国泰海通证券股份有限公司

关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久

补充流动资金及注销相关募集资金专户、理财产品专用结

算账户的专项核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为

合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）的持续

督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定，对芯碁微装向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的相关事项进行了核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况经中国证券监督管理委员会证监许可〔2023〕563号文《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》，公司向特定对象发行人民币普通股（A 股）10497245 股，每股面值人民币 1 元，募集资金总额为

797685647.55元，扣除各项发行费用8322726.38元，实际募集资金净额为

789362921.17元。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述资金到位情况进行了审验，并出具了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198 号）。

公司已对上述募集资金进行了专户存储，并与保荐机构、募集资金专户开户银行签署了募集资金监管协议。

二、募集资金投资项目情况

根据公司《2022 年度向特定对象发行 A 股股票募集说明书》，公司向特定对象发行股票募集资金在扣除发行费用后将用于如下项目：

1单位：万元

序号项目名称项目投资总额拟投入募集资金金额直写光刻设备产业应用深化拓

131756.1925765.73

展项目

IC 载板、类载板直写光刻设备产

223408.2717583.75

业化项目

关键子系统、核心零部件自主研

324758.2215172.00

发项目

4补充流动资金项目30000.0020414.81

合计109922.6878936.29

三、募投项目结项及结余情况公司本次结项的募集资金投资项目为“直写光刻设备产业应用深化拓展项目”、“IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目”、“关键子系统、核心零部件自主研发项目”、“补充流动资金项目”，以上项目均已基本完成投资，产线及设备已达到可使用状态并投入使用。

（一）本次结项募集资金专户存储情况截至2026年6月30日，本次结项募集资金投资项目“直写光刻设备产业应用深化拓展项目”、“IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目”、“关键子系统、核心零部件自主研发项目”、“补充流动资金项目”的募集资金存储情况如下：

单位：万元尚未使用的募项目名称开户银行银行账号集资金金额直写光刻设备产业应

招商银行合肥分行营业部5519067764108027935.91用深化拓展项目

IC 载板、类载板直写 徽商银行股份有限公司安徽

5220015417210000025889.55

光刻设备产业化项目自贸试验区合肥片区支行

关键子系统、核心零中信银行股份有限公司合肥

81123010121009477665100.22

部件自主研发项目分行营业部中国光大银行合肥长江西路

补充流动资金项目76670180803908811-支行

（二）本次结项募集资金结余情况

截至2026年6月30日，本次结项项目募集资金使用情况和节余情况如下：

2单位：万元

募集资金拟投累计投入募集利息收入扣除尚未使用募集项目名称资总额资金金额手续费后净额资金金额直写光刻设备产业应用

25765.7319183.071353.247935.91

深化拓展项目

IC 载板、类载板直写光

17583.7512577.34883.135889.55

刻设备产业化项目

关键子系统、核心零部件

15172.0010774.57702.795100.22

自主研发项目

补充流动资金项目20414.8121123.91709.10-

合计78936.2963658.893648.2618925.68

注：募集资金剩余金额未包含尚未收到的银行利息收入，最终转入公司自有资金账户的金额以资金转出当日专户余额为准。

（三）募集资金结余的主要原因

1、公司在项目实施过程中，严格遵循募集资金使用的相关规定，结合项目实际，秉持合理、节约、有效的原则，在保证项目建设质量的前提下，审慎使用募集资金，加强对各环节费用的控制、监督与管理，合理调度和优化配置各项资源，有效降低项目建设成本与费用。

2、因募集资金投资项目建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目建设进度，公司对短期内出现的部分闲置募集资金进行了现金管理，有效提高了募集资金的使用效率，增加了公司收益。

（四）结余募集资金使用计划

为提高募集资金的使用效率，改善公司资金状况，降低公司财务费用，提升经济效益，公司拟将节余募集资金人民币18925.68万元（截至2026年6月30日的金额，包含扣除手续费后的利息收入，实际金额以资金转出当日专户余额为准）永久性补充流动资金，用于公司日常经营活动。节余募集资金转出后，公司将办理销户手续，注销相关募集资金账户，公司与保荐机构、项目实施主体、开户银行签署的募集资金专户监管协议随之终止。

四、募集资金专户及募集资金理财产品专用结算账户注销情况

本次结项的账户注销情况如下：

3开户银行银行账号账户类别账户状态

招商银行合肥分行营业部551906776410802募集资金专户本次注销徽商银行股份有限公司安徽自

522001541721000002募集资金专户本次注销

贸试验区合肥片区支行中信银行股份有限公司合肥分

8112301012100947766募集资金专户本次注销

行营业部中国光大银行合肥长江西路支

76670180803908811募集资金专户本次注销

行中国民生银行股份有限公司合

641033347理财专户本次注销

肥分行营业部

南洋商业银行（中国）有限公司

0434430000486217理财专户本次注销

合肥分行兴业银行股份有限公司合肥黄

499060100100334355理财专户本次注销

山路支行申万宏源证券有限公司合肥望

5612019999理财专户本次注销

江西路营业部海通证券股份有限公司合肥黄

1750202715理财专户本次注销

山路营业部公司将尽快办理完成上述相关募集资金专户及募集资金产品理财专用账户的注销手续。上述募集资金专用账户注销后，公司签署的相关募集资金专户存储监管协议随之终止。

五、相关审议程序

公司于2026年7月24日召开第三届董事会第七次会议，于2026年7月17日召开第三届董事会审计委员会第四次会议，分别审议通过了《关于向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及注销相关募集资金专户、理财产品专用结算账户的议案》，同意公司将向特定对象发行股票募投项目结项，并将结项后的节余募集资金永久补充流动资金。同时，董事会同意授权管理层办理募集资金专户注销的相关手续。以上事项无需提交公司股东会审议。

六、保荐机构核查意见经核查，保荐机构认为，公司向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及注销募集资金专户的事项已经公司董事会和董事会

审计委员会审议通过，履行了必要的决策程序，该事项无需提交公司股东会审议，

4符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》以及公司募集

资金管理制度等的相关规定，不存在变相改变募集资金投向和损害公司及全体股东利益的情形。

综上，保荐机构对公司向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及注销相关募集资金专户、理财产品专用结算账户的事项无异议。

（以下无正文）5（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及注销相关募集资金专户、理财产品专用结算账户的专项核查意见》之签章页）

保荐代表人：

陈赛德汤文宇国泰海通证券股份有限公司年月日

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