证券代码：688630证券简称：芯碁微装公告编号：2026-034

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

关于向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金

永久补充流动资金及注销相关募集资金专户、理财产品专

用结算账户的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

* 本次结项的募投项目名称：直写光刻设备产业应用深化拓展项目、IC

载板、类载板直写光刻设备产业化项目、关键子系统、核心零部件自主研发项

目、补充流动资金项目*本次节余金额为18925.68万元（含理财以及利息收入，最终转出金额以资金转出当日银行结算余额为准），为提高资金使用效率，拟将节余募集资金永久补充流动资金，用于公司日常生产经营。

一、募集资金基本情况发行名称2022年度向特定对象发行股票

募集资金总额797685647.55万元

募集资金净额789362921.17万元募集资金到账时间2023年7月25日根据中国证券监督管理委员会于2023年3月15日出具的《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563号），同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行

10497245股人民币普通股，募集资金总额为人民币797685647.55元，扣除相关发行费用（不含税）人民币8322726.38元，募集资金净额为人民币

789362921.17元。上述资金已于2023年7月25日全部到位，并存放于公司

开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198 号）

公司已对上述募集资金进行了专户存储，并与保荐人、募集资金专户开户银行签署了募集资金监管协议。

二、本次募投项目结项及募集资金节余情况

（一）本次结项募投项目募集资金的存储及节余情况公司本次结项的募集资金投资项目为“直写光刻设备产业应用深化拓展项目”、“IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目”、“关键子系统、核心零部件自主研发项目”、“补充流动资金项目”，以上项目均已基本完成投资，产线及设备已达到可使用状态并投入使用。

（二）本次结项募集资金专户存储情况截止2026年6月30日，本次结项募集资金投资项目“直写光刻设备产业应用深化拓展项目”、“IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目”、“关键子系统、核心零部件自主研发项目”、“补充流动资金项目”，募集资金存储情况如下：

单位：人民币万元尚未使用的募集项目名称开户银行银行账号资金金额直写光刻设备产业应

招商银行合肥分行营业部5519067764108027935.91用深化拓展项目徽商银行股份有限公司安

IC 载板、类载板直写

徽自贸试验区合肥片区支5220015417210000025889.55光刻设备产业化项目行

关键子系统、核心零中信银行股份有限公司合

81123010121009477665100.22

部件自主研发项目肥分行营业部中国光大银行合肥长江西补充流动资金项目766701808039088110

路支行（三）本次结项项目募集资金节余情况募集资金承募集资金实利息收入扣除节余募集结项名称结项时间诺使用金额际使用金额手续费后净额资金金额（万元）（万元）（万元）（万元）直写光刻设备产业2026年7月

25765.7319183.071353.247935.91

应用深化拓展项目24日

IC 载板、类载板直

2026年7月

写光刻设备产业化17583.7512577.34883.135889.55

24日

项目

关键子系统、核心零2026年7月

15172.0010774.57702.795100.22

部件自主研发项目24日

2026年7月

补充流动资金项目20414.8121123.91709.100

24日

节余募集资金合计金额18925.68万元节余募集资金使用用途及相应金√补流，18925.68万元额

注1：上述结项的募投项目的节余募集资金包含了利息及现金管理收益扣除

手续费后净额，节余金额系截止2026年6月30日数据，最终转入公司自有资金账户的实际金额以资金转出当日该项目募集资金专户余额为准；

注2：上述数据存在尾差为计算时四舍五入所致。

三、募集资金节余主要原因

（一）公司在项目实施过程中，严格遵循募集资金使用的相关规定，结合项目实际，秉持合理、节约、有效的原则，在保证项目建设质量的前提下，审慎使用募集资金，加强对各环节费用的控制、监督与管理，合理调度和优化配置各项资源，有效降低项目建设成本与费用。

（二）因募集资金投资项目建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目建设进度，公司对短期内出现的部分闲置募集资金进行了现金管理，有效提高了募集资金的使用效率，增加了公司收益。

四、本次拟结项募投项目节余募集资金的使用计划为提高资金使用效率，合理配置资金，并结合公司实际情况，上述募投项目结项后，公司拟将节余募集资金合计18925.68万元（含理财以及利息收入，最终转出金额以资金转出当日银行结算余额为准）永久补充流动资金，用于公司日常生产经营。

五、募集资金专户及募集资金理财产品专用结算账户注销情况开户银行银行账号账户类别账户状态招商银行合肥分行营业部551906776410802募集资金专户本次注销徽商银行股份有限公司安徽自贸试验区合募集资金专户522001541721000002本次注销肥片区支行中信银行股份有限公司合肥分行营业部8112301012100947766募集资金专户本次注销中国光大银行合肥长江西路支行76670180803908811募集资金专户本次注销中国民生银行股份有限公司合肥分行营业641033347理财专户本次注销部

南洋商业银行（中国）有限公司合肥分行0434430000486217理财专户本次注销兴业银行股份有限公司合肥黄山路支行499060100100334355理财专户本次注销申万宏源证券有限公司合肥望江西路营业5612019999理财专户本次注销部海通证券股份有限公司合肥黄山路营业部1750202715理财专户本次注销公司将尽快办理完成上述相关募集资金专户及募集资金产品理财专用账户的注销手续。上述募集资金专用账户注销后，公司签署的相关募集资金专户存储监管协议随之终止。

六、本次将节余募集资金永久补充流动资金的影响

本次将节余募集资金永久补充流动资金用于公司日常生产经营活动，是公司根据项目实施情况及公司自身经营情况做出的审慎决定，不存在改变或变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形，有利于合理优化资源配置，提高募集资金使用效率，符合公司战略发展规划，不会对公司的生产经营活动产生重大不利影响。

七、适用的审议程序及保荐人意见

（一）董事会审计委员会意见公司于2026年7月17日召开公司第三届董事会审计委员会第四次会议，审议通过了《关于向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及注销相关募集资金专户、理财产品专用结算账户的议案》。董事会审计委员会认为：本次定增募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金符合公司实际经营的需要和长远发展规划，有利于进一步提高资金使用效率，不存在损害公司及股东，尤其是中小股东利益的情况，亦不存在违规使用募集资金的情形。该事项的决策和审批程序符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定。董事会审计委员会同意公司定增募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金事项并注销募集专户和理财结算账户。

（二）董事会审议情况

公司于2026年7月24日召开公司第三届董事会第七次会议，审议通过了《关于向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及注销相关募集资金专户、理财产品专用结算账户的议案》，董事会同意公司将结项募投项目的募集资金余额以及拟注销账户内累计的利息及现

金管理收益扣除手续费后净额永久补充流动资金，同时注销募投专户及理财结算户。该事项无需提交公司股东会审议。

（三）保荐机构意见

保荐机构认为：公司向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及注销募集资金专户的事项已经公司董事会和董事会

审计委员会审议通过，履行了必要的决策程序，该事项无需提交公司股东会审议，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》

以及公司募集资金管理制度等的相关规定，不存在变相改变募集资金投向和损害公司及全体股东利益的情形。保荐机构对公司向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及注销相关募集资金专户、理财产品专用结算账户的事项无异议。

特此公告。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2026年7月25日