路维光电:关于深圳市路维光电股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的回复报告

深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告关于深圳市路维光电股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的回复报告

保荐人（主承销商）（深圳市罗湖区红岭中路1012号国信证券大厦十六层至二十六层）深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

上海证券交易所：

贵所于2026年3月10日出具的《关于深圳市路维光电股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函》（上证科审（再融资）〔2026〕25号）（以下简称“审核问询函”）已收悉。深圳市路维光电股份有限公司（以下简称“路维光电”“发行人”或“公司”）与国信证券股份有限公司（以下简称“保荐人”或“保荐机构”）、北京观韬律师事务所（以下简称“发行人律师”）、天职国

际会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“申报会计师”）等相关方对审核

问询函所列问题进行了逐项核查，现回复如下，请审核。

如无特别说明，本审核问询函回复使用的简称与《深圳市路维光电股份有限公司 2026 年度向特定对象发行 A 股股票募集说明书（申报稿）》（以下简称“募集说明书”）中的释义相同。在本审核问询函回复中，若出现总计数尾数与所列数值总和尾数不符的情况，均为四舍五入所致。

审核问询函所列问题黑体（加粗）

审核问询函所列问题答复宋体（不加粗）

7-1-1深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

1.关于本次募投项目............................................3

2.关于经营情况等............................................26

保荐机构总体意见.............................................48

7-1-2深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

1.关于本次募投项目

根据申报材料：（1）本次向特定对象发行股票募集资金总额不超过138000.00万元，用于投资厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地项目（一期）以及补充流动资金项目；（2）公司拟以自有资金或自筹资金出资投资建设

厦门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目，该项目总投资额为人民币

20亿元，本次募投项目为一期项目。

请发行人说明：（1）结合本次募投产品的市场需求、竞争情况、公司现有

及新增产能、平板显示掩膜版产能利用率、下游客户及同行业可比公司扩产情况等，说明本次募投项目实施的必要性、产能消化的合理性，项目实施是否存在重大不确定性，本次募集资金是否符合主要投向主业的要求；（2）厦门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目的整体规划与资金安排，本次募投项目是否能与其他建设规划明确区分；本次募投项目与现有业务、前次募投项目的区别与联系，是否存在重复建设；（3）结合发行人资金缺口、经营性现金流、债务结构及未来支出计划、同行业可比公司等情况，说明本次融资规模的合理性。

请保荐机构进行核查并发表明确核查意见，请申报会计师核查问题（3）并发表明确意见。

问题回复：

【发行人说明】

（1）结合本次募投产品的市场需求、竞争情况、公司现有及新增产能、平板

显示掩膜版产能利用率、下游客户及同行业可比公司扩产情况等，说明本次募投项目实施的必要性、产能消化的合理性，项目实施是否存在重大不确定性，本次募集资金是否符合主要投向主业的要求；

【回复】

一、本次募投产品平板显示掩膜版市场需求旺盛，公司市场地位较高，下游

平板显示客户积极扩产，驱动掩膜版需求增长，同行业公司亦积极扩张产能，公司的平板显示掩膜版产能利用率已处于较高水平，本次募投项目的实施具有必要性，新增产能预计可以被有效消化

7-1-3深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

（一）本次募投产品平板显示掩膜版市场需求旺盛

1、平板显示行业市场规模持续增长、技术多元化发展

掩膜版作为平板显示产业关键核心材料，随着显示面板技术不断迭代，大尺寸、高精细化、柔性化发展带动下已逐步呈现平稳增长的态势。根据Omdia分析，

2024年全球前八大平板显示掩膜版厂商销售收入约为1381亿日元，2027年预计

将达到1464亿日元。

全球平板显示掩膜版市场规模

数据来源：Omdia

全球平板显示行业迎来技术革新、市场扩张和竞争加剧等多重影响，快速向高端化、多元化方向发展，呈现显示技术多元化、市场集中化、应用场景扩展等显著特点。全球LCD面板市场表现出稳定增长的同时，新型显示技术崛起，OLED和Micro-LED加速渗透。根据Omdia相关报告分析，AMOLED面板预计到2028年将占显示面板市场总收入的43%。随着OLED相对于LCD面板的溢价持续缩小，且未来几年更多8.5代及以上OLED产能加入市场，用于拓展智能手机、平板、笔记本电脑、显示器等多种应用面板，Omdia预测，中尺寸IT产品OLED面板出货量到2030年将达到8420万片，年复合增长率为26.5%，车载产品OLED面板出货量也将达到1220万片，年复合增长30.6%。OLED价格和规格竞争将变得更加激烈，带动新产品持续研发和开案，促进对掩膜版的需求持续增长。

此外，随着新一代信息技术产业的快速发展，新型平板显示和半导体芯片等产业内出现很多新兴的需求，如低温多晶氧化物（LTPO）、双栈串联显示、Micro-

7-1-4深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

LED显示、硅基OLED、第三代半导体、先进封装、纳米压印、垂直腔面发射激光（VCSEL）、高精度光栅等，均需要满足相应技术需求的掩膜版产品与之配套。

2、平板显示上游材料国产替代进程持续加速

根据Omdia分析，2024年中国大陆平板显示掩膜版销售占比达到62%，预计

2026年占比将达到65%。我国作为新型显示产业第一大国，掩膜版市场的需求同样在不断扩大。自2018年起中国大陆超越韩国成为全球第一大平板显示掩膜版市场，自2020年开始中国大陆的掩膜版市场规模占比超过50%。

全球平板显示掩膜版市场规模分地区占比

数据来源：Omdia

随着中国平板显示产业逐步摆脱跟随状态，自给率不断提高，市场格局逐渐发生变化，中国大陆逐渐承接全球显示面板行业的产能转移，并通过多元化的技术路线和产能布局，成为新一代显示技术的有力竞争者。这将有力带动我国面板行业相关产业链，特别是上游原材料的发展。

近年来我国集中建设高精度、高世代面板线，为承接全球新型显示产能转移提供了良好条件，全球平板显示产业布局向中国转移的进程明显加快，为产业链发展带来新的机遇与挑战。玻璃基板、偏光片等上游材料国产化率提升，高端发光材料、蒸镀设备等关键材料的70%仍依赖进口，制约产业利润与安全性。掩膜版作为平板显示产业关键核心材料，目前国内超大尺寸TFT-LCD掩膜版、高精度AMOLED掩膜版主要依赖于进口，下游企业对供应链自主可控的需求日益迫切。

根据Omdia统计，在AMOLED/LTPS等应用领域，掩膜版国产化率仍较低，2024

7-1-5深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

年AMOLED/LTPS等高精度掩膜版的国产化率仍只有17.8%，国产替代的空间巨大。

在产品趋向大尺寸和高精度情况下，掩膜版的包装运输难度增加，运输距离的远近成为影响交货期和服务质量的关键因素。与国际竞争对手相比，国内掩膜版厂商在产品交付中具有交期、服务等方面的优势，掩膜版国产化进程可期。

3、掩膜版行业往高精度、大尺寸方向发展，促使需求升级和市场增长

（1）平板显示掩膜版产品精度趋向精细化

随着消费者对平板显示产品的要求逐步提高，手机、平板电脑等移动终端向着更高像素密度、更饱和的色彩度、更高的刷新率、更低的功耗发展。对平板显示掩膜版的光刻分辨率、最小过孔尺寸、CD均匀性、套刻精度、缺陷大小均提出

了更高的技术要求。根据Omdia对2020年至2022年平板显示掩膜版技术路线分析，显示用掩膜版在光刻分辨率（exposure resolution)、最小过孔尺寸（Minimum via)、CD均匀性（CD uniformity)、套刻精度（overlay)等技术指标方面都有提升。（2）平板显示领域新技术促使掩膜版层数增加

为进一步降低AMOLED屏幕的功耗，平板显示行业在LTPS背板的基础上开发出了LTPO背板显示技术，结合了LTPS背板沟道电子迁移率高、屏幕高刷新率的特点以及IGZO背板关态漏电流低、适合长续航要求的优势。传统LTPS背板一般需要9~13层掩膜版，结合IGZO技术后，LTPO背板工艺所需掩膜版要增加至少

4层，至13~17层。

（3）LCD产品尺寸稳定在大尺寸区间，OLED产品逐步向大尺寸靠拢

根据北京洛数合图科技有限公司数据，在中国电视零售市场，2024年上半年液晶电视平均尺寸已超过66英寸。市场趋势显示液晶电视尺寸正在逐渐增大。

OLED领域，大尺寸产品扩产加速，2025年12月，京东方宣布其国内首条第8.6代AMOLED生产线（B16）首款产品正式点亮。作为国内首条8.6代AMOLED产线，京东方B16线总投资达630亿元，设计产能为每月3.2万片玻璃基板，成为全球半导体显示产线的新标杆。维信诺合肥的8.6代产线2025年8月实现主厂房封顶，10月完成生产厂区全面封顶，总投资550亿元、月产能3.2万片，精准瞄准平板、笔记本、车载显示等中尺寸高潜力赛道。2025年10月，TCL华星第8.6代印刷OLED生产线在广州正式动工建设，该产线是全球首条高世代印刷OLED规模化量产线，设计产能每月约2.25万片，可精准匹配平板、笔记本电脑、显示器等核心IT终端

7-1-6深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

的显示产品需求。各种技术路线的大尺寸平板显示产能扩张将进一步催生对于不同规格掩膜版的市场需求。

综上，在平板显示掩膜版领域，近年来全球平板显示掩膜版市场规模稳步提升，产能不断向中国大陆转移，平板显示掩膜版产品精度趋向精细化、层数增加，OLED产品向大尺寸方向发展。本次募投项目的实施，将提升公司高精度平板显示掩膜版的产能，符合行业发展趋势，具有必要性和合理性，新增产能预计可以被有效消化。

（二）从市场竞争格局来看，平板显示领域较为集中，公司市场地位较高，需进一步扩充产能以匹配市场需求在平板显示领域，公司主要竞争对手包括美国福尼克斯，日本SKE、HOYA和DNP，韩国LG-IT和三星以及国内的清溢光电。由于掩膜版行业属于资金和技术密集型产业，平板显示掩膜版产线尤其是高世代或高精度产线资金投入规模较高，且产线运营具备专业性、复杂性、系统性等特征，因此行业的进入壁垒较高。

目前，美国和日韩的掩膜版厂商处于领先地位。

根据Omdia统计数据，2024年度全球各大掩膜版厂商平板显示掩膜版的销售金额前六名分别为福尼克斯、SKE、HOYA、清溢光电、LG-IT和路维光电，前六名掩膜版厂商的合计销售额占全球平板显示用掩膜版销售额的比例约为93%，公司位列全球第六名，国内第二名。公司的产品和技术在业内有较高的知名度，受到下游客户的认可，整体市场地位较高。

随着中国平板显示产业逐步摆脱跟随状态，自给率不断提高，市场格局逐渐发生变化，中国大陆逐渐承接全球显示面板行业的产能转移，并通过多元化的技术路线和产能布局，成为新一代显示技术的有力竞争者。这将有力带动我国面板行业相关产业链，特别是上游原材料的发展。国内掩膜版厂商凭借产品交期、服务、响应速度等方面的优势，逐步实现进口替代。下游平板显示客户考虑到供应链安全及交期、服务等方面因素，选择国内供应链的比例逐步提升。

随着下游平板显示行业对掩膜版需求的持续增长，公司作为国内第一家具备G2.5-G11 全世代掩膜版生产能力的本土企业，在国内掩膜版领域拥有较高的市场地位和技术水平，未来随着显示行业产业链进一步向国内转移，国内平板显示掩膜版的需求量将持续上升，尤其是高精度 AMOLED/LTPS 掩膜版，2024 年国

7-1-7深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

产化率仅17.8%，国产替代空间巨大。公司亟需扩大产能以满足下游客户的需求，提高市场份额。

（三）下游客户开始新一轮扩产，需求持续增长，新增产能预计可以被有效消化

公司的平板显示掩膜版产品和技术水平在业内知名度较高，与国内主要平板显示面板厂商均保持长期稳定的合作关系，包括京东方、天马微电子、TCL华星、信利、龙腾光电等。

三星、京东方、TCL华星和维信诺等全球主要显示面板制造商正围绕8.6代

OLED产线展开激烈竞争。该世代生产线能大幅提升面板切割效率，有效降低中大尺寸IT显示产品的单位成本。根据公开信息，公司下游主要客户积极扩产，对掩膜版需求旺盛，2022年以来公司下游平板显示厂商在LCD、OLED等方面扩产情况如下：

单位：亿元投资金公司名称细分产品投资项目投资时间投资地点额

第8.6代AMOLED生产线

OLED 630 2024年1月四川成都京东方项目

LCD 48 收购彩虹光电30%股权 2025年6月陕西咸阳

第5.5代印刷OLED新型

152024年1月湖北武汉

显示技术试产线项目

第8.6代印刷OLED生产

OLED 295 2025年9月广东广州线项目

TCL华星印刷OLED中试验证平台

152025年11月湖北武汉

项目

收购LGDCA 80%股权、

1112024年9月广东广州

LCD 收购LGDGZ 100%股权

26 收购LGDCA 20%股权 2025年1月广东广州

第5.5代柔性AMOLED产

52025年2月广东深圳

线

OLED

长沙新型OLED研发升级惠科302025年6月湖南长沙项目

长沙Oxide研发及产业化

LCD 30 2025年5月湖南长沙项目

天马微电第8.6代新型显示面板生

LCD 330 2022年4月福建厦门子产线项目

合肥第8.6代柔性有源矩阵有机发光显示器件

维信诺 OLED 550 2024年8月安徽合肥

（AMOLED）生产线项目

7-1-8深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

投资金公司名称细分产品投资项目投资时间投资地点额

合肥第6代柔性有源矩阵有机发光显示器件

OLED 110 2022年4月安徽合肥

（AMOLED）模组生产线项目

数据来源：Trendforce、上市公司官网、公告等公开信息

根据上表，境内主要的大型平板显示厂商纷纷扩建或投产平板显示产线，尤其是G8.6 LCD/OLED产线投资金额较大。根据Omdia统计及公开信息查询，京东方新增产线G8.6 OLED于2025年底投产；TCL华星新增产线G8.6 OLED预计2027年投产；惠科新增产线G6 OLED于2025年底投产。除此之外，维信诺也在新建G8.6 OLED产线。上述产线投产后OLED产品需求将进一步扩大。

随着国内平板显示厂商积极扩建产线以及对境外厂商的产线收购，平板显示国产化率持续提升，将带动国内平板显示掩膜版的需求持续增长。根据Omdia

2025年7月统计分析，2025年中国大陆已有20条8.5/8.6代高世代线，显示面板厂商

仍在继续扩大投资AMOLED/LTPS，已投资或正投资的25条中精度及高精度AMOLED/LTPS/a-Si产线。下游平板显示厂商积极扩产，对平板显示掩膜版需求旺盛。

（四）同行业公司正积极扩张产能，以满足下游需求持续增长近年来，随着掩膜版市场规模逐渐扩大，市场发展趋势向好，同行业公司清溢光电基于自身情况制定了相应的扩产计划，一定程度上反映掩膜版行业未来发展空间较大。清溢光电2025年5月向特定对象发行股票募集资金总额120000.00万元，募集资金扣除相关发行费用后将用于投资以下项目：

单位：万元拟使用募集资金投序号项目名称拟投资金额资金额

1高精度掩膜版生产基地建设项目一期80001.4260000.00

2高端半导体掩膜版生产基地建设项目一期60464.5660000.00

合计140465.97120000.00其中，“高精度掩膜版生产基地建设项目一期”计划新建5条平板显示掩膜版生产线，主要生产8.6代及以下高精度掩膜版，应用于a-Si、LTPS、AMOLED、LTPO、Micro-LED等平板显示产品。

（五）结合公司当前产能情况，平板显示掩膜版产能利用率已处于较高水平，新增产能具有必要性

7-1-9深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

1、公司平板显示掩膜版产能变化情况

公司本次募投项目拟新增平板显示掩膜版产能，以满足下游市场需求。随着下游平板显示行业的快速发展和掩膜版需求持续提升，公司对产能规模的提升规划具有合理性。

2、平板显示掩膜版产能利用率较为饱和，本募新增产能具有必要性

报告期内，公司平板显示掩膜版产能利用率情况如下表所示：

项目2025年1-9月2024年2023年2022年平板显示掩膜版产

92.10%87.49%77.07%73.58%

能利用率平板显示掩膜版设

94.45%93.26%85.95%82.07%

备利用率

注1：产能利用率=光刻机实际生产工时÷光刻机理论工时；光刻机理论工时为各台光刻机

当年满载理论作业工时之和扣除每年必要的维护工时，下同；

注2：设备利用率=光刻机实际工时÷光刻机理论工时=（光刻机实际生产工时+光刻机实际研发工时）÷光刻机理论工时，下同。

报告期内，公司平板显示掩膜版产能利用率分别为73.58%、77.07%、87.49%和92.10%，平板显示掩膜版设备利用率分别为82.07%、85.95%、93.26%和94.45%。

由于掩膜版产品为定制化产品，根据不同客户的订单需求，公司需要频繁地调整生产工艺和设备参数，并对生产线进行调试，考虑到调机测试以及生产轮班需要消耗一定时间，2025年1-9月公司平板显示掩膜版产能利用率已接近满载水平。

（六）公司平板显示掩膜版销售额持续快速增长，产品品质和技术水平处于

市场前列，为本次募投项目产能消化奠定了基础本次募投项目主要产品涵盖G8.6及以下高精度光掩膜版。报告期内，公司G8.6、G8.5、G6平板显示掩膜版销售金额逐期增长。

随着近年来新型平板显示技术迭代及下游产线扩张，同时显示行业产业转移促使上游材料国产替代进程加速，公司G6~G8.6平板显示掩膜版收入快速增长。

一方面，公司密切跟踪下游技术革新，在市场需求快速增长的AMOLED/LTPS等产品领域实现稳定量产、销售规模快速增长；另一方面，公司坚持研发创新，持续突破平板显示领域关键技术，构建更具竞争力的产品矩阵，例如公司打通了TFT用PSM掩膜版产品关键工艺环节，实现半导体掩膜版技术向平板显示领域的迁移，有效提升掩膜版关键层的精度控制能力，高精度产品订单承接能力进一步提升。

综上，平板显示掩膜版市场规模持续增长，产能向中国大陆转移，平板显示

7-1-10深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

掩膜版精度、层数和尺寸不断提升，下游客户积极扩产，平板显示掩膜版产品需求旺盛，同行业公司亦积极扩张产能。公司在平板显示掩膜版领域位居全球第六名，国内第二名，拥有丰富的客户储备和较高的客户粘性，同时，公司平板显示掩膜版产能利用率已处于较高水平。此外，公司平板显示掩膜版销售额持续快速增长，产品品质和技术水平处于市场前列，为本次募投项目产能消化奠定了基础。

因此，本次募投项目具有必要性，新增平板显示掩膜版产能预计可以被有效消化。

二、本次募投产品平板显示掩膜版系对现有主营产品的扩产，项目实施不存在重大不确定性

本次募投项目“厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地项目（一期）”，主要建设内容为新建5条高精度平板显示掩膜版生产线，重点研发生产G8.6及以下各类平板显示掩膜版，系对现有主营产品的扩产，相关产品在技术储备、人员储备、主要原材料和生产设备供应的稳定性、产品市场需求、销售渠道等方面均

不存在重大不确定性，具体分析如下：

（一）公司技术储备充足，项目实施不存在重大不确定性

作为国内第一家掌握G11高世代掩膜版生产技术的本土企业，公司是国内唯一一家可以全面配套不同世代面板产线（G2.5-G11）的本土掩膜版企业，拥有多年的掩膜版研发和制造经验，掌握平板显示掩膜版领域的关键核心技术。近年来，公司紧跟下游平板显示行业的发展动态，坚持研发攻关和技术创新，持续突破平板显示掩膜版关键技术。2023年实现Metal Mesh用PSM掩膜版的量产，2024年完成CF用PSM产品的客户验证并量产，同时打通TFT-Array用PSM掩膜版产品关键工艺环节；2024年量产AMOLED用半色调掩膜版产品，打破国外厂商长期技术垄断，同年突破单层衰减型PSM掩膜版制造技术和Mosi系双层PSM掩膜版制造技术，实现半导体掩膜版技术向平板显示领域的迁移。持续的技术迭代为公司在平板显示掩膜版领域保持技术领先提供了基础。本次募投项目的实施将进一步提升G8.6及以下高世代产品和AMOLED/LTPS/LTPO等高精度产品的产销规模、构建更具

竞争力的产品矩阵并提升市场占有率，该等产品属于公司已量产的产品，相关技术储备充足，不存在重大不确定性。

（二）公司人员储备丰富，项目实施不存在重大不确定性

7-1-11深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

公司拥有近三十年的掩膜版制造经验，目前已形成一套系统、规范、科学的管理体系，打造了一支覆盖研发、生产、采购、销售、管理等各职能的核心团队，核心人员均拥有多年掩膜版行业的从业经验，具备强大的专业水平和丰富的行业经验。截至2025年9月末，公司研发人员63人，占比17.60%。其中，多名核心研发人员均具备10年以上技术研发经验或在技术突破过程中做出较大贡献，在平板显示掩膜版领域具有较为深厚的技术积淀。本次募投项目的实施过程中，公司将按计划有序安排技术人员和生产人员到位，项目实施不存在重大不确定性。

（三）主要原材料、生产设备供应稳定

1、主要原材料目前供应稳定

本次募投项目主要原材料为石英基板、光学膜，大尺寸石英基板和光学膜技术难度较大，供应商主要集中在日本、韩国等地，目前国内仅有部分供应商可提供少量配合。对于掩膜基板、光学膜等重要的原材料，公司原则上至少选取三家实力雄厚、交货及时、服务意识良好的合格供应商作为供货渠道，以确保价格具有竞争性，同时保证物料的供应稳定，到货及时。报告期内，公司与高精度石英基板和光学膜主要供应商建立了长期稳定的合作关系，并签署了长期框架协议，以确保主要原材料的供应稳定。截至本回复出具日，公司与主要原材料供应商合作关系密切，原材料供应稳定。

2、主要生产设备目前供应稳定

本次募投项目主要生产设备包括光刻机、制程机、测量机、检查机、清洗机等，公司在掩膜版领域深耕多年，长期与主要生产设备厂商长期保持稳定的合作关系，设备供应稳定。本次募投主要生产设备光刻机，主要向瑞典Mycronic、德国海德堡仪器采购，公司已与供应商完成本次募投项目中4台光刻机的采购合同条款谈判及合同签署，还有1台光刻机尚在谈判中。截至本回复出具日，公司主要生产设备供应稳定。

综上，公司本次募投项目主要原材料来源国主要为日本和韩国、主要生产设备光刻机来源国主要为瑞典和德国，上述国家暂无限制相应产品对华出口的特殊限制政策和贸易政策壁垒，根据中华人民共和国商务部发布的《对外投资合作国别（地区）指南》，中国与日本、韩国、瑞典、德国的贸易政策均较为稳定，不存在对公司所处行业发展不利的贸易政策，相关主要原材料、主要生产设备能够

7-1-12深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

保持持续稳定供应。

若进口国或地区开展贸易保护政策，限制出口或制造贸易摩擦，公司不能及时采购到掩膜基板及核心生产设备等，将会对公司持续生产经营和本次募投项目的实施产生不利影响。发行人已在募集说明书“重大事项提示、二、（三）主要原材料和设备依赖进口且供应商较为集中的风险”及“第六节、一、（二）、2、主要原材料和设备依赖进口且供应商较为集中的风险”披露相关风险。

（四）本次募投产品平板显示掩膜版市场需求旺盛，销售渠道稳定，公司与主要客户长期保持稳定的合作关系

随着下游平板显示行业持续发展，本次募投项目产品市场需求旺盛。凭借多年来积累的行业经验、稳定的产品技术、强大的服务能力，公司积累了大批优质的客户资源，均为下游行业中的规模较大、具有领先市场地位的龙头企业，如平板显示领域的京东方、TCL华星、天马微电子等。基于多年的行业耕耘，公司凭借优质的产品和服务在市场上树立了良好的品牌形象，与前述客户形成长期、稳定的合作关系，为本次募投项目的实施奠定了稳定的客户基础。

未来公司将持续深耕行业龙头客户，及时响应客户需求，并加大力度通过参加行业展会与专业论坛、拜访客户及老客户推荐等方式开拓客户，确保本次募投项目的顺利实施及商业化落地。

综上，公司在技术储备、人员储备、客户储备、原材料和设备供应、市场需求和销售渠道等方面准备充分，预计本次募投项目的实施不存在重大不确定性。

三、本次募投项目产品系对公司现有主营产品的扩产，募集资金投向主业本次向特定对象发行股票募集资金总额不超过人民币138000.00万元（含本数），扣除发行费用后，用于以下项目的投资：

单位：万元序号募集资金投资项目计划投资总额拟使用募集资金厦门路维光电高世代高精度掩膜版生

1130089.17107000.00

产基地项目（一期）

2补充流动资金及偿还银行借款31000.0031000.00

合计161089.17138000.00

公司主要从事掩膜版的研发、生产和销售，主要产品为平板显示掩膜版、半导体及其他掩膜版。公司本次募投项目“厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地项目（一期）”将新建5条高精度平板显示掩膜版生产线，重点研发生产G8.6

7-1-13深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

及以下各类平板显示掩膜版，系对现有主营产品的扩产，本次募集资金投向主业，具体如下：

项目厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地项目（一期）是，本次募投项目中，G8.6及以下各类平板显示掩膜版均是否属于对现有主业的扩产系对公司现有主营产品的扩产是否属于对现有主业的技术否，本次募投项目产品均为公司现有产品升级是否属于基于现有业务在其否，应用领域仍为平板显示领域他应用领域的拓展是否属于对产业链上下游的否延伸是否属于跨主业投资否

本次募投项目产品 G8.6 及以下各类平板显示掩膜版系对现有主营产品的扩产，本次募投项目产品与公司现有主营产品在原材料采购、生产工艺流程、下游应用领域和客户群体等方面均一致，募集资金主要投向主业。

综上，公司本次募投项目产品系对现有主业产品的扩产，本次募集资金符合投向主业的要求。

（2）厦门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目的整体规划与资金安排，本次募投项目是否能与其他建设规划明确区分；本次募投项目与现有业务、前次募投项目的区别与联系，是否存在重复建设；

【回复】

一、厦门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目的整体规划与资金安排

公司于2025年3月23日、2025年4月8日分别召开第五届董事会第十四

次会议、2025年第一次临时股东大会，审议通过了《关于对外投资的议案》，同意公司以自有资金或自筹资金出资投资建设“厦门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目”。具体详见公司于2025年3月24日在上海证券交易所网站（https://www.sse.com.cn/）披露的《路维光电关于对外投资的公告》（公告编号：2025-017）。

该项目总投资额为人民币20亿元，计划建设11条高端光掩膜版产线，重点研发生产 G8.6 及以下各类平板显示掩膜版。项目将按照整体规划，分期实施建

7-1-14深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告设，本次募投项目为一期（以下简称“一期项目”），计划投资总额130089.17万元，后期拟继续投入约7亿元（以下简称“后期项目”）。后期项目将根据一期项目建成投产后的产能利用率、经济效益及市场供需情况择机启动，并根据届时的资金状况进行资金筹措。

二、本次募投项目与后期项目可明确区分

根据项目规划，一期项目与后期项目在土地、厂房等物理设施层面存在共用安排，但核心生产设备可实现明确区分，具体情况如下：

项目是否共用区分情况说明

土地、房屋是两个项目将统一使用厦门生产基地的土地及厂房建筑

两个项目的关键工序如光刻工序、大部分后端工序不存在

产线、设备部分共用

设备共用情形，可能存在个别后端工序设备共用的情形公司已建立成熟完善的管理机制，同时从核心设备、财务核算、资金管理三方面实现本次募投项目与后期建设规划的明确区分，具体情况如下：

（一）核心设备可明确区分，个别后端工序设备共用为行业惯例

光刻系整个掩膜版制造过程中最为耗时的工序，为合理调配产能、提高生产效率，公司采用每条产线配置一台光刻机、多条产线共用后端设备的方式进行生产线布局。根据后期项目初步规划，公司将通过引入新的生产设备来实现扩产，该规划与本次募投项目在关键工序如光刻工序、大部分后端工序不存在设备共用情形，可能存在个别后端工序设备共用的情形。

在掩膜版生产行业中，后端工序设备共用属于较为常见的做法，主要系光刻工序耗时最长，为合理调配产能、提高设备利用率而形成的行业惯例。根据清溢光电在 2023 年度向特定对象发行 A 股股票的相关资料，其高精度掩膜版生产基地建设项目后期项目与募投项目在光刻等关键工序上不存在设备共用情形，后端工序存在部分设备共用情形。

（二）本次募投项目可独立进行财务核算及效益核算

公司对本次募投项目进行独立的财务核算和效益测算，确保本次募投项目的收入、成本和费用可以与后期项目明确区分。本次募投项目产线核心设备光刻机可明确区分并独立组织生产，其生产的掩膜版产品将通过销售订单进行归集和核算，销售收入、直接材料能够清晰界定。后期项目在使用现有个别后端设备的情

7-1-15深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告况下，人工成本和制造费用将按照公司内部订单的工时进行分摊。公司已建立较为成熟的 MES 系统和 ERP 系统，能够支持精细化的成本归集与分摊，从而确保本次募投项目效益核算可明确区分。

（三）募集资金的存放、使用和管理可明确区分

公司依据相关法律法规，已制定《募集资金管理制度》并建立了完善的募集资金存放、使用内控制度。根据该制度，本次募集资金将被存放于专门的募集资金账户，并遵循“专款专用”的原则，确保资金的存放、使用和管理能够清晰区分。

在募集资金到位后，公司将严格遵守法律法规和内部规定，将资金存入专户，并签署符合法规规定的募集资金专户监管协议，同时接受保荐机构的监督，确保及时完成内部审批流程以及履行信息披露的义务。此外，公司内部审计部门将定期对募投项目的资金使用进行审计，以确保资金的独立核算得到有效监督。

综上所述，一期项目与后期项目虽然在土地、厂房等基础设施层面存在共用安排，但在核心生产设备、财务核算及效益测算、募集资金管理等关键环节均建立了明确的区分机制。公司具备成熟的内控制度和信息系统支撑，能够确保本次募投项目的独立运作和效益评价，与后期项目可明确区分。

三、本次募投项目与现有业务、前次募投项目的区别与联系，不存在重复建设的情形

（一）本次募投项目与现有业务的区别与联系

本次募投项目“厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地项目（一期）”

是公司围绕核心主业平板显示掩膜版进行的产能扩充建设，项目本身不涉及新产品、新技术的研发，旨在通过增加高世代、高精度掩膜版的生产能力，满足下游客户对 G8.6 及以下各类平板显示掩膜版产品日益增长的需求。

（二）本次募投项目与前次募投项目的区别与联系，不存在重复建设的情形

前次募投项目“半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目”分为半导体、平

板显示两大方向，本次募投项目聚焦平板显示掩膜版领域的产能扩张，二者的区别与联系具体如下：

项目前次募投项目本次募投项目应用领域半导体平板显示平板显示

7-1-16深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

项目前次募投项目本次募投项目实施主体路维科技厦门路维产线数量2条2条5条

IC 制造掩膜版、IC

封装掩膜版、半导主要为高精度主要为高精度

产品类型体器件掩膜版、 AMOLED/LTPS 掩膜版、 AMOLED/LTPS 掩膜版、

LED 芯片外延片掩 FMM 用掩膜版 FMM 用掩膜版膜版

平板显示掩膜版覆盖G8.6 平板显示掩膜版覆盖G8.6半导体掩膜版覆盖及以下产品（主要为及以下产品（主要为规格型号 130nm 及以上制程 AMOLED/LTPS/LTPO 高 AMOLED/LTPS/LTPO 高

产品精度光掩膜版、FMM 用掩精度光掩膜版、FMM 用掩膜版）膜版）中芯集成电路（宁京东方、TCL 华星、天马京东方、TCL 华星、天马

波）有限公司、通富

下游客户微电子、信利、寰采星、众微电子、信利、寰采星、众

微电、晶方科技、华凌科技等凌科技等天科技等

如上表所示，与前次募投相比，本次募投项目聚焦平板显示掩膜版主业，重点围绕高精度 AMOLED/LTPS/LTPO 用掩膜版、FMM 用掩膜版等需求快速增长

领域进行产能扩充。项目旨在响应下游客户日益增长的订单需求、缩短交付周期，属于增量产能布局。

本次募投项目旨在贴近华东、华南等主要平板显示产业集群，提升区域响应速度、降低物流成本，进一步完善公司产能布局，增强整体市场竞争力。因此，本次募投项目不存在重复建设的情形。

综上所述，本次募投项目与其他建设规划能明确区分；与现有业务在产品定位、产能布局上形成互补与协同；项目建设顺应市场需求增长，有助于缓解产能压力、完善区域布局，具有充分的合理性和必要性，不存在重复建设的情形。

（3）结合发行人资金缺口、经营性现金流、债务结构及未来支出计划、同行

业可比公司等情况，说明本次融资规模的合理性。

【回复】

一、发行人资金缺口、经营性现金流、未来支出计划等情况

综合考虑公司的现有货币资金用途、未来期间经营性净现金流入、最低现金

保有量、未来期间的投资需求、未来期间现金分红等情况，公司目前的资金缺口为139577.74万元，具体测算过程如下：

项目金额（万元）

7-1-17深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

截至2025年9月30日货币资金及交易性金融资产余额*70629.33

其中：历次募投项目存放的专项资金等用途受限资金*15800.72

可自由支配资金*=*-*54828.62

最低现金保有量（报告期末）*24278.11

未来三年新增最低现金保有量需求*14576.12

未来三年预计投资项目资金需求*202170.75

未来三年预计现金分红所需资金*22358.00

未来三年偿还银行借款利息*3488.68

未来期间总体资金需求合计*=*+*+*+*+*266871.66

未来三年预计经营活动现金流量净额合计*72465.30

总体资金缺口（负数表示缺口）=*+*-*-139577.74

公司现有货币资金用途、未来期间经营性净现金流入、最低现金保有量、未

来期间的投资需求、未来期间现金分红等各项目的测算过程如下：

1、可自由支配资金

截至2025年9月30日，公司货币资金及交易性金融资产余额为70629.33万元，其中历次募投项目存放的专项资金等用途受限资金共计15800.72万元。

募集资金账户资金余额已有既定使用规划，只能用于前次募集资金投资项目。扣除上述历次募投项目存放的专项资金等用途受限资金后，公司可自由支配的货币资金为54828.62万元。

2、最低现金保有量

最低现金保有量系公司为维持其日常营运所需要的最低货币资金金额，以应对客户回款不及时，支付供应商货款、员工薪酬、税费等短期付现成本。根据公司2022至2024年财务数据，结合公司实际情况，公司使用“安全月数法”对最低现金保有量进行测算。测算过程如下：

（1）公司应收账款平均收现期项目2022年度2023年度2024年度

营业收入（万元）64001.3767239.4487554.87

销售商品、提供劳务收到的现金（万元）65595.4472563.2687826.61

应收账款平均余额（万元）13135.2516683.3922419.42

根据营业收入测算的应收账款收回天数（天）74.9190.5693.46

根据营业收入测算的应收账款收回天数平均值（天）86.31

根据经营现金流测算的应收账款收回天数（天）73.0983.9293.17

根据现金流测算的应收账款收回天数平均值（天）83.39

注1：应收账款平均余额=（期末应收账款余额+期初应收账款余额）/2；

注2：根据营业收入测算的应收账款收回天数=365/（营业收入/应收账款平均余额）；

注3：根据经营现金流测算的应收账款收回天数=365/（销售商品、提供劳务收到的现金/应收账款平均余额）

由上表可知，2022年至2024年，根据营业收入测算的应收账款收回天数平

7-1-18深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

均值为86.31天，为2.84个月；根据经营现金流测算的应收账款收回天数平均值为83.39天，为2.78个月。

（2）公司近三年平均可支配资金覆盖付现成本月数情况

根据公司2022-2024年财务数据，公司近三年平均可支配资金覆盖付现成本月数情况如下：

单位：万元

2022年2023年2024年

项目

/2022.12.31/2023.12.31/2024.12.31

营业成本42960.5943641.0157070.75

销售费用1452.251286.381387.93

管理费用3393.063632.104286.30

研发费用2841.683521.023761.74

财务费用1764.70760.48830.84

减：非付现成本总额8604.978861.9110767.20

付现成本合计43807.3243979.0856570.36

近三年平均付现成本48118.92月平均付现成本3650.613664.924714.20

货币资金61722.4750948.0924271.29

交易性金融资产23146.755038.72-

其他债权投资2013.485403.805579.20

募集资金存放49414.4623756.894348.84

其他受限资金2.0012395.930.40

可支配资金余额37466.2525237.8125501.25可支配资金余额覆盖月均付现

10.266.895.41

成本月数近三年平均可支配资金余额覆

7.52

盖月均付现成本月数

注：非付现成本总额包含当期固定资产折旧、无形资产摊销和长期待摊费用摊销

由上表可知，公司近三年平均可支配资金余额覆盖月均付现成本月数为7.52个月。

（3）安全月数选取及计算结果基于公司实际情况及管理经验，按照公司应收账款平均收回天数（2.78个月），和公司近三年平均可支配资金额覆盖月均付现成本月数（7.52个月）的平均值作为选取结果，按照最低保留5.15个月的付现成本对公司最低现金保有量进行测算，结果如下：

2024年度，公司月均付现成本为4714.20万元，以此确定期末最低现金保

有量为24278.11万元。

3、未来三年新增最低现金保有量需求

基于未来公司营业收入基数的提升以及谨慎考虑市场波动、成本上升等因素

7-1-19深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告影响，参考公司近三年营业收入复合增长率16.97%的水平，假设公司未来三年营业收入复合增长率保持不变。

由于最低现金保有量需求与公司经营规模相关，假设最低现金保有量的增速与上述营业收入增速一致，预计公司2028年9月末最低现金保有量为38854.24万元，扣除截至报告期末最低现金保有量金额24278.11万元，则公司未来三年新增最低现金保有量金额为14576.12万元。

4、未来三年预计投资项目资金需求

公司未来三年预计的重大投资项目具体情况如下：

单位：万元序号项目名称拟投资金额

厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地项目（一期）（本

1122700.95次募投项目）

2厦门路维除本次募投项目的后续投入70000.00

半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目拟用自有资金投

35646.14

入的设备购置款

4路维盛德剩余投资款2318.53

5路维科技工业用房及配套设施项目1505.13

合计202170.75

（1）公司于2025年3月23日、2025年4月8日分别召开第五届董事会第

十四次会议、2025年第一次临时股东大会，审议通过了《关于对外投资的议案》，同意公司以自有资金或自筹资金出资投资建设“厦门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目”。该项目总投资额为人民币20亿元，计划建设11条高端光掩膜版产线，重点研发生产 G8.6 及以下各类平板显示掩膜版产品。

项目将按照整体规划、分期实施建设，本次募投项目为一期，计划投资总额130089.17万元，后期拟继续投入约70000.00万元。截至2025年9月30日，

厦门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目已投资合计7388.22万元，一期项目尚余122700.95万元需投入。

（2）根据前次募投“半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目”的整体规划，设备购置总额为37549.90万元，其中拟使用募集资金投入31903.76万元，拟用自有资金投入5646.14万元。

（3）公司围绕自身在平板显示和半导体行业的产业背景，依托基金管理人

的行业经验、管理和资源优势，以股权投资方式促进产业发展，使用自有资金与深圳市前海睿兴投资管理有限公司共同发起设立产业基金，专项投资于掩膜版及

7-1-20深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告其上下游产业。该基金募集规模为人民币20000.00万元，公司作为有限合伙人以自有资金出资人民币19900.00万元。合伙企业路维盛德已于2023年2月15日设立，并于2023年4月7日完成私募投资基金备案。根据路维盛德《合伙协议》，具体实缴出资时间及金额根据项目投资进度由合伙人共同协商确认，合伙企业的存续期限自合伙企业成立之日起满五年为止，前三年为投资期，后两年为管理期。截至2025年9月30日，公司已向路维盛德实际投资合计17581.47万元，尚余2318.53万元需投入。

（4）短期内其他偶发性大额支出。公司正在建设“路维科技工业用房及配套设施项目”，项目预算9182.11万元，截至2025年9月30日，已投入7676.98万元，尚余1505.13万元短期内将根据施工周期进一步付款。

5、未来三年预计现金分红所需资金

公司2022-2024年现金分红金额分别为2933.34万元、4498.90万元和

5763.56万元。现金分红金额占各期归属于母公司所有者的净利润的比例分别为

24.49%、30.23%和30.20%，平均值为28.31%。未来，公司分红比例预计较为稳定，假设未来三年现金分红比例保持2022年至2024年的平均水平。

基于谨慎考虑，参考公司近三年营业收入复合增长率16.97%的水平，假设公司未来三年营业收入的复合增长率保持不变。公司2024年度归属于母公司所有者的净利润为19086.22万元，归母净利率为21.80%。假设公司未来三年的归母净利率保持在21.80%不变，则未来三年公司归属于母公司所有者的净利润分别为22325.15万元、26113.73万元和30545.23万元。

基于上述假设，公司未来三年现金分红金额合计约为22358.00万元。

6、未来三年偿还银行借款利息

预计公司2025年10月至2028年9月需偿还银行借款利息金额为3488.68万元。

7、未来三年经营活动现金流量净额合计

2022-2024年，公司经营活动现金流量净额占营业收入比重情况如下：

项目2022年度2023年度2024年度

营业收入（万元）64001.3767239.4487554.87

经营活动现金流量净额（万元）29856.0316668.9526695.19

经营活动现金流量净额占营业收入的比例46.65%24.79%30.49%

公司2022年经营活动现金流量净额较大，主要系报告期内收到增值税留抵

7-1-21深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

税额退还1.05亿元所致。其中，成都路维于2022年收到的税费返还9000余万元，主要系成都路维根据国家增值税期末留抵退税相关政策，在建设初期购进大型设备、进行厂房建设、日常生产经营中采购原材料等形成大额进项税额，且其销售收入产生的销项税额不足以全额抵扣进项税额，形成较大金额期末留抵进项税额。成都路维于2022年按规定申请并收到增值税留抵税额退税，使得2022年度经营性应收项目减少金额较大，进而使公司经营活动产生的现金流量净额增加。

因此，公司2022年经营活动现金流量净额波动较大属于偶发性情况，2023年度经营活动现金流量净额回归正常水平。2024年度经营活动现金流量净额较2023年大幅增加，主要系公司销售规模增长，销售商品收到的现金增加导致的。基于谨慎考虑未来宏观经济形势及国际贸易政策变化、行业竞争加剧、市场需求波动等因素，以及剔除报告期内收到大额增值税留抵税额退回、大额政府补助等偶发性情况的影响，结合同行业可比公司的预计水平，假设未来三年经营活动现金流量净额占营业收入的比例为20.00%。

2022-2024年度，公司营业收入复合增长率为16.97%。假设公司2025-2027年营业收入保持最近三年的复合增长率不变，同时以未来三年经营活动现金流量净额占营业收入的比例为20.00%进行测算。具体如下：

项目2025年度2026年度2027年度

预测营业收入（万元）102412.93119792.41140121.18

预测经营活动现金流量净额（万元）20482.5923958.4828024.24

注：2025-2027年流动资金需求规模的测算中，各年度年营业收入仅为假设数据，不构成公司对于未来业绩的盈利预测。

根据上表，2025-2027年公司经营活动现金流量净额合计为72465.30万元。

综上所述，综合考虑公司现有货币资金用途、未来期间经营性净现金流入、最低现金保有量、未来期间的投资需求、未来期间现金分红等，公司总体资金缺口为139577.74万元，超过本次募集资金总额138000.00万元，因此本次募集资金规模具有合理性及必要性。

二、公司债务结构、本次融资比例及与同行业可比公司比较情况

（一）公司债务结构与同行业可比公司对比分析

报告期各期末，公司资产负债率与同行业可比公司比较情况如下：

7-1-22深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

单位：万元公司名称2025年9月末2024年末2023年末2022年末

福尼克斯11.48%13.51%16.42%19.28%

SKE 18.65% 18.92% 24.38% 27.50%

台湾光罩74.52%80.44%75.87%75.22%

清溢光电29.02%45.92%33.37%26.46%

龙图光罩13.81%8.32%12.40%9.57%

行业平均29.50%33.42%32.49%31.61%

路维光电45.12%37.90%34.96%28.06%

注1：同行业公司数据来源于其定期报告、公开发行信息披露文件，下同；

注 2：福尼克斯为美国纳斯达克上市公司，其会计年度为每年 11 月至次年 10 月；SKE 为日本东京证券交易所上市公司，其会计年度为每年10月至次年9月。

由上表可见，公司资产负债率在报告期内呈现逐年上升趋势，从2022年末的28.06%增长至2025年9月末的45.12%。该趋势主要系公司近年来为把握市场机遇，持续加大资本性支出以扩大产能和提升技术水平所致。与同行业公司相比，公司2025年9月末的资产负债率虽低于台湾光罩，但显著高于福尼克斯、SKE、清溢光电、龙图光罩 2025 年 9 月末的水平，这表明在当前业务扩张阶段，公司已承担了相对较高的财务杠杆。

若本次募投项目所需资金全部通过银行借款筹集，以2025年9月末财务数据为基准测算，公司总资产及负债将同步增加138000.00万元，资产负债率将大幅上升至 62.77%，显著高于福尼克斯、SKE、龙图光罩、清溢光电等同行业公司，可能导致公司财务风险上升，进而对经营稳定性产生不利影响。因此，公司拟通过本次募集资金实施募投项目具有必要性。

（二）本次融资比例与同行业可比公司对比分析

公司本次发行融资比例与同行业可比公司相关再融资情况比较如下：

项目路维光电清溢光电再融资事项2026年向特定对象发行股票2023年向特定对象发行股票

融资规模（万元）138000.00120000.00

预案公告日总市值（万元）1105566.45560280.00

发行日总市值（万元）/734500.40融资比例（以预案公告日

12.48%21.42%总市值测算）融资比例（以发行日总市/16.34%值测算）

由上表可见，公司本次发行融资比例低于同行业可比公司清溢光电相关融资比例，主要系公司结合自身资金缺口、业务发展阶段及市场估值情况，制定了审慎的融资方案。本次融资规模既能够充分覆盖募投项目建设与营运资金需求，又

7-1-23深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

不会过度稀释股东权益，同时有助于优化公司资本结构、增强抗风险能力，为后续持续业务扩张打下坚实基础，融资比例具备合理性。

综上所述，公司本次融资规模的确定，是在充分考量了自身资金缺口、经营性现金流状况、未来重大支出计划的基础上，结合当前债务结构及同行业可比公司情况进行的审慎决策。本次融资能够直接满足募投项目的资金需求，有效缓解因大规模资本开支带来的财务压力，防止资产负债率过快上升，保持公司财务结构的稳健性。因此，本次融资规模具有合理性和必要性。

【中介机构核查意见】

请保荐机构进行核查并发表明确核查意见，请申报会计师核查问题（3）并发表明确意见。

【回复】

一、核查程序

1、查阅了掩膜版行业及下游平板显示、行业研究报告及相关产业政策，了

解行业政策及行业发展趋势，查阅下游行业主要公司官网及公告，了解下游客户需求及产能建设情况；

2、访谈发行人研发人员，了解本次募投项目相关技术和人员储备情况；

3、访谈发行人采购人员，了解本次募投项目主要原材料、主要设备的供应情况；

4、访谈发行人销售人员，了解发行人产品市场需求和销售渠道等；

5、查阅了Omdia研究报告，了解平板显示厂商对掩膜版的需求变化情况，了

解掩膜版市场竞争格局；

6、查阅了发行人财务报表、产能利用率情况；

7、查阅了发行人第五届董事会第十四次会议、2025年第一次临时股东大会

决议文件，了解厦门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目的整体规划；

查阅本次募投项目可行性研究报告，查阅发行人定期报告、前次募投项目相关募集说明书等公开披露文件，了解本次募投项目主要业务、产品与现有业务、前次募投项目的区别与联系；

8、查阅发行人《募集资金管理制度》及相关内控制度文件，了解募集资金

专户存储、专款专用、三方监管及内部审计等管理机制的建立情况，评估资金独

7-1-24深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

立管理的有效性；

9、查阅发行人报告期内的审计报告等，了解发行人各期末货币资金、交易

性金融资产、经营性现金流、现金分红、有息负债等相关情况，依据公司可自由支配资金、经营性现金流及未来支出计划等情况测算公司未来三年总体资金缺口，并结合公司债务结构、本次融资比例及与同行业可比公司比较情况，确认公司本次融资规模的合理性。

二、核查意见

针对问题（1）（2），经核查，保荐机构认为：

1、平板显示掩膜版市场规模持续增长，产能向中国大陆转移，平板显示掩

膜版精度、层数和尺寸不断提升，下游客户积极扩产，平板显示掩膜版产品需求旺盛，同行业公司亦积极扩张产能。公司在平板显示掩膜版领域位居全球第六名，

国内第二名，拥有丰富的客户储备和高度的客户粘性，同时，公司平板显示掩膜

版产能利用率已处于较高水平。此外，公司平板显示掩膜版销售额持续快速增长，产品品质和技术水平处于市场前列，为本次募投项目产能消化奠定了基础。因此，本次募投项目具有必要性，新增平板显示掩膜版产能预计可以被有效消化。公司在技术储备、人员储备、客户储备、原材料和设备供应、市场需求和销售渠道等

方面准备充分，预计本次募投项目的实施预计不存在重大不确定性。公司本次募投项目产品系对现有主业产品的扩产，募集资金投向主业；

2、厦门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目总投资额为人民币20亿元，计划建设11条高端光掩膜版产线，重点研发生产G8.6及以下各类平板显示掩膜版。项目将分期实施建设，本次募投项目为一期，计划投资总额130089.17万元，后期拟继续投入约7亿元。本次募投项目围绕公司平板显示掩膜版主业进行扩产，在核心生产设备、财务核算及效益测算、募集资金管理等关键环节均建立了明确的区分机制，与其他建设规划可以明确区分；与现有业务在产品定位、产能布局上形成互补与协同；项目建设顺应市场需求增长，有助于缓解产能压力、完善区域布局，具有充分的合理性和必要性，不存在重复建设的情况。

针对问题（3），经核查，保荐机构、申报会计师认为：

综合考虑公司资金缺口、经营性现金流、债务结构及未来支出计划、同行业

可比公司情况，公司总体资金缺口为139577.74万元，超过本次募集资金总额

7-1-25深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

138000.00万元，本次融资规模能够满足募投项目资金需求、优化资本结构、增

强抗风险能力，具有合理性和必要性。

2.关于经营情况等

根据申报材料：报告期内，公司营业收入金额分别为64001.37万元、

67239.44万元、87554.87万元、82700.02万元，归母净利润金额分别为

11978.17万元、14880.10万元、19086.22万元、17175.88万元。

请发行人说明：（1）结合行业发展趋势、公司主要产品市场需求、产销量

及毛利率变动情况、同行业可比公司情况、在手订单覆盖情况等，说明报告期内公司业绩增长的主要原因及其可持续性；（2）截至最近一期末，公司是否持有金额较大的财务性投资，本次发行董事会决议日前六个月内公司是否存在新投入和拟投入的财务性投资；（3）前次募投项目半导体及高精度平板显示掩膜版

扩产项目的最新建设进展，前次募投项目变更前后非资本性支出的具体金额及占前次募集资金总额的比例。

请保荐机构和申报会计师核查并发表明确意见。

问题回复：

【发行人说明】

（1）结合行业发展趋势、公司主要产品市场需求、产销量及毛利率变动情

况、同行业可比公司情况、在手订单覆盖情况等，说明报告期内公司业绩增长的主要原因及其可持续性；

【回复】

一、掩膜版行业向高精度、多层化、大尺寸、国产化、应用多样化方向发展，掩膜版市场规模持续增长

掩膜版行业主要与下游显示面板行业、半导体芯片行业等的发展息息相关，随着各行各业数字化和智能化的逐步推进，未来几年掩膜版行业将向高精度、多层化、国产化、应用多样化的方向发展。

（一）掩膜版产品精度趋向精细化

平板显示行业，随着消费者对平板显示产品的要求逐步提高，手机、平板电脑等移动终端向着更高像素密度、更饱和的色彩度、更高的刷新率、更低的功耗

7-1-26深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告发展。对平板显示掩膜版的光刻分辨率、最小过孔尺寸、CD 均匀性、套刻精度、缺陷大小均提出了更高的技术要求。根据 Omdia 对 2020 年至 2022 年平板显示掩膜版技术路线分析，显示用掩膜版在光刻分辨率（exposure resolution)、最小过孔尺寸（Minimum via)、CD 均匀性（CD uniformity)、套刻精度（overlay)等技术指标方面都有提升。

半导体行业，目前中国大陆主流芯片节点为 250nm~14nm 工艺节点，三星与台积电均已在 2022 年下半年开始量产 3nm 节点工艺的半导体芯片。根据 ETNews，台积电于 2024 年 7 月开始在宝山厂试产 2nm 芯片，三星于 2024 年 7 月确认将使用 2nm 工艺和 2.5D 封装技术制造人工智能芯片。

未来半导体芯片的制造工艺将进一步向精细化工艺发展，这对与之配套的半导体掩膜版提出了更高要求，对线缝精度、套刻精度、缺陷管控、图形复杂度的要求越来越高，掩膜版厂商需要通过光学邻近校正（OPC）、相移掩膜（PSM）、反演光刻（ILT）等技术来实现工艺配套，推进掩膜版产品的高精细化发展。

（二）掩膜版层数增加

为追求半导体芯片更高的运算速度，半导体厂商正不断缩小晶体管线宽，推动了半导体制程节点不断演进，向更精细化工艺发展，这对相关配套的半导体芯片和封装掩膜版提出了更高的标准。同时，更先进的制程技术也意味着需要更多的掩膜版。根据 IC Knowledge 统计，台积电 130nm 制程节点所需掩膜版层数约为 30 层，而 28nm 制程节点所需掩膜版层数则增加到约 50 层，14nm/10nm 所需层数则达到60层。

为进一步降低 AMOLED 屏幕的功耗，平板显示行业在 LTPS 背板显示技术的基础上开发出了 LTPO 背板显示技术。作为 LTPS 与 IGZO 技术的结合体，LTPO 具有 LTPS 背板高分辨率、反应速度快的优点，同时兼具了 IGZO 技术屏幕低待机功耗、适合长续航要求的优点。LTPO 屏幕在提供高刷新率的情况下，仍能保持长续航能力。传统 LTPS 背板一般需要 9~13 层掩膜版，结合 IGZO 技术后，LTPO 背板工艺所需掩膜版要增加至少 4 层，至 13~17 层。2023 年，LTPOOLED 屏幕出货量达 1.882 亿片，较 2022 年的 1.4273 亿片增长 31.9%。随着LTPO 技术的普及，掩膜版产品层数也将随之增加。

（三）液晶掩膜版产品尺寸趋向稳定，OLED 产品逐步向大尺寸靠拢

7-1-27深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

液晶显示方面，市场趋势显示液晶电视尺寸正在逐渐增大。根据 Omdia 2021年的预测，在2019年和2022年之间，液晶电视平均尺寸预计将从45.6英寸增加到50.2英寸。根据北京洛数合图科技有限公司数据，在中国电视零售市场，

2024 年上半年液晶电视平均尺寸已超过 66 英寸。自 2018 年起，G11

（2940mmx3370mm）及以内液晶面板玻璃基板能较好地满足产品切割需求，在

未来三年内，液晶显示面板用掩膜版产品尺寸将维持在 1620mmx1780mm 以内。

OLED 方面，2025 年 12 月，京东方宣布其国内首条第 8.6 代 AMOLED 生

产线（B16）首款产品正式点亮。作为国内首条 8.6 代 AMOLED 产线，京东方

B16 线总投资达 630 亿元，设计产能为每月 3.2 万片玻璃基板，成为全球半导体显示产线的新标杆。维信诺合肥的8.6代产线2025年8月实现主厂房封顶，10月完成生产厂区全面封顶，总投资550亿元、月产能3.2万片，精准瞄准平板、笔记本、车载显示等中尺寸高潜力赛道。2025 年 10 月，TCL 华星第 8.6 代印刷OLED 生产线在广州正式动工建设；该产线是全球首条高世代印刷 OLED 规模

化量产线，设计产能每月约2.25万片，可精准匹配平板、笔记本电脑、显示器等核心 IT 终端的显示产品需求。

（四）掩膜版行业产业链国产化趋势明显

掩膜版的主要原材料为掩膜版基板。目前，国内主要供应苏打玻璃基板和9寸及以下尺寸的石英玻璃基板，而大尺寸石英玻璃基板和中高端小尺寸石英玻璃基板被日韩企业垄断，严重依赖进口。随着地缘政治的影响和贸易保护主义的抬头，国家及越来越多的企业日益重视显示及半导体供应链的安全；在掩膜版基板方面，国内已有多个在建或计划建设的项目在推进，掩膜版行业产业链上游国产化将迎来新的发展，这将有助于提高国内掩膜版行业供应链的安全性。

（五）新技术发展引导掩膜版产品多样化近年来，随着新一代信息技术产业的快速发展，新型平板显示和半导体芯片等产业内出现很多新兴的需求，如低温多晶氧化物（LTPO）、双栈串联显示、Micro-LED 显示、硅基 OLED、第三代半导体、先进封装、纳米压印、垂直腔面

发射激光（VCSEL）、高精度光栅等，均需要满足相应技术需求的掩膜版产品与之配套。

二、公司主要产品市场需求旺盛

7-1-28深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

（一）平板显示掩膜版近年来，日韩面板厂商纷纷计划退出LCD面板市场，LG、三星于2019年宣布将全面关停、退出LCD产线，准备向OLED转型。随着日韩厂商退出LCD面板市场，全球面板产能将进一步向中国大陆转移，群智咨询数据显示，中国大陆显示面板产商LCD面板产能全球占比由2022年69%快速提升至2024年74%。中国大陆显示面板京东方、TCL华星、天马微电子等厂商近年来纷纷扩大产能。

如京东方2003年投建北京第5代TFT-LCD产线，正式开启LCD业务，于2005年实现量产。此后，京东方陆续投建成都第4.5代、合肥第6代、北京第8.5代TFT-LCD线，2011年实现中国全系列液晶显示屏国产化，并持续布局高世代产线如合

肥第8.5代、重庆第8.5代、福州第8.5代、福州第10.5代、武汉第10.5代等。OLED方面，2013年，国内首条AMOLED产线京东方鄂尔多斯第5.5代线投产；2017年，国内首条柔性AMOLED产线京东方成都第6代线投产；2025年，京东方成都第8.6代AMOLED线投产。

随着下游平板显示产能向中国大陆转移，以及下游客户的积极扩产，平板显示掩膜版产品需求旺盛，中国大陆平板显示掩膜版市场规模不断增长。具体参见本回复第1题“一、（一）本次募投产品平板显示掩膜版市场需求旺盛”和“一、（三）下游客户开始新一轮扩产，需求持续增长，新增产能预计可以被有效消化”。在此背景下，公司不断扩张产能，以满足下游客户持续增长的掩膜版产品需求，公司业绩持续增长。

（二）半导体掩膜版

根据 SIA（美国半导体行业协会）2025 年 2 月发布的数据显示，2024 年全球半导体行业销售额总计6268亿美元，成功突破6000亿美元，创历史新高；

随着算力芯片的需求持续增长以及人工智能商业应用落地，预计2025年半导体销售额将达到6971亿美元。分析产品结构，逻辑集成电路产品以2126亿美元的销售额占据市场主导地位；存储类集成电路销售额为1651亿美元，同比增长达 78.9%，其中 DRAM 产品销售额同比增长 82.6%。AI 大模型的发展、消费电子市场复苏、新能源汽车渗透率提升以及机器人技术的创新都将进一步带动半导体行业销售的增长。

7-1-29深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

全球半导体市场规模（亿美元）

数据来源：SIA

根据 SEMI 数据，全球半导体材料市场规模整体呈现稳步增长的趋势，从2017年469亿美元增长至2024年的675亿美元，年复合增长率为5.34%，其中，

2024年全球晶圆制造材料市场规模429亿美元，封装材料246亿美元。中国大

陆半导体材料市场规模快速增长，从2017年为76亿美元增长至2024年的135亿美元，年复合增长率为8.55%，增速超过全球半导体材料市场。

全球半导体材料市场规模

数据来源：SEMI，安泰信用

7-1-30深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

中国半导体材料市场规模

数据来源：SEMI，安泰信用根据 SEMI 数据，半导体材料中占比最高的是硅片，占比约为 35%，其次是电子特气和光掩膜版，占比分别为13%和12%。由此可见，掩膜版是半导体芯片制造的关键材料。

半导体芯片各材料成本占总材料成本比例（晶圆制造环节）

数据来源：SEMI，TECHCET，中泰证券研究所TECHCET 预测 2023-2028 年全球半导体材料市场规模的复合年增长率为

5.6%，据此推算2025年全球晶圆制造材料市场规模为453亿美元，2025年全球

封装材料市场规模为 260 亿美元。根据 SEMI 数据，掩膜版在晶圆制造材料中的

7-1-31深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

占比为12%，据此推算2025年全球晶圆制造用半导体掩膜版的市场规模为54.36亿美元。根据 PW Consulting 数据，2025 年全球 IC 封装掩膜版的市场规模为 14亿美元，占全球封装材料市场规模比例约5.4%。

除此之外，第三代半导体、光电器件、MEMS 传感器、LED 外延片的生产制造均需要半导体掩膜版。（1）第三代半导体领域，根据 Yole 数据，2024 年全球第三代半导体市场规模达 45 亿美元，其中 SiC 占比 65%（29.25 亿美元），GaN 占比 30%（13.5 亿美元）；2024-2030 年年均复合增长率（CAGR）达 28%，

2025 年预计达到 57.6 亿美元。（2）光电器件领域，根据 Precedence Research 数据，2025 年全球光电器件市场规模约为 93.1 亿美元；（3）MEMS 领域，根据Statista 数据，2025 年全球 MEMS 行业市场规模将达到 200 亿美元。按照掩膜版在封装材料中的占比 5%进行计算，全球第三代半导体、光电器件、MEMS 传感器所需掩膜版市场规模分别为2.88亿美元、4.66亿美元、10亿美元，合计17.5亿美元。

综上所述，随着半导体技术不断迭代，特别是在 AI 技术的加持下，将进一步带动集成电路、半导体器件制造以及各类先进封装需求的不断增加，半导体掩膜版市场需求也将随之增长。根据多方机构预测需求综合研判，预计2025年全球半导体掩膜版的市场规模为85.86亿美元，其中晶圆制造用掩膜版为54.36亿美元、封装用掩膜版为14亿美元，其他器件用掩膜版为17.5亿美元。受下游需求的积极推动，未来掩膜版市场规模也将持续增长。

三、公司主要产品的产销量情况

报告期内，公司主要产品石英掩膜版和苏打掩膜版的产销情况如下：

产品项目2025年1-9月2024年度2023年度2022年度产量（㎡）3070.293408.552672.982218.99

石英掩膜版销量（㎡）3046.543412.592678.432180.09

产销率99.23%100.12%100.20%98.25%产量（㎡）1379.741583.891619.611604.79

苏打掩膜版销量（㎡）1382.621584.601623.711597.09

产销率100.21%100.04%100.25%99.52%产量（㎡）4450.034992.444292.593823.78

合计销量（㎡）4429.164997.194302.143777.18

产销率99.53%100.10%100.22%98.78%

公司产品掩膜版为高度定制化产品，公司接到客户订单后，立即安排生产，生产周期和交付周期均较短。报告期内，公司产销率较高，整体产销率接

7-1-32深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告近100%。

四、公司主要产品毛利率变动情况

报告期内发行人按下游应用行业分类的主营业务收入及毛利率如下：

单位：万元

2025年1-9月2024年度2023年度2022年度

项目收入毛利率收入毛利率收入毛利率收入毛利率平板显示掩

71581.5931.80%73884.7630.85%54701.5530.62%50369.6628.11%

膜版半导体及其

11118.0952.69%13634.8156.73%12493.5654.57%13592.0150.39%

他掩膜版

合计82699.6734.61%87519.5734.83%67195.1135.07%63961.6732.84%

报告期内，平板显示掩膜版毛利率稳步提升，一方面系公司高精度平板显示产品占比不断提升，拉高了毛利率水平；另一方面系公司主要生产设备光刻机型号、规格、精度更加丰富，可以更好的匹配客户需求，从而优化产能结构，减少高精度设备向下兼容生产低精度产品的情况，从而使得毛利率水平有所提高。

在半导体领域，随着公司技术进步、逐步突破更精密的制程节点，在半导体器件、封测等领域与核心客户合作日益紧密，同时公司持续加强研发和生产管理，更为合理的规划排产，报告期内毛利率较为稳定。

五、同行业可比公司毛利率变动情况

报告期内，发行人与同行业可比公司毛利率对比情况如下：

公司名称2025年1-9月2024年度2023年度2022年度

福尼克斯35.30%36.44%37.68%35.68%

SKE 23.70% 23.11% 26.71% 25.56%

台湾光罩8.57%18.80%25.51%27.11%

清溢光电31.48%29.65%27.62%25.19%

龙图光罩48.63%57.01%58.87%61.03%

同行业平均29.54%33.84%35.28%34.91%

路维光电34.61%34.83%35.10%32.88%

报告期内，公司在2022-2023年毛利率略低于行业平均值，但高于大部分可比公司水平，2024年公司毛利率高于行业平均值。可比公司的毛利率水平差异较大，主要由于主营产品结构存在差异。例如龙图光罩仅生产销售半导体掩膜版，半导体掩膜版呈现“高精度、多品种、小批量”的特点，产品精度要求更高且客户较为分散，毛利率水平显著高于同行业平均水平；台湾光罩还沿着产业链延伸晶圆代工及封测等服务，毛利率水平存在一定波动；SKE 在 2022-2023 年度，为

7-1-33深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

适应行业变化增加 OLED 掩膜版销售，毛利率有所上升，但由于中韩企业抢占下游客户市场，使得 SKE 在 2024 年度毛利率下降；清溢光电上市后实施募投项目扩产，新增固定成本稀释了毛利率，近年来毛利率有所提升主要系其整体产能利用率提高，对产品、业务和客户进行了结构性优化，产品获利能力有所提升。

公司的产品结构与清溢光电更为可比，但相较于清溢光电扩产节奏略有差异。

随着公司高世代产线产能爬坡、排产优化，产品单位制造费用有所下降，同时产品结构升级，公司平板显示类产品矩阵日益丰富，毛利率持续提升，盈利质量较高。

六、在手订单仅反映短期需求，公司未来业绩增长具有可持续性

截至2025年12月31日，公司的在手订单情况如下：

产品订单金额（万元，不含税）占比平板显示掩膜版4703.6897.61%

半导体及其他掩膜版115.042.39%

合计4818.72100.00%

由于公司订单周期和生产周期较短，正在实施的在手订单与公司营业收入相比金额较小，且某一时点的订单规模与下游客户新开案数量相关，存在一定的波动性。在手订单仅反映公司较短期内的预计销售情况。报告期内，公司的主要客户结构保持稳定，在平板显示领域，下游主要客户均与公司保持十余年的合作，公司具备持续获取在手订单的能力，业绩增长具备可持续性。

七、报告期内公司业绩增长的主要原因系下游客户需求旺盛，公司不断扩张

产能以满足下游客户国产替代需求，但部分产品公司供应比例仍较低，预计未来业绩增长具有可持续性

（一）日韩企业纷纷转型，全球显示面板产能进一步向中国大陆转移，中国

大陆平板显示掩膜版需求持续增长，公司通过不断扩大产能并向高世代高精度方向延伸，业绩实现持续增长近年来，日韩面板厂商纷纷计划退出LCD面板市场，LG、三星于2019年宣布将全面关停、退出LCD产线，准备向OLED转型。随着日韩厂商退出LCD面板市场，全球面板产能将进一步向中国大陆转移，群智咨询数据显示，中国大陆显示面板厂商LCD面板产能全球占比由2022年69%快速提升至2024年74%。中国大陆显示面板京东方、TCL华星、天马微电子等厂商近年来纷纷扩大产能。随着下游

7-1-34深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

平板显示产能向中国大陆转移，以及下游客户的积极扩产，平板显示掩膜版产品需求旺盛，中国大陆平板显示掩膜版市场规模不断增长。

掩膜版作为微电子行业图形转移的基准和蓝本，是下游平板显示、半导体行业的关键材料，对于产业链供应安全具有重要战略意义。国内掩膜版厂商凭借交期、服务、响应速度等方面的优势，掩膜版国产化率不断提升。在此背景下，公司不断扩张产能，在高世代高精度平板显示掩膜版领域逐步提升供应能力，以满足下游客户持续增长的掩膜版产品国产化需求。

（二）OLED渗透率提升叠加面板厂商扩建产线，平板显示掩膜版市场规模

持续增长，带动公司业绩持续增长根据Omdia报告，中国已占据了全球76%的LCD产能和47%的OLED产能。

近年来，OLED渗透率不断提升，中国面板厂商在OLED领域的扩产速度亦持续加快，如京东方、TCL华星、惠科、维信诺等公司均在新拓OLED产线，具体参见本回复第1题“一、（三）下游客户开始新一轮扩产，需求持续增长，新增产能预计可以被有效消化”。OLED新技术的快速发展，带来掩膜版层数增加及精度增加，同时OLED从手机向车载、电脑、VR等领域渗透带来大量的定制化开发需求，高精度掩膜版需求量快速增长，带动公司业绩持续增长。

（三）受限于现有产能，部分产品公司市场占有率仍较低，随着公司不断扩产，未来业绩增长具有可持续性中国掩膜版市场需求较大，但中国大陆掩膜版行业发展滞后于平板显示行业整体投资增长，尤其是在中高端掩膜版市场的占有率仍然较低。根据Omdia统计，在AMOLED/LTPS等应用领域，掩膜版国产化率仍较低，2024年AMOLED/LTPS等高精度掩膜版的国产化率仍只有17.8%，国产替代的空间巨大。

目前，公司在G6 OLED、G8.5/8.6 LCD领域供应量占客户需求比例仍较低，主要系产能受限所致，2025年1-9月，公司平板显示掩膜版产能利用率已达92.10%。

随着本次募投项目的投产，公司G8.6及以下平板显示掩膜版产品产能将有所提升。

G6 OLED、G8.5/8.6 LCD产品为成熟产品，公司本次募投项目新增产能绝大部分目标客户为公司现有客户，公司已完成部分新增潜在客户产品验证及小批量供应。

（四）在高世代OLED产品领域公司占据先发优势，随着下游客户陆续投产，公司未来业绩增长具有可持续性

7-1-35深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

在G8.5/G8.6 OLED方面，京东方新增产线G8.6 OLED于2025年底投产；TCL华星新增产线G8.6 OLED预计2027年投产；维信诺也在新建G8.6 OLED产线。上述产线投产后OLED产品需求将进一步扩大。公司已于2025年向主要客户小批量供应G8.5/G8.6 OLED掩膜版产品。未来，随着下游客户的投产和产能爬坡，公司本次募投项目实施后，G8.5/G8.6 OLED掩膜版产品的供应量也将持续提升。综上，预计未来公司业绩增长具有可持续性。

（2）截至最近一期末，公司是否持有金额较大的财务性投资，本次发行董事会决议日前六个月内公司是否存在新投入和拟投入的财务性投资；

【回复】

一、财务性投资的认定标准中国证监会《<上市公司证券发行注册管理办法>第九条、第十条、第十一条、

第十三条、第四十条、第五十七条、第六十条有关规定的适用意见——证券期货法律适用意见第18号》（以下简称“《证券期货法律适用意见第18号》”），对财务性投资界定如下：

“（一）财务性投资包括但不限于：投资类金融业务；非金融企业投资金融业务（不包括投资前后持股比例未增加的对集团财务公司的投资）；与公司主营

业务无关的股权投资；投资产业基金、并购基金；拆借资金；委托贷款；购买收益波动大且风险较高的金融产品等。

（二）围绕产业链上下游以获取技术、原料或者渠道为目的的产业投资，以

收购或者整合为目的的并购投资，以拓展客户、渠道为目的的拆借资金、委托贷款，如符合公司主营业务及战略发展方向，不界定为财务性投资。

（三）上市公司及其子公司参股类金融公司的，适用本条要求；经营类金融

业务的不适用本条，经营类金融业务是指将类金融业务收入纳入合并报表。

（四）基于历史原因，通过发起设立、政策性重组等形成且短期难以清退的财务性投资，不纳入财务性投资计算口径。”此外，中国证监会《监管规则适用指引——上市类第1号》中界定如下：

“对上市公司募集资金投资产业基金以及其他类似基金或产品的，如同时属于以下情形的，应当认定为财务性投资：

（一）上市公司为有限合伙人或其投资身份类似于有限合伙人，不具有该基

7-1-36深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告金（产品）的实际管理权或控制权；

（二）上市公司以获取该基金（产品）或其投资项目的投资收益为主要目的。”

根据《监管规则适用指引——发行类第7号》对类金融业务的界定如下：

“除人民银行、银保监会、证监会批准从事金融业务的持牌机构为金融机构外，其他从事金融活动的机构均为类金融机构。类金融业务包括但不限于：融资租赁、融资担保、商业保理、典当及小额贷款等业务。”二、截至最近一期末，公司不存在金额较大的财务性投资

公司与财务性投资（含类金融业务）相关的会计科目主要包括交易性金融资

产、应收款项融资、其他应收款、其他流动资产和其他非流动资产等。截至2025年9月30日，上述科目的具体情况如下：

截至2025年9月30日，公司已持有的可能涉及财务性投资的会计科目列示如下：

单位：万元项目账面价值其中财务性投资金额

交易性金融资产28064.63-

其他流动资产359.07-

一年以内到期的非流动资产9781.88-

长期股权投资15839.47-

其他权益工具投资500.00-

其他非流动资产15510.80-

合计70055.86-

截至2025年9月30日，公司不存在金额较大的财务性投资。

（一）交易性金融资产

截至2025年9月30日，公司交易性金融资产金额为28064.63万元，主要为公司购买的银行理财产品，上述理财产品主要配置于低风险资产且以稳健增值为目的，本质上属于低波动性资产管理产品，而非以短期财务回报为目的的股权投资或证券投资，因此不属于财务性投资。

（二）其他流动资产

截至2025年9月30日，公司其他流动资产金额为359.07万元，主要为待抵扣增值税进项税金，不属于财务性投资。

（三）一年以内到期的非流动资产

7-1-37深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

截至2025年9月30日，公司一年以内到期的非流动资产金额为9781.88万元，主要为公司购买的兴业银行保本固定收益类可随时转让的大额存单，不属于收益波动大且风险较高的金融产品，因此不属于财务性投资。

（四）长期股权投资

截至2025年9月30日，公司长期股权投资金额为15839.47万元，具体情况如下：

单位：万元是否属公司投资账面价持股比例主营业务投资背景及目的于财务名称时间值性投资

一般项目：企业管积极布局半导体理；企业管理咨询前沿技术，拓宽

2023路维盛德

路行（除依法须经批准半导体掩膜版产年8持股15839.47否

维远的项目外，凭营业品线，有效把握月59.2593%执照依法自主开展半导体产业的发经营活动）展机遇

路行维远由路维盛德、苏州工业园区产业投资基金（有限合伙）和前海睿兴

共同投资设立，三方出资金额分别为16000万元、10000万元和1000万元，出资比例分别为59.2593%、37.0370%和3.7037%。其中前海睿兴作为事务合伙人，对外代表合伙企业，执行合伙事务。路维盛德和苏州工业园区产业投资基金（有限合伙）为有限合伙人。

根据《合伙协议》，路行维远的合伙目的为对江苏路芯半导体技术有限公司进行投资，其为实现对路芯半导体投资而搭建的平台，不进行其他产业投资。路芯半导体业务方向为高精尖半导体掩膜版的研发生产销售，截至目前其主要信息如下：

企业名称江苏路芯半导体技术有限公司成立日期2023年5月18日认缴出资额54500万元中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区胜浦路177主要经营场所号

一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；（未经金融等监管部门批准不得从事吸收存款、融资担保、代客理财、向社会经营范围

公众集（融）资等金融业务）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。

一般项目：新材料技术研发；电子专用材料研发；电子专用材料制造；电子专用材料销售；集成电路设计；集成电路制造；

主营业务集成电路销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子产品销售；集成电路芯片及产品制造；集成电路

7-1-38深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

芯片及产品销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交

流、技术转让、技术推广；软件开发；软件销售；信息技术咨询服务；科技中介服务；企业管理咨询；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；采购代理服务；技术进出口；货物进

出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

路芯半导体与发行人的协同效应如下：

（1）半导体掩膜版技术交流

发行人产品主要是平板显示掩膜版及 130nm 以上的半导体掩膜版，路芯半导体产品研发方向为 28-130nm 半导体掩膜版。为保证路芯半导体产品方向的成功研发，其核心团队主要来自半导体龙头企业与相关行业领域，拥有深厚的专业积淀及资深从业经验，在产品研发能力上具有优势。发行人通过技术合作以及资源共享的方式，利用路芯半导体在 130nm 以下制程半导体掩膜版领域的技术成果，能够有效增强公司在半导体掩膜版领域的技术实力和发展潜力。

（2）客户及供应链资源共享目前，路芯半导体一期生产基地的基建及生产设备已经落地并实现产品逐步量产。其中，2025年10-12月公司已向路芯半导体采购半导体掩膜版产品合计

105.49万元，主要用于匹配自身客户的对高精度半导体掩膜版关键层的需求。未

来随着路芯半导体进一步稳产及开拓客户资源，也将有利于公司增强与半导体领域客户的合作黏性，夯实客户基础，实现资源共享。同时，路芯半导体在供应链渠道方面也能够与路维光电产生一定的协同效应。

综上，路芯半导体将通过其技术突破和工艺积累为公司的半导体掩膜版业务发展和技术升级提供有力支持，有助于发行人进一步提升半导体掩膜版技术能力、增强公司市场影响力和竞争力、加强客户黏性并拓展客户资源、协同供应链渠道等，从而加速国产化替代，逐步缩小与国际龙头企业的差距，助力提升我国在全球半导体产业的地位，与公司主营业务具有较强的相关性和协同性，符合公司主营业务及战略发展方向。

截至2025年9月30日，路行维远合伙协议明确约定其投资标的仅为路芯半导体，从对外投资标的选择角度，发行人可以控制该主体且投资标的已确定，该主体现有底层投资标的即路芯半导体，因此路行维远及其投资标的路芯半导体属于围绕产业链上下游以获取技术、原料或渠道为目的的产业投资，二者通过技术合作以及客户及供应链资源共享等方式发挥协同效应，符合公司主营业务及战略

7-1-39深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

发展方向，不界定为财务性投资具有合理性。因此，公司不将投资路行维远认定为财务性投资。

此外，2025年9月1日，发行人控制的路维盛德作为有限合伙人参与成立了私募基金宁波派维创业投资合伙企业（有限合伙），并于2025年10月14日向其实缴投资500万元。发行人对宁波派维的投资为产业投资（详情见下文“三、本次发行董事会决议日前六个月至今，公司已实施或拟实施的财务性投资情况”），不属于财务性投资。

（五）其他权益工具投资

截至2025年9月30日，公司其他权益工具投资金额为500.00万元，全部投资于北京珂阳科技有限公司（以下简称“珂阳科技”），具体情况如下：

单位：万元初始投资公允价值变动是否属于财投资标的投资时间持股比例金额后金额务性投资北京珂阳科路维盛德持

2024年7月500.00500.00否

技有限公司股0.4854%

珂阳科技为高端工业软件供应商，为半导体、光伏、LED 等高科技制造业提供整体解决方案，主要服务于半导体、平板显示、光伏等高端制造领域。其产品旨在帮助工厂实现智能化生产。发行人投资珂阳科技，有利于进一步拓展在28-

130nm 高精尖半导体掩膜版领域的布局。此外，珂阳科技现有部分客户与发行人

已开展过合作，通过依托珂阳科技已有的下游客户需求数据，有利于增强对下游客户的理解，巩固并拓展发行人与产业链企业之间的交流合作，同时可以为公司未来实现智能集成制造做出部署。该投资符合公司主营业务及战略发展方向，该被投资企业的业务可与上市公司形成协同作用，不属于财务性投资。

在最近一期末之后，公司于2025年11月24日通过路维盛德投资了成都派兹互连电子技术有限公司（以下简称“派兹互连”），投资金额为2000万元，对应认缴出资额861.7791万元，持股比例3.3021%。公司对派兹互连的投资为产业投资（详情见下文“三、本次发行董事会决议日前六个月至今，公司已实施或拟实施的财务性投资情况”），不属于财务性投资。

（六）其他非流动资产

截至2025年9月30日，公司其他非流动资产金额为15510.80万元，主要为预付设备款，不属于财务性投资。

7-1-40深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告综上，截至2025年9月30日，公司不存在持有的金额较大的财务性投资。

三、本次发行董事会决议日前六个月至今，公司已实施或拟实施的财务性投资情况

自本次发行相关董事会决议日（即2026年1月21日）前六个月起至今，公司实施或拟实施的可能涉及财务性投资或类金融业务的对外投资情况如下：

（一）2025年9月通过路维盛德投资宁波派维

2025年9月1日，发行人控制的路维盛德作为有限合伙人参与投资成立了

私募基金宁波派维创业投资合伙企业（有限合伙）。截至目前其主要信息如下：

企业名称宁波派维创业投资合伙企业（有限合伙）

私募基金编号 SBGU96执行事务合伙人宁波派诺私募基金管理有限公司成立日期2025年9月1日认缴出资额1010万元

主要经营场所浙江省宁波市北仑区梅山街道梅山七星路 88 号 1 幢 501 室 C869

一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；（未经金融等监管部门批准不得从事吸收存款、融资担保、代客理财、向社会经营范围

公众集（融）资等金融业务）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。

主营业务股权投资认缴出资额序号合伙人名称合伙人类型出资比例（万元）宁波派诺私截至本报告出具日的

1募基金管理普通合伙人10.000.9901%

出资结构有限公司

2路维盛德有限合伙人1000.0099.0099%

合计1010.00100.00%其中，路维盛德作为宁波派维之有限合伙人，认缴出资额1000万元，认缴出资比例为99.0099%，截止本回复出具日对宁波派维已经出资500万元。公司拟将部分剩余认缴出资额转让，并根据后续投资需求与其他有限合伙人共同完成剩余出资额的实缴义务。

根据合伙协议约定，宁波派维对外投资决策由投资决策委员会负责。投资决策委员会由3名委员组成，其中普通合伙人宁波派诺私募基金管理有限公司有权委派1名委员，有限合伙人有权委派2名委员。投资决策委员会的决策需获得全体委员全部同意方可获得有效通过。因此，公司无法控制宁波派维之投资决策，但可以通过否决权确保宁波派维之资金不用于投资公司预设的投资范围以外的投资标的。

7-1-41深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

根据宁波派维合伙协议约定，该基金仅投资于泛半导体产业链上下游及智能制造产业领域未上市公司股权。因此，其设立与对外投资的目的即为围绕产业链上下游进行产业投资。

公司坚持“以屏带芯”的发展战略，制造能力逐步从封测环节延伸至半导体器件及芯片制造，产品集中在 250nm/180nm/150nm 制程节点，CD 精度能够控制在 50nm 水平，逐步向 130nm 制程节点方向积极发展。宁波派维合伙协议中约定仅投资于泛半导体产业链上下游及智能制造产业领域的投资范围符合公司的业

务发展方向，其在半导体上下游领域的对外投资能够与公司的主营业务形成协同性。

截至目前，宁波派维投资了某原材料供应商，投资金额500万元。该原材料供应商主要从事平板显示/半导体等领域抛光材料及掩膜基版的研发、生产和销售。公司的主要原材料掩膜基版主要进口自日韩供应商，宁波派维对该原材料供应商的投资有助于公司拓宽供应商渠道，加速原材料进口替代进程，有益于增强公司原材料供应的安全性，降低采购成本。公司通过宁波派维对该原材料供应商的投资属于围绕产业链上下游以获取技术、原料或者渠道为目的的产业投资。

综上所述，截至目前，公司通过路维盛德投资的宁波派维作为私募股权投资基金，其投资范围与公司主业具有相关性和协同性，且公司通过决策架构能够确保未来不投资与公司主业具有相关性的领域以外的投资标的。宁波派维投资的投资标的之产品为公司主要原材料之一，且公司已成功引入其作为公司供应商并开始供货，符合围绕产业链上下游以获取技术、原料或者渠道为目的的产业投资定义。公司对宁波派维的投资不属于财务性投资。

（二）2025年11月通过路维盛德投资派兹互连

2025年11月24日，公司通过路维盛德投资了派兹互连，投资金额为

2000万元，对应认缴出资额861.7791万元，持股比例3.3021%。派兹互连主要

信息如下：

公司名称成都派兹互连电子技术有限公司法定代表人柳敏

成立日期2023-07-31

注册资本26097.5176万元人民币

中国（四川）自由贸易试验区成都高新区新程大道999号1栋14层、16注册地址层

经营范围一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技

7-1-42深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

术推广；软件开发；集成电路芯片设计及服务；专业设计服务；软件销售；集成电路芯片及产品销售；电子产品销售；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）派兹互连的主营业务为 PCB 板级 EDA 软件的研发、销售及对应的集成电路

技术服务，其开发的 PCB CAM 软件具有国内领先的图形处理引擎，可以同时处理多种数据格式。CAM 图档设计是掩膜版在光刻生产前的重要设计工序，通过电脑软件处理，将产品图档转化成为光刻机能够正常识别的格式。公司收到的客户图档存在多种格式，无法进行同样的标准化处理，因此目前公司在 CAM 软件存在多种厂商的设计软件共存的情况，一定程度上影响了公司 CAM 工序效率。

派兹互连的 CAM 软件产品能够有效解决这一痛点，具有独特的进口替代和 AI工程提效作用。

公司已于2025年7月与派兹互连下属公司签订了软件采购合同，由其针对公司的需求开发 CAM 软件工具和 CAM 工程自动化软件，合同金额合计 290.00万元（含税）。截至 2025 年末其开发的 CAM 软件工具已经进入第一阶段验证。

综上，公司对派兹互连的投资旨在通过战略协同提升公司核心技术环节的效率和自主可控能力。本次投资针对产业链中待优化的技术环节，旨在获取关键的技术工具和解决方案，赋能自身主业发展。符合围绕产业链上下游以获取技术、原料或者渠道为目的的产业投资定义。公司对派兹互连的投资不属于财务性投资。

自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，除上述两项对外投资外，公司不存在其他可能属于财务性投资及类金融业务的对外投资。上述两项对外投资均不属于财务性投资。

四、结论因此，截至2025年9月30日，公司未持有金额较大的财务性投资。本次向特定对象发行股票董事会决议日前六个月至今，公司不存在实施或拟实施重大财务性投资的情形。

（3）前次募投项目半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目的最新建设进展，前次募投项目变更前后非资本性支出的具体金额及占前次募集资金总额的比例。

【回复】

7-1-43深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

一、前次募投项目半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目的最新建设进展根据中国证监会于2025年5月6日签发的《关于同意深圳市路维光电股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券注册的批复》（证监许可〔2025〕979号），公司向不特定对象发行人民币615000000.00元的可转换公司债券（以下简称“可转债”），期限6年，每张面值人民币100元，发行数量6150000张，募集资金总额为人民币615000000.00元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为人民币607155585.94元。上述资金已于2025年6月17日全部到位。

根据公司规划，可转债募投项目之一“半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目”将新增2条半导体掩膜版生产线和2条高精度平板显示掩膜版生产线之关键设备。截至2026年2月末，该项目的建设进度如下表所示：

单位：万元

截至2026年2月末截至2026年2月末，已投入实施主体及计划投资拟使用募，已投入的募集资的募集资金金额占比

实施地点总额集资金*

金金额**=*/*路维科技

42088.7931903.7620071.1162.91%（成都市）

截至本回复出具日，“半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目”尚在建设期，未完全投产；项目拟购买的主要生产设备4台光刻机，均已与供应商签署采购合同，其中3台光刻机已到厂；项目剩余募集资金计划于2026年9月投入完毕。

二、前次募投项目变更前后非资本性支出的具体金额及占前次募集资金总额的比例

在本次向特定对象发行股票之前，最近五年内，公司进行了两次融资，分别为 2022 年首次公开发行股票并在科创板上市（以下简称“2022 年 IPO”）、2025年向不特定对象发行可转债。

上述两次融资的募投项目均未发生变更，非资本性支出的情况及占比具体列示如下：

单位：万元

募投项目拟投入募集其中：非资本性支项目占比资金金额出金额

2022 年 IPO 40505.26 14381.26 35.50%

7-1-44深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

募投项目拟投入募集其中：非资本性支项目占比资金金额出金额

2025年向不特定对象发行

60715.567021.7111.56%

可转债

（一）2022 年 IPO

截至本回复出具日，IPO 募投项目均已结项，因而下表所列的补充流动资金均已实际发生。

单位：万元

IPO 募投项目实际用于补充流动资金的部分达到预占拟投入拟投入定可使募集资金项目募集资项目金额用状态总额的比金金额时间例补充流动资金（预备费、铺底高精度半导630.741.56%流动资金）体掩膜版与

2024年项目结项时，募集资金节余用

大尺寸平板26558.3112月于永久补充流动资金（含尚待显示掩膜版2698.456.66%支付的合同尾款及质保金等扩产项目

款项）补充流动资金（预备费、研发路维光电研332.530.82%

2025年人员费用）

发中心建设3446.95

12月项目结项时，募集资金节余用

项目206.330.51%于永久补充流动资金补充流动资补充流动资金（全部用于补

10500.00-10513.2125.96%

金流）

合计40505.26-小计14381.2635.50%

注：“补充流动资金”的拟投入募集资金金额与实际投入金额产生差额的原因，系募集资金账户产生的利息收入一并用于补充流动资金。

根据上表，IPO 募投项目拟投入募集资金总额为 40505.26 万元，其中用于补充流动资金的金额为14381.26万元，占募投项目拟投入募集资金总额的比例为35.50%，超出总额30%部分的金额为2229.68万元。发行人已相应调整2025年向不特定对象发行可转债的融资规模并履行相关审议程序。

（二）2025年向不特定对象发行可转债

截至本回复出具日，可转债募投项目中的“收购成都路维少数股东股权项目”和“补充流动资金及偿还银行借款”均已结项，“半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目”尚在建设期，未完全投产。

截至2026年2月末，可转债募投项目中用于补充流动资金部分金额具体如下：

单位：万元

7-1-45深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

截至2026年2月末，实际用于补充流动可转债募投项目资金的部分占拟投拟投入募达到预定可入募集项目集资金金使用状态时项目金额资金金额间额的比例该项目募集资金均半导体及高精度平用于设备购置支

板显示掩膜版扩产31903.762026年9月--出，不涉及非资本项目性支出已于2024年该项目为收购资产收购成都路维少数

21796.246月完成工商项目，不涉及非资--

股东股权项目变更本性支出补充流动资金及偿补充流动资金及偿7015.56-还银行借款（全部7021.7111.56%还银行借款用于补流）

合计60715.56-小计7021.7111.56%

注：“补充流动资金及偿还银行贷款”的拟投入募集资金金额与实际投入金额产生差额的原因，系募集资金账户产生的利息收入一并用于补充流动资金。

综上，最近五年内，公司前次募投项目未发生变更，IPO 募投项目非资本性支出金额为14381.26万元，占募投项目拟投入募集资金总额的比例为35.50%，超出总额30%部分的金额为2229.68万元，发行人已在2025年向不特定对象发行可转债项目的审核阶段，对可转债融资规模进行相应调整；截至2026年2月末，可转债募投项目非资本性支出为7021.71万元，占拟投入募集资金金额的比例为11.56%。

【中介机构核查意见】请保荐机构和申报会计师核查并发表明确意见。

【回复】

一、核查程序

1、查阅了发行人财务报表、产销量、产能利用率和在手订单情况；

2、查阅了掩膜版行业及下游平板显示和半导体行业研究报告及相关产业政策，了解行业政策及行业发展趋势，查阅下游行业主要公司官网及公告，了解下游客户需求及产能建设情况；

3、查阅了同行业公司清溢光电的年度报告并分析其毛利率变化情况；

4、访谈发行人财务总监，了解业绩增长的原因及未来业绩增长的可持续性；

7-1-46深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

5、查阅《证券期货法律适用意见第18号》《监管规则适用指引——发行类

第7号》等法律法规及规定中关于财务性投资的相关规定，根据财务性投资认定的要求进行逐条核查；

6、获取并查阅发行人参股公司的投资协议/合伙协议；

7、网络检索发行人参股公司的基本情况、主营业务，访谈发行人管理层，

了解公司参股公司的背景、主要业务情况、投资目的；

8、获取并查阅发行人最近一期末财务报表，逐项核查可能与财务性投资相

关会计科目，访谈发行人管理层及财务人员，核查发行人是否存在金额较大、期限较长的财务性投资；

9、查阅发行人的董事会、股东会相关会议文件及其他公开披露文件，了解

自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，公司实施或拟实施的对外投资是否属于财务性投资及类金融业务；

10、查阅发行人报告期内的定期报告、前次募投项目投资概算、前次募集资

金使用情况鉴证报告、审议前次募投项目节余募集资金永久补充流动资金的三会资料等，获取前次募集资金使用台账及募集资金专户银行对账单，核查前次募集资金中的非资本性支出金额及占比情况，并与发行人管理层进行沟通，了解前次募投项目非资本性支出的情况。

二、核查意见

针对以上问题，经核查，保荐机构及申报会计师认为：

1、掩膜版行业向高精度、多层化、大尺寸、国产化、应用多样化方向发展，

公司主要产品市场需求旺盛，报告期内公司产销率接近100%，毛利率整体较为稳定，与同行业公司相比具有合理性，公司具备持续获取在手订单的能力，报告期内公司业绩增长的主要原因系下游客户需求旺盛，公司不断扩张产能以满足下游客户国产替代需求，但部分产品公司供应比例仍较低，预计未来业绩增长具有可持续性；

2、公司最近一期末未持有金额较大的财务性投资（包括类金融业务）；自

本次发行董事会决议日前六个月至今，公司不存在新投入或拟投入的财务性投资的情况；

3、最近五年内，公司前次募投项目未发生变更，IPO 募投项目非资本性支

7-1-47深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

出金额为14381.26万元，占募投项目拟投入募集资金总额的比例为35.50%，超出总额30%部分的金额为2229.68万元，发行人已在2025年向不特定对象发行可转债项目的审核阶段，对可转债融资规模进行相应调整；截至2026年2月末，可转债募投项目非资本性支出为7021.71万元，占拟投入募集资金金额的比例为

11.56%。

保荐机构总体意见

对本回复材料中的公司回复，本机构均已进行核查，确认并保证其真实、完整、准确。

（以下无正文）

7-1-48深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告（本页无正文，为《关于深圳市路维光电股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的回复报告》之发行人盖章页）深圳市路维光电股份有限公司年月日

7-1-49深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告

发行人法定代表人、董事长声明本人已认真阅读《关于深圳市路维光电股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的回复报告》的全部内容，确认回复的内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对其真实性、准确性、完整性、及时性承担相应法律责任。

法定代表人、董事长：

杜武兵深圳市路维光电股份有限公司年月日

7-1-50深圳市路维光电股份有限公司审核问询函的回复报告（以下无正文，为《关于深圳市路维光电股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的回复报告》之保荐人签字盖章页）

保荐代表人：

王琳颜利燕国信证券股份有限公司年月日