国泰海通证券股份有限公司

关于深圳中科飞测科技股份有限公司使用部分募集资金向

全资子公司提供借款以实施募投项目的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为深

圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”或“公司”）2024年度向

特定对象发行 A股股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对中科飞测使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目事项进行了审慎核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况根据中国证券监督管理委员会于2025年8月4日出具的《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕

1640号），公司 2024年度向特定对象发行A股股票 28571428股，发行价格 87.50元/股，募集资金总额为人民币250000.00万元，扣除各项发行费用（不含增值税）人民币1923.26万元后，实际募集资金净额为人民币248076.74万元。上述募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具容诚验字[2025]518Z0128号《验资报告》。

为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐人、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

二、募集资金投资项目情况

根据《深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票证券募集说明书（注册稿）》及实际募集资金净额情况，本次发行的募集资金扣除发行费用后，将用于投入以下项目：

单位：万元调整前拟使用调整后拟使用序项目投资项目名称募集资金投资募集资金投资号总额金额金额上海高端半导体

1上海高端半导质量控制设备产84572.9873400.0071476.74

体质量控制设业化项目备研发测试及上海高端半导体

2产业化项目质量控制设备研63516.3344600.0044600.00

发测试中心项目总部基地及研发中心升级建设项

367097.4362000.0062000.00

目

4补充流动资金70000.0070000.0070000.00

合计285186.74250000.00248076.74

注：关于调整后拟使用募集资金投资金额的相关内容详见公司于2025年10月31日披露在上海证券交易所网站的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》。

三、公司使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的情况根据《深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票证券募集说明书（注册稿）》，募投项目“上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目”的实施主体为公司全资子公司飞测思凯浦（上海）半导体科技有限公司（以下简称“飞测思凯浦”）。根据公司募投项目实际情况及未来发展规划，公司拟使用募集资金向飞测思凯浦提供不超过人民币116076.74万元借款，根据项目实施需要，逐步拨付。前述借款不计息，借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还；到期后，如双方均无异议借款可自动续期。

四、本次提供借款对象的基本情况

公司名称飞测思凯浦（上海）半导体科技有限公司成立时间2024年05月09日注册资本10000万人民币实收资本10000万人民币法定代表人陈鲁注册地址上海市浦东新区秀浦路2388号10幢3层

股东构成深圳中科飞测科技股份有限公司持股100%

一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；软件开发。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营经营范围活动）自主展示（特色）项目：机械设备研发；机械设备销售；半导体器

件专用设备销售；机械零件、零部件销售；软件销售；工程和技术研究和试验发展；智能控制系统集成。

飞测思凯浦最近一年及一期的主要财务数据如下：

2025年6月30日/2024年末/

项目

2025年半年度2024年度

资产总额（万元）8456.05218.01

负债总额（万元）310.9518.03

净资产（万元）8145.10199.98

营业收入（万元）--

净利润（万元）-54.89-0.02注：上述2024年末/2024年度的主要财务数据已在公司合并范围经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计，2025年6月30日/2025年半年度的主要财务数据未经审计。

五、本次提供借款的目的及对公司的影响

公司使用部分募集资金向全资子公司飞测思凯浦提供借款以实施募投项目，有利于募投项目的顺利实施，符合募集资金使用计划及公司的发展战略和长远规划，符合公司及全体股东的利益，不会对公司的正常生产经营产生不利影响。

公司将严格遵守《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规和《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》的规定，加强募集资金使用的内部与外部监督，确保募集资金使用的合法、有效，实现公司和全体股东利益的最大化。

六、本次提供借款后募集资金的募集资金管理根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规和《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》的规定，公司及子公司分别与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》，对募集资金的存放和使用进行专户管理。公司及子公司将严格按照相关法律、法规和规范性文件的要求规范使用募集资金。公司将根据有关事项进展情况，严格按照有关法律、法规和规范性文件要求，及时履行信息披露义务。

七、履行的审议程序公司于2025年10月30日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，公司董事会、监事会对上述事项发表了同意意见。

上述事项无需提交公司股东大会审议。

八、保荐人核查意见经核查，保荐人认为：

公司使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目事项已经公

司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序。本次使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规及《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》的规定。

综上，保荐人对公司本次使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目事项无异议。

（以下无正文）（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于深圳中科飞测科技股份有限公司使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的核查意见》之签

章页）

保荐代表人：

田方军谢欣灵国泰海通证券股份有限公司年月日