6月23日有投资者向华润微(688396)提问：公司在哪些半导体生产工艺及环节会用到半导体臭氧及臭氧水设备？
6月26日公司回答表示：尊敬的投资者您好，感谢您对公司的关注。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。谢谢！
华润微：臭氧用于薄膜沉积、湿法清洗等工艺
九方智讯 06-26 15:15
华润微 --%
6月23日有投资者向华润微(688396)提问：公司在哪些半导体生产工艺及环节会用到半导体臭氧及臭氧水设备？
6月26日公司回答表示：尊敬的投资者您好，感谢您对公司的关注。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。谢谢！
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