国泰海通证券股份有限公司

关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为合

肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”、“公司”或“发行人”）

首次公开发行股票并在科创板上市以及2022年度向特定对象发行股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》（以下简称“《规范运作》”）《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关法律法规和规范性文件的要求，就芯碁微装使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的事项进行了审慎核查，并发表如下核查意见:

一、募集资金基本情况经中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2023〕563号）核准，公司向特定对象发行人民币普通股（A股）10497245股，每股发行价格为人民币 75.99元，募集资金总额为人民币79768.56万元，扣除各项发行费用后实际募集资金净额为人民币78936.29万元。上述募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并于 2023年 7月 26日由其出具容诚验字[2023]230Z0198号《验资报告》。

上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、保荐人签订了募集资金监管协议。

二、募集资金投资项目的基本情况

截至 2024 年 12 月 31 日，公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票的募集资金投资项目基本情况如下：

1单位：万元

募集资金计划2024年投入截至报告期末累计募集资金来源项目名称投资总额金额投入募集资金总额直写光刻设备产业应

25765.739411.8011604.91

用深化拓展项目

IC 载板、类载板直写

向特定对象发行17583.757031.297468.83光刻设备产业化项目股票

关键子系统、核心零部

15172.004339.348304.89

件自主研发项目

补充流动资金项目20414.819410.3410442.77

合计78936.2930192.7737821.40

由于募投项目建设需要一定的周期，根据募投项目建设进度，现阶段募集资金在短期内存在部分闲置的情况。在不影响募投项目建设和公司正常经营的前提下，公司将合理利用闲置募集资金进行现金管理，提高募集资金使用效率，保障股东利益。

三、本次使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的基本情况

（一）投资目的

由于募集资金投资项目建设需要一定周期，公司的部分募集资金存在暂时闲置的情形。为提高募集资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金及自有资金，在确保不影响募集资金投资项目建设和募集资金安全的情况下，增加公司的收益并为公司、股东获取更多回报。

（二）额度及期限

公司拟使用最高不超过人民币40000万元（含本数）的闲置募集资金进行

现金管理，拟使用最高不超过人民币30000万元（含本数）的自有资金进行现金管理，使用期限自股东大会审议通过之日起不超过12个月。在前述额度及期限范围内，资金可以循环滚动使用。

（三）投资产品品种

1、募集资金

公司将按照相关规定严格控制风险，拟使用暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售的保本型理财产品（包括但

2不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。

2、自有资金

公司将按照相关规定严格控制风险，拟使用部分自有资金用于购买安全性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售的理财产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。

（四）实施方式董事会授权公司管理层在上述额度及期限范围内行使该项决策权及签署相

关法律文件，包括但不限于：选择合适的专业金融机构、明确现金管理金额、期间、选择产品/业务品种、签署合同及协议等。具体事项由公司财务中心负责组织实施。

（五）信息披露公司将按照《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《规范运作》等相关法律、法规以及规范性文件的要求，及时披露公司使用部分暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的具体情况。

（六）现金管理收益分配

1、闲置募集资金

公司使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的所得收益归公司所有，并严格按照中国证券监督管理委员会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求管理和使用资金。

2、闲置自有资金

通过对暂时闲置的自有资金进行适度、适时的现金管理，能减少资金闲置，所得收益归公司所有。

四、对公司日常经营的影响公司本次计划使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理是在确保公

司募集资金投资项目正常进行和保证募集资金安全的前提下进行的，不会影响公

3司日常资金正常周转需要和募集资金投资项目的正常运转，亦不会影响公司主营

业务的正常发展。

同时，对暂时闲置的募集资金及自有资金适时进行适度、适时的现金管理，能获得一定的投资收益，有利于进一步提升公司整体业绩水平，为公司股东谋取更多的投资回报。

五、风险控制措施

（一）现金管理风险

尽管公司拟使用暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售的保本型理财产品及拟使用部分自有资金用于购买安

全性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售的理财产品，但金融市场受宏观经济的影响较大，并不排除该项投资收益受到市场波动的影响。

（二）风险控制措施

1、公司将严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法

规、《公司章程》以及公司《募集资金使用管理办法》等有关规定办理相关现金管理业务。

2、严格筛选合作对象，选择信誉好、规模大、经营效益好、资金运作能力

强的金融机构所发行的安全性高、流动性好、保本型的投资产品，并明确投资产品的金额、期限、投资品种、双方的权利义务及法律责任等。

3、公司财务中心建立台账管理，对资金运用情况建立健全完整的会计账目，

做好资金使用的账务核算工作。

4、监事会、独立董事有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘

请专业机构进行审计。

六、履行的审议程序及相关意见

（一）董事会审议情况2025年4月23日，公司召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在不影响

4募集资金投资计划正常进行、不影响公司正常运营及确保资金安全的情况下，使

用额度不超过40000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和额度不超过30000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，使用期限为自公司股东大会审议通过之日起12个月内有效，在上述额度和期限范围内，资金可循环滚动使用。

（二）监事会意见2025年4月23日，公司召开第二届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》。监事会认为：公司在不影响募集资金投资计划正常进行、不影响公司正常运营及确保资金安全的情况下，使用部分闲置募集资金和自有资金进行现金管理，有利于提高公司闲置资金的使用效率，增加股东回报，符合公司和全体股东的利益，不存在变相改变募集资金用途的情形。监事会一致同意公司本次关于使用部分闲置募集资金及自有资金进行现金管理的事项。

七、保荐人核查意见经核查，保荐人认为，公司本次使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理事项已经公司董事会、监事会审议通过。公司本次使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理事项符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《规范运作》等法律法规、规范性文件以及公司《募集资金管理制度》等相关规定，不存在变相改变募集资金使用用途的情形，不影响募集资金投资计划的正常进行，并且能够提高资金使用效率，符合公司和全体股东的利益。

综上，保荐人对公司实施本次使用部分暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的事项无异议。

（以下无正文）5（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

林剑辉周磊国泰海通证券股份有限公司年月日

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