募集资金存放、管理与实际使用情况鉴证报告

深圳中科飞测科技股份有限公司

容诚专字[2026]518Z0293号

容诚会计师事务所(特殊普通合伙)

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1募集资金存放与实际使用情况鉴证报告1-2

2募集资金存放与实际使用情况的专项报告1-16容诚会计师事务所（特殊普通合伙）

总所：北京市西城区阜成门外大街22号

1幢10层1001-1至1001-26(100037)

TEL:010-6600 1391 FAX:010-6600 1392

E-mail:bj@rsmchina.com.cn

https://www.rsm.global/china/

募集资金存放、管理与实际使用情况鉴证报告

容诚专字[2026]518Z0293 号

深圳中科飞测科技股份有限公司全体股东：

我们审核了后附的深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称中科飞测公司）

董事会编制的2025年度《募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告》。

一、对报告使用者和使用目的的限定

本鉴证报告仅供中科飞测公司年度报告披露之目的使用，不得用作任何其他目的。我们同意将本鉴证报告作为中科飞测公司年度报告必备的文件，随其他文件一起报送并对外披露。

二、董事会的责任

按照中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、上海证券交易

所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》编制《募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告》是中科飞测公司董事会的责任，这种责任包括保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记录、误导性陈述或重大遗漏。

三、注册会计师的责任我们的责任是对中科飞测公司董事会编制的上述报告独立地提出鉴证结论。

四、工作概述我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第3101号－历史财务信息审计或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证业务。该准则要求我们计划和实施鉴证工作，以对鉴证对象信息是否不存在重大错报获取合理保证。在鉴证过程中，我们实施了包括检查会计记录等我们认为必要的程序。我们相信，我们的鉴证工作为发表意见提供了合理的基础。

1五、鉴证结论我们认为，后附的中科飞测公司2025年度《募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司募集资金监管规则》及交易

所的相关规定编制，公允反映了中科飞测公司2025年度年度募集资金实际存放、管理与使用情况。

（此页为深圳中科飞测科技股份有限公司容诚专字[2026]518Z0293号报告之签字盖章页。）容诚会计师事务所中国注册会计师：

（特殊普通合伙）王艳

中国注册会计师：

李贤君

中国·北京中国注册会计师：

汪玲

2026年4月24日

2深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告

深圳中科飞测科技股份有限公司

募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告

按照中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、上海证券交易所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，现将深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称本公司或公司）2025年度募集资金存放、管理与使

用情况报告如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到账时间

1.首次公开发行股票中国证券监督管理委员会于2023年2月21日核发《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2023〕367号），同意公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票。公司于 2023年 5月 19日首次公开发行的股份数量为8000.00万股，发行价格为每股23.60元，募集资金总额为人民币188800.00万元，扣除发行费用人民币18961.34万元后，募集资金净额为人民币169838.66万元。已于

2023年5月16日通过国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”）汇入公司银行账户。上述募集资金已经天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具天职业字〔2023〕32719号《验资报告》。

2.2024年向特定对象发行股票中国证券监督管理委员会于2025年8月4日核发《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕1640号），同意公司

2024年度向特定对象发行 A 股股票 28571428股，发行价格 87.50元/股，募集资金总

额为人民币250000.00万元，扣除各项发行费用（不含增值税）人民币1923.26万元后，实际募集资金净额为人民币248076.74万元。上述募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具容诚验字[2025]518Z0128号《验资报告》。

1深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告

（二）本年度使用金额及年末余额

截至2025年12月31日，募集资金具体使用及结余情况如下：

1.首次公开发行股票

截至2025年12月31日，实际募集资金专户余额（不含期末未到期理财产品）为

4837.26万元，具体使用及结余情况如下：

单位：万元项目金额

募集资金净额169838.66

减：投入募集资金项目金额109828.79

减：超募资金永久补充流动资金和偿还银行贷款金额40204.65

加：理财收益1900.99

加：募集资金利息收入扣除手续费净额1131.05

截至2025年12月31日募集资金余额22837.26

其中：期末未到期理财产品18000.00

实际募集资金专户余额4837.26

2.2024年向特定对象发行股票

截至2025年12月31日，实际募集资金专户余额（不含期末未到期理财产品）为

138279.74万元，具体使用及结余情况如下：

单位：万元项目金额

募集资金净额248076.74

减：投入募集资金项目金额56953.82

加：自筹资金预先投入项目未置换金额（注1）1000.00

加：理财收益236.47

加：募集资金利息收入扣除手续费净额58.32

加：尚未支付的发行费用（注2）62.03

截至2025年12月31日募集资金余额192479.74

其中：期末未到期理财产品54200.00

实际募集资金专户余额138279.74

2深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告

注1：公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第十六次会议，分别审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金16724.19万元置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金。

其中以自筹资金预先投入募投项目的金额为15597.68万元，以自筹资金支付发行费用126.51万元，截至2025年12月31日，公司实际已置换预先投入募投项目金额为15597.68万元，已置换发行费用126.51万元，剩余1000.00万元尚在募集资金专户余额中未置换。

注2：截至2025年12月31日，发行相关的印花税62.03万元尚未支付。

二、募集资金管理情况

（一）募集资金管理制度情况

为了规范公司募集资金的存放、使用和管理，维护投资者的合法权益，确保公司募投项目顺利开展，提高募集资金使用效率，本公司根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等规定，制定了《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》（以下简称《“募集资金管理办法》”）。根据相关规定及《募集资金管理办法》，公司对募集资金实行专户存储和管理，在银行设立募集资金专户。

1.首次公开发行股票

2023年5月及6月，公司、保荐人国泰海通、存放募集资金的中国银行股份有限公

司深圳布吉支行、平安银行股份有限公司深圳分行、中国建设银行股份有限公司深圳上

步支行、兴业银行股份有限公司深圳分行、中信银行股份有限公司深圳分行、招商银行

股份有限公司深圳分行、中国工商银行股份有限公司深圳龙华支行、上海银行股份有限

公司深圳分行、宁波银行股份有限公司深圳分行等签订募集资金监管协议，对募集资金实施专户存储。

为方便公司资金账户管理，减少管理成本，公司于2024年10月30日召开董事会审议并通过《关于注销部分募集资金专项账户的议案》，同意注销部分募集资金专户。

截至2025年12月31日，募集资金专户注销的具体情况如下：

开户银行银行账号注销日期中国建设银行股份有限公司深圳上步支行442501000008000054392024年12月3日兴业银行股份有限公司深圳宝安支行3370601001005441102024年12月24日中国工商银行股份有限公司深圳大浪支行40001039291008012322024年12月17日

3深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告

开户银行银行账号注销日期上海银行深圳前海分行030053444082024年12月12日宁波银行股份有限公司深圳龙华支行730801220004452292024年12月5日中国银行股份有限公司深圳大芬支行7549772548812025年4月1日中国银行股份有限公司深圳大芬支行7458772619232025年4月1日

2.2024年向特定对象发行股票

2025年11月及12月，公司、保荐人国泰海通、存放募集资金的中国银行股份有限

公司深圳布吉支行、中信银行股份有限公司深圳分行、中国工商银行股份有限公司深圳

龙华支行、招商银行股份有限公司上海分行、浙商银行股份有限公司深圳分行、招商银

行股份有限公司深圳分行、中国光大银行股份有限公司深圳分行、宁波银行股份有限公

司深圳龙华支行、上海银行股份有限公司深圳分行、平安银行股份有限公司深圳分行、

中国建设银行股份有限公司深圳上步支行、交通银行股份有限公司上海浦东分行等签订

募集资金监管协议，对募集资金实施专户存储。

截至2025年12月31日，本公司严格按照监管协议的规定存放、使用、管理募集资金，募集资金监管协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。

（二）募集资金专户存储情况

截至2025年12月31日，本公司募集资金专户存储情况如下：

1.首次公开发行股票

单位：万元存放银行银行账号余额

中国银行股份有限公司深圳大芬支行7692770711293880.18

中信银行股份有限公司深圳留仙洞支行8110301012100684395953.74

中信银行股份有限公司深圳留仙洞支行81103010130006826082.68

平安银行股份有限公司深圳香蜜湖支行152014123188330.65

招商银行股份有限公司深圳红山支行755942306110108—

合计4837.26

4深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告

2.2024年向特定对象发行股票

单位：万元存放银行银行账号余额

中国银行股份有限公司深圳布吉支行75628038078550197.69

中信银行股份有限公司深圳分行811030101280082342045503.05

招商银行股份有限公司深圳红山支行7559423061100011014.08

中国光大银行股份有限公司深圳宝安支行3894018800029655310011.63

招商银行股份有限公司上海分行1219768541100088454.53

交通银行股份有限公司上海陆家嘴支行3100667710150036816676775.18

宁波银行股份有限公司深圳龙华支行860211100012621886009.56

中国建设银行股份有限公司深圳上步支行44250100000809688361245.56

中国工商银行股份有限公司深圳龙华支行400010392910102461667.38

上海银行股份有限公司深圳前海分行030064399170.41

浙商银行股份有限公司深圳龙华支行58400003101201001230380.34

平安银行股份有限公司深圳香蜜湖支行150012318888960.32

合计138279.74

三、2025年度募集资金的实际使用情况

（一）募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）的资金使用情况截至2025年12月31日，公司实际投入相关项目的募集资金具体使用情况详见“附表1：首次公开发行股票募集资金2025年度使用情况对照表”、“附表2：2024年向特定对象发行股票募集资金2025年度使用情况对照表”、“附表3：深圳中科飞测科技股份有限公司变更募集资金投资项目情况表”。

（二）募投项目先期投入及置换情况

1.首次公开发行股票

报告期内，本公司首次发行募集资金不涉及募投项目先期投入及置换的情况。

2.2024年向特定对象发行股票

公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第十六次会议，分别审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金16724.19万元置换预先投入募投项目及

5深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告支付发行费用的自筹资金。上述置换事项及置换金额业经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具了“容诚专字[2025]518Z1012号”《以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用鉴证报告》。具体内容详见公司于2025年12月4日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的公告》（公告编号：2025-066）。公司监事会对本事项发表了意见，保荐人国泰海通出具了核查意见。

报告期内，公司涉及募投项目先期投入及支付发行费用的自筹资金已经置换

15724.19万元。

（三）使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的情况

1.首次公开发行股票

报告期内，本公司不涉及使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的情况。

2.2024年向特定对象发行股票

公司于2025年10月30日召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，公司独立董事、监事会对上述事项发表了同意意见，保荐人国泰海通对上述事项出具了无异议的核查意见。

报告期内，公司涉及使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的金额为7348.51万元。

（四）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

2025年12月3日，公司分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第

十六次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，使用额度不超过人民币30000万元（含本数）的闲置募集资金临时补充流动资金。使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月。

报告期内，公司未实际发生使用闲置募集资金暂时补充流动资金。

6深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告

（五）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

1.首次公开发行股票

2024年6月4日，公司分别召开了第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金（含超募资金）及自有资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币80000.00万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

2025年4月25日，公司分别召开了第二届董事会第十三次会议和第二届监事会第十三次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金（含超募资金）及自有资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币30000万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）和不超过人民币100000万元的自有资金（含本数）进行现金管理，使用期限自上一次授权期限到期日（2025年6月4日）后12个月内有效，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

截至2025年12月31日，公司使用部分闲置首次公开发行股票募集资金进行现金管理的余额为18000.00万元。具体情况如下：

单位：万元金融机构理财类型起息日到期日金额利率中国银行股份有限公司深

可转让大额存单2023-7-142026-7-1413000.002.90%圳大芬支行中信银行股份有限公司留

结构性存款2025-12-202026-1-195000.001.65%仙洞支行

合计18000.00/

2.2024年向特定对象发行股票

公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会

第十五次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币 200000万元（含本数）的 2024年度向特定对象发行 A股

7深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告

股票闲置募集资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

截至 2025年 12月 31日，公司使用部分闲置向特定对象发行 A股股票募集资金进行现金管理的余额为54200.00万元。具体情况如下：

单位：万元金融机构理财类型起息日到期日金额利率

平安银行深圳香蜜湖支行结构性存款2025/11/282026/1/513000.001.44%

上海银行深圳前海分行结构性存款2025/12/22026/1/1212200.001.46%

中国建设银行深圳上步支行可转让大额存单2025/12/52026/3/54000.000.90%

招商银行上海分行营业部结构性存款2025/12/92026/1/910000.001.55%

中国建设银行深圳上步支行结构性存款2025/12/102026/1/75000.001.53%

中国工商银行深圳大浪支行结构性存款2025/12/112026/1/1210000.001.33%

合计54200.00/

（六）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

报告期内，本公司不涉及用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。

（七）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况

报告期内，公司不涉及将超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况。

（八）节余募集资金使用情况

截至2025年12月31日，公司不存在将募投项目节余资金用于其他募投项目或非募投项目的情况。

（九）募集资金使用的其他情况

1.首次公开发行股票

2023年6月14日，公司召开第一届董事会第二十四次会议、第一届监事会第二十次会议，审议通过了《关于使用募集资金向子公司实缴注册资本和提供借款以实施募投项目的议案》，同意公司使用募集资金10600万元向全资子公司广州中科飞测科技有限

8深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告公司（以下简称“广州中科飞测”）实缴注册资本并提供20200万元借款以实施“高端半导体质量控制设备产业化项目”。根据项目实施需要逐步拨付（借款不计息），借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还。到期后，如双方均无异议，该笔借款可自动续期。公司独立董事、监事会对上述事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的审查意见。

2024年6月4日，公司召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五次会议，

审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，同意公司根据募投项目的建设安排及实际资金需求情况，在不超过募投项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”拟投入募集资金金额的情况下，公司拟通过提供借款的方式将募集资金划转至该募投项目实施主体所开设的募集资金专用账户，即公司的全资子公司广州中科飞测的募集资金专用账户，并授权公司管理层负责借款手续办理以及后续的管理工作。公司拟使用募集资金向广州中科飞测提供借款人民币30877.70万元，根据项目实施需要，逐步拨付。前述借款不计利息，借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还；到期后，如双方均无异议借款可自动续期。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。

截至2025年12月31日，公司使用募集资金向广州中科飞测提供借款35034.70万元，使用募集资金向广州中科飞测实缴注册资本为10600.00万元。

2.2024年向特定对象发行股票

2025年10月30日，分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，同意公司根据募投项目的建设安排及实际资金需求情况，在不超过募投项目“上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目”拟投入募集资金金额的情况下，公司拟通过提供不超过人民币116076.74万元借款的方式将募集资金划转至该募投项目实

施主体所开设的募集资金专用账户，即公司的全资子公司飞测思凯浦（上海）半导体科技有限公司（以下简称“飞测思凯浦”）的募集资金专用账户，并授权公司管理层负责借款手续办理以及后续的管理工作。前述借款不计利息，借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还；到期后，如双方均无异议借款可自动续期。

9深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告

公司监事会对以上事项发表了明确同意的意见，保荐人国泰海通对此出具无异议的核查意见。

截至2025年12月31日，公司使用募集资金向飞测思凯浦提供借款49200.00万元。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

1.首次公开发行股票

2024年6月4日，公司召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五次会议，

审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，具体详见“三、2025年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。

截至2025年12月31日止，公司使用募集资金向广州中科飞测提供借款35034.70万元。

2.2024年向特定对象发行股票

公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会

第十五次会议，审议通过了《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》，同意公司根据实际募集资金净额将“上海高端半导体质量控制设备产业化项目”拟使用

募集资金投资金额从73400.00万元调整为71476.74万元具体调整情况详见公司于2025年 10月 31 日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》（公告编号：2025-057）。公司监事会对本事项发表了意见，保荐人国泰海通出具了核查意见。

同日，公司审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，具体详见“三、2025年年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。

截至2025年12月31日，公司使用募集资金向飞测思凯浦提供借款49200.00万元。

公司于2025年12月3日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第

十六次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金用途的议案》，为提升募集资金使用效率，保证募集资金使用的规范性，结合公司实际情况，公司拟变更部分募集资金用途。

根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券

10未达到计划进度原因(分具体项目)无。

项目可行性发生重大变化的情况说明无。

募集资金投资项目先期投入及置换情况无。

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况无。

参见前述专项报告“三、2025年度募集资金的实际使用情况”之（“五）对闲置募集资金进行现金管理，对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况投资相关产品情况”相关内容。

用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况无。

募集资金结余的金额及形成原因无。

参见前述专项报告“三、2025年度募集资金的实际使用情况”之（“九）募集资金使用的其他情况”相关内募集资金其他使用情况容。

13总部基地及研发中

否62000.0062000.0062000.006597.236597.23-55402.7710.64不适用不适用不适用否心升级建设项目

补充流动资金是70000.00——————不适用不适用不适用否补充流动资金及偿

是—70000.0070000.0034749.6934749.69-35250.3149.64不适用不适用不适用否还银行贷款

合计—250000.00248076.74248076.7456953.8256953.82-191122.9222.96————

未达到计划进度原因(分具体项目)无。

项目可行性发生重大变化的情况说明无。

参见前述专项报告“三、2025年度募集资金的实际使用情况”之“（二）募投项目先期投入及置换情况”募集资金投资项目先期投入及置换情况相关内容。

参见前述专项报告“三、2025年年度募集资金的实际使用情况”之“（四）用闲置募集资金暂时补充流动用闲置募集资金暂时补充流动资金情况资金情况”相关内容。

参见前述专项报告“三、2025年度募集资金的实际使用情况”之“（五）对闲置募集资金进行现金管理，对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况投资相关产品情况”相关内容。

用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况无。

募集资金结余的金额及形成原因无。

参见前述专项报告“三、2025年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关募集资金其他使用情况内容。

注：公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》，同意公司根据实际募集资金净额将“上海高端半导体质量控制设备产业化项目”拟使用募集资金投资金额从 73400.00 万元调整为 71476.74万元具体调整情况详见公司于 2025 年 10月 31日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》（公告编号：2025-057）。公司监事会对本事项发表了意见，保荐人国泰海通出具了核查意见。

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