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路维光电:公司在G11掩膜版、半色调掩膜版、光阻涂布领域打破海外垄断

九方智讯 2025-12-29

12月22日有投资者向路维光电(688401)提问:贵司在自主可控领域有哪些业务和亮点,谢谢!

12月29日公司回答表示:尊敬的投资者,您好!公司产品技术国内领先,多次打破海外垄断。(1)在G11高精度超大尺寸掩膜版领域,公司于2019年成功建设国内首条G11高世代掩膜版产线并投产,成为国内首家且唯一一家、世界第四家掌握G11掩膜版生产制造技术的本土企业;(2)在半色调掩膜版领域,公司于2018年成功实现G2.5等中小尺寸半色调掩膜版投产,HTM产品目前可以覆盖全世代,打破国外厂商长期技术垄断;(3)在光阻涂布领域,公司分别于2016年、2018年自主开发了中小尺寸和大尺寸掩膜版光阻涂布技术,实现了国内掩膜版行业在高精度、大尺寸光阻涂布技术上零的突破及对产业链上游技术的成功延伸。感谢您的关注,祝您生活愉快!

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