证券代码：688361 证券简称：中科飞测

深圳中科飞测科技股份有限公司

2026年第三季度报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息的真

实、准确、完整。

第三季度财务报表是否经审计

□是 √否

一、主要财务数据

（一） 主要会计数据和财务指标

单位：元 币种：人民币年初至报告期本报告期比上末比上年同期

项目 本报告期 年同期增减变 年初至报告期末增减变动幅度

动幅度(%)

(%)

营业收入 673041663.13 34.73 1614059366.89 34.31

利润总额 24691574.43 568.48 -122059726.77 不适用归属于上市公司股东的

32307014.95 783.70 -95130672.39 不适用

净利润归属于上市公司股东的

扣除非经常性损益的净 -13497828.19 不适用 -205260194.78 不适用利润经营活动产生的现金流

不适用 不适用 -346421398.61 不适用量净额

基本每股收益（元/股） 0.09 800.00 -0.27 不适用

稀释每股收益（元/股） 0.09 800.00 -0.27 不适用

加权平均净资产收益率 增加 0.49个百 减少 1.27个百

0.63 -1.86

（%） 分点 分点

研发投入合计 253506131.56 63.93 634683945.11 44.23

研发投入占营业收入的 增加 6.71个百 增加 2.7个百

37.67 39.32比例（%） 分点 分点本报告期末比

本报告期末 上年度末 上年度末增减

变动幅度(%)

总资产 9639799757.60 7936810055.61 21.46归属于上市公司股东的

5125930235.89 5119703222.63 0.12

所有者权益

注：“本报告期”指本季度初至本季度末 3个月期间，下同。

本报告期，公司实现营业收入 67304.17万元，同比增长 34.73%，环比增长 23.50%；年初至本报告期末，公司实现营业收入 161405.94 万元，同比增长 34.31%，主要得益于公司在突破核心技术、推进产业化及迭代升级各系列产品的过程中取得重要成果，在核心技术、客户资源、产品覆盖广度及深度等方面的综合竞争优势进一步增强，明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、高深宽比刻蚀结构量测设备等各系列新产品，第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等现有系列升级迭代产品，以及先进制程收入贡献增长，推动公司订单规模及营收规模持续增长。

本报告期，公司实现归属于上市公司股东的净利润 3230.70万元，同比增长 783.70%，环比扭亏为盈，主要系规模效应逐步显现，以及先进制程收入贡献提升带动综合毛利率同环比改善，推动公司在保持高研发投入的情况下，盈利水平有较大幅度改善。年初至报告期末，公司实现归属于上市公司股东的净亏损 9513.07万元，亏损幅度较上半年收窄。随着新产品以及现有系列升级迭代产品逐步验证通过，收入贡献不断增长，公司未来经营规模及盈利能力持续向好。

（二） 非经常性损益项目和金额

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

非经常性损益项目 本期金额 年初至报告期末金额 说明

非流动性资产处置损益，包括已计提资产

47369.42 -67295.10

减值准备的冲销部分

计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、

41413576.96 97707281.01

按照确定的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府补助除外

除同公司正常经营业务相关的有效套期保

值业务外，非金融企业持有金融资产和金

4473571.50 13204906.80

融负债产生的公允价值变动损益以及处置金融资产和金融负债产生的损益

除上述各项之外的其他营业外收入和支出 -129674.74 -715370.32其他符合非经常性损益定义的损益项目

减：所得税影响额

少数股东权益影响额（税后）

合计 45804843.14 110129522.39

对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用 √不适用

（三） 主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因

√适用 □不适用变动比例

项目名称 主要原因

（%）

营业收入_本报告期 34.73 公司营业收入持续稳定增长，主要得益于公司在突破核心技术、推进产业化及迭代升级各系列产品的过程

中取得重要成果，在核心技术、客户资源、产品覆盖广度及深度等方面的综合竞争优势进一步增强，明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷

营业收入_年初至报告期末 34.31 检测设备、高深宽比刻蚀结构量测设备等各系列新产

品，第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精

度量测设备等现有系列升级迭代产品，以及先进制程收入贡献增长，推动公司订单规模及营收规模持续增长。

利润总额_本报告期 568.48

利润总额_年初至报告期末 不适用 年初至报告期末，公司亏损同比扩大，主要系为支撑归属于上市公司股东的净利润_ 长期高质量发展、攻坚核心技术及拓展海内外客户，

783.70

本报告期 公司持续加大研发与市场投入，整体人员数量持续扩归属于上市公司股东的净利润_ 充，相关前瞻性支出抵消了短期业绩增量，同时毛利不适用

年初至报告期末 率受产品结构阶段性影响同比略有下滑。

归属于上市公司股东的扣除非 本报告期，受益于规模效应逐步显现，以及先进制程经常性损益的净利润_ 本报告 不适用 收入贡献提升带动综合毛利率同环比改善，推动公司期 在保持高研发投入的情况下，盈利水平同环比有较大归属于上市公司股东的扣除非 幅度改善。随着新产品以及现有系列升级迭代产品逐经常性损益的净利润_ 年初至 不适用 步验证通过，收入贡献不断增长，公司未来经营规模报告期末 及盈利能力持续向好。

基本每股收益_本报告期 800.00

基本每股收益_年初至报告期末 不适用

稀释每股收益_本报告期 800.00

稀释每股收益_年初至报告期末 不适用

经营活动现金净流出额较上年同期收窄，主要系公司经营活动产生的现金流量净额_

不适用 加大合同收款力度，经营性现金流入同比增幅高于现年初至报告期末金流出增幅。

研发投入_本报告期 63.93 主要系为加快打破国外企业在国内市场的垄断局面，研发投入_年初至报告期末 44.23 公司进一步加大新产品及现有产品向更前沿工艺的迭代升级，研发团队稳步持续扩充，研发人员规模同比研发投入占营业收入的比例_本 增加 6.71

有相应增长，职工薪酬、研发用材料费及资产折旧摊报告期 个百分点销等研发投入规模随之增加。

二、股东信息

（一） 普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表

单位：股报告期末表决权恢复报告期末普通股股东总

19499 的优先股股东总数 /

数（如有）

前 10名股东持股情况（不含通过转融通出借股份）

包含转融 质押、标记

持股 持有有限

通借出股 或冻结情况

股东名称 股东性质 持股数量 比例 售条件股份的限售

(%) 份数量 股份

股份数量 数量状态

苏州翌流明光电科技有 境内非国有

37800963 10.74 0 0 无 0

限公司 法人国投（上海）创业投资

管理有限公司－国投（上海）科技成果转化 其他 21885010 6.22 0 0 无 0创业投资基金企业（有限合伙）深圳小纳光实验室投资

其他 18855937 5.36 0 0 无 0企业（有限合伙）

哈承姝 境外自然人 16918853 4.81 0 0 无 0长江证券股份有限公司

－华夏上证科创板半导

体材料设备主题交易型 其他 12924639 3.67 0 0 无 0开放式指数证券投资基金中国科学院微电子研究

国有法人 9604106 2.73 0 0 无 0所

招商银行股份有限公司

－华夏上证科创板 50 成

其他 8319355 2.36 0 0 无 0份交易型开放式指数证券投资基金中国建设银行股份有限

公司－银华集成电路混 其他 8214000 2.33 0 0 无 0合型证券投资基金中国农业银行股份有限

公司－东方人工智能主 其他 8030529 2.28 0 0 无 0题混合型证券投资基金

香港中央结算有限公司 其他 7143463 2.03 0 0 无 0

前 10 名无限售条件股东持股情况（不含通过转融通出借股份）股份种类及数量

股东名称 持有无限售条件流通股的数量

股份种类 数量苏州翌流明光电科技有

37800963 人民币普通股 37800963

限公司国投（上海）创业投资

管理有限公司－国投（上海）科技成果转化 21885010 人民币普通股 21885010创业投资基金企业（有限合伙）深圳小纳光实验室投资

18855937 人民币普通股 18855937企业（有限合伙）

哈承姝 16918853 人民币普通股 16918853长江证券股份有限公司

－华夏上证科创板半导

体材料设备主题交易型 12924639 人民币普通股 12924639开放式指数证券投资基金中国科学院微电子研究

9604106 人民币普通股 9604106

所招商银行股份有限公司

－华夏上证科创板 50 成

8319355 人民币普通股 8319355

份交易型开放式指数证券投资基金中国建设银行股份有限

公司－银华集成电路混 8214000 人民币普通股 8214000合型证券投资基金中国农业银行股份有限

公司－东方人工智能主 8030529 人民币普通股 8030529题混合型证券投资基金

香港中央结算有限公司 7143463 人民币普通股 7143463

哈承姝持有深圳小纳光实验室投资企业（有限合伙）（以下简称“小纳光”）1.71%的出资额和苏州翌流明光电科技有限公司（以下简称“苏州翌流明”）31.00%的股份，其中，苏州翌流明担任小纳光的执行事务合上述股东关联关系或一 伙人，并持有小纳光 1.47%的出资额；哈承姝和苏州翌流明分别持有珠致行动的说明 海横琴承心创业投资合伙企业（有限合伙）99.00%和 1%的出资额，珠海横琴承心创业投资合伙企业（有限合伙）持有小纳光 51.50%的出资额；

苏州翌流明、小纳光和哈承姝之间构成一致行动关系。除此之外，公司未知上述股东是否存在关联关系或一致行动关系。

前 10名股东及前 10名无限售股东参与融资融不适用券及转融通业务情况说明（如有）

持股 5%以上股东、前 10名股东及前 10 名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

□适用 √不适用

前 10名股东及前 10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用 √不适用

三、其他提醒事项需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息

□适用 √不适用

四、季度财务报表

（一） 审计意见类型

□适用 √不适用

（二） 财务报表合并资产负债表

2026年 9月 30日

编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司

单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计

项目 2026年 9月 30 日 2025年 12月 31 日

流动资产：

货币资金 1550091751.17 1822843626.81结算备付金拆出资金

交易性金融资产 338508825.19 552482213.71衍生金融资产

应收票据 7315923.36 2021043.87

应收账款 939380326.65 722607217.45

应收款项融资 22021826.40 21621979.84

预付款项 310490663.55 78154928.89应收保费应收分保账款应收分保合同准备金

其他应收款 21958351.32 17474098.83

其中：应收利息应收股利买入返售金融资产

存货 4289321964.92 2698756600.21

其中：数据资源

合同资产 40520144.14 29279593.22持有待售资产

一年内到期的非流动资产 412419504.94

其他流动资产 207168897.23 155208645.86

流动资产合计 7726778673.93 6512869453.63

非流动资产：

发放贷款和垫款债权投资其他债权投资长期应收款长期股权投资

其他权益工具投资 59995303.50 59995303.50

其他非流动金融资产 40304106.79投资性房地产

固定资产 752924222.94 733418763.74

在建工程 559694486.56 267688760.58生产性生物资产油气资产

使用权资产 85776286.28 100132207.86

无形资产 159313628.02 151303872.69

其中：数据资源开发支出

其中：数据资源商誉

长期待摊费用 57082060.46 35294255.61

递延所得税资产 43617374.10 34665161.05

其他非流动资产 154313615.02 41442276.95

非流动资产合计 1913021083.67 1423940601.98

资产总计 9639799757.60 7936810055.61

流动负债：

短期借款 276551961.71 313392730.06向中央银行借款拆入资金

交易性金融负债衍生金融负债

应付票据 618478974.68 292234637.25

应付账款 866874839.86 400338599.28预收款项

合同负债 1430483142.03 565393625.41卖出回购金融资产款吸收存款及同业存放代理买卖证券款代理承销证券款

应付职工薪酬 161747523.71 116088231.89

应交税费 34491266.92 13452407.68

其他应付款 222536582.63 231286884.58

其中：应付利息应付股利应付手续费及佣金应付分保账款持有待售负债

一年内到期的非流动负债 312929631.81 177129658.68

其他流动负债 55923930.67 18212281.25

流动负债合计 3980017854.02 2127529056.08

非流动负债：

保险合同准备金

长期借款 277428554.21 428286024.10应付债券

其中：优先股永续债

租赁负债 56531619.34 71405227.55长期应付款长期应付职工薪酬

预计负债 33398004.51 30429440.59

递延收益 163903218.87 138888318.20

递延所得税负债 2590270.76 20568766.46其他非流动负债

非流动负债合计 533851667.69 689577776.90

负债合计 4513869521.71 2817106832.98

所有者权益（或股东权益）：

实收资本（或股本） 352051671.00 350163237.00其他权益工具

其中：优先股永续债

资本公积 4611400998.85 4512110753.22

减：库存股

其他综合收益 7569503.41 7390497.39专项储备

盈余公积 35796030.18 35796030.18一般风险准备

未分配利润 119112032.45 214242704.84

归属于母公司所有者权益（或股东权益）

5125930235.89 5119703222.63

合计少数股东权益

所有者权益（或股东权益）合计 5125930235.89 5119703222.63

负债和所有者权益（或股东权益）总计 9639799757.60 7936810055.61

公司负责人：陈鲁 主管会计工作负责人：周凡女 会计机构负责人：周凡女

合并利润表

2026年 1—9月

编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司

单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计

2026年前三季度 2025年前三季度

项目

（1-9 月） （1-9 月）一、营业总收入 1614059366.89 1201724435.30

其中：营业收入 1614059366.89 1201724435.30利息收入已赚保费手续费及佣金收入

二、营业总成本 1832913463.78 1273520685.60

其中：营业成本 833737100.10 577161463.84利息支出手续费及佣金支出退保金赔付支出净额提取保险责任准备金净额保单红利支出分保费用

税金及附加 9778030.44 2559805.33

销售费用 147708084.60 91273762.89

管理费用 194773076.57 148147537.27

研发费用 634683945.11 440058055.98

财务费用 12233226.96 14320060.29

其中：利息费用 12827811.17 11706935.28

利息收入 1284805.47 2361957.63

加：其他收益 165176511.30 117488092.73

投资收益（损失以“-”号填列） 17360515.02 8117428.20

其中：对联营企业和合营企业的投资收益以摊余成本计量的金融资产终止确认收益

汇兑收益（损失以“-”号填列）

净敞口套期收益（损失以“-”号填列）

公允价值变动收益（损失以“-”号填列） 508825.19 32671.23

信用减值损失（损失以“-”号填列） -17083461.02 -143532.23

资产减值损失（损失以“-”号填列） -67332069.46 -67541709.19

资产处置收益（损失以“-”号填列） -67295.10 46021.35

三、营业利润（亏损以“-”号填列） -120291070.96 -13797278.21

加：营业外收入 1580285.36 185315.38

减：营业外支出 3348941.17 192225.04

四、利润总额（亏损总额以“-”号填列） -122059726.77 -13804187.87

减：所得税费用 -26929054.38 894301.69

五、净利润（净亏损以“-”号填列） -95130672.39 -14698489.56

（一）按经营持续性分类

1.持续经营净利润（净亏损以“-”号填列） -95130672.39 -14698489.56

2.终止经营净利润（净亏损以“-”号填列）

（二）按所有权归属分类1.归属于母公司股东的净利润（净亏损以“-”号-95130672.39 -14698489.56

填列）

2.少数股东损益（净亏损以“-”号填列）

六、其他综合收益的税后净额 179006.02 7459504.19

（一）归属母公司所有者的其他综合收益的税后净

179006.02 7459504.19

额

1.不能重分类进损益的其他综合收益 7496477.62

（1）重新计量设定受益计划变动额

（2）权益法下不能转损益的其他综合收益

（3）其他权益工具投资公允价值变动 7496477.62

（4）企业自身信用风险公允价值变动

（5）其他

2.将重分类进损益的其他综合收益 179006.02 -36973.43

（1）权益法下可转损益的其他综合收益

（2）其他债权投资公允价值变动

（3）金融资产重分类计入其他综合收益的金额

（4）其他债权投资信用减值准备

（5）现金流量套期储备

（6）外币财务报表折算差额 179006.02 -36973.43

（7）其他

（二）归属于少数股东的其他综合收益的税后净额

七、综合收益总额 -94951666.37 -7238985.37

（一）归属于母公司所有者的综合收益总额 -94951666.37 -7238985.37

（二）归属于少数股东的综合收益总额

八、每股收益：

（一）基本每股收益（元/股） -0.27 -0.05

（二）稀释每股收益（元/股） -0.27 -0.05

本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0.00元 上期被合并方实现的净利润为： 0.00 元。

公司负责人：陈鲁 主管会计工作负责人：周凡女 会计机构负责人：周凡女

合并现金流量表

2026年 1—9月

编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司

单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计

2026年前三季度 2025年前三季度

项目

（1-9月） （1-9 月）一、经营活动产生的现金流量：

销售商品、提供劳务收到的现金 2521336631.95 1271174107.73客户存款和同业存放款项净增加额向中央银行借款净增加额向其他金融机构拆入资金净增加额收到原保险合同保费取得的现金收到再保业务现金净额保户储金及投资款净增加额

收取利息、手续费及佣金的现金拆入资金净增加额回购业务资金净增加额代理买卖证券收到的现金净额

收到的税费返还 116528820.27 6058780.74

收到其他与经营活动有关的现金 159420873.87 180751678.70

经营活动现金流入小计 2797286326.09 1457984567.17

购买商品、接受劳务支付的现金 2049835675.05 1413318627.14客户贷款及垫款净增加额存放中央银行和同业款项净增加额支付原保险合同赔付款项的现金拆出资金净增加额

支付利息、手续费及佣金的现金支付保单红利的现金

支付给职工及为职工支付的现金 731963502.70 481954717.56

支付的各项税费 40659015.80 15824876.61

支付其他与经营活动有关的现金 321249531.15 225429243.04

经营活动现金流出小计 3143707724.70 2136527464.35

经营活动产生的现金流量净额 -346421398.61 -678542897.18

二、投资活动产生的现金流量：

收回投资收到的现金 8733924778.92 543000000.00

取得投资收益收到的现金 36214439.23 3559736.14

处置固定资产、无形资产和其他长期资产收回

63126.58 83769.00

的现金净额处置子公司及其他营业单位收到的现金净额

收到其他与投资活动有关的现金 11130000.00 14300000.00

投资活动现金流入小计 8781332344.73 560943505.14

购建固定资产、无形资产和其他长期资产支付

551894913.27 443059743.88

的现金

投资支付的现金 8165304106.79 523000000.00质押贷款净增加额取得子公司及其他营业单位支付的现金净额

支付其他与投资活动有关的现金 6200000.00 11100000.00

投资活动现金流出小计 8723399020.06 977159743.88

投资活动产生的现金流量净额 57933324.67 -416216238.74

三、筹资活动产生的现金流量：

吸收投资收到的现金 57691659.45 48629764.95

其中：子公司吸收少数股东投资收到的现金

取得借款收到的现金 445294618.40 834402660.47收到其他与筹资活动有关的现金

筹资活动现金流入小计 502986277.85 883032425.42

偿还债务支付的现金 494340251.83 56981515.68

分配股利、利润或偿付利息支付的现金 10066750.80 8182115.38

其中：子公司支付给少数股东的股利、利润

支付其他与筹资活动有关的现金 33615622.51 28088486.33

筹资活动现金流出小计 538022625.14 93252117.39

筹资活动产生的现金流量净额 -35036347.29 789780308.03

四、汇率变动对现金及现金等价物的影响 -471182.71 663383.01

五、现金及现金等价物净增加额 -323995603.94 -304315444.88

加：期初现金及现金等价物余额 1731254614.40 574440591.02

六、期末现金及现金等价物余额 1407259010.46 270125146.14

公司负责人：陈鲁 主管会计工作负责人：周凡女 会计机构负责人：周凡女

（三） 2026年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

□适用 √不适用特此公告。

深圳中科飞测科技股份有限公司董事会

2026年 10月 29日