富创精密是国内半导体设备精密零部件龙头企业，主营机械及机电零组件、气体传输系统。公司26Q3 实现营收14.82 亿元，同比+47.31%；归母净利润0.99亿元，同比+292.82%。下游晶圆厂资本开支增长带动设备及零部件需求释放，在手订单加快转化，规模效应及经营效率改善推动盈利修复。公司持续推进匀气盘、静电卡盘、金属加热盘、特殊涂层等核心产品研发与客户验证，气体传输系统与多基地产能布局同步推进。维持“增持”投资评级。

先进制程核心零部件加速产业化，产品矩阵与系统级配套能力持续完善。近两年公司持续推进高价值零部件研发与产业化，产品布局由传统机械加工零部件向先进制程核心零部件及复杂模组拓展。2024 年公司实现加热匀气盘、螺纹斜孔匀气盘等复杂结构产品量产，致密YO 涂层形成头部客户千万级订单。2025 年公司围绕匀气盘、特殊涂层、加热盘、静电卡盘及阀门五大专项持续推进技术研发与客户导入，2026 年上半年多款产品实现从研发验证向批量供货推进。气体传输系统方面，2025 年实现收入11.06 亿元，同比增长超25%，逐步形成重要业务增长点。

26Q3 在手订单加速转化，规模效应推动盈利能力改善。26Q3 实现营收14.82亿元，同比+47.31%/环比+16.28%；毛利率24.48%，同比+2.25pcts/环比-2.27pcts；归母净利润0.99 亿元，同比+292.82%/环比+29.91%；扣非归母净利润0.99 亿元，同比+358.48%/环比+91.33%。收入增长主要受益于半导体行业景气度回升、下游晶圆厂资本开支增加，大客户战略及产业布局成果显现，在手订单加速转化为营业收入。利润同比改善主要系收入增长摊薄单位固定成本、带动毛利额提升，叠加经营效率改善、期间费用率同比下降；前三季度联营企业投资收益及对外股权投资公允价值变动收益同比增加，对累计利润形成贡献。前三季度经营活动现金流净额1.93 亿元，同比+263.35%，主要系销售回款增长、应收账款与存货周转效率改善及经营性支出得到控制。

核心零部件持续向先进制程拓展，五大专项研发投入不断增加。26Q3 研发投入1.00 亿元，同比+35.21%，前三季度研发投入2.55 亿元，同比+30.79%。

公司聚焦精密机械制造、表面处理特种工艺、精密焊接工艺、气体传输系统四大核心技术，持续加大匀气盘、特殊涂层、加热盘、静电卡盘及阀门五大专项研发力度。26H1 匀气盘业务同比翻倍，多层钎焊内腔匀气盘、高深宽比同心槽匀气盘等新品研发落地，相关产品适配先进逻辑及存储领域刻蚀、薄膜沉积工艺；静电卡盘完成国内部分设备厂商验证并实现国产化替代，铝基与陶瓷板粘接类、浆料印刷类产品取得首件技术突破；金属加热盘通过多家国内外头部设备厂商认证，铝合金加热盘实现多款量产，不锈钢加热盘实现多型号规模化生产。此外，公司持续研发800+工位先进制程腔体产品，尺寸超2 米的高洁净大型反应腔已实现量产交付，超临界清洗设备核心零部件实现批量交付。

表面处理特种工艺持续突破，多款产品实现批量供货及客户验证。耐蚀涂层方面，致密YO 涂层已实现量产并持续拓展供货规模，超高致密YO 涂层在国内多家头部客户新型设备上开展常态化验证，PS 类SHD 产品完成国内头部客户批量工艺验证，进入持续放量阶段。纳米薄膜方面，N 系列、O 系列膜层实现规模化量产与稳定交付，YO 系列新型膜层通过国内头部客户工艺验证并进入批量供应阶段。镀金工艺方面，公司已承接国内头部客户千万级新增国产替代订单；超高磷化学镀镍技术取得国内头部客户独家供货资质，实现年度千万级稳定供货。阀门方面，已初步完成国内外主流品牌性能对比测试，持续通过设备端验证及失效分析推进关键物料国产化。

气体传输系统技术持续突破，数智化制造与多基地产能协同推进。公司气体传输系统覆盖气柜模组、高洁净气体管路、阀体Block 及IGSBlock 等核心产品。26H1 气柜SEMI S6 仿真技术取得突破，可完整复现SEMI S6 全部测试边界，仿真与实测最大偏差控制在10%以内；先进制程外延设备气柜新品设计已覆盖国内头部设备商。产能端，南通工厂持续爬产，北京工厂于2025 年下半年投产运营，多基地协同提升客户响应与交付能力。智能制造方面，公司依托智能化工艺平台和智能工艺专家系统，实现工艺策划、刀具调用与CAM参数自动生成，将工艺流转周期由小时级压缩至分钟级；智能工艺4.0 规划进一步引入切削载荷、振动及热变形数据反馈，推动工艺参数闭环优化。

投资建议。国内晶圆厂扩产，半导体设备国产化率持续提升，设备龙头订单规模显著增长，公司大客户战略成果集中显现、在手订单加速转化为收入，深度绑定行业头部客户。南通、北京工厂产能逐步释放，带动单位制造成本优化、利润改善；匀气盘、静电卡盘、加热盘、特殊涂层等先进制程产品持续验证落地，多款先进制程产品实现量产及规模化生产，产品矩阵由成熟制程向先进制程、由零部件向模组持续扩展。我们调整26-28 年营收至49.7/69.43/91.08 亿元， 归母净利润至3.19/4.4/5.98 亿元， 对应PE 为122.1/88.3/65.0 倍，维持“增持”投资评级。

风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期，新产品研发及客户验证不及预期，产能爬坡及产能利用率提升不及预期，行业竞争加剧。