国泰海通证券股份有限公司

关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为

合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）的持续

督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定，对芯碁微装2025年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到位时间经中国证券监督管理委员会证监许可〔2023〕563号文《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》，公司向特定对象发行人民币普通股（A 股）10497245 股，每股面值人民币 1 元，募集资金总额为

797685647.55元，扣除各项发行费用8322726.38元，实际募集资金净额为

789362921.17元。上述募集资金到位情况经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并出具了容诚验字[2023]230Z0198 号验资报告。

（二）募集资金以前年度使用金额

截至2024年12月31日，公司累计已使用募集资金人民币37821.40万元，利息收入983.58万元，手续费用6.02万元，剩余募集资金余额人民币42092.46万元。

（三）募集资金本年度使用金额及年末余额

2025年，公司已使用募集资金16123.08万元。截至2025年12月31日，

公司累计已使用募集资金投入项目53944.48万元，剩余募集资金余额人民币

26773.45万元。截至2025年12月31日，募集资金使用情况如下：

1单位：人民币万元

项目金额

募集资金净额78936.29

经批准置换先期投入金额-

以前年度投入金额37821.40

本年度投入金额16123.08

累计使用募集资金金额53944.48

尚未使用金额24991.81

减：闲置募集资金临时补充流动资金-

减：购买理财产品未到期的22000.00

累计利息收入、理财收益及手续费净额1781.64

减：其他转出-

截至2025年12月31日募集资金专户余额4773.45

二、募集资金管理情况

（一）募集资金的管理情况根据有关法律法规及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，公司制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，以在制度上保证募集资金的规范使用。

根据管理制度并结合经营需要，公司对2022年度向特定对象发行股票募集资金实行专户存储，在银行设立募集资金使用专户，并与开户银行、保荐机构签订了《募集资金三方监管协议》（以下统称《募集资金监管协议》），对募集资金的使用实施严格审批，以保证专款专用。截至2025年12月31日，公司均严格按照该《募集资金监管协议》的规定，存放和使用募集资金。

（二）募集资金专户存储情况

截至2025年12月31日，募集资金具体存放情况如下：

单位：人民币元开户银行银行账号账户类别募集资金余额

2招商银行合肥分行营业部551906776410802活期存款5944397.06

徽商银行股份有限公司安徽自贸

522001541721000002活期存款4470304.93

试验区合肥片区支行中信银行股份有限公司合肥分行

8112301012100947766活期存款20602224.34

营业部

中国光大银行合肥长江西路支行76670180803908811活期存款16717546.00

合计47734472.33

三、本年度募集资金实际使用情况

（一）募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）的资金使用情况

募集资金实际使用情况详见附表1《2025年度募集资金使用情况对照表》。

（二）用募集资金置换已投入募投项目的自筹资金情况本年度，公司不存在用募集资金置换已投入募投项目的自筹资金的情况。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本年度，公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金情况。

（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

2025年4月23日公司召开了第二届董事会第十九次会议和第二届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币40000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过30000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月。

截至2025年12月31日，公司使用募集资金投资相关产品的情况详见下表：

单位：人民币元实际投序号受托方产品类型批准投资金额投资期限期末余额利息金额入金额

32024.3.29-

1光大银行大额存单70000000.0070000000.00-273000.00

2027.3.29

2023.8.28-

2徽商银行大额存单50000000.0050000000.0030000000.00-

2026.8.28

2023.8.29-

3徽商银行大额存单100000000.00100000000.0020000000.002639866.66

2026.8.29

2024.5.20-

4民生银行大额存单40000000.0040000000.0010000000.00477888.89

2027.5.20

2023.8.29-

5南洋银行大额存单250000000.00250000000.00110000000.00-

2026.8.29

2023.8.29-

6兴业银行大额存单150000000.00150000000.0050000000.003810027.40

2026.8.29

2024.10.17-

7申万证券保本理财20000000.0020000000.00-190191.78

2025.10.14

2025.1.16-

8申万证券保本理财20000000.0020000000.00-63287.67

2026.1.13

2025.2.20-

9申万证券保本理财20000000.0020000000.00-62495.38

2026.2.9

2025.3.27-

10申万证券保本理财20000000.0020000000.00-92712.33

2026.3.24

2025.5.15-

11申万证券保本理财20000000.0020000000.00-59671.23

2026.5.12

2025.6.19-

12申万证券保本理财20000000.0020000000.00-158493.15

2026.6.15

2025.1.2-

13申万证券保本理财10000000.0010000000.00-40945.21

2025.12.23

2025.9.24-

14申万证券保本理财10000000.0010000000.00-18794.52

2026.3.23

2025.10.24-

15申万证券保本理财10000000.0010000000.00-9726.03

2026.4.23

合计810000000.00810000000.00220000000.007897100.25

（五）超募资金使用情况公司不存在超募资金使用的情况。

（六）节余募集资金使用情况公司不存在节余募集资金使用的情况。

4（七）募集资金使用的其他情况

公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

报告期内，公司不存在变更募集资金投资项目的情况，不存在募集资金投资项目己对外转让或置换的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题及整改措施

2025年度，公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并及时、真实、准确、完整地披露了募集资金的相关信息，不存在募集资金管理违规情形。

六、保荐机构的核查意见经核查，保荐机构认为，公司2025年度募集资金存放和使用情况符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《合肥芯碁微电子装备股份有限公司募集资金管理制度》等法律法

规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，发行人募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。

综上，保荐机构对公司2025年度募集资金存放和使用情况无异议。

（以下无正文）5（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见》之签章页）

保荐代表人：

陈赛德汤文宇国泰海通证券股份有限公司年月日

6附表1：2025年度募集资金使用情况对照表

编制单位：合肥芯碁微电子装备股份有限公司

单位：万元

募集资金总额78936.29本年度投入募集资金总额16123.08变更用途的募集资金总额不适用

已累计投入募集资金总额53944.48变更用途的募集资金总额比例不适用截至期末累计是否已变投入金额与承截至期末投项目可行募集资金截至期末承截至期末累项目达到预是否达承诺投资更项目调整后投本年度投入诺投入金额的入进度性是否发承诺投资诺投入金额计投入金额定可使用状本年度实现的效益到预计

项目（含部分资总额金额差额（%）（4）生重大变

总额（1）（2）态日期效益变更）（3）=（2）-=（2）/（1）化

（1）直写光刻设备在新型

显示、PCB 阻焊层、引线框架等领域不断直写光刻

深化应用，在 NEX 系设备产业

无26598.0025765.7325765.731929.5813534.48-12231.2452.53%2026年7月列产品年产量百余不适用否应用深化台，NEX30 等多款机拓展项目型正处于转量产阶段。新型显示和引线框架方面，产品已在

7客户端完成多台验收。

持续对 IC 载板、类载

IC 载板、 板直写光刻设备进行

类载板直 研发投入，MAS 系列写光刻设 无 17583.75 17583.75 17583.75 5108.51 12577.33 -5006.42 71.53% 2026 年 7 月 机型已实现 4μm、6 不适用 否

备产业化 μm、8μm 解析，多项目款设备正在向量产阶段过渡。

各子系统、核心零部件自主研发项目均正常推进，基于深度学习算法的智能化直写光刻系统开发在客户关键子系端运行良好；超大幅

统、核心面高解析度曝光引擎

零部件自无15172.0015172.0015172.0078.978383.87-6788.1355.26%2026年7月研发项目已基本完不适用否

主研发项成，实现超大幅面下目高解析高速曝光；高精度动态环控系统研发完成，完成多机型上机测试，实现目标设备集成与稳定运行；先进激光光源研

8发项目成果已应用多款机型，提升了紫外激光器国产化率，逐步实现自主可控。

补充流动

无20414.8120414.8120414.819006.0219448.80-966.0295.27%2026年7月不适用不适用否资金项目

合计79768.5678936.2978936.2916123.0853944.48-24991.81

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用项目可行性发生重大变化的情况说明不适用募集资金投资项目先期投入及置换情况不适用用闲置募集资金暂时补充流动资金情况不适用截至2025年12月31日，公司进行现金管理的募集资金余额为22000.00万元。详见本核查意见“三、本年对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况度募集资金实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”。

募集资金结余的金额及形成原因不适用募集资金其他使用情况不适用

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