证券代码：688630证券简称：芯碁微装公告编号：2026-014

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

关于公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用

情况的专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司监管指引第2号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对2025年度募集资金存放与

使用情况的专项报告说明如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到账时间根据中国证券监督管理委员会于2023年3月15日出具的《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563号），同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行

10497245股人民币普通股，募集资金总额为人民币797685647.55元，扣除

相关发行费用（不含税）人民币8322726.38元，募集资金净额为人民币

789362921.17元。上述资金已于2023年7月25日全部到位，并存放于公司

开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198 号）。

（二）本年度使用金额及年末余额

截至2025年12月31日，募集资金存放银行产生利息净额共计人民币

17816354.25元（为活期利息理财利息扣除手续费净额）。截至2025年12月

31日，已使用募集资金金额为人民币539444803.09元，本年度已使用募集资

金金额为人民币161230794.92元，进行现金管理余额为人民币

220000000.00元，募集资金存储账户余额为人民币47734472.33元。详见

下表：

募集资金基本情况表

单位：万元币种：人民币发行名称2022年度向特定对象发行股票募集资金到账时间2023年7月25日本次报告期2025年1月1日至2025年12月31日项目金额

一、募集资金总额79768.56

其中：超募资金金额不适用

减：直接支付发行费用832.27

二、募集资金净额78936.29

减：

以前年度已使用金额37821.40

本年度使用金额16123.08暂时补流金额0

现金管理金额22000.00

加：

利息收入及理财收益扣除银行手续费

1781.64

的净额

三、报告期期末募集资金余额4773.45

二、募集资金管理情况（一）募集资金管理情况为规范募集资金的管理和使用，提高募集资金使用效益，根据《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关法律法规的规定，切实保护投资者利益，公司根据实际情况，制定了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司募集资金管理制度》。根据该制度，公司对募集资金实行专户存储，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，保证了募集资金的规范使用。

（二）募集资金三方监管协议情况

经公司股东大会授权，公司于2023年7月6日召开第二届董事会第八次会议，审议通过了《关于公司设立2022年度向特定对象发行A股股票募集资金专用账户的议案》。为规范公司募集资金管理，保护投资者权益，提高募集资金使用效率，根据《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022修订）》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引1号——规范运作》及公司《募集资金管理制度》等有关规定，公司、海通证券股份有限公司与招商银行股份有限公司合肥分行、中信银行股份有限公司合肥分行、中国光大银行股份有限公司合肥分行和徽商银行股份有限公司合肥分行签署了

《募集资金专户存储三方监管协议》。前述协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。

（三）募集资金专户存储情况

截至2025年12月31日，募集资金存放情况如下表所示：

募集资金存储情况表

单位：元币种：人民币发行名称2022年度向特定对象发行股票募集资金到账时间2023年7月25日账户名称开户银行银行账号报告期末余额账户状态合肥芯碁微电子装备

招商银行合肥分行营业部5519067764108025944397.06使用中股份有限公司合肥芯碁微电子装备徽商银行股份有限公司安徽

5220015417210000024470304.93使用中

股份有限公司自贸试验区合肥片区支行合肥芯碁微电子装备中信银行股份有限公司合肥

811230101210094776620602224.34使用中

股份有限公司分行营业部合肥芯碁微电子装备中国光大银行合肥长江西路

7667018080390881116717546.00使用中

股份有限公司支行

合计//47734472.33

三、2025年年度募集资金的实际使用情况

（一）募投项目的资金使用情况

报告期内，公司募集资金实际使用情况详见附表2025年年度募集资金使用情况对照表。募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异，也不存在无法单独核算效益的情形。

（二）募投项目先期投入及置换情况报告期内公司不涉及对预先投入募投项目自筹资金置换的情形。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

截至2025年12月31日，公司不存在闲置募集资金暂时补充流动资金的情形。

（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况

2025年4月23日公司召开了第二届董事会第十九次会议和第二届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币40000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过30000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东会审议通过之日起12个月。

截至2025年12月31日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：

单位：人民币元实际投序号受托方产品类型批准投资金额入金额投资期限期末余额利息金额

2024.3.29-2027

1光大银行大额存单70000000.0070000000.000273000.00.3.29

2023.8.28-2026

2徽商银行大额存单50000000.0050000000.0030000000.000.8.28

2023.8.29-2026

3徽商银行大额存单100000000.00100000000.0020000000.002639866.66.8.29

2024.5.20-2027

4民生银行大额存单40000000.0040000000.0010000000.00477888.89.5.20

2023.8.29-2026

5南洋银行大额存单250000000.00250000000.00110000000.000.8.29

2023.8.29-2026

6兴业银行大额存单150000000.00150000000.0050000000.003810027.40.8.29

2024.10.17-202

7申万证券保本理财20000000.0020000000.000190191.78

5.10.14

2025.1.16-2026

8申万证券保本理财20000000.0020000000.00063287.67.1.13

2025.2.20-2026

9申万证券保本理财20000000.0020000000.00062495.38.2.9

2025.3.27-2026

10申万证券保本理财20000000.0020000000.00092712.33.3.24

2025.5.15-2026

11申万证券保本理财20000000.0020000000.00059671.23.5.12

2025.6.19-2026

12申万证券保本理财20000000.0020000000.000158493.15.6.15

2025.1.2-2025.

13申万证券保本理财10000000.0010000000.00040945.21

12.232025.9.24-2026

14申万证券保本理财10000000.0010000000.00018794.52.3.23

2025.10.24-202

15申万证券保本理财10000000.0010000000.0009726.03

6.4.23

合计810000000.00810000000.00220000000.007897100.25

（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

截至2025年12月31日，公司无此种情形。

（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况

截至2025年12月31日，公司无此种情形。

（七）节余募集资金使用情况

因募投项目均尚未实施完毕，报告期内，公司不存在使用节余募集资金的情形。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

（一）变更募集资金投资项目情况报告期内公司募集资金投资项目未发生变更。

（二）募集资金投资项目对外转让或置换情况报告期内公司募集资金投资项目不存在对外转让或置换的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司已按《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》和《管理办法》等相关规定及时、真实、

准确、完整地披露了公司募集资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。六、会计师事务所对公司2025年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见容诚会计师事务所（特殊普通合伙）认为：公司《2025年度募集资金存放与使用情况的专项报告》在所有重大方面按照《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规定编制，公允反映了公司2025年度募集资金实际存放与使用情况。

七、保荐机构对公司2025年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见经核查，保荐机构认为：公司2025年度募集资金的存放与使用符合《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司

募集资金管理制度，对募集资金进行了专户存储和使用，截至2025年12月31日，公司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。保荐机构对公司2025年度募集资金存放与使用情况无异议。

特此公告。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2026年3月14日附表1：

募集资金使用情况对照表

单位：元币种：人民币发行名称2022年度向特定对象发行股票募集资金到账日期2023年7月25日

募集资金总额789362921.17本年度投入募集资金总额161230794.92变更用途的募集资金总额不适用

已累计投入募集资金总额539444803.09

变更用途的募集资金总额比例（%）不适用项目可是项目行截至期末否已变更达到性累计投入截至期末达项目，含截至期末承截至期末预定是募集资金承调整后投资本年度投金额与承投入进度本年度实现的到承诺投资项目部分变诺投入金额累计投入可使否

诺投资额总额入金额诺投入金（%）效益预

更（如*金额*用状发额的差额*=*/*计

有）态日生

*=*-*效期重益大变化

直写光刻设备2659800025765727257657271929577135344-1223122026直写光刻设备不

无52.53%否

产业应用拓展 0.00 3.62 3.62 9.54 841.28 432.34 年 7 在新型显示、 适深化项目 月 PCB 阻焊层、 用引线框架等领域不断深化应用，在 NEX 系列产品年产量百余台，NEX30等多款机型正处于转量产阶段。新型显示和引线框架方面，产品已在客户端完成多台验收。

持续对 IC 载

板、类载板直写光刻设备进

行研发投入，IC 载板、类载 2026 不

17583750 17583750 17583750 5108507 125773 -50064 71.53% MAS 系列机型

板直写光刻设无年7适否

0.00 0.00 0.00 6.9 335.83 164.17 已实现 4μm、备产业化项目月用

6μm、8μm 解析，多款设备正在向量产阶段过渡。

关键子系统、2026各子系统、核不

151720001517200015172000789721.3838386-67881

核心零部件自无55.26%年7心零部件自主适否

0.000.000.00470.84329.16

主研发项目月研发项目均正用常推进，基于深度学习算法的智能化直写光刻系统开发在客户端运行良好；超大幅面高解析度曝光引擎研发项目已基本完成，实现超大幅面下高解析高速曝光；高精度动态环控系统研发完成，完成多机型上机测试，实现目标设备集成与稳定运行；先进激光光源研发项目成果已应用多款机型，提升了紫外激光器

国产化率，逐步实现自主可控。2026不补充流动资金2041481420414814204148149006021194487-96601

无95.27%年7不适用适否

项目7.557.557.557.14955.1492.41月用

797685647893629789362921612307539444-249918

合计-----

7.5521.171.1794.92803.09118.08

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用项目可行性发生重大变化的情况说明不适用募集资金投资项目先期投入及置换情况不适用用闲置募集资金暂时补充流动资金情况不适用截至报告期末，公司进行现金管理的募集资金余额为22000.00万元。具体详见本报告“三、2025对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况年年度募集资金的实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况”。

用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况不适用募集资金结余的金额及形成原因不适用募集资金其他使用情况不适用