深圳中科飞测科技股份有限公司

2025年度“提质增效重回报”专项行动方案的

半年度评估报告

为践行以“投资者为本”的上市公司发展理念，维护公司全体股东利益，基于对公司未来发展前景的信心及价值的认可，深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2025年4月4日发布了2025年度“提质增效重回报”

行动方案，以进一步提升公司经营效率，强化市场竞争力，保障投资者权益，树立良好的资本市场形象。

2025年上半年，专项行动方案实施进展情况如下：

一、聚焦主业，持续突破创新提升竞争力

2025年上半年，公司继续专注于高端半导体质量控制领域，进一步提升经

营管理能力及综合实力，实现长期、稳定和可持续的发展。具体包括以下方面：

1、持续高水平研发投入，稳步推进各系列设备产业化进程

公司继续以行业前沿技术与市场客户需求为导向，持续在各类型产品快速迭代升级及新产品研发上加大研发投入规模，各系列产品产业化进程取得积极成果。

作为国内高端半导体质量控制设备行业领军企业，为加快满足下游客户对高端半导体质量控制设备日益增长的需求，公司进一步加大新产品及现有产品向更前沿工艺的迭代升级等方面的研发投入，2025年上半年，公司研发投入达28541.65万元，较上年同期增长37.79%，占营业收入的比例约40.65%。同时，

公司注重知识产权的保护，制定了较为完善的覆盖专利研发至产业化应用的全流程管理制度。截至2025年6月末，公司累计获得专利642项（其中发明专利共计214项），比上年末增加41项。

高水平的研发投入进一步巩固和提升公司核心技术实力，报告期内公司稳步推进各系列设备的产业化进程。截至2025年6月末，公司九大系列设备和三大系列智能软件的产品组合构成了全方位的良率管理解决方案，覆盖接近70%的半导体质量控制设备市场容量。其中七大系列设备已经在国内头部客户批量量产应用，技术指标全面满足国内主流客户工艺需求，公司各系列产品市占率稳步快速增长；另外两大系列设备已完成样机研发，并已批量出货至多家国内头部客户开展产线工艺验证和应用开发。

2、持续优化供应链体系，保障生产经营安全稳定

长期以来，公司重视半导体设备零部件的国产化替代，通过构建多元化的供应链体系，与相关领域供应商建立良好和稳定的合作关系。

2025年上半年，公司持续关注国内供应商的发展，并通过积极培育国产供

应商等方式，共同推动产业链上下游的协同发展。在设备整机的研发和产业化进程中，公司从方案设计阶段公司就已经将零部件的稳定可靠供应作为整体方案设计的重要考虑因素之一，确保供应链能够保障在设备完成研发后顺利转入大规模量产，保证产品和技术的自主可控；对于已经量产的设备，公司持续强化供应链稳定性，不断地根据外部形势和内部需求优化供应渠道，强化供应链风险评估与识别能力，并制定详细应急预案与应对措施，确保供应链交付的高品质与持续性。

3、加大市场开发力度，进一步提升市场占有率

公司凭借较强的技术创新能力、优异的产品品质以及出色的售后服务等积极因素，品牌认可度不断提升，客户群体覆盖度进一步扩大，已广泛覆盖逻辑、存储、功率半导体、MEMS 等前道制程企业，碳化硅、氮化镓、砷化镓等化合物半导体企业，晶圆级封装和 2.5D/3D封装等先进封装企业，大硅片等半导体材料企业以及刻蚀设备、薄膜沉积设备、CMP设备等各类制程设备企业，客户订单量持续增长。公司在持续获得已有客户重复订单的同时，积极开拓了多家新客户，市场占有率进一步提升。2025年上半年，公司实现营业收入70217.39万元，同比增长51.39%。

4、强化人才体系建设，保障公司持续健康发展

公司自成立以来重视人才培养和储备，强化现有培训体系的建设，截至2025年6月30日，公司研发团队577人，较上年末增长20.71%。其中，硕士及博士研究生占比56.34%，涵盖光学、算法、软件、机械、电气、自动化控制等专业方向，跨专业、多层次的人才梯队构成公司研发的中坚力量。

此外，公司持续推进限制性股票激励计划，促进公司核心人才队伍的建设和稳定，充分调动公司员工的积极性，为公司良性发展夯实基础。2025年3月28日，公司召开第二届董事会第十次会议与第二届监事会第十次会议，审议通过了《关于向激励对象授予2024年限制性股票激励计划预留部分限制性股票的议案》，确定2025年3月28日为预留授予日，以授予价格30.55元/股（调整后）向6名董事、高级管理人员、核心技术人员及技术（业务）骨干成员授予75万

股第二类限制性股票。2025年6月12日，公司完成激励计划首次授予部分第一

个归属期的股份登记工作，为符合条件的107名激励对象完成登记159.1809万股。

5、规范募集资金使用，稳步推进募投项目建设

2025年上半年，公司严格遵守募集资金管理规定，规范使用募集资金，持续加强 IPO募投项目管理。截至 2025年 6月 30日，IPO募投项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”建设进展顺利，建成投产后将显著提升公司经营规模。

同时，公司把握发展机遇，积极推进再融资进程。2025年8月4日，公司2024年度向特定对象发行 A 股股票申请获得中国证券监督管理委员会同意注册的批复。

二、优化运营管理，提高经营效率

公司高度重视提高经营质量和效率，持续强化应收账款管理、存货管理、预算管理，设置更合理的信用政策、库存警戒线等举措，同时注重财务数据分析工作，公司财务管理信息化水平进一步提升，提高了公司经营质量与效率。2025年上半年，凭借长期研发积累形成的技术优势以及行业领先的研发投入水平，公司毛利率达到54.31%的较高水平。

三、重视提高股东回报，分享公司长期发展红利公司高度重视股东回报，努力践行“长期、健康、可持续”的股东价值回报机制，与全体股东共享公司发展红利。2024年12月，公司制定并披露《未来三

年（2024年-2026年）股东分红回报规划》，规定在满足分红条件的情况下，每

年以现金形式分配的利润不少于当年实现的可供分配利润的10%，进一步规范公司利润分配政策，增加股利分配决策的透明度和可操作性，保证股东的合理投资回报。

此外，公司注重市值管理工作。2025年3月，公司召开第二届董事会第九次会议，审议通过《关于制定<公司市值管理制度>的议案》，规范公司的市值管理活动，确保公司市值管理活动的合规性、科学性、有效性，实现公司价值和股东利益最大化。

四、持续完善公司治理，防范风险并提升规范运作水平

2025年上半年，公司密切关注法律法规和监管政策变化，不断完善公司内

控体系、重视“关键少数”主体责任、加强董事会建设等，提高公司运营的规范性和决策的科学性，推动公司整体治理水平的提升。

公司持续完善内控体系建设，密切关注政策动态，积极学习研究新规，结合现代化企业治理机制及各业务部门运作规范，不断修订完善适合本公司的内部控制管理体系，并大力推进落实，同时，公司定期开展内部审计和风险评估。

公司根据新《中华人民共和国公司法》《上市公司独立董事管理办法》等法律法规，定期自查，持续完善治理结构，提高规范运作水平，积极贯彻独立董事制度改革精神；公司始终重视“关键少数”在公司生产经营过程中的重要作用，强化大股东、董监高等“关键少数”合规意识；公司积极为独立董事、监事履行

监督职责提供必要的条件，并配合保荐机构开展工作，为其履行监督和督导职责提供便利。

公司全力支持董事、监事、高级管理人员积极参与监管机构举办的各种线上、

线下培训，如参加上交所“市值管理培训”专题活动，增加合规知识储备，提升履职能力，及时掌握监管动态。

五、高质量信息披露，充分传递公司投资价值2025年上半年，公司严格遵守法律法规和监管机构规定，执行公司信息披

露管理制度，认真履行信息披露义务，真实、准确、完整、及时、公平地披露公司定期报告、临时公告等，涉及公司经营、股权激励、权益分派等各方面重要信息。

公司高度重视投资者关系管理工作，通过上市公司公告、投资者交流会、业绩说明会、接待投资者现场调研、上证 e互动、电话、邮件等诸多渠道，确保公司经营成果、财务状况等情况，及时、公开、透明地传达给市场参与各方。2025年上半年，公司举行了2024年度暨2025年第一季度业绩说明会，并召开多次投资者交流会，与投资者就公司经营情况、发展规划等进行沟通，且及时发布投资者关系活动记录表。公司还积极参加了上海证券交易所组织的“科创3分钟—洞见新质生产力”主题活动，以视频和图片的形式向广大投资者尤其是中小投资者传递公司投资价值。公司定期在上证 e 互动平台回复投资者提问，问题回复率

100%，并安排专人负责维护投资者热线电话、公开邮箱，切实与资本市场保持

良性互动，增进投资者对公司的深入了解。

六、持续评估完善行动方案，维护公司市场形象未来，公司将持续评估并完善“提质增效重回报”行动方案的具体举措。一方面，公司将继续强化规范运作理念和法律法规的敬畏意识，严格遵守证监会、上海证券交易所相关法律法规的要求，做到信息披露真实、准确、完整，公平对待所有投资者。另一方面，公司将切实履行上市公司的责任和义务，专注主业，以助力我国集成电路产业自立自强发展为己任，稳步提升公司经营规模、盈利能力，不断增强公司核心竞争力，以优良的业绩切实回报投资者，维护公司市场形象。

本报告所涉及的公司规划、发展战略等系非既成事实的前瞻性陈述，不构成公司对投资者的实质承诺，敬请投资者注意相关风险。

深圳中科飞测科技股份有限公司董事会

2025年8月19日