CIRCUIT FABOLOGY MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO. LTD.合肥芯碁微電子裝備股份有限公司

（於中華人民共和國註冊成立的股份有限公司）

（股份代號：9630）

於2026年9月15日舉行的2026年第一次臨時股東會或其任何續會

適用的H股持有人代表委任表格與本代表委任表格相關

之H股數目（附註1）

本人╱吾等（附註2）地址為

為合肥芯碁微電子裝備股份有限公司（「本公司」） 股H股（附註3）之

登記持有人，茲委任大會主席或（附註4），地址為

為本人╱吾等之受委代表，出席本公司謹訂於2026年9月15日（星期二）下午2時正假座中國安徽省合肥市高新區長寧大道

789號1號樓會議室舉行之2026年第一次臨時股東會（「臨時股東會」）（或其任何續會），並代表本人╱吾等就本公司日期為

2026年8月26日之臨時股東會通告所載之決議案按下文所示之指示投票，或倘無作出有關指示，則由本人╱吾等之受委代表酌情投票。

除另有指明外，本代表委任表格所用詞彙與本公司日期為2026年8月26日的通函所界定者具有相同涵義。

特別決議案贊成（附註5）反對（附註5）棄權（附註5）

1.審議及批准關於變更註冊資本、修改公司章程及辦理相關工

商變更登記的議案。

普通決議案贊成（附註5）反對（附註5）棄權（附註5）

2.審議及批准關於增加使用閒置自有資金進行現金管理的議案。

日期：2026年簽署（附註6）：

附註：

1. 請填上與本代表委任表格相關並以 閣下名義登記之H股數目。倘已填上數目，則本代表委任表格將被視為僅與所填報數目之H股有關。倘未填上數目，則本代表委任表格將被視為與以 閣下名義登記之本公司所有H股有關。

2.請用正楷填上本公司股東名冊所示之全名（中文或英文）及地址（地址必須為本公司股東名冊所示之地址）。

3. 請填上以 閣下名義登記之H股數目。

4.如擬委派大會主席以外之人士為受委代表，請將「大會主席或」等字樣刪去，並在空欄內填上所擬委派受委代表之姓名及地址。股東可委任一名或

以上受委代表代其出席及投票。受委代表毋須為本公司股東。本代表委任表格之任何更改，均須由簽署人簡簽示可。

5. 重要提示： 閣下如欲投票贊成任何決議案，請在「贊成」欄內填上「?」號或填上 閣下持有之H股數目。 閣下如欲投票反對任何決議案，請在「反

對」欄內填上「?」號或填上 閣下持有之H股數目。 閣下如欲投票棄權任何決議案，請在「棄權」欄內填上「?」號或填上 閣下持有之H股數目。計算通過決議案所需的大多數時包括該等棄權票。任何未有填寫、錯誤填寫、字跡無法辨認或未有投票的票數，將被視為「棄權」。倘閣下未有指示受委代表如何投票，則閣下之受委代表將有權酌情自行投票。除閣下於本代表委任表格另有指示外，閣下之受委代表亦有權酌情就臨時股東會通告所述決議案以外而正式提呈臨時股東會之任何其他決議案投票。

6.本代表委任表格須由閣下或閣下以書面正式授權之授權人簽署，或如屬法人，則須加蓋法人印鑑或由其董事或獲正式授權之授權人親筆簽署。

倘屬任何股份之聯名持有人，則本代表委任表格須由在本公司股東名冊內排名首位之聯名持有人簽署。

7.本代表委任表格連同經公證人核證的授權委託書或其他授權文件副本（如由委任人之代表簽署），最遲須於臨時股東會指定舉行時間或投票表決

指定時間（即2026年9月14日下午2時正）24小時前送達本公司之H股股份過戶登記處卓佳證券登記有限公司（就本公司H股股東而言），地址為香港夏愨道16號遠東金融中心17樓，方為有效。

8. 倘屬本公司任何H股之聯名持有人，任何一名該等人士均可親身或委派受委代表於臨時股東會上就該等H股投票，猶如其為唯一有權投票者。惟

倘超過一名該等聯名持有人親身或委派受委代表出席臨時股東會，則僅有在本公司股東名冊內就該等H股排名首位之出席人士方有權就此投票。

受委代表毋須為本公司股東。倘股東委任超過一名受委代表出席臨時股東會，該等受委代表僅可以H股股數投票方式行使其投票權。

9.敬請注意，填妥及交回代表委任表格後，股東仍可依願親身出席臨時股東會或其任何續會，並於會上投票。