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公司问答丨广钢气体:公司能提供高纯氮气、氢气、氦气等多种电子大宗气体 满足先进制程对气体纯度和供应稳定性的要求

格隆汇 05-08 15:56

格隆汇5月8日|有投资者在互动平台向广钢气体提问:公司的气体产品在先进制程芯片制造中扮演什么角色?

广钢气体回复称,在半导体芯片制造过程中,电子大宗气体主要应用于光刻、刻蚀、沉积、扩散等关键环节,作为载气、吹扫气或反应腔室环境维持气体,对制程良率和稳定性具有重要影响。公司能够提供高纯氮气、氢气、氦气等多种电子大宗气体,满足先进制程对气体纯度和供应稳定性的要求。

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