341.293381.25

四、利润总额（亏损总额以“-”号填列）-76082961.73-15149916.08

减：所得税费用-8120957.97-189456.89

五、净利润（净亏损以“-”号填列）-67962003.76-14960459.19

（一）按经营持续性分类

1.持续经营净利润（净亏损以“-”号填列）-67962003.76-14960459.19

2.终止经营净利润（净亏损以“-”号填列）

（二）按所有权归属分类1.归属于母公司股东的净利润（净亏损以“-”号-67962003.76-14960459.19

填列）

2.少数股东损益（净亏损以“-”号填列）

六、其他综合收益的税后净额61615.247490798.72

（一）归属母公司所有者的其他综合收益的税后净

61615.247490798.72

额

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项目2026年第一季度2025年第一季度

1．不能重分类进损益的其他综合收益7496477.62

（1）重新计量设定受益计划变动额

（2）权益法下不能转损益的其他综合收益

（3）其他权益工具投资公允价值变动7496477.62

（4）企业自身信用风险公允价值变动

2．将重分类进损益的其他综合收益61615.24-5678.90

（1）权益法下可转损益的其他综合收益

（2）其他债权投资公允价值变动

（3）金融资产重分类计入其他综合收益的金额

（4）其他债权投资信用减值准备

（5）现金流量套期储备

（6）外币财务报表折算差额61615.24-5678.90

（7）其他

（二）归属于少数股东的其他综合收益的税后净额

七、综合收益总额

（一）归属于母公司所有者的综合收益总额-67900388.52-7469660.47

（二）归属于少数股东的综合收益总额-67900388.52-7469660.47

八、每股收益：

（一）基本每股收益(元/股)-0.21-0.05

（二）稀释每股收益(元/股)-0.21-0.05

本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元，上期被合并方实现的净利润为：0元。

公司负责人：陈鲁主管会计工作负责人：周凡女会计机构负责人：周凡女合并现金流量表

2026年1—3月

编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司

单位：元币种：人民币审计类型：未经审计项目2026年第一季度2025年第一季度

一、经营活动产生的现金流量：

销售商品、提供劳务收到的现金718506077.72404347209.11客户存款和同业存放款项净增加额向中央银行借款净增加额向其他金融机构拆入资金净增加额收到原保险合同保费取得的现金收到再保业务现金净额保户储金及投资款净增加额

收取利息、手续费及佣金的现金拆入资金净增加额回购业务资金净增加额代理买卖证券收到的现金净额

收到的税费返还4356502.07479831.27

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项目2026年第一季度2025年第一季度

收到其他与经营活动有关的现金147261334.9155128616.97

经营活动现金流入小计870123914.70459955657.35

购买商品、接受劳务支付的现金599176950.97306128616.42客户贷款及垫款净增加额存放中央银行和同业款项净增加额支付原保险合同赔付款项的现金拆出资金净增加额

支付利息、手续费及佣金的现金支付保单红利的现金

支付给职工及为职工支付的现金201599649.47136317473.33

支付的各项税费13250752.395454005.48

支付其他与经营活动有关的现金76333980.0260801019.46

经营活动现金流出小计890361332.85508701114.69

经营活动产生的现金流量净额-20237418.15-48745457.34

二、投资活动产生的现金流量：

收回投资收到的现金3187551917.81243000000.00

取得投资收益收到的现金5098620.42449492.58

处置固定资产、无形资产和其他长期资产收回的现

508.9520.00

金净额处置子公司及其他营业单位收到的现金净额

收到其他与投资活动有关的现金5380000.00

投资活动现金流入小计3198031047.18243449512.58

购建固定资产、无形资产和其他长期资产支付的现

152361582.02186009496.96

金

投资支付的现金3744000000.00343000000.00质押贷款净增加额取得子公司及其他营业单位支付的现金净额

支付其他与投资活动有关的现金560000.00

投资活动现金流出小计3896921582.02529009496.96

投资活动产生的现金流量净额-698890534.84-285559984.38

三、筹资活动产生的现金流量：

吸收投资收到的现金

其中：子公司吸收少数股东投资收到的现金

取得借款收到的现金18800000.00205000000.00收到其他与筹资活动有关的现金

筹资活动现金流入小计18800000.00205000000.00

偿还债务支付的现金242674000.00

分配股利、利润或偿付利息支付的现金3750800.184128699.68

其中：子公司支付给少数股东的股利、利润

支付其他与筹资活动有关的现金10338299.917999445.21

筹资活动现金流出小计256763100.0912128144.89

筹资活动产生的现金流量净额-237963100.09192871855.11

13/14深圳中科飞测科技股份有限公司2026年第一季度报告

项目2026年第一季度2025年第一季度

四、汇率变动对现金及现金等价物的影响-41007.40383179.01

五、现金及现金等价物净增加额-957132060.48-141050407.60

加：期初现金及现金等价物余额1731254614.40574440591.02

六、期末现金及现金等价物余额774122553.92433390183.42

公司负责人：陈鲁主管会计工作负责人：周凡女会计机构负责人：周凡女

2026年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

□适用√不适用特此公告深圳中科飞测科技股份有限公司董事会

2026年4月28日